專(zhuān)利名稱(chēng)：支撐銷(xiāo)的制作方法
支撐銷(xiāo)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于 一種支撐銷(xiāo)，特別是一種應(yīng)用于干蝕刻裝置的支撐銷(xiāo)。背景技術(shù)：
目前，電漿蝕刻機(jī)臺(tái)(plasma etching apparatus)等的干蝕刻裝置已廣泛地 應(yīng)用于液晶顯示面板(liquid crystal display panel)的制作過(guò)程中，用來(lái)去除 未被光阻等的圖案化屏蔽層覆蓋及保護(hù)的部分，以將光罩圖案(pattem)轉(zhuǎn)移至 玻璃基板表面上的特定薄膜中。電漿蝕刻主要是利用電漿將反應(yīng)氣體分子解 離成對(duì)玻璃基板表面的薄膜材質(zhì)具有反應(yīng)性(reactive)的離子，以與玻璃基板 上的薄膜發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，進(jìn)而使暴露在電漿下的薄膜被蝕刻反應(yīng)成揮發(fā)性的 物質(zhì)，然后再利用真空系統(tǒng)將反應(yīng)生成的揮發(fā)性物質(zhì)加以抽離玻璃基板表面。
請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的電漿反應(yīng)腔體的示意圖。如圖1 所示，現(xiàn)有的電漿反應(yīng)腔體IO包含有一殼體12, —基座14設(shè)于殼體12的底 部， 一電極座22設(shè)于基座14的表面上， 一下電極20設(shè)于電極座22的表面 上，以及一護(hù)環(huán)26，以可升降的方式裝設(shè)于下電極20的上方。此外，電漿反 應(yīng)腔體10另包含有復(fù)數(shù)支撐銷(xiāo)(pusherpin)50，以可上、下移動(dòng)的方式設(shè)置于 下電極20與電極座22內(nèi)，以及一絕緣部件24設(shè)置于下電極20的周?chē)?，?以保護(hù)下電極20。另一方面，基座14由一陶瓷材料(ceramic)層16與一鋁金 屬層18堆棧而成。除此之外，電漿反應(yīng)腔體10另可包含有一鐵氟龍護(hù)罩 (Teflon cover)(未顯示)，環(huán)設(shè)于電極座22的周?chē)?，以及一陶瓷護(hù)罩(ceramic cover)(未顯示)，環(huán)設(shè)于該鐵氟龍護(hù)罩與基座14的周?chē)?，而該鐵氟龍護(hù)罩與該 陶瓷護(hù)罩用來(lái)保護(hù)電極座22與基座14。
請(qǐng)參考圖2與圖3,圖2與圖3表示出玻璃基板30載入電漿反應(yīng)腔體10 內(nèi)的作動(dòng)方式。如圖2所示，殼體12包含有一信道開(kāi)口(未顯示)，用來(lái)使一 機(jī)械臂(robot)28能夠傳送一玻璃基板30進(jìn)、出電漿反應(yīng)腔體10。當(dāng)機(jī)械臂28將玻璃基板30送進(jìn)電漿反應(yīng)腔體10后，各個(gè)支撐銷(xiāo)50會(huì)向上移動(dòng)以托住 玻璃基板30并將玻璃基板30向上舉起，使玻璃基板30離開(kāi)機(jī)械臂28，然后 機(jī)械臂28會(huì)退出電漿反應(yīng)腔體10。隨后，如圖3所示，各個(gè)支撐銷(xiāo)50會(huì)同 步向下移動(dòng)，并將玻璃基板30放置于下電極20的表面上，接著護(hù)環(huán)26會(huì)由 上往下移動(dòng)至下電極20的表面上，同時(shí)固定玻璃基板30,最后在玻璃基板 30上進(jìn)行一電漿蝕刻制程。其中，護(hù)環(huán)26用來(lái)將該電漿蝕刻反應(yīng)的電漿離子 集中于玻璃基板30之上，以避免基座14或殼體12內(nèi)部受到電漿離子的攻擊 而受損。
請(qǐng)參考圖4，圖4為現(xiàn)有單一支撐銷(xiāo)50的示意圖。如圖4所示，現(xiàn)有應(yīng) 用于電漿反應(yīng)腔體10內(nèi)的支撐銷(xiāo)50均為可拆卸的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，由一本體52與 一固鎖座54所組成。其中，圓棒狀的本體52上緣用來(lái)接觸并承載玻璃基板 30的頂端部51為一均勻平面，且本體52下緣為一具有公螺紋(male thread) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的底端部53,而裝設(shè)于基座14內(nèi)的固鎖座54的上緣內(nèi)壁則為一具 有母螺鄉(xiāng)丈(female thread)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的頂端部，因此本體52與固鎖座54可以通 過(guò)旋轉(zhuǎn)套接而互相嵌合，連結(jié)成為一支撐銷(xiāo)50。
由于在電漿蝕刻的過(guò)程中，電漿反應(yīng)腔體10內(nèi)會(huì)不斷地充斥有高濃度的 電漿團(tuán)以及被電漿解離的蝕刻離子等氣體在真空的電漿反應(yīng)腔體10中四處 流竄，侵蝕玻璃基板30上的薄膜，因此即使有護(hù)環(huán)26、玻璃基板30、基座 14等遮蔽物的阻隔，在使用過(guò)一段時(shí)間后，設(shè)置于下電極20與電極座22中 的各支撐銷(xiāo)50仍會(huì)受到不同程度的侵蝕。如圖5所示，本體52用來(lái)承載玻 璃基板30的頂端部51受電漿、蝕刻離子的侵蝕，造成損耗，而產(chǎn)生如虛線(xiàn) 所示的削角現(xiàn)象。該削尖的本體52即不再適用于承載玻璃基板30，即便削尖 處僅占本體52的一小部^分，此時(shí)仍需將電漿反應(yīng)腔體10內(nèi)全部的本體52予 以更換，以利于后續(xù)玻璃基板30蝕刻步驟的進(jìn)行。
然而，長(zhǎng)達(dá)18多厘米的本體52幾乎占整個(gè)支撐銷(xiāo)50約90%的長(zhǎng)度，不 但深入電極座22、基座14內(nèi)，拆除不易，并且在更換支撐銷(xiāo)50時(shí)，需先拆 除基座14中的管狀元件(Bellows)(未顯示)，才能進(jìn)行更換支撐銷(xiāo)50的動(dòng)作， 而且待更換完成的后，還要重新組裝并進(jìn)行整個(gè)基座14與千蝕刻裝置的校正，非常費(fèi)時(shí)費(fèi)工。此外，本體52為杜邦公司的Vespel樹(shù)脂，價(jià)格高，如損 耗量極大，更換費(fèi)用便相當(dāng)可觀。所以如何降低此損料價(jià)格與更換支撐銷(xiāo)50 的復(fù)雜程序的時(shí)間成本便成為目前欲努力達(dá)成的目標(biāo)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種降低耗材成本浪費(fèi)、也易于進(jìn) 行拆除、更換等維修工作的支撐銷(xiāo)。
本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案解決上述技術(shù)問(wèn)題的 一種支撐銷(xiāo)，包括一 固鎖座以及一本體，還包括一支臂，該支臂以可拆卸的方式固定在固鎖座的 頂端，該本體以可拆卸的方式固定在支臂的頂端。
該發(fā)明進(jìn)一步具體為
該固鎖座的頂端部具有一固定導(dǎo)桿，該支臂的底端部具有一第一凹槽， 該固定導(dǎo)桿以可拆卸的方式固定在該第一凹槽內(nèi)。
該支臂的該第一凹槽內(nèi)壁具有一母螺紋，該母螺紋為一方螺紋或梯形螺紋。
該支臂的該第一凹槽底部具有一氣孔。
該支臂的頂端部具有一第二凹槽，該本體的底端部具有一固鎖導(dǎo)桿，該 固鎖導(dǎo)桿以可拆卸的方式固定于該支臂的該第二凹槽內(nèi)。
該支臂的該第二凹槽內(nèi)壁另具有一母螺紋，該本體的該固鎖導(dǎo)桿表面具 有 一公螺紋，該第二凹槽的母螺紋與該固鎖導(dǎo)桿的公螺紋相配合。
該支臂的該第二凹槽底部具有一氣孔。
該支臂與該固鎖座的材料分別為一體成型的不銹鋼，該本體的材料為耐
熱與耐磨性材料。
該本體上及該固鎖座分別具有二個(gè)平行的鉗合面。
本發(fā)明支撐銷(xiāo)的優(yōu)點(diǎn)在于由于本發(fā)明支撐銷(xiāo)的三件式可拆卸組裝的設(shè) 計(jì)，減少了需要更替部份的體積，不但降低該支撐銷(xiāo)耗材成本，也較易于進(jìn) 行拆除、更換等維修工作，進(jìn)而有效解決目前干蝕刻機(jī)臺(tái)中耗材更換所造成 的不必要的成本消耗。

5下面參照附圖結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的描述。 圖l為現(xiàn)有電漿蝕刻機(jī)臺(tái)的電漿反應(yīng)腔體的示意圖。
圖2與圖3例示玻璃基板載入電漿反應(yīng)腔體內(nèi)的示意圖。 圖4為現(xiàn)有支撐銷(xiāo)的示意圖。 圖5為現(xiàn)有損耗的支撐銷(xiāo)的示意圖。 圖6為本發(fā)明較佳實(shí)施例的支撐銷(xiāo)的示意圖。 圖7至圖9為本發(fā)明較佳實(shí)施例的支撐銷(xiāo)的分解結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參考圖6至圖9，圖6為本發(fā)明較佳實(shí)施例的支撐銷(xiāo)的示意圖，圖7 至圖9為本發(fā)明較佳實(shí)施例的支撐銷(xiāo)各部件的分解結(jié)構(gòu)圖。如圖6所示，本 發(fā)明較佳實(shí)施例的支撐銷(xiāo)60為一種三件式的結(jié)構(gòu)體，其包含有一本體62、 一 支臂64以及一固鎖座66等三個(gè)部件，并全部以可拆卸的方式垂直套接組合 而互相嵌合固定，連結(jié)成為本發(fā)明的支撐銷(xiāo)60。其中，依垂直方向而言，支 臂64以可拆卸的方式"i殳置于固鎖座66的頂端，而本體62又以可拆卸的方式 設(shè)置于支臂64的頂端。
如圖7所示，固鎖座66的底端部67具有一凹槽63，且凹槽63內(nèi)壁具有 一母螺紋，該母螺紋可以是方螺紋(square thread)或者梯形螺紋(acme thread) 等，用來(lái)與電漿反應(yīng)腔體(未顯示)內(nèi)一固定裝置(未顯示)，以旋轉(zhuǎn)套接的方式 互相嵌合，進(jìn)而將固鎖座66固定于電漿反應(yīng)腔體內(nèi)的基座(未顯示)中。而固 鎖座66的頂端部69則具有一 固定導(dǎo)桿68,且固定導(dǎo)桿68的表面為一平滑表 面。此外，本發(fā)明的固鎖座66還可以具有二個(gè)平行的鉗合面65，其可以與各 式夾具的鉗口配合，以利于維修人員方便快速地拆、裝固鎖座66。
如圖8所示，支臂64的底端部71具有一第一凹槽70，而第一凹槽70內(nèi) 壁具有至少 一 方螺紋(square thread)或梯形螺紋( acme thread)，用來(lái)嵌合固鎖座 66的固定導(dǎo)桿68的平滑表面，使支臂64可方便快速地套接組合于固鎖座66 的上方。支臂64的第一凹槽70底部還可以選擇性的具有一氣孔73,該氣孔 73用來(lái)排除支臂64的第一凹槽70套住固鎖座66的固定導(dǎo)桿68時(shí)，互相擠 壓所排出的第一凹槽70內(nèi)的氣體，使固鎖座66與支臂64的嵌合更為緊密。
6該支臂64的頂端部75具有一第二凹槽72,第二凹槽72內(nèi)壁另具有一母螺紋, 第二凹槽72同樣也可以選擇性具有一氣孔73,而且本發(fā)明的支臂64頂端部 75有導(dǎo)角設(shè)計(jì)，可以防止支臂64與本體62嵌合處過(guò)度磨擦產(chǎn)生粉塵。此外， 本發(fā)明的支臂64也可以具有二平行的鉗合面76 ，以于利維修人員用各式夾具 的鉗口方便快速地拆、裝支臂64于固鎖座66。
如圖9所示，本體62的底端部80具有一固鎖導(dǎo)桿74，固鎖導(dǎo)桿74表面 具有一公螺紋。由于支臂64的第二凹槽72內(nèi)壁具有一母螺紋，所以該第二 凹槽72的母螺紋與固鎖導(dǎo)桿74表面的公螺紋相作用從而將固鎖導(dǎo)桿74旋轉(zhuǎn) 嵌入第二凹槽72，使本體62組合并固定于支臂64的上方。同樣地，第二凹 槽72的氣孔73用來(lái)排放支臂64的第二凹槽72套住本體62的固鎖導(dǎo)桿74 時(shí)互相擠壓所排出的第二凹槽72內(nèi)的氣體，使本體62更緊密組合于支臂64 的上方。此外，本體62的頂端部82另具有一承載平面84，本體62的棒狀側(cè) 身還可以具有二個(gè)平行的鉗合面85。
在本發(fā)明較佳實(shí)施例中，支臂64與固鎖座66的材料可分別為一體成型 的不4秀鋼(Steel Use Stainless, SUS)部件。而本體62則包含各式耐熱與耐磨性 材料，例如可為全芳香族聚酖亞胺樹(shù)脂等的高機(jī)能樹(shù)脂材料。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明將支撐銷(xiāo)改進(jìn)為三件式可拆卸組裝的設(shè)計(jì)，通 過(guò)支臂穩(wěn)固的不銹鋼材質(zhì)支撐從而承載玻璃基板的本體，也就是耗損率高需 要更換的耗材；同時(shí)，長(zhǎng)度8厘米的本體僅占整個(gè)支撐銷(xiāo)約38%的長(zhǎng)度，大 幅改進(jìn)現(xiàn)有本體幾乎占整體支撐銷(xiāo)約90%的長(zhǎng)度的缺點(diǎn)，因此本發(fā)明的改進(jìn) 足以減少耗材部份更換率過(guò)高造成不必要的成本支出，解決現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)。 此外，本發(fā)明支撐銷(xiāo)的本體還具有二平行的鉗合面可作用于各式夾具的鉗口 ， 以利于維修人員在不拆除基座、基座中的支撐銷(xiāo)套等的管狀元件(Bellows)、 電極等等的機(jī)臺(tái)組件的狀況下，直接由電漿反應(yīng)腔體內(nèi)將支撐銷(xiāo)升起，就可
方便快速的更換支撐銷(xiāo)的本體，或是將支撐銷(xiāo)的本體與支臂一起自固鎖座上 拔除，等到更換本體后，再將本體與支臂套入固鎖座中，從而有效節(jié)省拆、 裝、校正等復(fù)雜程序的時(shí)間成本。
雖然以上描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但是熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人
7員應(yīng)當(dāng)理解，我們所描述的具體的實(shí)施例只是說(shuō)明性的，而不是用于對(duì)本發(fā) 明的范圍的限定，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在依照本發(fā)明的精神所作的等效的 修飾以及變化，都應(yīng)當(dāng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求所保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種支撐銷(xiāo)，包括一固鎖座以及一本體，其特征在于還包括一支臂，該支臂以可拆卸的方式固定在固鎖座的頂端，該本體以可拆卸的方式固定在支臂的頂端。
2. 如權(quán)利要求1所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該固鎖座的頂端部具有一 固定導(dǎo)桿，該支臂的底端部具有一第一凹槽，該固定導(dǎo)桿以可拆卸的方式固 定在該第一凹槽內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求2所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該支臂的該第一凹槽內(nèi)壁 具有一母螺紋。
4. 如權(quán)利要求3所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該母螺紋為一方螺紋或梯 形螺紋。
5. 如權(quán)利要求2所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該支臂的該第一凹槽底部 具有一氣孔。
6. 如權(quán)利要求1或2所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該支臂的頂端部具有 一第二凹槽，該本體的底端部具有一固鎖導(dǎo)桿，該固鎖導(dǎo)桿以可拆卸的方式 固定于該支臂的該第二凹槽內(nèi)。
7. 如權(quán)利要求6所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該支臂的該第二凹槽內(nèi)壁 另具有一母螺紋，該本體的該固鎖導(dǎo)桿表面具有一公螺紋，該第二凹槽的母 螺紋與該固鎖導(dǎo)桿的公螺紋相配合。
8. 如權(quán)利要求6所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該支臂的該第二凹槽底部 具有一氣孔。
9. 如權(quán)利要求l所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該支臂與該固鎖座的材料 分別為 一體成型的不銹鋼，該本體的材料為耐熱與耐磨性材料。
10. 如權(quán)利要求1所述的支撐銷(xiāo)，其特征在于該本體上及該固鎖座分別 具有二個(gè)平行的鉗合面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種應(yīng)用于干蝕刻裝置的支撐銷(xiāo)，包括一固鎖座、一本體，以及一支臂，該支臂以可拆卸的方式固定在固鎖座的頂端，該本體以可拆卸的方式固定在支臂的頂端。本發(fā)明支撐銷(xiāo)的優(yōu)點(diǎn)在于由于本發(fā)明支撐銷(xiāo)的三件式可拆卸組裝的設(shè)計(jì)，減少了需要更替部份的體積，不但降低該支撐銷(xiāo)耗材成本，也較易于進(jìn)行拆除、更換等維修工作，進(jìn)而有效解決目前干蝕刻機(jī)臺(tái)中耗材更換所造成的不必要的成本消耗。
文檔編號(hào)C03C15/00GK101492251SQ20091011109
公開(kāi)日2009年7月29日 申請(qǐng)日期2009年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月20日
發(fā)明者湛仁宗 申請(qǐng)人:福建華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司