專利名稱：：玻璃基板熱處理平臺、其制造方法和玻璃基板熱處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于對裝載平板顯示器基板等玻璃基板進(jìn)行熱處理的玻璃基板熱處理平臺及其制造方法，以及使用該熱處理平臺的玻璃基板熱處理方法。
背景技術(shù)：
：等離子顯示器等顯示部呈平板狀的顯示器基板為，在玻璃基板上層壓有電極、絕緣體、發(fā)光體等多個層的整體結(jié)構(gòu)。作為制造該顯示器基板的工序之一，是在玻璃基板熱處理平臺上裝載顯示器基板并使其配置在(或通過)加熱裝置內(nèi)進(jìn)行熱處理(例如電極和絕緣體的烘烤處理)的工序。一般要求該平板顯示器基板需翹曲小以及表面凹凸小，同樣也要求用于制造基板的棚板需翹曲、波紋小以及表面凹凸小。在日本特開2002-114537號公報中記載了一種玻璃基板熱處理平臺，該熱處理平臺是由熱膨脹系數(shù)為15xlO々/K以下、表面平坦度為0.3%以下、表面粗糙度Ra為0.1~lpm的結(jié)晶玻璃所組成。當(dāng)在該平臺上裝載顯示器基板時，在平臺和顯示器基板之間存在空氣層而使顯示器基板容易在平臺上滑動。在日本特開2001-316186號公報中記載了一種玻璃基板的熱處理平臺，其通過在表面設(shè)置10~1000|im的槽而防止顯示器基^1在平臺上發(fā)生滑動。在上述各專利文件所記載的平臺(setter)中，為了不使在其上表面裝載的玻璃基板發(fā)生緊貼或者因滑動發(fā)生偏移，而對其表面粗糙度進(jìn)行一定程度的粗糙化或在表面設(shè)置槽。若如專利文件1，僅僅對玻璃基板熱處理平臺的表面粗糙度進(jìn)行一定程度的粗糙化，則不能充分防止玻璃基板的滑動。另外，若如專利文件2，在陶瓷制造的平臺上表面設(shè)置槽，則加工成本將會增加。專利文件1:日本特開2002-114537號公才艮專利文件2:日本特開2001-316186號公報
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠充分防止玻璃基板滑動的低價的玻璃基板熱處理平臺。而且，本發(fā)明的目的還在于，提供一種使用該熱處理平臺的玻璃基板熱處理方法。第1項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺是一種在其上表面裝載玻璃基板進(jìn)行熱處理的平臺，由板狀的陶資燒結(jié)體所構(gòu)成的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，由在20600。C的熱膨脹系數(shù)為0~10xl(rV。C，并且具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔的多孔陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成。根據(jù)第1項(xiàng)所述，第2項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，空氣透過率為0.5~10xl(T3cm2。根據(jù)第1或第2項(xiàng)所述，第3項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，該平臺上表面的表面粗糙度Ra為0.120jam。根據(jù)第1至3中任一項(xiàng)所述，第4項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，所述陶瓷燒結(jié)體為透鋰長石系陶瓷燒結(jié)體。根據(jù)第1至4中任一項(xiàng)所述，第5項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，所述陶資燒結(jié)體的楊氏模量為530GPa。根據(jù)第1至5中任一項(xiàng)所述，第6項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，該平臺的厚度t與長邊的長度L之比t/L為0.01以下。第7項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺的制造方法，是一種制造第1至6中任一項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺的方法，其特征在于，將浸漬有原料粉泥漿的合成樹脂海綿，進(jìn)行干燥之后燒成，然后研磨表面來制造玻璃基板熱處理平臺。第8項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺的制造方法，是一種制造第1至6中任一項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺的方法，其特征在于，對原料的粒狀成形體和/或粒狀燒成品與原料粉的泥漿進(jìn)行混合，將該混合物成形為板狀成形體，進(jìn)行干燥之后燒成，然后研磨表面來制造玻璃基板熱處理平臺。第9項(xiàng)的玻璃基板的熱處理方法的特征在于，對在第1至6中任一項(xiàng)所述的玻璃基板熱處理平臺的上表面裝載玻璃基板進(jìn)行熱處理。本發(fā)明的玻璃基板熱處理平臺，是由具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔且熱膨脹系數(shù)較低的陶f:燒結(jié)體所構(gòu)成。當(dāng)在該平臺的上表面裝載玻璃基板時，由于玻璃基板與平臺之間的空氣通過該連通氣孔流出，所以可充分防止玻璃基板的滑動。由于該平臺熱膨脹小，并且具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔，因此即使產(chǎn)生微細(xì)的裂縫也難以擴(kuò)大。另外，由于熱容易傳導(dǎo)到內(nèi)部，因此上下翹曲應(yīng)力就會變小。即使對該平臺反復(fù)給予熱沖擊，其強(qiáng)度也難以下降。本發(fā)明的玻璃基板的熱處理平臺，由于作為整體由同樣的板狀的陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成，因此使用一次或多次之后，對表面進(jìn)行研磨就能夠反復(fù)多次使用。通過〗吏該平臺的空氣透過率為0.5-10x1(V3cm2,從而能充分防止玻璃基板滑動的同時，也能夠提高平臺的強(qiáng)度。本發(fā)明的玻璃基板熱處理平臺通過將研磨后平臺的表面粗糙度Ra設(shè)成0.1~20nm，從而能夠更可靠地防止玻璃基板的緊貼(吸收)現(xiàn)象以及滑動。構(gòu)成本發(fā)明的玻璃基板熱處理平臺的陶瓷燒結(jié)體優(yōu)選為，作為原料含有透鋰長石的氧化鋰系陶瓷燒結(jié)體。所述陶瓷燒結(jié)體具有優(yōu)良的耐熱沖擊性。當(dāng)該陶瓷燒結(jié)體的楊氏模量為5-30GPa時，即使在平臺發(fā)生翹曲的情況下，將平臺放置于平坦面上時也會發(fā)生彈性變形從而與平坦面重合。在將平臺制成平臺的t/L之比為0.01以下的薄板狀時，由于這種彈性變形而使平臺迅速變得平坦。因此，即使玻璃基板熱處理平臺發(fā)生熱變形，也能在玻璃基板的熱處理中繼續(xù)長期使用該玻璃基板熱處理平臺。根據(jù)第7、8項(xiàng)的制造方法，能夠容易地制造這類由具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔的多孔陶乾燒結(jié)體而構(gòu)成的平臺。圖l為成形模的剖面圖。符號說明1:多孔板2:框3:成形才莫4:泥漿5:海綿具體實(shí)施例方式本發(fā)明的玻璃基板熱處理平臺，是由在20~60(TC的熱膨脹系數(shù)為0~10xl(T7/°C,并且具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔的多孔陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成。該平臺通常為方形、尤其是長方形的薄板狀。由于該平臺具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔，因此當(dāng)裝載玻璃基板時空氣容易從連通氣孔流出，可防止玻璃基板的滑動。通過將平臺的空氣透過率設(shè)成0.5~10xl(T3cm2，從而在裝載玻璃基板時空氣容易從連通氣孔流出，而且陶瓷燒結(jié)體的強(qiáng)度也會變高。若空氣透過率大于10xl0-3cm2,則玻璃基板的防滑效果不會隨之增長，同時陶瓷燒結(jié)體的強(qiáng)度也有可能變低。另外，若空氣透過率小于0.5xl(T3cm2，則當(dāng)裝載玻璃基板時空氣的流出就可能變得不充分。該空氣透過率為，在規(guī)定面積的平臺一側(cè)的面上供給空氣，對從另一側(cè)的面流出的空氣量和通氣差示壓力進(jìn)行測量，并由下式算出的數(shù)值(京都工藝?yán)w維大學(xué)，《陶瓷實(shí)驗(yàn)手冊》，P127-128(日刊工業(yè)新聞社))?？諝馔高^率=[(流量).(空氣粘性).(平臺厚度)]/[(通氣面積).(差示壓力)]以下是該計(jì)算式中的各數(shù)值的單位?？諝馔高^率cm2流量cm3/s空氣粘性mPa's(25。C時為0.018mPa's)平臺厚度cm通氣面積cm2差示壓力Pa這種多孔陶瓷燒結(jié)體優(yōu)選為以下述原料粉作為主原料而制造的多孔陶瓷燒結(jié)體，所述原料粉被制備成，相對于原料的總量，作為主要組分包含96重量％以上的Li20.A1203.nSi02，并且以n為1.8-12.5、Li20與A1203之比Li20/Al203為2.0~0.5范圍內(nèi)。該多孔陶瓷燒結(jié),特優(yōu)選為，由作為原料包含透鋰長石(Li20A12038Si02)的氧化鋰系陶瓷而構(gòu)成。該氧化鋰系陶資燒結(jié)體優(yōu)選為，使用相對于50~90重量％、優(yōu)選60-80重量％的透鋰長石，作為熔劑優(yōu)選混合5~30重量％、特優(yōu)選混合10~25重量％的玻璃粉，同時作為賦予成形時的可塑性組分混合了優(yōu)選是3~20重量％、特優(yōu)選是5~15重量％的粘土，并添加水以及根據(jù)需要添加聚乙烯醇、曱基纖維素等成形助劑進(jìn)行混合而成的泥漿，將其成形為成形體，通過對其進(jìn)行燒成而制造。相對于100重量份的透鋰長石、玻璃粉和粘土，水的添加量優(yōu)選為40-70重量份、特優(yōu)選為5060重量份左右。該泥漿中的固體組分(透鋰長石、玻璃粉和粘土)的平均粒徑優(yōu)選為0.001-0.01mm左右。該平均粒徑是從顯微鏡照片計(jì)測的數(shù)值。作為制造多孔陶瓷燒結(jié)體的優(yōu)選方法，可例舉以下的(1)~(3)的方法。(1)使用合成樹脂海綿的方法該方法是一種使用三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的合成樹脂制海綿的方法。合成樹脂優(yōu)選為，聚乙烯、聚丙烯、氨基曱酸乙酯等在燒成時僅產(chǎn)生二氧化碳和水的物質(zhì)。根據(jù)所制造的多孔陶瓷燒結(jié)體的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔的孔徑等，而對海綿的孔徑等進(jìn)行選擇即可，通?？梢允褂镁€徑為0.05~lmm尤其為0.1~0.3mm左右、且容積密度為0.02-0.05g/cn^左右的海綿。如圖1所示，在多孔合成樹脂板、石膏板等吸水性多孔板1上設(shè)置框2,從而構(gòu)成淺容器形狀的成形模3。在該成形模3內(nèi)注入規(guī)定量的所述泥漿4之后，將海綿5緩緩地沉入該泥漿4中并使海綿5浸漬于泥漿。另外，也可以在成形模3內(nèi)預(yù)先放置海綿5，之后注入泥漿并使其浸漬。在該狀態(tài)下^f吏多孔板1吸收泥漿中的一部分水分，浸漬泥漿的海綿成為能保持形狀的成形體后，進(jìn)行脫模，然后使成形體干燥。脫模時的水分只要為18~25重量％左右，則成形體就具有不礙操作的保形性。對成形體進(jìn)行干燥后，通過優(yōu)選在1050~1250。C左右、特優(yōu)選在1100~1220。C左右的溫度下燒成8~20小時，從而制造多孔陶瓷燒結(jié)體(原板)。當(dāng)燒成時合成樹脂海綿被氧化燒毀，海綿的燒毀痕跡作為氣孔殘留，從而獲得由多孔陶瓷燒結(jié)體構(gòu)成的原板。(2)使用燒成骨料的方法該方法是使用由上述的氧化鋰系陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成的骨料的方法。該氧化鋰系陶資燒結(jié)體優(yōu)選為，使用與所述泥漿的原料相同的物質(zhì)，即相對于50~90重量％、優(yōu)選是60~80重量％的透鋰長石，作為熔劑混合優(yōu)選是5~30重量％、特優(yōu)選是10~25重量％的玻璃粉，同時還混合了優(yōu)選是3~20重量％、特優(yōu)選是5~15重量％的粘土，再添加水以及根據(jù)需要添加聚乙烯醇、曱基纖維素等成形助劑后進(jìn)行混合的混合物，對該混合物進(jìn)行成形，干燥后在同樣的燒成條件下進(jìn)行燒成，根據(jù)需要對所得的燒成品進(jìn)行粉碎，通過篩選成目標(biāo)粒度而進(jìn)行了整粒的物質(zhì)。目標(biāo)粒度優(yōu)選為，各粒子的粒徑在0.38mm、尤其在0.5~5mm的范圍內(nèi)。另外，在用轉(zhuǎn)動造粒等造粒法的情況下，通過以預(yù)先制成目標(biāo)粒度的方式來進(jìn)行造粒，而不需要粉碎和整粒。在用噴霧干燥法進(jìn)行成形和干燥的情況下，也通過以制成目標(biāo)粒度的方式來進(jìn)行噴霧干燥操作，而不需要粉碎和整粒。以相對于100重量份的骨料，泥漿為20~40重量份、尤其為25~35重量份的比例，對該骨料以及與所述(1)使用的相同泥漿進(jìn)行混合，乂人而制成混合漿液。將該混合漿液注入與圖1所示的相同的成形模3中，并且使成型模3吸收水分至成形體具有保形性的程度為止，然后進(jìn)行脫模、干燥后，通過進(jìn)行與上述(l)同樣的燒成而制造多孔陶瓷燒結(jié)體。與骨料相比，在該骨料粒子之間存在的泥漿干燥物的容積密度非常小，通過燒成而成為多孔。因此，在所得燒結(jié)體中，骨料之間的來自泥漿干燥物的部分就成為具有連通氣孔的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的多孔部分。(3)使用非燒成骨料的方法該方法是在所述(2)的方法中，使用非燒成骨料來代替燒成骨料的方法。該非燒成骨料優(yōu)選為，使用與所述(1)的泥漿的原料相同的物質(zhì)，即相對于50~90重量％、優(yōu)選是60~80重量％的透鋰長石，作為熔劑混合了優(yōu)選是5~30重量％、特優(yōu)選是10~25重量％的玻璃粉，并混合了優(yōu)選是3~20重量％、特優(yōu)選是5~15重量％的粘土，并添加水以及根據(jù)需要添加聚乙烯醇、曱基纖維素等成形助劑后進(jìn)行混合的混合物，對該混合物進(jìn)行成形和干燥，根據(jù)需要進(jìn)行粉碎，篩選成目標(biāo)粒度而進(jìn)行了整粒的物質(zhì)。作為目標(biāo)粒度優(yōu)選為，各粒子的粒徑在0.3~8mm尤其在0.5~5mm的范圍內(nèi)。另外，在使用轉(zhuǎn)動造粒等造粒法的情況下，通過以預(yù)先制成目標(biāo)粒度的方式來進(jìn)行造粒，而不需要粉碎和整粒。在使用噴霧干燥法進(jìn)行成形和干燥的情況下，也通過以制成目標(biāo)粒度的方式來進(jìn)行噴霧干燥操作，而不需要粉碎和整粒。以相對于100重量份的非燒成骨料，泥漿為20-40重量份、尤其為25-35重量份的比例，對該非燒成骨料以及與所述(1)使用的相同的泥漿進(jìn)行混合，/人而制成混合漿液。通過使用該混合漿液，進(jìn)行與所述(2)同樣的成形、干燥和燒成，從而制造多孔陶瓷燒結(jié)體。即使在該燒結(jié)體中，來自混合泥漿中的泥漿部分也會成為具有連通氣孔的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。另外，與來自所述(2)的燒成骨料的部分相比，來自非燒成骨料的部分也變得通氣性很高。利用平面研磨盤等，對由所述(l)~(3)中制造的多孔陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成的原板進(jìn)行研磨，使表面粗糙度Ra優(yōu)選為0.1~20|am，特優(yōu)選為0.1~10pm，乂人而制造玻璃基板熱處理平臺。在上述條件制造的氧化鋰系多孔陶瓷，在20°C~60(TC的熱膨脹系數(shù)為0~10xl(rV。C，具有優(yōu)良的耐熱沖擊性。并且，楊氏模量為530GPa尤其為10-25GPa左右，即使在發(fā)生翹曲的情況下，若放置在平坦面上會發(fā)生彈性變形，從而與該平坦面完全重合而變得平坦。尤其是，若平臺的厚度t和長邊的長度(正方形時為一邊的長度)L之比t/L為0.01以下，尤其為0.005以下的薄板狀時，則以放置在平坦面上時易于發(fā)生彈性變形而與該平坦面重合。但是，若t/L過小則平臺的強(qiáng)度就會不足，因此優(yōu)選為0.003以上。并且，該平臺的厚度t優(yōu)選為315mm、特優(yōu)選為5~10mm的程度。該氧化鋰系多孔陶覺將通過研磨而在其表面露出三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的氣孔。在表面露出的連通氣孔，由于空氣容易進(jìn)出，因此可以防止在平臺上裝載玻璃基板時發(fā)生玻璃基板的滑動(slip)。另外，該連通氣孔可吸收或保存在玻璃基板的熱處理過程中產(chǎn)生的低熔點(diǎn)金屬的蒸氣和其它的升華物，因此防止或抑制這些物質(zhì)沉積在玻璃基板的表面上。由此可以制造高質(zhì)量的熱處理玻璃基板。另外，構(gòu)成本發(fā)明的平臺的陶瓷燒結(jié)體可以是(3-鋰輝石(Li20A1203'4Si02)系陶瓷或卩-鋰霞石(Li20.A1203.2Si02)系陶資，其全都是氧化鋰系陶資，通過對透鋰長石、玻璃粉、粘土的混合比例進(jìn)行適當(dāng)變更，就能夠在不改變制造設(shè)備的情況下制造平臺。以下為所制造平臺的組成的優(yōu)選范圍。Si02:65~79重量％A1203:12~23重量％Li20:3~10重量％Na20:1重量％以下K20:1重量％以下CaO:1重量％以下Fe203:1重量％以下Ti02:1重量％以下本發(fā)明的平臺可以用于各種顯示器用玻璃基板的熱處理。該平臺能夠制成可用于例如一邊為500mm以上的大型平板顯示器基板的熱處理的大小。使用該平臺對玻璃基板進(jìn)行熱處理時，將該玻璃基板裝載在平臺的上表面，放入熱處理爐內(nèi)，在規(guī)定的溫度(例如500~700°C)放置規(guī)定的時間之后，再取出即可。實(shí)施例1(利用海綿)使用表l所示組成，相對于由70重量％透鋰長石、20重量％玻璃粉和10重量％蛙目粘土組成的混合物100重量份，添加40重量份水，以及成形助劑，使用球磨才幾進(jìn)行細(xì)磨混合成平均粒徑為5pm的程度，從而制造了泥漿。以深度為1.5cm的程度，將該泥漿注入圖1所示的成形模3中。框2的內(nèi)部尺寸為300cmx350cm。然后，將線徑為0.2mm、容積密度為0.03g/cn^的用聚乙烯制造的海綿(160cmxl20cmxl.3cm)緩緩地沉入該泥漿中。放置10小時并使成形模3吸收泥漿中的水分之后，進(jìn)行脫模。脫模所得的成形體的水分為20重量％。將成形體干燥后，在11001>12小時的條件下進(jìn)行燒成，制成了由燒結(jié)體構(gòu)成的原板。使用具有金剛石磨刀石(粗糙度#100)的平面研磨盤，對該原板進(jìn)行表面研磨，制成了平臺。該平臺的厚度t為5mm,長邊的長度L為1000mm，t/L為0.005，表面粗糙度Ra為0.53pm。將該平臺水平放置，在其上表面使100x100x2mm的玻璃板垂直立起。并測量了輕壓該玻璃板，由于重力使其倒在平臺上時的滑動量(滑動距離)。其結(jié)果如表2所示。使用該平臺，在750。C對平板顯示器用玻璃基板進(jìn)行熱處理時，獲得了表面特性良好的平板顯示器用玻璃基板。在該熱處理中反復(fù)使用該平臺，并測量了三點(diǎn)彎曲強(qiáng)度的變化。其結(jié)果如表3所示。實(shí)施例2(利用燒成骨料)對表1的70重量份透鋰長石、20重量份玻璃粉和10重量份粘土進(jìn)行干混之后，加壓制成了板狀，然后在1100°Cxl2小時的條件下進(jìn)行了燒成。對燒成品進(jìn)行粉碎，并且篩選成0.55mm，進(jìn)行整粒。與實(shí)施例l使用相同的物質(zhì)，對30重量份的泥漿和IOO重量份的所述燒成骨料進(jìn)行混合，制成了漿液。將該漿液注入圖1所示的成型模3中，進(jìn)行了成形、脫模、干燥。然后，利用與實(shí)施例l相同的條件進(jìn)行燒成和研磨，從而制造了平臺。平臺的厚度t為5mm，長邊的長度L為1000mm,t/L為0.005。表2表示對該平臺的容積密度、空氣透過率、20600。C的熱膨脹系數(shù)、三點(diǎn)彎曲強(qiáng)度、楊氏模量、翹曲以及在玻璃基板熱處理中使用100次后的翹曲進(jìn)行測量的結(jié)果。與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行了玻璃板的滑動試驗(yàn)以及平臺的熱耐久性的測量，其結(jié)果如表2、3所示。實(shí)施例3(利用非燒成骨料)對與實(shí)施例1所使用的相同的泥漿進(jìn)行加熱干燥，制成了板狀后進(jìn)行粉碎，并且篩選成0.55mm,進(jìn)行整粒。對與實(shí)施例1所使用的相同的40重量份泥漿和100重量份的所述非燒成骨料進(jìn)行混合，制成了漿液。將該漿液注入圖l所示的成型模3中，進(jìn)行了成形、脫模、干燥。然后，利用與實(shí)施例1相同的條件進(jìn)行燒成和研磨，從而制造了平臺。平臺的厚度t為5mm,長邊的長度L為1000mm，t/L為0.005。表2表示對該平臺的容積密度、空氣透過率、2060(TC的熱膨脹系數(shù)、三點(diǎn)彎曲強(qiáng)度、楊氏模量、翹曲以及在玻璃基板熱處理中使用IOO次后的翹曲進(jìn)行測量的結(jié)果。另外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行了玻璃板的滑動試驗(yàn)以及平臺的熱耐久性的測量，其結(jié)果如表2、3所示。比豐交例1除了不浸漬海綿僅使用泥漿之外，與實(shí)施例1同樣地制造了平臺。平臺的厚度t為5mm，長邊的長度L為1000mm，t/L為0.005。表2表示對該平臺的容積密度、空氣透過率、20600。C的熱膨脹系數(shù)、三點(diǎn)彎曲強(qiáng)度、楊氏模量、翹曲以及在玻璃基板熱處理中使用100次后的翹曲進(jìn)行測量的結(jié)果。而且，表2、3表示滑動試驗(yàn)以及平臺的熱耐久性試驗(yàn)的結(jié)果。<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>從表2中可以明確，與比較例l相比，放置在實(shí)施例l-3所涉及的平臺上的玻璃板更難以滑動。另外，將實(shí)施例1~3的平臺放置在金屬制的定盤上時，以完全緊貼的狀態(tài)重合，其翹曲為0。從表3中可以明確，實(shí)施例1~3的平臺與比較例1相比更具有優(yōu)良的耐熱耐久性，即，實(shí)施例1~3的平臺即使被使用IOO次，其彎曲強(qiáng)度也幾乎不下降。相對于此，比較例1的平臺雖然初期強(qiáng)度較高，但若使用100次則彎曲強(qiáng)度將降低至最初的1/2以下。權(quán)利要求1、一種玻璃基板熱處理平臺，是用于在其上表面裝載玻璃基板進(jìn)行熱處理的平臺，由板狀的陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，由在20～600℃中的熱膨脹系數(shù)為0～10×10-7/℃，并且具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔的多孔陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，空氣透過率為0.5~10xl(T3cm2。3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，該平臺上表面的表面粗糙度Ra為0.1~20pm。4、根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，所述陶瓷燒結(jié)體為透鋰長石系陶瓷燒結(jié)體。5、根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，所述陶資燒結(jié)體的楊氏模量為5-30GPa。6、根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，該平臺的厚度t與長邊的長度L之比t/L為0.01以下。7、一種玻璃基板熱處理平臺的制造方法，用于制造權(quán)利要求l至6中任一項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，將浸漬有原料粉泥漿的合成樹脂海綿，進(jìn)行干燥之后燒成，然后研磨表面，從而制造玻璃基板熱處理平臺。8、一種玻璃基板熱處理平臺的制造方法，用于制造權(quán)利要求l至6中任一項(xiàng)的玻璃基板熱處理平臺，其特征在于，對原料的粒狀成形體和/或粒狀燒成品與原料粉的泥漿進(jìn)行混合，將該混合物成形為板狀成形體，進(jìn)行干燥之后燒成，然后研磨表面，從而制造玻璃基板熱處理平臺。9、一種玻璃基板的熱處理方法，其特征在于，在權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的玻璃基板熱處理平臺上裝載玻璃基板進(jìn)行熱處理。全文摘要本發(fā)明提供一種平板顯示器基板等玻璃基板難以滑動的玻璃基板熱處理平臺，是一種用于在其上表面裝載玻璃基板進(jìn)行熱處理的平臺，該玻璃基板熱處理平臺由在20～600℃時的熱膨脹系數(shù)為0～10×10^-7/℃，并且具有三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的連通氣孔的多孔陶瓷燒結(jié)體所構(gòu)成。其空氣透過率優(yōu)選為0.5～10×10^-3cm²。并且優(yōu)選由氧化鋰系燒結(jié)體所構(gòu)成。文檔編號C04B38/00GK101519314SQ20091012601公開日2009年9月2日申請日期2009年2月27日優(yōu)先權(quán)日2008年2月29日發(fā)明者佐藤一博,外山公也,村口幸人,長浜真之介申請人:株式會社伊奈