專利名稱：利用線鋸的工件的切斷方法及線鋸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用線鋸(線切割機)將工件(例如硅晶棒、化合物半導(dǎo)體的晶 棒等)切成多個晶片的切斷方法。
背景技術(shù)：
近年，晶片有大型化的趨勢，隨著此大型化而使用專門用于切斷晶棒的線鋸裝置。線鋸是使鋼線(高張力鋼線)高速行進，在此一邊澆上漿液，一邊壓抵工件而切 斷，同時切成多片晶片的裝置(參照日本專利公開公報特開平9-262826號)。在此，圖3中表示公知的一般線鋸的一例的概要。如圖3所示，線鋸101主要包括用以切斷工件的鋼線102、卷繞有鋼線102的帶槽 滾筒103、用以賦予鋼線102張力的鋼線張力賦予機構(gòu)104、向下方送出要被切斷的工件的 工件進給機構(gòu)105、以及在切斷時供給漿液的漿液供給機構(gòu)106。鋼線102從一側(cè)的線滾動條(線卷盤(wire reel)) 107送出，經(jīng)由移車臺 (traverser) 108，再經(jīng)過由磁粉離合器((powder clutch)定轉(zhuǎn)矩馬達109或上下跳動滾筒 (靜重(dead weight))(未圖示)等所組成的鋼線張力賦予機構(gòu)104，進入帶槽滾筒103。鋼 線102卷繞在該帶槽滾筒103約300 400圈之后，經(jīng)過另一側(cè)的鋼線張力賦予機構(gòu)104， 卷繞在線滾動條107’上。此外，帶槽滾筒103是在鋼鐵制圓筒的周邊壓入聚胺酯樹脂，并在其表面以恒定 的間距切出槽的滾筒，卷繞的鋼線102可通過驅(qū)動用馬達110而以預(yù)定的周期在往復(fù)方向 上被驅(qū)動。另外，切斷工件時，通過工件進給機構(gòu)105，工件一邊被保持一邊被壓下，而向已卷 繞在帶槽滾筒103上的鋼線102進給(推送)。此外，在帶槽滾筒103與卷繞的鋼線102的附近，設(shè)有噴嘴115，在切斷時，可從漿 液槽116供給漿液至鋼線102上。此外，漿液槽116可與漿液冷卻器117連接，以調(diào)整供給 漿液的溫度。利用如此的線鋸101，且利用鋼線張力賦予機構(gòu)104賦予鋼線102適當(dāng)?shù)膹埩Γ?過驅(qū)動用馬達110，使鋼線102 —邊在往復(fù)方向上行進，一邊將工件切片。所述鋼線到達保持工件的抵板為止，進行工件的切入，由此完成工件的切斷。之 后，通過逆轉(zhuǎn)工件的進給方向，從所述鋼線列，將完成切斷的工件拔出。作為從所述鋼線列拔出工件時用以防止該鋼線列勾在工件的切斷之處而使鋼線 浮起的線鋸，例如，如日本專利公開公報特開平8-11047號所示，公開一種線鋸，其具備通 過構(gòu)成限制裝置的一對限制構(gòu)件，在工件的鋼線出入點附近位置，將鋼線壓住來限制鋼線 的浮起。然而，利用所述一般的線鋸，將工件切斷成晶片狀，調(diào)查被切斷的晶片的形狀之 后，發(fā)現(xiàn)產(chǎn)生大的翹曲。翹曲是半導(dǎo)體晶片的切斷中的重要質(zhì)量考慮因素之一，隨著制品的質(zhì)量要求提高，而有進一步降低翹曲的要求。對于工件的質(zhì)量造成不良影響的一例存在如下問題，即，例如在所述工件切斷后， 從鋼線列將完成切斷的工件拔出時，因殘存在工件切斷面上的漿液而對于工件切斷面造成 損傷，日本專利公開公報特開2003-275950號公開一種線鋸，為了抑制對于所述工件切斷 面造成的不良影響，從所述鋼線列拔出切斷完成的工件時，提高附加于鋼線的張力。

發(fā)明內(nèi)容
一般而言，要被供給至切斷用鋼線的漿液是以油性或水性的冷卻液將微細的磨粒 作成懸濁狀，因在未攪拌的狀態(tài)下，磨粒與液體成分容易分離，因所述液體成分脫除而高粘 度化的漿液，容易殘存在切斷后的工件上，因此，在此狀態(tài)下，若將工件從鋼線列拔出時，工 件切斷面因該當(dāng)鋼線列而受損，在該切斷面容易發(fā)生所謂的鋸痕，因此導(dǎo)致翹曲惡化而損 及質(zhì)量的結(jié)果。
所述鋸痕發(fā)生在垂直于工件進給方向的方向，即筋狀地發(fā)生在鋼線行進方向。這 被認(rèn)為是因殘存在工件表面上的漿液，伴隨鋼線的行進，向鋼線行進方向移動而發(fā)生的。因此，為防止此情況發(fā)生，在工件拔出時，只要停止鋼線的行進即可，但在停止鋼 線的行進的狀態(tài)下，若進行工件的拔出時，鋼線列局部地勾在殘存在工件表面上的漿液中， 特別是勾在磨粒凝集而粘固在工件表面上的部分上，而發(fā)生切斷用鋼線斷線。本發(fā)明是有鑒于上述問題而開發(fā)出來的，其目的是提供一種線鋸，利用簡單的結(jié) 構(gòu)，便不會對于通過線鋸的鋼線列切斷的工件的切斷面造成不良影響，而從所述鋼線列拔 出完成切斷的工件。為了達成所述目的，本發(fā)明提供一種利用線鋸的工件的切斷方法，通過將切斷用 鋼線卷繞在多個滾筒的周圍上而形成鋼線列，所述切斷用鋼線在軸方向被往復(fù)驅(qū)動，一邊 供給漿液至該切斷用鋼線，一邊向所述鋼線列切入進給工件，由此將該工件同時在軸方向 并列的多處切斷，其特征在于在所述工件切斷后，在從所述鋼線列拔出該工件時，一邊以 2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。如此，在工件切斷后，從鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行 進，一邊拔出工件，由此，將切斷后的工件由鋼線列拔出時，鋼線列不會局部地勾在殘存在 工件表面上的漿液中，特別是磨粒凝集粘固在工件表面上的部分，而不會發(fā)生切斷用鋼線 的斷線，并可抑制因工件拔出而造成的鋸痕。此時，優(yōu)選為以向前進方向與后退方向的行進距離分別為Im以下的方式，來使所 述工件拔出時的鋼線作往復(fù)行進。如此，因以向前進方向與后退方向的行進距離分別為Im以下的方式使工件拔出 時的鋼線作往復(fù)行進，所以粘固在工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止由于工 件拔出而發(fā)生的鋸痕。此外，此時，優(yōu)選在工件拔出時所供給的漿液的溫度設(shè)為高于切斷結(jié)束時的溫度。如此，因在工件拔出時所供給的漿液的溫度高于切斷結(jié)束時的溫度，所以粘固在 工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止由于工件拔出而發(fā)生的鋸痕。此外，本發(fā)明提供一種線鋸，通過將切斷用鋼線卷繞在多個滾筒的周邊上而形成 鋼線列，所述切斷用鋼線在軸方向被往復(fù)驅(qū)動，一邊供給漿液至該切斷用鋼線，一邊對于所述鋼線列切入進給工件，由此將該工件同時在軸方向并列的多處切斷，其特征在于 該線鋸控制成為在所述工件切斷后，在從所述鋼線列拔出該工件時，一邊以2m/ min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。如此，本發(fā)明的線鋸控制成為在工件切斷后，在由鋼線列拔出工件時，一邊以2m/ min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。因此，可抑制鋼線的斷線、鋸痕的發(fā)生，不會對 于其切斷面造成不良影響而將通過線鋸切斷后的工件由鋼線列拔出。此時，該線鋸優(yōu)選控制成為以向前進方向與后退方向的行進距離分別為Im以下 的方式，來使所述工件拔出時的鋼線作往復(fù)行進。為了排除粘固在工件表面上的漿液，相較于使鋼線向一方向行進，較有效以使鋼 線向前進方向與后退方向的行進距離分別成為Im以下的短間隔的方式，切換鋼線的行進 方向而使其作往復(fù)行進。如此，本發(fā)明的線鋸，變得容易排除粘固在工件表面上的漿液，可有效地防止因工 件拔出而發(fā)生的鋸痕。此時，該線鋸，優(yōu)選控制成為在所述工件拔出時所供給的漿液的溫度，高于切斷結(jié) 束時的溫度。如此，本發(fā)明的線鋸控制成為在工件拔出時所供給的漿液的溫度高于切斷結(jié)束時 的溫度。所以，粘固在工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止因工件拔出而發(fā)生的 鋸痕。本發(fā)明的線鋸控制成為在工件切斷后，在由鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以 下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。所以，鋼線不會斷線，可減少鋸痕，且不會對通過線鋸 的鋼線列切斷后的工件的切斷面造成不良影響，便能由鋼線列拔出工件。


圖1是表示本發(fā)明的線鋸的一例的概略圖。圖2是表示可用于本發(fā)明的工件進給機構(gòu)的一例的概略圖。圖3是表示現(xiàn)有的線鋸的一例的概略圖。
具體實施例方式以下說明本發(fā)明的實施方式，但本發(fā)明不限定于此。若使用現(xiàn)有的線鋸來進行工件的切斷，工件切斷后，從鋼線列拔出該工件時，在工 件表面殘存的漿液，伴隨鋼線的行進，向鋼線行進方向移動，因而有發(fā)生鋸痕、翹曲惡化的 問題。此外，為防止此情況發(fā)生，在停止鋼線的行進的狀態(tài)，進行工件的拔出時，在工件表面 殘存的漿液中，特別是在磨粒凝集而粘固在工件表面上的部分，鋼線列局部地勾住，而成為 發(fā)生切斷用鋼線斷線的結(jié)果。因此，本發(fā)明的線鋸設(shè)成在工件的切斷后，當(dāng)從鋼線列拔出該工件時，以可排除 粘固的漿液的最低限的速度，使鋼線行進。即，發(fā)現(xiàn)通過控制成一邊以2m/min以下的速度 使鋼線行進，一邊拔出工件，便不會發(fā)生鋼線的斷線，并能在抑制鋸痕發(fā)生、翹曲惡化的情 況下，拔出工件。此外，以向前進方向與后退方向的行進距離分別為Im以下的方式，來控制 拔出工件時的鋼線往復(fù)行進；或者，以在抽出工件時，使供給的漿液的溫度比切斷結(jié)束時的溫度更高的方式來進行控制，由此可更容易地排除粘固在工件表面上的漿液，而可有效地防止因工件拔出而發(fā)生的鋸痕。圖1是表示本發(fā)明的線鋸的一例的概略圖。如圖1所示，本發(fā)明的線鋸1由用以切斷工件的鋼線2、卷繞有鋼線2的帶槽滾筒 3、用以施予鋼線2張力的鋼線張力賦予機構(gòu)4、將要被切斷的工件向下方進給的工件進給 機構(gòu)5以及在切斷時供給漿液的漿液供給機構(gòu)6所構(gòu)成。鋼線2是從一側(cè)的線滾動條7送出，經(jīng)由移車臺8，再經(jīng)過由磁粉離合器((powder clutch)定轉(zhuǎn)矩馬達9)或上下跳動滾筒(靜重(dead weight))(未圖示)等所組成的鋼線 張力賦予機構(gòu)4，進入帶槽滾筒3。鋼線2通過卷繞于該帶槽滾筒3約300 400圈，而形 成鋼線列。鋼線2經(jīng)過另一側(cè)的鋼線張力賦予機構(gòu)4’而卷繞在線滾動條7’上。這些的構(gòu) 成與現(xiàn)有相同。在圖2中，表示可用于本發(fā)明中的工件進給機構(gòu)的一例。如圖2所示，工件緊貼在 抵板14上；此外，該抵板14被通過工件板13保持。而且，工件隔著這些的抵板14、工件板 13，被工件進給機構(gòu)5的工件保持部11保持。該工件進給機構(gòu)5具備用以一邊保持工件一邊往下壓的工件保持部11以及線性 導(dǎo)軌12，利用計算機控制沿著線性導(dǎo)軌12驅(qū)動工件保持部11，由此可依預(yù)先程序化的進給 速度，將保持的工件推送。而且，當(dāng)進行切斷時，如此地被工件進給機構(gòu)5的工件保持部11保持的工件通過 工件進給機構(gòu)5，往位于下方的鋼線2進給。此外，該工件進給機構(gòu)5通過將工件往下方進 給，直到鋼線到達抵板14為止，而完成工件的切斷，之后，通過逆轉(zhuǎn)工件的推送方向，將切 斷結(jié)束的工件從鋼線列拔出。此外，帶槽滾筒103是在鋼鐵制圓筒的周邊壓入聚胺酯樹脂，并在其表面以恒定 的間距切出槽而成的，卷繞的鋼線2可通過驅(qū)動用馬達10，往復(fù)方向地運動。另一方面，噴嘴15被配置在鋼線2的上方，該鋼線2被卷繞在帶槽滾筒3上，在切 斷時，在軸方向作往復(fù)行進；當(dāng)進行工件的切斷時，可供給漿液至鋼線2上。此外，漿液冷卻器17，被配置在漿液槽16旁，可調(diào)整供給的漿液的溫度。此外，當(dāng) 然不限定于如圖1所示的構(gòu)成，例如只要可通過另外的熱交換器的結(jié)構(gòu)來進行漿液的供給 溫度的調(diào)整即可。另外，所述漿液冷卻器17、驅(qū)動用馬達10、工件進給機構(gòu)5被連接至控制裝置25。該控制裝置25具有對于驅(qū)動用馬達10進行控制，來控制鋼線2的行進速度的功 能；對于驅(qū)動用馬達10進行控制，來控制分別在鋼線2的前后方向往復(fù)行進的距離的功能； 對于漿液冷卻器17進行控制，來控制供給至鋼線2上的漿液的溫度的功能；以及對于工件 進給機構(gòu)5進行控制，來控制相對于鋼線列的工件的切入進給與從鋼線列拔出工件的工件 進給的功能。在此，描述漿液供給裝置6，即供給漿液至帶槽滾筒3 (鋼線2)上的裝置。此漿液 供給裝置中，從漿液槽16，經(jīng)由以控制裝置25控制的漿液冷卻器17，連接至噴嘴15 ；要被 供給的漿液被漿液冷卻器17控制供給溫度，然后由噴嘴15供給至帶槽滾筒3 (鋼線2)上。 漿液供給溫度，可通過控制裝置25控制成預(yù)定的溫度，但控制裝置未特別限定于此。而且，本發(fā)明的線鋸中，利用此控制裝置25，控制工件進給裝置5與驅(qū)動用馬達10而控制成為在工件切斷后，在從鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行 進，一邊拔出工件；并控制成為工件拔出時的鋼線的行進是以向前進方向與后退方向的行 進距離分別為Im以下的方式，來使鋼線作往復(fù)行進；此外，通過控制漿液冷卻器17而控制 成為在工件拔出時所供給的漿液的溫度比切斷結(jié)束時的溫度更高溫。接著，說明使用本發(fā)明的線鋸的工件的切斷方法。在進行所述鋼線2的軸方向的 驅(qū)動以及通過漿液供給機構(gòu)6對于鋼線2供給漿液的狀態(tài)下，控制裝置25是沿著線性導(dǎo)軌 12驅(qū)動工件保持部11，使工件下降，將該工件相對于以例如400 800m/min行進的鋼線列 切入進給。對于所述鋼線列切入進給時的切入進給速度可為例如0. 2 0. 4mm/min。這些 條件當(dāng)然不限定于此。此外，可使工件切斷時的鋼線的行進為往復(fù)行進，其行進距離可設(shè)為例如400 600m。在切斷時要被供給至鋼線的漿液的溫度，例如是15°C 30°C。這些條件當(dāng)然不限定 于此。以如此的方式來進行工件的切斷，鋼線列到達工件上面的抵板為止時，即工件的 切斷結(jié)束時，停止切入進給。此時，通過控制裝置25來控制驅(qū)動用馬達10，使鋼線以預(yù)先設(shè)定的2m/min以下的 行進速度行進。之后，將工件進給機構(gòu)5的切入進給方向，與工件切斷時逆轉(zhuǎn)(相反)，將所 述工件由鋼線列向上方拔出。由所述鋼線列拔出工件時的進給速度，例如可設(shè)為5 lOOmm/min，優(yōu)選設(shè)為10 50mm/mino如此，通過控制裝置25來控制驅(qū)動用馬達10，使鋼線以預(yù)先設(shè)定的2m/min以下的 行進速度行進，與以現(xiàn)有的線鋸切斷的晶片相比較，以本發(fā)明的線鋸切斷的晶片，可降低發(fā) 生的翹曲量與鋸痕。從鋼線列拔出工件時的鋼線的行進速度若超過2m/min則會發(fā)生鋸痕與翹曲。為 了防止此情況發(fā)生，鋼線的行進速度以2m/min以下為佳，優(yōu)選lm/min以下。所述鋼線的行 進速度的下限并無特別限定，但可設(shè)為0. lm/min以上。另外，在將所述工件由鋼線列向上方拔出時，可控制成以預(yù)先設(shè)定的lm(l公尺) 以下的行進距離使鋼線作往復(fù)行進。如上所述，驅(qū)動用馬達10與控制裝置25連接，所以可通過該控制裝置而控制成為 若鋼線2行進預(yù)先設(shè)定的行進距離之后，便可反轉(zhuǎn)行進方向。如此，粘固在工件表面上的漿液變得容易排除，可有效地防止因工件拔出而發(fā)生 的鋸痕與翹曲。所述工件由鋼線列拔出時，鋼線的往復(fù)行進的行進距離，優(yōu)選Im以下，但可以是 Im以上。所述鋼線的往復(fù)行進的行進距離的下限并無特別限定，但可為0. Im以上。另外，將所述工件由鋼線列向上方拔出時，優(yōu)選控制成為供給鋼線的漿液的溫度， 比工件的切斷結(jié)束時的溫度更高溫。如上所述，通過控制裝置25控制的漿液冷卻器17，可控制漿液的供給溫度，所述 工件的切入進給停止后，由鋼線列拔出工件時，可供給比工件的切斷結(jié)束時的溫度更高溫 的漿液。
如此，若在拔出工件時供給高溫的漿液，可容易軟化并排除粘固在工件表面上的漿液，可有效地防止因工件拔出所造成鋸痕發(fā)生、翹曲惡化。從所述鋼線列拔出工件時的漿液供給溫度，例如工件切斷時的漿液供給溫度若為 15°C 30°C時，則可設(shè)為35°C 50°C。如此，使用本發(fā)明的線鋸來進行的工件的切斷方法，此方法是在工件切斷后，當(dāng)由 鋼線列拔出工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件，則利用此工件 的切斷方法，不會對通過鋼線列切斷后的工件的切斷面造成不良影響，便能由所述鋼線列 拔出工件。以下，通過實施例更具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不限定于此。
(實施例1)使用圖1所示的線鋸，分別控制工件切斷時的鋼線的行進速度、鋼線的前進方向 與后退方向的行進距離、以及向鋼線供給的漿液的供給溫度，通過本發(fā)明的切斷方法，將直 徑8英寸(200mm)的硅晶棒切斷成晶片狀。將工件的切斷時的鋼線的行進速度設(shè)為600m/min，并以鋼線的前進方向與后退方 向的行進距離為500m以下的方式，使鋼線往復(fù)行進來切斷工件。此外，工件的切斷結(jié)束時 的漿液供給溫度設(shè)為25 °C。工件切斷后，將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為2m/min，并將工件拔出時的鋼 線的前進方向的行進距離設(shè)為lm、鋼線的后退方向的行進距離設(shè)為0.5m。另外，漿液的供 給溫度設(shè)為與切斷結(jié)束時相同。以所述條件切斷工件，調(diào)查工件切斷后的工件表面的狀態(tài)發(fā)現(xiàn)，鋸痕與翹曲量比 使用現(xiàn)有的線鋸的情況降低。(實施例2)相對于所述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為lm/min以外，以 與實施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實施例1相同的評價。從結(jié)果可知，通過將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為2m/min以下的lm/min，則 工件表面的鋸痕與翹曲量，比使用現(xiàn)有的線鋸降低，其降低量比實施例1大。(實施例3)相對于所述實施例1，除了將工件拔出時的漿液供給溫度設(shè)為35°C以外，以與實 施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實施例1相同的評價。從結(jié)果可知，通過將工件拔出時的漿液供給溫度設(shè)為比工件切斷結(jié)束時的漿液供 給溫度更高溫的35°C，則工件表面的鋸痕與翹曲量，比使用現(xiàn)有的線鋸降低，其降低量比實 施例1大。(實施例4)相對于所述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為lm/min、工件拔 出時的漿液供給溫度設(shè)為35°C以外，以與實施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實 施例1相同的評價。從結(jié)果可知，通過將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為2m/min以下的lm/min，且 將工件拔出時的漿液供給溫度設(shè)為比工件切斷結(jié)束時的漿液供給溫度更高溫的35°C，則工 件表面的鋸痕與翹曲量，比使用現(xiàn)有的線鋸大幅降低，其降低量比實施例1 3大。(實施例5)
相對于所述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為0. 5m/min、工件 拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為0. 3m、鋼線的后退方向的行進距離設(shè)為0. 2m以 夕卜，以與實施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實施例1相同的評價。從結(jié)果可知，通過將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為2m/min以下的0. 5m/min, 且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為Im以下的0. 3m、鋼線的后退方向的行 進距離設(shè)為Im以下的0. 2m，則工件表面的鋸痕與翹曲量，比使用現(xiàn)有的線鋸降低，其降低 量比實施例1大。(實施例6)相對于所述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為0. 5m/min、工件 拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為0. 3m、鋼線的后退方向的行進距離設(shè)為0. 2m、漿 液供給溫度設(shè)為35°C以外，以與實施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實施例1相同 的評價。
從結(jié)果可知，通過將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為2m/min以下的0. 5m/min, 且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為Im以下的0. 3m、鋼線的后退方向的行 進距離設(shè)為Im以下的0. 2m、鋼線拔出時的漿液供給溫度設(shè)為比工件切斷結(jié)束時的漿液供 給溫度更高溫的35°C，則工件表面的鋸痕與翹曲量，比使用現(xiàn)有的線鋸降低，其降低量比實 施例1 3大。(比較例1)相對于所述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為lOm/min、工件拔 出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為20m、鋼線的后退方向的行進距離設(shè)為IOm以外，以 與實施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實施例1相同的評價。從結(jié)果可知，因為將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為超過2m/min的lOm/min， 且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為超過Im的20m、鋼線的后退方向的行進 距離設(shè)為超過Im的10m，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較實施例1惡化。(比較例2)相對于所述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為lOOm/min、工件 拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為200m，鋼線的后退方向的行進距離設(shè)為IOOm以 夕卜，以與實施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實施例1相同的評價。從結(jié)果可知，因為將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為超過2m/min的lOOm/min， 且將工件拔出時的鋼線的前進方向的行進距離設(shè)為超過Im的200m、鋼線的后退方向的行 進距離設(shè)為超過Im的100m，則工件表面的鋸痕與翹曲量，較實施例1大幅惡化。(比較例3)相對于所述實施例1，除了將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為3m/min以外，以 與實施例1相同的條件來切斷工件，然后進行與實施例1相同的評價。從結(jié)果可知，因為將鋼線拔出時的鋼線的行進速度設(shè)為超過2m/min的3m/min，則 工件表面的鋸痕與翹曲量，雖較比較例1為佳，但較實施例1惡化。在第1表中，表示總結(jié)各實施例、比較例中的條件與工件拔出時的工件切斷面的 質(zhì)量評價結(jié)果。[第1 表]
如以上所示，采用本發(fā)明的線鋸，此線鋸是控制成在切斷工件后，由鋼線列拔出該 工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件，由此，以鋼線列切斷的工 件，可從所述鋼線列拔出而不會對于其切斷面造成不良影響。此外，本發(fā)明不限定于所述實施方式。所述實施方式僅為例示，凡是與本發(fā)明的權(quán) 利要求書中所記載的技術(shù)思想，實質(zhì)上具有相同的構(gòu)成，能產(chǎn)生相同的效果的，不論為如何 的方式，都應(yīng)包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種利用線鋸的工件的切斷方法，通過將切斷用鋼線卷繞在多個滾筒的周邊上而形成鋼線列，所述切斷用鋼線在軸方向被往復(fù)驅(qū)動，一邊供給漿液至該切斷用鋼線，一邊向所述鋼線列切入進給工件，由此將該工件同時在軸方向并列的多處切斷，其特征在于在所述工件切斷后，在從所述鋼線列拔出該工件時，一邊以2m/min以下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。
2.如權(quán)利要求1所述的利用線鋸的工件的切斷方法，其中，所述工件拔出時的鋼線的 行進，是以向前進方向與后退方向的行進距離分別為lm以下的方式，來使鋼線作往復(fù)行進。
3.如權(quán)利要求1或2所述的利用線鋸的工件的切斷方法，其中，在所述工件拔出時所供 給的漿液的溫度設(shè)為高于切斷結(jié)束時的溫度。
4.一種線鋸，通過將切斷用鋼線卷繞在多個滾筒的周邊上而形成鋼線列，所述切斷用 鋼線在軸方向被往復(fù)驅(qū)動，一邊供給漿液至該切斷用鋼線，一邊向所述鋼線列切入進給工 件，由此將該工件同時在軸方向并列的多處切斷，其特征在于該線鋸控制成為在所述工件切斷后，在從所述鋼線列拔出該工件時，一邊以2m/min以 下的速度使鋼線行進，一邊拔出工件。
5.如權(quán)利要求4所述的線鋸，其中，該線鋸控制成為所述工件拔出時的鋼線的行進， 是以向前進方向與后退方向的行進距離分別為lm以下的方式，來使鋼線作往復(fù)行進。
6.如權(quán)利要求4或5所述的線鋸，其中，該線鋸控制成為在所述工件拔出時所供給的 漿液的溫度高于切斷結(jié)束時的溫度。
全文摘要
本發(fā)明是一種線鋸，通過將切斷用鋼線卷繞在多個滾筒的周邊上而形成鋼線列，所述切斷用鋼線在軸方向被往復(fù)驅(qū)動，一邊供給漿液至該切斷用鋼線，一邊對于所述鋼線列切入進給工件，由此將該工件同時在軸方向并列的多處切斷，其特征在于該線鋸控制成為在所述工件切斷后，在由所述鋼線列拔出該工件時，一邊使鋼線以2m/min以下的速度行進，一邊拔出工件。由此提供一種線鋸，利用簡單的結(jié)構(gòu)，便不會對于通過線鋸的鋼線列切斷的工件的切斷面造成不良影響，而從所述鋼線列拔出已經(jīng)完成切斷的工件。
文檔編號B28D5/04GK101861230SQ20088011666
公開日2010年10月13日 申請日期2008年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月11日
發(fā)明者加藤忠弘, 北川幸司, 糸井征夫, 須藤富一 申請人:信越半導(dǎo)體股份有限公司