專利名稱：基板切割設(shè)備和基板切割方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過在基板上形成切割線(scribe line)并且沿所述切 割線斷開基板的用于切割基板的基板切割設(shè)備和基板切割方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示裝置包括具有插在一對相互粘接的玻璃基板之間的液晶的 顯示板。包含在所述顯示板中的玻璃基板是通過將母玻璃基板切割成具 有預(yù)定尺寸的玻璃基板、之后將玻璃基板粘接在一起而制造出來的。
還通過將大尺寸母玻璃基板相互粘接從而形成粘接的母玻璃基板、之 后將粘接的母玻璃基板的每個(gè)母玻璃基板切割成具有預(yù)定尺寸的玻璃基 板而制造出所述的顯示板。
圖20示出了在劃線步驟中使用的傳統(tǒng)母玻璃基板上所形成的待劃線 的多條線。
母玻璃基板l具有矩形形狀。例如，在劃線步驟中，按特定順序在豎 直方向(即，沿短邊的方向)沿待劃線的線L1-L4形成切割線，之后，按特定順序在水平(橫向)方向(即，沿長邊的方向)沿待劃線的線L5-L8 形成切割線。之后，在斷開步驟中，通過沿切割線向母玻璃基板l施加彎 曲應(yīng)力而將母玻璃基板斷開。
通過在執(zhí)行劃線步驟之后執(zhí)行斷開步驟，將母玻璃基板l切割成四個(gè) 基板la。
用于母玻璃基板l的劃線步驟是，例如，通過劃線裝置將母玻璃基板l 劃線的步驟，所述劃線裝置包括沿水平方向旋轉(zhuǎn)的具有母玻璃基板l安裝 于其上的轉(zhuǎn)臺(tái)以及沿預(yù)定水平方向往復(fù)移動(dòng)的劃線器件。
通過沿形成在母玻璃基板l上的切割線施加彎曲力矩而執(zhí)行用于母玻 璃基板l的斷開步驟。
下面將描述劃線步驟和斷開步驟的細(xì)節(jié)。
母玻璃基板l被固定在可沿水平方向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)臺(tái)上。例如，刀輪尖部 按特定順序沿豎直方向沿待劃線的線L1-L4形成四個(gè)切割線。之后，使得 母玻璃基板1被安裝于其上的轉(zhuǎn)臺(tái)沿水平方向旋轉(zhuǎn)90度的角度。按特定順 序沿橫向方向沿待劃線的線L5-L8形成四個(gè)切割線。或者，也可沿橫向方 向沿待劃線的線L5-L8分別形成四個(gè)切割線，之后，使得母玻璃基板l被 安裝于其上的轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)90度的角度，之后沿豎直方向沿待劃線的線L1-L4 分別形成切割線。以這種方式，執(zhí)行劃線步驟。
通常，在刀輪尖部按壓在母玻璃基板l表面上的情況下通過旋轉(zhuǎn)刀輪 尖部而形成切割線。豎直裂紋沿母玻璃基板l的厚度方向從切割線處延 伸。在母玻璃基板l上形成切割線之后，母玻璃基板l被彎曲以使得母玻璃 基板變形從而沿母玻璃基板l上所形成的切割線施加彎曲力矩。在劃線步 驟中通過從切割線處延伸豎直裂紋而使得母玻璃基板l沿切割線被斷開， 以使得豎直裂紋達(dá)到與其上形成有母玻璃基板l的切割線的側(cè)部相對的 側(cè)部的表面。以這種方式，執(zhí)行斷開步驟。
在執(zhí)行劃線步驟之后通過執(zhí)行斷開步驟，將母玻璃基板l切割成四個(gè)
基板la。
日本專利No. 2785906 (專利文獻(xiàn)l)披露了，作為從玻璃板中取出用 于磁盤和光盤的圓形形狀玻璃基板的方法，在相對于玻璃板的厚度成角 度的切割線(切割線)被形成為閉合曲線之后(劃線步驟)玻璃板被加 熱(斷開步驟)。
如圖20中所示的，在其中彼此相交的切割線被形成在母玻璃基板上的 劃線方法中，通常母玻璃基板l被固定在預(yù)定臺(tái)上。使得諸如劃線切割刀 的切割線形成裝置相對于固定在臺(tái)上的母玻璃基板l線性移動(dòng)。因此，在 沿母玻璃基板l的豎直方向或橫向方向形成切割線之后，其上安裝有母玻 璃基板的臺(tái)旋轉(zhuǎn)90度的角度。之后沿與先前形成切割線所沿的方向垂直 的方向形成切割線。
申請人研發(fā)了在沿易碎材料基板(諸如日本專利No. 3074143中所披露 的母玻璃基板)的厚度方向形成豎直裂紋方面具有高能力的刀輪尖部。 然而，當(dāng)使用這樣一種刀輪尖部執(zhí)行交叉劃線時(shí)，存在這樣一種可能性， 即，在通過沿第一方向劃線和沿第二方向劃線所形成的母玻璃基板l中的 交叉點(diǎn)處可出現(xiàn)碎裂。當(dāng)沿第一方向執(zhí)行劃線時(shí)，已經(jīng)形成了豎直裂紋，所述豎直裂紋達(dá)到 了大致相當(dāng)于母玻璃基板l中的板的厚度的深度。因此，在沿第二方向執(zhí) 行劃線的同時(shí)當(dāng)?shù)遁喖獠窟_(dá)到沿第一方向的切割線附近時(shí)，母玻璃基板l 下沉。因此，當(dāng)?shù)遁喖獠吭诘谝环较蜓厍懈罹€移動(dòng)到玻璃基板上時(shí)在第 一方向和第二方向的切割線的交叉點(diǎn)處出現(xiàn)所述碎裂。
在用于切割母玻璃基板的方法中，將其放置在用于執(zhí)行斷開步驟的斷 開設(shè)備的臺(tái)上，同時(shí)通過沿所形成的切割線施加彎曲力矩而使得豎直裂 紋從而顛倒母玻璃基板的前后表面，由于基板的競爭運(yùn)動(dòng)可容易出現(xiàn)碎 裂。
而且，如專利文獻(xiàn)l中所披露的，在形成相對于玻璃板成角度的切割 線(切割線)之后從玻璃板中取出具有圓形形狀的玻璃基板的方法中， 需要專用切割線形成裝置(諸如專用劃線切割刀)以形成相對于玻璃基 板的厚度方向成角度的切割線(切割線)。由于作為從玻璃板中切割下 來的產(chǎn)品的具有圓形形狀的玻璃板的切割面是成角度的，因此需要研磨 步驟以使得切割面變成為與具有圓形形狀的玻璃基板的表面垂直的端表 面。
考慮到上述問題作出了本發(fā)明。本發(fā)明的目的是提供一種基板切割設(shè) 備和基板切割方法，所述設(shè)備和方法能夠容易地沿切割線斷開基板從而 不會(huì)由于基板的競爭運(yùn)動(dòng)而在基板中出現(xiàn)碎裂，并且切割基板以使得基 板的端表面垂直于基板的表面
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的基板切割設(shè)備包括用于在基板上形成切割線的切割線形成
裝置；以及用于沿所述切割線斷開基板的斷開裝置，其中，所述斷開裝 置包括用于噴射溫度足以使得基板在基板上所形成的切割線上膨脹的熱 流體的裝置，從而使得從切割線延伸的豎直裂紋沿基板的厚度方向進(jìn)一 步延伸。
切割線至少包括第一線部分和第二線部分，第一線部分和第二線部分 相互交叉并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；以及在切割線形成裝 置與基板隔開的同時(shí)，切割線形成裝置形成第一線部分和第二線部分。
切割線包括第一線部分和第二線部分，第一線部分和第二線部分相互 交叉并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；以及在切割線形成裝置未 與基板隔開的同時(shí)，切割線形成裝置形成第一線部分和第二線部分。
切割線還包括流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部 的曲線部分；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接，沿限定基 板上的預(yù)定區(qū)域的邊界線形成曲線部分，至少邊界線的一部分是曲線并 且至少邊界線的一部分流暢地連接于邊界線的另一部分；以及切割線形 成裝置形成第一線部分、曲線部分和第二線部分。
切割線還包括第三線部分、第一曲線部分和第二曲線部分，第一線部 分、第二線部分和第三線部分相互交叉，并且每個(gè)部分都是直線、曲線 或其組合；第一線部分、第二線部分和第三線部分至少限定了基板上具 有多邊形形狀的第三區(qū)域的一部分；第一線部分的端部與第二線部分的 端部相連接，第二線部分的另一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第 一曲線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部分；沿限定基板上的第一區(qū)域的第一邊界線形成第一曲線部分，第 一邊界線的至少一部分是曲線，并且第一邊界線的至少一部分流暢地連 接于第一邊界線的另一端部；第二曲線部分是流暢地連接于第二線部分 的另一端部和第三線部分的端部的曲線部分；沿限定基板上的第二區(qū)域 的第二邊界線形成第二曲線部分，第二邊界線的至少一部分是曲線，并 且第二邊界線的至少一部分流暢地連接于第二邊界線的另一部分；第一 區(qū)域、第二區(qū)域和第三區(qū)域是不相互重疊的不同區(qū)域；以及切割線形成 裝置形成第一線部分、第一曲線部分、第二線部分、第二曲線部分和第 三線部分。
切割線還包括第三線部分、第四線部分、第一曲線部分、第二曲線部 分和第三曲線部分，第一線部分、第二線部分、第三線部分和第四線部 分相互交叉，并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；第一線部分、第 二線部分、第三線部分和第四線部分限定了基板上具有矩形形狀的第五 區(qū)域；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接，第二線部分的另 一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第三線部分的另一個(gè)端部與第四 線部分的端部相連接；第四線部分的另一個(gè)端部與第一線部分的另一個(gè) 端部相連接；第一曲線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線 部分的端部的曲線部分；沿限定基板上的第一區(qū)域的第一邊界線形成第 一曲線部分，第一邊界線的至少一部分是曲線，并且第一邊界線的至少 一部分流暢地連接于第一邊界線的另一端部；第二曲線部分是流暢地連 接于第二線部分的另一端部和第三線部分的端部的曲線部分；沿限定基 板上的第二區(qū)域的第二邊界線形成第二曲線部分，第二邊界線的至少一部分是曲線，并且第二邊界線的至少一部分流暢地連接于第二邊界線的
另一部分；第三曲線部分是流暢地連接于第三線部分的另一端部和第四 線部分的端部的曲線部分；沿限定基板上的第三區(qū)域的第三邊界線形成 第三曲線部分，第三邊界線的至少一部分是曲線，并且第三邊界線的至 少一部分流暢地連接于第三邊界線的另一部分；第一區(qū)域、第二區(qū)域、 第三區(qū)域和第五區(qū)域是不相互交叉重疊的不同區(qū)域，切割線形成裝置形 成第一線部分、第一曲線部分、第二線部分、第二曲線部分、第三線部 分、第三曲線部分和第四線部分。
切割線形成裝置是具有盤形形狀的劃線切割刀，并且在劃線切割刀的 外周邊表面上形成有滾動(dòng)并接觸基板表面的刀刃。 在刀刃上形成有具有預(yù)定節(jié)距的多個(gè)突起。 所述基板切割設(shè)備還包括用于加熱切割線的加熱裝置。 當(dāng)形成彎曲部分時(shí)由切割線形成裝置施加于基板的壓力低于當(dāng)形成 第一線部分和第二線部分中至少一個(gè)時(shí)由切割線形成裝置施加于基板的 壓力。
所述基板切割設(shè)備還包括用于使切割線形成裝置圍繞豎直軸旋轉(zhuǎn)的 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置。
基板切割方法包括在基板上形成切割線的切割線形成步驟；以及沿所 述切割線斷開基板的斷開步驟；其中，所述斷開步驟包括用于噴射溫度 足以使得基板在基板上所形成的切割線上膨脹的熱流體的裝置，從而使 得從切割線延伸的豎直裂紋沿基板的厚度方向進(jìn)一步延伸。切割線至少包括第一線部分和第二線部分，第一線部分和第二線部分 相互交叉并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；通過用于在基板上形 成切割線的裝置執(zhí)行切割線形成步驟；切割線形成步驟包括以下步驟 形成第一線部分；以及在形成第一線部分之后在所述裝置與基板隔開的 同時(shí)形成第二線部分。
切割線包括第一線部分和第二線部分，第一線部分和第二線部分相互 交叉并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；通過用于在基板上形成切 割線的裝置執(zhí)行切割線形成步驟；切割線形成步驟包括以下步驟形成 第一線部分；以及在形成第一線部分之后在所述裝置未與基板隔開的同 時(shí)形成第二線部分。
切割線還包括流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部 的曲線部分；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接，沿限定基 板上的預(yù)定區(qū)域的邊界線形成曲線部分，至少邊界線的一部分是曲線， 并且至少邊界線的一部分流暢地連接于邊界線的另一端部；切割線形成 步驟包括以下步驟形成第一線部分、形成曲線部分和形成第二線部分。
切割線還包括第三線部分、第一曲線部分和第二曲線部分，第一線部 分、第二線部分和第三線部分相互交叉，并且每個(gè)部分都是直線、曲線 或其組合；第一線部分、第二線部分和第三線部分至少限定了基板上具 有多邊形的第三區(qū)域的一部分；第一線部分的端部與第二線部分的端部 相連接，第二線部分的另一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第一曲 線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部 分；沿限定基板上的第一區(qū)域的第一邊界線形成第一曲線部分，第一邊界線的至少一部分是曲線，并且第一邊界線的至少一部分流暢地連接于
第一邊界線的另一端部；第二曲線部分是流暢地連接于第二線部分的另 一端部和第三線部分的端部的曲線部分；沿限定基板上的第二區(qū)域的第 二邊界線形成第二曲線部分，第二邊界線的至少一部分是曲線，并且第 二邊界線的至少一部分流暢地連接于第二邊界線的另一部分；第一區(qū)域、 第二區(qū)域和第三區(qū)域是不相互重疊的不同區(qū)域；切割線形成步驟包括以 下步驟形成第一線部分、形成第一曲線部分、形成第二線部分、形成 第二曲線部分和形成第三線部分。
切割線還包括第三線部分、第四線部分、第一曲線部分、第二曲線部 分和第三曲線部分，第一線部分、第二線部分、第三線部分和第四線部 分相互交叉，并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；第一線部分、第 二線部分、第三線部分和第四線部分限定了基板上具有矩形形狀的第五 區(qū)域；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接，第二線部分的另 一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第三線部分的另一個(gè)端部與第四 線部分的端部相連接；第四線部分的另一個(gè)端部與第一線部分的另一個(gè) 端部相連接；第一曲線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線 部分的端部的曲線部分；沿限定基板上的第一區(qū)域的第一邊界線形成第 一曲線部分，第一邊界線的至少一部分是曲線，并且第一邊界線的至少 一部分流暢地連接于第一邊界線的另一端部；第二曲線部分是流暢地連 接于第二線部分的另一端部和第三線部分的端部的曲線部分；沿限定基 板上的第二區(qū)域的第二邊界線形成第二曲線部分，第二邊界線的至少一 部分是曲線，并且第二邊界線的至少一部分流暢地連接于第二邊界線的另一部分；第三曲線部分是流暢地連接于第三線部分的另一端部和第四 線部分的端部的曲線部分；沿限定基板上的第三區(qū)域的第三邊界線形成 第三曲線部分，第三邊界線的至少一部分是曲線，并且第三邊界線的至 少一部分流暢地連接于第三邊界線的另一部分；第一區(qū)域、第二區(qū)域、 第三區(qū)域和第五區(qū)域是不相互交叉重疊的不同區(qū)域，切割線形成步驟包 括以下步驟形成第一線部分、形成第一曲線部分、形成第二線部分、 形成第二曲線部分、形成第三線部分、形成第三曲線部分和形成第四線 部分。
所述基板切割方法還包括用于加熱切割線的加熱步驟。


圖1是示出了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所涉及的基板切割設(shè)備100的結(jié)構(gòu)的 視圖。
圖2A是劃線頭20的正視圖。
圖2B是劃線頭20的底視圖。
圖3A是切割刀固定器27的局部剖視圖。
圖3B是切割刀固定器27的側(cè)視圖。
圖4A是劃線切割刀21的正視圖。
圖4B是劃線切割刀21的側(cè)視圖。
圖4C是圖4B中所示的劃線切割刀21的一部分("A"部分)的放大圖。
圖5A是劃線頭65的側(cè)視圖。
圖5B是劃線頭65的主要部分的正視圖。圖6是使用伺服馬達(dá)的劃線頭的另一個(gè)示例的劃線頭66的正視圖。
圖7是示出了包含在劃線頭20'中的豎直裂紋延伸裝置的視圖。
圖8是示出了豎直裂紋延伸裝置的另一個(gè)示例的視圖。
圖9是示出了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所涉及的用于切割基板的程序的流程圖。
圖10是示出了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的 母玻璃基板上的待劃線的線的示例的視圖。
圖11A是示出了當(dāng)通過劃線切割刀21形成切割線時(shí)出現(xiàn)的豎直裂紋的 視圖。
圖11B是示出了當(dāng)通過劃線切割刀51形成切割線時(shí)所出現(xiàn)的豎直裂紋 和水平裂紋的視圖。
圖12是示出了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用
的母玻璃基板上的待劃線的線的示例的視圖。
圖13是示出了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用
的母玻璃基板上的待劃線的線的示例的視圖。
圖14是示出了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用
的母玻璃基板上的待劃線的線的示例的視圖。
圖15是示出了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用
的母玻璃基板上的待劃線的線的示例的視圖。
圖16是示出了布置在母玻璃基板l上的九個(gè)基板la的視圖。 圖17是示出了本發(fā)明另一 個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用
的母玻璃基板l上的待劃線的線的示例的視圖。圖18是示出了本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用 的母玻璃基板l上的待劃線的線的示例的視圖。
圖19是示出了能夠切割通過粘接兩個(gè)基板所形成的粘接基板的基板 切割設(shè)備的一部分的視圖。
圖20是示出了位于劃線步驟中所使用的傳統(tǒng)母玻璃基板上的待劃線 的線的示例的視圖。
具體實(shí)施例方式
在下文中，將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。 1.基板切割設(shè)備
圖1示出了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所涉及的基板切割設(shè)備100的結(jié)構(gòu)。 基板切割設(shè)備100包括臺(tái)31、導(dǎo)軌32、導(dǎo)軌33、滑動(dòng)器34、滑動(dòng)器35、
導(dǎo)向桿36和線性馬達(dá)37以及線性馬達(dá)38。
基板切割設(shè)備100切割母玻璃基板1以便于制造出用于液晶顯示裝置
的玻璃基板。
母玻璃基板1被放置在臺(tái)31上。 導(dǎo)軌32和導(dǎo)軌33被平行地設(shè)置在臺(tái)31的兩側(cè)上。 滑動(dòng)器34被設(shè)置在導(dǎo)軌32上以使得滑動(dòng)器34沿導(dǎo)軌32可滑動(dòng)。 滑動(dòng)器35被設(shè)置在導(dǎo)軌33上以使得滑動(dòng)器35沿導(dǎo)軌33可滑動(dòng)。 線性馬達(dá)37包括定子和動(dòng)子。定子沿導(dǎo)軌32被布置。動(dòng)子沿定子移動(dòng)。
線性馬達(dá)37使得安裝于定子的滑動(dòng)器34沿導(dǎo)軌32滑動(dòng)。線性馬達(dá)38包括定子和動(dòng)子。定子沿導(dǎo)軌33被布置。動(dòng)子沿定子移動(dòng)。 線性馬達(dá)38使得安裝于定子的滑動(dòng)器35沿導(dǎo)軌33滑動(dòng)。
導(dǎo)向桿36被水平地橋接在滑動(dòng)器34的上端部分和滑動(dòng)器35的上端部 分之間。
劃線頭20被安裝于導(dǎo)向桿36以使得劃線頭20沿導(dǎo)向桿36可移動(dòng)。稍后 將詳細(xì)描述劃線頭20的結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。
基板切割設(shè)備100還包括控制部分?？刂撇糠职ǖ谝或?qū)動(dòng)器41、第 二驅(qū)動(dòng)器42、滑動(dòng)器傳感器43、控制器44、劃線頭驅(qū)動(dòng)馬達(dá)45和第三驅(qū) 動(dòng)器47。
控制器44控制第一驅(qū)動(dòng)器41、第二驅(qū)動(dòng)器42和第三驅(qū)動(dòng)器47。 第一驅(qū)動(dòng)器41根據(jù)控制器44的控制驅(qū)動(dòng)線性馬達(dá)37。第二驅(qū)動(dòng)器42
根據(jù)控制器44的控制驅(qū)動(dòng)線性馬達(dá)38。
滑動(dòng)器傳感器43被設(shè)置在導(dǎo)軌32的旁邊?；瑒?dòng)器傳感器43檢測在導(dǎo)軌
32上滑動(dòng)的滑動(dòng)器34的位置并且向控制器44輸出表示所檢測的位置的數(shù)據(jù)。
第三驅(qū)動(dòng)器47根據(jù)控制器44的控制驅(qū)動(dòng)劃線頭驅(qū)動(dòng)馬達(dá)45。 劃線頭驅(qū)動(dòng)馬達(dá)45被設(shè)置在滑動(dòng)器34上。劃線頭驅(qū)動(dòng)馬達(dá)45使得滾珠
絲杠46旋轉(zhuǎn)。劃線頭20隨著滾珠絲杠46的旋轉(zhuǎn)沿導(dǎo)向桿36往復(fù)移動(dòng)。 圖2A示出了劃線頭20的正面。圖2B示出了劃線頭20的底部。 劃線頭20包括頭主體部分22、軸承殼26、阻滯軸25、切割刀固定器27、
劃線切割刀21、激勵(lì)裝置30以及豎直裂紋延伸裝置。稍后將詳細(xì)描述豎
直裂紋延伸裝置的細(xì)節(jié)。頭主體部分22包括主軸23和軸承24，所述主軸23被水平地插入頭主體 部分22。凹槽部分29被形成在頭主體部分22的下部中。軸承殼26被容納 在凹槽部分29中。
阻滯軸25以與主軸23平行的方式被設(shè)置在頭主體部分中。 軸承殼26圍繞主軸23的軸線在被阻滯軸25阻滯的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。軸承殼 26的端部分與主軸23相連接而軸承殼26的另一個(gè)端部分與阻滯軸25相接 觸。軸承殼26容納切割刀固定器27以使得切割刀固定器27可相對于軸承 殼26旋轉(zhuǎn)。
切割刀固定器27包括切割刀固定器主體部分27a和旋轉(zhuǎn)軸27c。切割刀 固定器27通過軸承28被安裝于軸承殼26并且圍繞旋轉(zhuǎn)軸27c旋轉(zhuǎn)。切割刀 固定器主體部分27a與具有垂直于母玻璃基板l表面的軸線的旋轉(zhuǎn)軸27c 整體形成。稍后將描述切割刀固定器27的細(xì)節(jié)。
激勵(lì)裝置30被設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸27c的上方。激勵(lì)裝置30例如為空氣氣缸。 當(dāng)激勵(lì)裝置30向軸承殼26施力時(shí)，預(yù)定載荷通過旋轉(zhuǎn)軸27c和切割刀固定 器27被施加于劃線切割刀21。
劃線切割刀21在母玻璃基板1上形成切割線。劃線切割刀21例如為金 剛石點(diǎn)切割刀或刀輪尖部。劃線切割刀21被設(shè)置得圍繞旋轉(zhuǎn)軸19可旋轉(zhuǎn)， 并且由切割刀固定器27保持。
圖3A是切割刀固定器27的局部剖視圖。圖3B是切割刀固定器27的側(cè)視 圖。在圖3A和圖3B中，與圖2A和圖2B中相同的部件由相同的附圖標(biāo)記表切割刀固定器27包括切割刀固定器主體部分27a和旋轉(zhuǎn)軸27c。向下敞 開的凹槽部分27b被形成在切割刀固定器主體部分27a的下部。向上延伸 的旋轉(zhuǎn)軸27c被形成在切割刀固定器主體部分27a的上部。旋轉(zhuǎn)軸27c通過 軸承28被軸承殼26可旋轉(zhuǎn)地保持。劃線切割刀21 (例如，盤形形狀的刀 輪尖部)圍繞旋轉(zhuǎn)軸19被旋轉(zhuǎn)地安裝在凹槽部分27b中。劃線切割刀21被 保持得使得劃線切割刀21的刀刃的脊部垂直于母玻璃基板1。
圖4A是劃線切割刀21的正視圖。圖4B是劃線切割刀21的側(cè)視圖。圖4C 是圖4B中所示的劃線切割刀21的一部分("A"部分)的放大圖。
劃線切割刀21例如是刀輪尖部。本申請人的日本專利No. 3074143披露 了圖4A-4C中所示的劃線切割刀21。
在劃線切割刀21的盤形形狀的輪(直徑f、厚度W)的外周邊表面上， 刀刃21b被設(shè)在以"V"形狀向外突出的刀刃的脊部21a上。刀刃21b具有 鈍角。
通過在刀刃的脊部形成凹槽，以預(yù)定節(jié)距向外突出的多個(gè)突起j被形 成在刀刃21b上。多個(gè)突起j具有大約數(shù)微米的尺寸并且不能由肉眼識(shí)辨。
劃線切割刀21具有沿易碎材料基板的厚度方向在易碎材料基板(例 如，母玻璃基板l)上形成豎直裂紋的非常高的能力。因此，可形成具有 較深深度的豎直裂紋。而且，可限制沿易碎材料的表面在水平方向上出 現(xiàn)裂紋。
已參照圖2A、 2B、 3A、 3B、 4A、 4B和4C描述了包含在基板切割設(shè)備100 中的劃線頭20。包含在基板切割設(shè)備100中的劃線頭的結(jié)構(gòu)不局限于劃線頭20的結(jié)構(gòu)。
在下文中，將描述劃線頭65的結(jié)構(gòu)。劃線頭65的結(jié)構(gòu)不同于劃線頭20 的結(jié)構(gòu)。
圖5A是劃線頭65的側(cè)視圖。圖5B是劃線頭65的主要部分的正視圖。
劃線頭65包括一對側(cè)壁65a、伺服馬達(dá)65b、固定器保持組件65c、主 軸65d、軸65e、劃線切割刀62a、切割刀固定器62b和一對扁平傘齒輪65f 。
伺服馬達(dá)65b在這對側(cè)壁65a之間被保持在懸掛的倒置狀態(tài)下。在這對 側(cè)壁65a的下部，從側(cè)視圖中看來為L形狀的固定器保持組件65c被可旋轉(zhuǎn) 地設(shè)置在主軸65d周圍。
切割刀固定器62b可旋轉(zhuǎn)地圍繞軸65e支撐劃線切割刀62a。切割刀固 定器62b被安裝在固定器保持組件65c的前部(即，圖5B中的右手側(cè))。
伺服馬達(dá)65b根據(jù)對母玻璃基板l進(jìn)行劃線時(shí)劃線切割刀62a接收的阻 力的波動(dòng)響應(yīng)于劃線壓力中的變化立刻調(diào)節(jié)伺服馬達(dá)65b的旋轉(zhuǎn)扭矩。
i^對扁平傘齒輪65f中的一個(gè)被安裝到伺服馬達(dá)65b的旋轉(zhuǎn)軸而這對 扁平傘齒輪65f中的另一個(gè)被安裝到主軸65d以使得這對扁平傘齒輪65f 相互嚙合。因此，當(dāng)伺服馬達(dá)沿前后方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，固定器保持組件65c以 主軸65d作為樞軸上下移動(dòng)。因此，劃線切割刀62相對于母玻璃基板1的 表面上下移動(dòng)。
圖6是使用伺服馬達(dá)的劃線頭的另一個(gè)示例的劃線頭66的正視圖。 在圖6中，與圖5A和5B中相同的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且將 省略其描述。如圖6中所示的，劃線頭66的伺服馬達(dá)65b的旋轉(zhuǎn)軸被直接連接于固定 器保持組件65c。
在下文中，將參照圖5A、 5B和6詳細(xì)描述劃線頭65和66的運(yùn)行。
當(dāng)劃線頭65和66在定位控制模式下驅(qū)動(dòng)伺服馬達(dá)65b時(shí)，劃線切割刀 62a上下移動(dòng)從而依此定位。
在其中通過劃線頭65和66將切割線形成在母玻璃基板1上的劃線步驟 中，當(dāng)劃線切割刀62a的位置移動(dòng)得遠(yuǎn)離在伺服馬達(dá)65b中的位置時(shí)，伺 服馬達(dá)65b產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)扭矩以便于使得劃線切割刀62a返回到原始設(shè)定位 置。伺服馬達(dá)65b的驅(qū)動(dòng)控制部分控制旋轉(zhuǎn)扭矩以使得旋轉(zhuǎn)扭矩不超過設(shè) 定值。受控的旋轉(zhuǎn)扭矩作為用于母玻璃基板l的劃線壓力被傳輸?shù)降遁?62a。也就是說，伺服馬達(dá)65b向劃線切割刀62a施加按壓母玻璃基板l的 壓力，以及沿垂直方向控制刀輪62a的位置。
劃線頭65和66包括伺服馬達(dá)65b。因此，劃線頭65和66可根據(jù)對母玻 璃基板l進(jìn)行劃線時(shí)劃線切割刀62a接收的阻力的波動(dòng)響應(yīng)于劃線壓力的 變化立刻調(diào)節(jié)伺服馬達(dá)65b的旋轉(zhuǎn)扭矩。因此，執(zhí)行穩(wěn)定的劃線以便于以 高質(zhì)量形成切割線。
圖7示出了包含在劃線頭20'中的豎直裂紋延伸裝置的視圖。在圖7中， 與圖1和2A中相同的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且將省略其描述。
劃線頭20'被設(shè)在導(dǎo)向桿36上并且還用作用于斷開母玻璃基板1的斷 開裝置。
蒸汽產(chǎn)生設(shè)備52是豎直裂紋延伸裝置。蒸汽產(chǎn)生設(shè)備52作為用于斷開 母玻璃基板l的裝置產(chǎn)生蒸汽。通過將蒸汽噴射在母玻璃基板l上所形成的切割線上，蒸汽產(chǎn)生設(shè)備
52產(chǎn)生沿母玻璃基板1的厚度方向從切割線處延伸的豎直裂紋。所噴射的 蒸汽具有足以膨脹母玻璃基板1的溫度。
蒸汽產(chǎn)生設(shè)備52包括主體部分52a、用于使得蒸汽穿過整體安裝于用 于固定劃線切割刀21的切割刀固定器27的噴嘴頭52c的軟管52b、以及用 于向下噴射蒸汽的噴嘴部分52d。
主體部分52a被安裝于頭主體部分22。
軟管52b的一個(gè)端部被設(shè)置到主體部分52a。軟管52b的另一個(gè)端部與 噴嘴頭52c相連接。
噴嘴頭52c隨著切割刀固定器27圍繞沿豎直方向的軸線整體旋轉(zhuǎn)。軟 管52b的另一個(gè)端部與噴嘴頭52c相連接以便于成環(huán)形的。噴嘴部分52d被 設(shè)在噴嘴頭52c的下部。
在噴嘴部分52d中，蒸汽噴射開口被形成為圓形、橢圓形、矩形或狹 縫形狀。
噴嘴部分52d將蒸汽噴射到劃線切割刀21所形成的切割線上，以便于 加熱切割線。
圖8是示出了豎直裂紋延伸裝置的另一個(gè)示例的視圖。 如圖8中所示的，取代包含在劃線頭20'中的蒸汽產(chǎn)生裝置52包括一個(gè) 噴嘴部分52d的結(jié)構(gòu)(見圖7)，蒸汽產(chǎn)生設(shè)備52可包括劃線頭和與劃線 頭相分離的噴嘴單元53。噴嘴單元53包括多個(gè)噴嘴部分52d。噴嘴單元53 被設(shè)在導(dǎo)向桿36上。隨著導(dǎo)向桿36沿Y方向移動(dòng)，蒸汽被噴射到其上已形 成有切割線的母玻璃基板l的表面上。取代上述噴嘴單元，也可設(shè)置具有已沿圖8中所示的Y方向被形成在蒸 汽噴射開口上的狹縫的元件。
依照本發(fā)明的基板切割設(shè)備，具有足以膨脹母玻璃基板l的溫度的蒸 汽被噴射到母玻璃基板上的切割線上。這使得豎直裂紋沿基板的厚度方 向從切割線處延伸。
由于毛細(xì)作用現(xiàn)象，噴射到具有約數(shù)微米開口的豎直裂紋上的蒸汽滲 透到豎直裂紋中。所滲透的液體膨脹(體積膨脹)。因此，豎直裂紋延 伸到母玻璃基板l的后表面。
而且，作為切割輔助裝置，劃線頭可包括取代蒸汽使用激光束的激光 振蕩器以便于加熱切割線。劃線頭20可包括用于干燥濕氣的激光振蕩器。
因此，在沒有沿切割線機(jī)械地施加彎曲力矩的情況下，豎直裂紋可沿 基板的厚度方向延伸。
因此，通過沿切割線容易地?cái)嚅_基板可切割基板，以使得不會(huì)由于基 板的競爭移動(dòng)而出現(xiàn)碎裂。
在圖l、 2A、 3B和7所示示例中，劃線切割刀21用作"用于在基板上形 成切割線的切割線形成裝置"。蒸汽產(chǎn)生裝置用作"用于沿切割線斷開 基板的斷開裝置"。噴嘴部分52d用作"用于通過將加熱流體噴射到基板 上所形成的切割線上得豎直裂紋沿基板的厚度方向從切割線處延伸的延 伸裝置，加熱流體具有足以使得基板膨脹的溫度"。然而，包含在本發(fā) 明基板切割設(shè)備中的每個(gè)組件不周限于圖l、 2A、 3B和7中所示的組件。
只要包含在基板切割設(shè)備中的每個(gè)組件用作上述"用于在基板上形成 切割線的切割線形成裝置"、"用于沿切割線斷開基板的斷開裝置"、"用于通過將加熱流體噴射到基板上所形成的切割線上得豎直裂紋沿基 板的厚度方向從切割線處延伸的延伸裝置，加熱流體具有足以使得基板 膨脹的溫度"，每個(gè)部件都可具有任意結(jié)構(gòu)。
上述豎直裂紋延伸裝置不局限于使用蒸汽的一種。只要其溫度足以使 得基板膨脹也可使用加熱流體。加熱流體可為例如蒸汽、熱水、或包含 蒸汽和熱水的流體。
2.基板切割方法
圖9是示出了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所涉及的用于切割基板的程序的流程圖。
在下文中，將一步步地描述用基板切割設(shè)備100切割母玻璃基板1的程序。
用基板切割設(shè)備100切割母玻璃基板1的程序包括劃線步驟和斷開步
驟。如果必要的話，執(zhí)行初始設(shè)定步驟。
步驟501:執(zhí)行初始設(shè)定步驟。初始設(shè)定步驟是用于在開始劃線步驟 之前設(shè)定基板切割設(shè)備100的初始狀態(tài)的步驟。下面將描述初始設(shè)定步驟 的細(xì)節(jié)。
在完成了初始設(shè)定步驟之后，程序前進(jìn)到步驟502。
步驟502:執(zhí)行劃線步驟。劃線步驟是用于在母玻璃基板l上形成切割 線的步驟。下面將描述劃線步驟的細(xì)節(jié)。
在完成了劃線步驟之后，程序前進(jìn)到步驟503。
步驟503:執(zhí)行斷開步驟。斷開步驟是用于沿切割線斷開母玻璃基板l 的步驟。下面將描述斷開步驟的細(xì)節(jié)。在完成了斷開步驟之后，程序終止。
2-1.初始設(shè)定步驟
在下文中，將描述初始設(shè)定步驟(步驟501)的細(xì)節(jié)。 作為用于對母玻璃基板l進(jìn)行劃線的準(zhǔn)備工作，根據(jù)用于對母玻璃基 板l進(jìn)行劃線的各種條件(例如，母玻璃基板的厚度、材料等)設(shè)定待放 置于設(shè)在頭主體部分22內(nèi)部的空氣氣缸中的壓縮空氣的壓力。根據(jù)該設(shè) 定，劃線切割刀21通過預(yù)定載荷按壓母玻璃基板1。此時(shí)，空氣氣缸向其 施力的軸承殼26沿逆時(shí)針方向圍繞主軸23的軸線旋轉(zhuǎn)并且與阻滯軸25相 接觸。
接下來，執(zhí)行零點(diǎn)檢測步驟。在零點(diǎn)檢測步驟中，檢測母玻璃基板l 表面的位置。母玻璃基板1表面的位置是用于使得劃線頭20沿垂直于母玻 璃基板l的方向移動(dòng)所必需的。
在零點(diǎn)檢測步驟中，劃線頭20朝向母玻璃基板1表面上方的位置移動(dòng)。 接下來，劃線頭上/下裝置(未示出)使得劃線頭20在低速下沿母玻璃基 板l表面的豎直方向向下移動(dòng)。因此，當(dāng)劃線切割刀21與母玻璃基板1相 接觸并且軸承殼26與阻滯軸25相分離時(shí)，劃線頭上/下裝置的位置檢測機(jī) 構(gòu)檢測劃線頭20的位置。表示所檢測的數(shù)據(jù)的零點(diǎn)檢測數(shù)據(jù)被記錄于包 含在控制器中的記錄裝置中。以這種方式，執(zhí)行零點(diǎn)檢測步驟。
當(dāng)完成了零點(diǎn)檢測時(shí)，劃線頭上/下裝置使得劃線頭20向上移動(dòng)到預(yù) 定等候位置(例如，母玻璃基板l表面上方的等候位置)。
在基板切割設(shè)備100中，母玻璃基板1被布置于臺(tái)31上并且被固定于臺(tái) 31。當(dāng)母玻璃基板被固定于臺(tái)31上時(shí)，在劃線頭20移動(dòng)到母玻璃基板1表面上方的等候位置并且進(jìn)一步向下移動(dòng)之后執(zhí)行零點(diǎn)檢測(即，母玻璃
基板l表面位置的檢測)。劃線頭20向上移動(dòng)到等候位置并且沿待劃線的 線移動(dòng)，以使得劃線切割刀21被布置在母玻璃基板1端表面外側(cè)附近的位 置。在該位置處，劃線切割刀21的刀刃向下移動(dòng)到距離母玻璃基板1的上 表面O. Olmm到O. 2mm的位置處。
在母玻璃基板1被布置于臺(tái)31上之后并且在開始對母玻璃基板1進(jìn)行 劃線之前的期間，用一對照相機(jī)(未示出)拍攝對齊標(biāo)記。在母玻璃基 板l上設(shè)置至少兩個(gè)對齊標(biāo)記。
根據(jù)所拍攝的對齊標(biāo)記的圖像，圖像處理裝置(未示出)例如產(chǎn)生表 示有關(guān)母玻璃基板l信息的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。
根據(jù)該數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)、母玻璃基板l的尺寸以及有關(guān)于形成圖案的數(shù)據(jù)， 控制器44計(jì)算母玻璃基板1相對于沿導(dǎo)軌36劃線方向的角度和沿劃線切 割刀21開始劃線的Y方向的母玻璃基板1端表面的位置。
2-2.劃線步驟
在下文中，將描述劃線步驟(步驟502)的細(xì)節(jié)。 使得劃線頭20沿預(yù)設(shè)在母玻璃基板1上的待劃線的線移動(dòng)到母玻璃基
板端表面的外側(cè)附近的位置處。
接下來，使得劃線頭20沿待劃線的線移動(dòng)并且將刀輪尖部21按壓在母
玻璃基板l上并且在母玻璃基板l上旋轉(zhuǎn)，以便于形成切割線。
使得劃線切割刀21的刀刃向下移動(dòng)到距離母玻璃基板1的上表面 0.01mm到0.2nim的位置處。之后，控制器44向第三驅(qū)動(dòng)器47輸出指令以驅(qū)動(dòng)劃線頭驅(qū)動(dòng)馬達(dá)45。響應(yīng)驅(qū)動(dòng)劃線頭驅(qū)動(dòng)馬達(dá)45，劃線頭20沿導(dǎo)向桿 36移動(dòng)。因此，開始對于母玻璃基板l的劃線步驟。
接下來，上述圖像處理裝置處理所拍攝的對齊標(biāo)記的圖像數(shù)據(jù)，并且 將處理結(jié)果輸送到基板切割設(shè)備的控制部分。劃線頭20沿導(dǎo)向桿36滑動(dòng) 并且滑動(dòng)器34和35分別沿導(dǎo)軌32和33移動(dòng)，以使得控制部分消除與布置 并固定在臺(tái)31上的母玻璃基板1的標(biāo)準(zhǔn)固定位置的位置偏差。因此，劃線 切割刀21被按壓并且沿預(yù)定Y方向上待劃線的直線旋轉(zhuǎn)。因此，劃線方法 也被稱作通過線性插入的劃線，所述方法通過在導(dǎo)向桿36沿X方向移動(dòng)并 且劃線頭20沿Y方向移動(dòng)的同時(shí)使得劃線切割刀21被按壓并且沿預(yù)定Y方 向上的待劃線的直線旋轉(zhuǎn)而執(zhí)行。
當(dāng)沿導(dǎo)軌32和33在X方向上執(zhí)行劃線時(shí)，控制器44計(jì)算劃線方向和沿 劃線切割刀21開始劃線的X方向的母玻璃基板1端表面的位置。通過上述 線性插入使得劃線切割刀21被按壓并且沿預(yù)定X方向上的待劃線的直線 旋轉(zhuǎn)。
劃線切割刀21通過軸承28圍繞軸承殼26中的旋轉(zhuǎn)軸27c被可旋轉(zhuǎn)地支 撐。因此，可通過沿母玻璃基板l上的預(yù)定閉合曲線按壓并旋轉(zhuǎn)劃線切割 刀21而對母玻璃基板1劃線。
圖10示出了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的母 玻璃基板上的待劃線的線的示例的視圖。
待劃線的線被預(yù)設(shè)在母玻璃基板l上，從而可用一個(gè)母玻璃基板l制造 出四個(gè)基板。母玻璃基板l具有矩形形狀。這四個(gè)基板la中的兩個(gè)基板la沿母玻璃 基板l的縱向方向被布置在兩列中。這四個(gè)基板la被布置得彼此適當(dāng)相 隔。這四個(gè)基板la被布置成分別與沿母玻璃基板l的縱向方向的兩個(gè)側(cè)邊 以及沿母玻璃基板l的寬度方向的兩個(gè)側(cè)邊適當(dāng)隔開。
依照本發(fā)明實(shí)施例所述的基板切割方法，切割線都被形成得以特定順 序一個(gè)接一個(gè)圍繞四個(gè)基板la的每個(gè)基板la。通過在劃線步驟之后執(zhí)行 的斷開步驟中斷開這四個(gè)基板la中的每個(gè)而從母玻璃基板l中切割四個(gè) 基板la。
例如，首先，在圖10中所示的母玻璃基板l的左上部分中圍繞基板la 對母玻璃基板l劃線。
在本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，沿直線L9形成切割線，所述直 線L9將沿平行于用于待劃線的基板la的縱向方向的側(cè)邊被劃線。也就是 說，劃線切割刀21沿待劃線的線L9被按壓并旋轉(zhuǎn)母玻璃基板1的表面。
在本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，劃線切割刀21開始劃線的起始 點(diǎn)是在母玻璃基板l上內(nèi)側(cè)切割的位置。然而，起始點(diǎn)可為沿待劃線的線 L9的母玻璃基板l的端表面外側(cè)附近的位置(即，外側(cè)切割的位置)。
如圖4A和4B中所示的，具有預(yù)定節(jié)距p的多個(gè)突起j被設(shè)置得都圍繞劃 線切割刀21的刀刃的脊部(即，刀輪尖部)。因此，當(dāng)劃線切割刀21按 壓并旋轉(zhuǎn)母玻璃基板l的表面時(shí)，從切割線處延伸的豎直裂紋可沿母玻璃 基板l的厚度方向出現(xiàn)。豎直裂紋可大致出現(xiàn)在母玻璃基板l的整個(gè)厚度 中。當(dāng)沿待劃線的線L9形成切割線時(shí)，導(dǎo)向桿36沿X方向移動(dòng)并且劃線頭 20沿Y方向移動(dòng)。因此，劃線切割刀21繞著垂直軸線以270度的角度環(huán)繞， 因此劃線切割刀21形成具有半徑大約為lmm (見圖10的角落部分A)的連 續(xù)曲線軌跡的切割線。表示形成為圖IO的角落部分A所示的曲線部分的線 是通過使得劃線切割刀21圍繞豎直軸環(huán)繞270度的角度形成的。表示曲線 部分的線被如此形成，以使得其順暢地連接于沿待劃線的線L9形成的切 割線的一端和沿待劃線的線L10形成的切割線的一端。
以這種方式，沿在基板上限定第一區(qū)域的第一邊界線(待劃線的線的 曲線)形成該曲線部分。第一邊界線的至少一部分是曲線。第一邊界線 的至少一部分順暢地連接于第一邊界線的另一部分。
在劃線切割刀21通過環(huán)繞而移動(dòng)時(shí)，由于通過劃線切割刀21 (即，刀 輪尖部)施加于母玻璃基板l的按壓力被減小，因此在母玻璃基板l中未 形成較深的豎直裂紋。在母玻璃基板l的厚度為0.7mm的情況下，在劃線 切割刀21通過環(huán)繞而移動(dòng)時(shí)母玻璃基板1中形成的豎直裂紋的深度大約 為100jjin至lj200ijm。
如上所述，當(dāng)使用傳統(tǒng)技術(shù)通過劃線切割刀21執(zhí)行橫向劃線時(shí)，碎裂 可出現(xiàn)在母玻璃基板l中通過沿第一方向劃線形成的切割線與沿第二方 向劃線形成的切割線的交叉點(diǎn)處。
當(dāng)沿第一方向形成切割線時(shí)，豎直裂紋被形成在母玻璃基板中以便于 達(dá)到大約相當(dāng)于板厚度的深度。在沿第二方向形成切割線時(shí)，當(dāng)劃線切 割刀21到達(dá)沿第一方向的切割線附近時(shí)，母玻璃基板l下沉。因此，當(dāng)?shù)遁喖獠垦氐谝环较虻那懈罹€移動(dòng)到母玻璃基板上時(shí)，在第一方向與第二 方向的切割線的交叉點(diǎn)處出現(xiàn)所述碎裂。
在本發(fā)明的實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，當(dāng)曲線部分被形成時(shí)通過劃
線切割刀21施加于母玻璃基板1上的壓力低于當(dāng)沿待劃線的線L9形成的 切割線和沿待劃線的線L10形成的切割線中的至少一個(gè)被形成時(shí)通過劃 線切割刀21施加于母玻璃基板1上的壓力。因此，在本發(fā)明的實(shí)施例所涉 及的劃線步驟中，由于使得劃線切割刀21環(huán)繞，因此施加于母玻璃基板l 的接觸力導(dǎo)致的壓力被減小。因此，當(dāng)沿第一方向形成切割線時(shí)，在母 玻璃基板1的角落部分A處未形成其深度達(dá)到大約相當(dāng)于板厚度的豎直裂 紋。因此，在沿第二方向形成切割線時(shí)，當(dāng)劃線切割刀21到達(dá)沿第一方 向的切割線附近時(shí)，母玻璃基板l不下沉。因此，可避免在母玻璃基板l 中的交叉部分處出現(xiàn)碎裂。
在劃線切割刀21的方向環(huán)繞270度的角度之后，劃線切割刀21在基板 la的寬度方向沿垂直于待劃線的線L9的待劃線的線L10移動(dòng)。劃線切割刀 21被按壓并且沿待劃線的線L10旋轉(zhuǎn)，切割線被形成得具有延伸得完全穿 過厚度方向的豎直裂紋。
之后，以相似的方式，使得劃線切割刀21沿垂直于待劃線的線L10的 方向環(huán)繞270度的角度，同時(shí)在沒有使得劃線切割刀21與母玻璃基板1的 表面相隔開的前提下在基板la的角落部分B處形成半徑大約為lmm的連續(xù) 曲線的軌跡，之后劃線切割刀21被按壓并且沿待劃線的線L11旋轉(zhuǎn)。劃線 切割刀21 (例如，刀輪尖部)被按壓并且沿待劃線的線L11旋轉(zhuǎn)，切割線 被形成得具有延伸得完全穿過厚度方向的豎直裂紋。之后，以相似的方式，使得劃線切割刀21沿垂直于待劃線的線L11的 方向環(huán)繞270度的角度，同時(shí)在沒有使得劃線切割刀21與母玻璃基板1的 表面相隔開的前提下在基板la的角落部分C處形成半徑大約為lmm的連續(xù) 曲線的軌跡，之后劃線切割刀21被按壓并且沿待劃線的線U2旋轉(zhuǎn)。劃線 切割刀21 (例如，刀輪尖部)被按壓并且沿待劃線的線L12旋轉(zhuǎn)，并且切 割線被形成得具有延伸得完全穿過厚度方向的豎直裂紋。
以這種方式，在母玻璃基板l上，待劃線的線L9到線L12限定矩形形狀 的區(qū)域。通過執(zhí)行本發(fā)明的實(shí)施例所涉及的劃線步驟，包含四條直切割 線和四條曲線的閉合曲線被形成在基板la的周邊上。
至于四個(gè)基板la中其他三個(gè)基板的每一個(gè)，通過執(zhí)行本發(fā)明的實(shí)施例 所涉及的劃線步驟，包含四條直切割線的閉合曲線被形成在四個(gè)基板la 中其他三個(gè)基板的每一個(gè)周邊上。
在對于四個(gè)基板la中的每一個(gè)執(zhí)行了本發(fā)明的實(shí)施例所涉及的劃線 步驟之后，通過執(zhí)行本發(fā)明的實(shí)施例所涉及的斷開步驟可從母玻璃基板l 中切割四個(gè)基板la。
在本發(fā)明的實(shí)施例所涉及的斷開步驟中，可通過加熱或冷卻四個(gè)基板 la的每個(gè)區(qū)域或除四個(gè)基板la的區(qū)域之外的一個(gè)區(qū)域斷開四個(gè)基板la中
的每一個(gè)。可通過例如加熱器或從激光振蕩器中照射的激光束執(zhí)行對區(qū) 域的加熱。可通過例如使用冷卻噴嘴向區(qū)域噴射冷卻媒介(例如，C02、 He、 &等)執(zhí)行對區(qū)域的冷卻。在從母玻璃基板l中切割四個(gè)基板la中的每個(gè)之后，使用包含例如真 空吸收裝置的承載器從母玻璃基板l中取出四個(gè)基板la。基板la已從中取 出的母玻璃基板l的剩余部分作為不需要部分被丟棄。
稍后將描述斷開步驟的細(xì)節(jié)。
通過執(zhí)行初始設(shè)定步驟，在執(zhí)行劃線步驟之前，執(zhí)行劃線步驟所需的 信息(例如，關(guān)于母玻璃基板l的形狀和尺寸的信息和關(guān)于待劃線的線的 信息)被設(shè)置在控制器44中。根據(jù)臺(tái)31的位置以及布置在臺(tái)31上的母玻 璃基板l的位置，劃線頭驅(qū)動(dòng)馬達(dá)45被控制以及線性馬達(dá)37和38被控制。 因此，劃線切割刀21沿設(shè)定在母玻璃基板1中的待劃線的線移動(dòng)，并且切 割線被形成在母玻璃基板l上。
在參照圖10所述的本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，待劃線的線 L12終止在母玻璃基板l上。然而，沿待劃線的線L12的劃線端部位置可為 圖10中所示的母玻璃基板1上的位置或接近于母玻璃基板端表面的位置。
而且，在參照圖m所述的本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，待劃線
的線L9一L12是直線。然而，待劃線的線L9一L12不局限于直線。待劃線 的線L9一L12中的至少一個(gè)具有直線、曲線或直線和曲線的組合。 圖11A示出了當(dāng)通過劃線切割刀21形成切割線時(shí)出現(xiàn)的豎直裂紋。 例如，在劃線切割刀21被按壓在厚度為1. lnim的玻璃基板10上并且在 其上旋轉(zhuǎn)的情況下，劃線切割刀21的刀刃21b從玻璃基板10的表面穿透大 約6拜。因此，來自于玻璃基板10的反作用力較小。因此，出現(xiàn)具有0.8mm
到1.0lM深度的豎直裂紋。以這種方式，形成在劃線切割刀21的刀刃21b上的多個(gè)突起j在玻璃基 板10上施以精確定點(diǎn)沖擊。因此，在執(zhí)行劃線步驟時(shí)，不可能出現(xiàn)由于 沿玻璃基板10表面的反作用力導(dǎo)致水平裂紋。因此在待形成的切割線的 周邊部分中不可能出現(xiàn)碎裂等。
圖11B示出了當(dāng)通過劃線切割刀51形成切割線時(shí)所出現(xiàn)的豎直裂紋和 水平裂紋。
除形成在劃線切割刀21的刀刃21b上的多個(gè)突起j未形成在劃線切割 刀51的刀刃上以外，劃線切割刀51的結(jié)構(gòu)與劃線切割刀21的結(jié)構(gòu)相同。
例如，在使得劃線切割刀51在厚度為1. lmm的玻璃基板10上滾動(dòng)的情 況下，劃線切割刀51的刀刃從玻璃基板10的表面穿透大約3^m。因此，來 自于玻璃基板10的反作用力較小。因此，所出現(xiàn)的豎直裂紋僅具有O. lmm 到O. 15ram的深度。而且，可沿玻璃基板10的表面產(chǎn)生水平應(yīng)力。因此， 由于沿玻璃基板10的表面在水平方向上的反作用力而出現(xiàn)水平裂紋。在 待形成的切割線的周邊部分中出現(xiàn)碎裂等。
以這種方式，通過劃線切割刀21形成切割線。因此，不可能出現(xiàn)基于 水平應(yīng)力的出現(xiàn)導(dǎo)致在基板la的表面上產(chǎn)生碎裂等。
而且，在本發(fā)明該實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，由于使得劃線切割刀 21環(huán)繞，因此，施加于母玻璃基板l的接觸力所導(dǎo)致的壓力被減小。當(dāng)沿 第一方向形成切割線時(shí)，在母玻璃基板1的角落部分A處未形成其深度達(dá) 到大約相當(dāng)于板厚度的豎直裂紋。因此，在沿第二方向形成切割線時(shí)， 當(dāng)劃線切割刀21到達(dá)沿第一方向的切割線附近時(shí)，母玻璃基板l不下沉。 因此，可避免在母玻璃基板l中的交叉部分處出現(xiàn)碎裂。而且，當(dāng)通過劃線切割刀21對母玻璃基板1劃線時(shí)，劃線切割刀21施 加于母玻璃基板l的按壓力可被減小。因此，可限制劃線切割刀21上的磨 損以及對于劃線切割刀21的損壞。因此，劃線切割刀21可穩(wěn)定地使用較 長時(shí)間。
圖12示出了本發(fā)明實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的母玻璃 基板上的待劃線的線的另一個(gè)示例。
在參照圖12所述的本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，以與參照圖IO 所述的本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟相同的方式沿待劃線的線L9和 L10形成切割線。
在沿待劃線的線L9形成切割線的情況下，從劃線切割刀21被布置得靠 近于母玻璃基板1端表面外側(cè)的位置處連續(xù)地沿待劃線的線L9形成切割 線。
當(dāng)劃線切割刀21在母玻璃基板1上的表面上移動(dòng)時(shí)在形成切割線起始 處出現(xiàn)的母玻璃基板l上的碎裂不會(huì)影響成為產(chǎn)品的基板la。
使得劃線切割刀21沿垂直于待劃線的線L9的方向環(huán)繞270度的角度， 同時(shí)在基板la的角落部分A處形成半徑大約為lmm的連續(xù)曲線的軌跡，之 后劃線切割刀21被按壓并且沿待劃線的線L12旋轉(zhuǎn)。劃線切割刀21 (例如， 刀輪尖部)被按壓并且沿待劃線的線L10旋轉(zhuǎn)，并且切割線被形成得具有 延伸完全穿過厚度方向的豎直裂紋。
之后，在劃線切割刀21與母玻璃基板1的表面相隔開之后，沿待劃線 的線L11和待劃線的線L12的順序由劃線切割刀21形成沿與待劃線的線L9 垂直的方向的待劃線的線L11和線L12。在沿待劃線的線L11和待劃線的線L12形成切割線的情況下，當(dāng)劃線切割刀21在母玻璃基板1上的表面上移 動(dòng)時(shí)在形成切割線起始處出現(xiàn)的母玻璃基板l上的碎裂不會(huì)影響成為產(chǎn) 品的基板la。
以這種方式，通過執(zhí)行本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟，包含四條直 切割線的閉合曲線被形成在基板la的周邊上。
至于四個(gè)基板la中其他三個(gè)基板的每一個(gè)，通過執(zhí)行本發(fā)明的實(shí)施例 所涉及的劃線步驟，包含四條直切割線的閉合曲線被形成在四個(gè)基板la 中其他三個(gè)基板的每一個(gè)周邊上。
在對于四個(gè)基板la中的每一個(gè)執(zhí)行了本發(fā)明的實(shí)施例所涉及的劃線 步驟之后，通過執(zhí)行本發(fā)明的實(shí)施例所涉及的斷開步驟可從母玻璃基板l 中切割四個(gè)基板la的每一個(gè)。
在從母玻璃基板l中切割四個(gè)基板la中的每個(gè)之后，使用包含例如真 空吸收裝置的承載器從母玻璃基板l中取出四個(gè)基板la。四個(gè)基板la已從 中取出的母玻璃基板l的剩余部分作為不需要部分被丟棄。
在本發(fā)明實(shí)施例所涉及的斷開步驟中，可通過加熱或冷卻四個(gè)基板la 的每個(gè)區(qū)域或除四個(gè)基板la的區(qū)域之外的一個(gè)區(qū)域斷開四個(gè)基板la中的 每一個(gè)?？赏ㄟ^例如加熱器或從激光振蕩器中照射的激光束執(zhí)行對區(qū)域 的加熱。可通過例如使用冷卻噴嘴向區(qū)域噴射冷卻媒介(例如，C02、 He、 N2等)執(zhí)行對區(qū)域的冷卻。
稍后將描述斷開步驟的細(xì)節(jié)。
在參照圖12所描述的本發(fā)明該實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，由于使得 劃線切割刀21環(huán)繞，因此，施加于母玻璃基板l的接觸力所導(dǎo)致的壓力被減小。因此，當(dāng)沿第一方向形成切割線時(shí)，在母玻璃基板1的角落部分A 處未形成其深度達(dá)到大約相當(dāng)于板厚度的豎直裂紋。因此，在沿第二方 向形成切割線時(shí)，當(dāng)劃線切割刀21到達(dá)沿第一方向的切割線附近時(shí)，母 玻璃基板l不下沉。因此，可避免在母玻璃基板l中的交叉部分處出現(xiàn)碎 裂。
而且，當(dāng)通過劃線切割刀21對母玻璃基板1劃線時(shí)，劃線切割刀21施 加于母玻璃基板l的按壓力可被減小。因此，可限制劃線切割刀21上的磨 損以及對于劃線切割刀21的損壞。因此，劃線切割刀21可穩(wěn)定地使用較 長時(shí)間。
圖13示出了本發(fā)明實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的母玻璃 基板上的待劃線的線的另一個(gè)示例。
在參照圖13所描述的本發(fā)明該實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，首先，以 與參照圖10所描述的本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟中相同的方式形成 了沿待劃線的線L9-L12的四條切割線(在下文中這四條切割線被稱作主 切割線MS1)。在形成了主切割線MS1之后，包含四條直線的次切割線SS1 被形成在基板la的外側(cè)，與主切割線MSl相隔大約為O. 5mm-lnim的距離。 包含在主切割線MS1中的四條直切割線中的每一條與包含在次切割線SS1 中的四條直切割線中的每一條都是平行的。
如參照圖13所述的，在次切割線SS1被形成得與主切割線MS1相隔大約 為0.5mm-linm的距離的情況下，在形成次切割線SS1時(shí)，應(yīng)力沿垂直于形 成切割線方向的水平方向被施加在母玻璃基板的表面上。按壓力作用在 已形成的用以形成主切割線MS1的豎直裂紋的表面部分上。當(dāng)按壓力作用在用以形成主切割線MS1的豎直裂紋的表面部分上時(shí)，反作用力沿豎直裂 紋的寬度延伸的方向作用在豎直裂紋的底部上。因此，豎直裂紋沿母玻 璃基板l的厚度方向延伸。而且，豎直裂紋到達(dá)母玻璃基板的后表面。
圖14示出了本發(fā)明實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的母玻璃 基板上的待劃線的線的另一個(gè)示例。
在本發(fā)明該實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，在形成主切割線MS1與形成 次切割線SS1期間，劃線切割刀21曾與母玻璃基板1分開。然而，如圖14 中所示的，在形成主切割線MS1之后，在沒有使得劃線切割刀21與母玻璃 基板1分開的情況下可連續(xù)地形成次切割線SS1 。
圖15示出了本發(fā)明實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的母玻璃 基板上的待劃線的線的另 一個(gè)示例。
與參照圖12所描述的本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟相似，在沒有使 得劃線切割刀21與母玻璃基板1分開的情況下沿待劃線的線L9和L10形成 了具有主切割線MS1的兩條直切割線之后，使得劃線切割刀21與母玻璃基 板1分開。在沒有使得劃線切割刀21與母玻璃基板1分開的情況下沿待劃 線的線L11和L12形成了包含在主切割線MS1中的剩余兩條直切割線。以與 主切割線MS1相似的步驟形成次切割線SS1。
圖16示出了布置在母玻璃基板l上的九個(gè)基板la。
例如，在母玻璃基板l縱向方向上的一個(gè)側(cè)部部分中，切割線以特定 順序被形成在三個(gè)基板la的每個(gè)上，以使得沿母玻璃基板l的寬度方向形 成這三個(gè)玻璃基板la。接下來，在母玻璃基板l縱向方向上的中心部分上，切割線以特定順
序被形成在三個(gè)基板la的每個(gè)上，以使得沿母玻璃基板l的寬度方向形成 這三個(gè)玻璃基板la。
最后，在母玻璃基板l縱向方向上的另一個(gè)側(cè)部部分中，切割線以特 定順序被形成在三個(gè)基板la的每個(gè)上，以使得沿母玻璃基板l的寬度方向 形成這三個(gè)玻璃基板la。
圖17示出了本發(fā)明實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的母玻璃 基板上的待劃線的線的另一個(gè)示例。
圖17示出了用于從母玻璃基板l中以不規(guī)則形狀切割基板lb和lc的待 劃線的線L13和L14。
在沒有與劃線切割刀21分開的情況下，劃線切割刀21沿具有上述不規(guī) 則形狀的待劃線的線L13和L14被按壓在母玻璃基板1上并在其上旋轉(zhuǎn)。因 此，在母玻璃基板l上形成具有不規(guī)則形狀的切割線。
上述不規(guī)則形狀是有別于矩形形狀的形狀并且包括直線和/或曲線。
圖18示出了本發(fā)明實(shí)施例所涉及的位于劃線步驟中所使用的母玻璃 基板上的待劃線的線的另一個(gè)示例。
圖18示出了用于從母玻璃基板l中以不規(guī)則形狀切割基板ld的待劃線 的線L15到L18。
每條待劃線的線L15-L18被提供得與限定具有不規(guī)則形狀的基板ld的 形狀的至少一個(gè)曲線相對應(yīng)。首先，沿待劃線的線L15將劃線切割刀21按壓在母玻璃基板1的表面上 并在其上旋轉(zhuǎn)以形成切割線。之后，分別沿待劃線的線L16到L18將劃線 切割刀21按壓在母玻璃基板1的表面上并在其上旋轉(zhuǎn)以形成切割線。
上述不規(guī)則形狀是有別于矩形形狀的形狀并且包括直線和/或曲線。
2-3.斷開步驟
在下文中，將描述本發(fā)明實(shí)施例所涉及的斷開步驟的細(xì)節(jié)。 例如，對于在其上具有通過劃線步驟形成的切割線的母玻璃基板l執(zhí) 行斷開步驟。
在沿待劃線的線L9到L12形成切割線之后，具有足以使得母玻璃基板1 膨脹的溫度的蒸汽被噴射到所形成的切割線上。如圖7中所示的，蒸汽從 蒸汽產(chǎn)生設(shè)備52的噴嘴部分52d中被噴射出。通過向切割線噴射蒸汽，從 切割線處延伸的豎直裂紋在母玻璃基板l的厚度方向上延伸。
由于毛細(xì)作用現(xiàn)象，噴射到具有約數(shù)微米開口的豎直裂紋上的蒸汽滲 透到豎直裂紋中。所滲透的液體膨脹(體積膨脹)，因此，豎直裂紋朝 向母玻璃基板l的后表面延伸。
包括多個(gè)噴嘴部分52b的噴嘴單元53可被設(shè)在導(dǎo)向桿36上并且蒸汽可 被噴射到其上已形成有切割線的母玻璃基板l的表面上(見圖8)。
在沒有設(shè)置蒸汽產(chǎn)生設(shè)備52的情況下，可通過從與其上已形成有切割 線的表面相對的表面對其上已形成有切割線的母玻璃基板施加壓力，而 沿形成在母玻璃基板上的切割線使得母玻璃基板l斷開。
而且，作為切割輔助裝置，劃線頭可包括取代蒸汽使用激光束的激光 振蕩器，以加熱切割線。劃線頭20可包括用于干燥濕氣的激光振蕩器。在本發(fā)明的實(shí)施例中，已描述了其中在執(zhí)行劃線步驟之后執(zhí)行斷開步 驟這樣一個(gè)實(shí)施例。然而，斷開步驟不局限于僅在執(zhí)行劃線步驟之后被 執(zhí)行。只要通過噴射具有足以使得其上形成有切割線的基板膨脹的溫度 的熱流體使得從切割線處延伸的豎直裂紋可在基板的厚度方向上延伸， 可任意地選擇開始劃線步驟和斷開步驟的時(shí)間。例如，可在形成直線的 同時(shí)執(zhí)行向切割線噴射蒸汽的斷開步驟。
已經(jīng)描述了本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所涉及的基板切割設(shè)備和基板切割方法。
在本發(fā)明的實(shí)施例中， 一個(gè)母玻璃基板被切割。然而，分割待切割的 基板的數(shù)量不局限于一個(gè)。本發(fā)明可適用于這樣的情況，即，通過粘接 第一基板和第二基板所形成的粘接基板被切割的情況。本發(fā)明可適用于 其中粘接基板可被切割成例如液體顯示板(平面顯示板類型的)、有機(jī)
EL板、無機(jī)EL板、透射投影機(jī)基板、反射投影機(jī)基板等的情況。
圖19示出了能夠切割通過粘接兩個(gè)基板所形成的粘接基板的基板切
割設(shè)備的一部分的視圖。
粘接基板200是通過粘接上部易碎材料基板200A和下部易碎材料基板 200B而形成的。通過從粘接基板200的上側(cè)和下側(cè)劃線的劃線裝置201和 劃線裝置202將切割線形成在粘接基板200上。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，已經(jīng)描述了用于母玻璃基板的切割設(shè)備和切割 方法。然而，待切割的基板不局限于玻璃基板。本發(fā)明可適用于例如， 石英基板、藍(lán)寶石基板、半導(dǎo)體晶片和陶瓷基板。而且，在本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟中，在劃線切割刀(例如，
刀輪尖部21和51、金剛石尖點(diǎn)切割刀、刀輪或任何其他劃線形成裝置) 與母玻璃基板l相接觸，之后通過震動(dòng)劃線切割刀而周期性地改變對母玻 璃基板l的壓力而形成切割線的情況下，與使用劃線切割刀21可獲得的效 果一樣，可有效地執(zhí)行本發(fā)明實(shí)施例所涉及的斷開步驟并且可獲得相同 的效果。
已描述了其中四條直切割線被形成在母玻璃基板上以將基板切割為 矩形形狀的一個(gè)示例。然而，待形成的直切割線不局限于四條。在形成 三條或更多直切割線以獲得具有多邊形形狀的基板的情況下，本發(fā)明也 可適用。通過執(zhí)行本發(fā)明實(shí)施例所涉及的劃線步驟，包含三條或更多直 切割線和兩條或更多曲線的閉合曲線被形成在基板的周邊上。
三條或更多直切割線中的每條都不局限于直線。三條或更多直切割線 中的至少一個(gè)可具有直線、曲線或直線和曲線的組合。
上面己參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例描述了本發(fā)明。不應(yīng)認(rèn)為本發(fā)明局限 于所述實(shí)施例。應(yīng)該意識(shí)到本發(fā)明的范圍僅由權(quán)利要求解釋。應(yīng)該意識(shí) 到，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可基于本發(fā)明的描述和公知技術(shù)知識(shí)從具體優(yōu) 選實(shí)施例的描述中實(shí)現(xiàn)等效范圍。還應(yīng)該意識(shí)到，這里合并參考所提及 的所述專利、專利申請和文獻(xiàn)的全部內(nèi)容。
工業(yè)實(shí)用性依照本發(fā)明所涉及的基板切割設(shè)備，通過噴射具有足以使得其上形成 有切割線的基板膨脹的溫度的熱流體，可使得從切割線處延伸的豎直裂 紋在基板的厚度方向上延伸。
因此，在不用沿切割線機(jī)械地施加彎曲力矩的情況下，豎直裂紋可在 基板的厚度方向上延伸。
因此，在沒有在彼此競爭的基板中產(chǎn)生碎裂的情況下，可沿待切割的 切割線容易地?cái)嚅_基板。
權(quán)利要求
1.一種基板切割設(shè)備，包括用于在基板上形成切割線的切割線形成裝置；以及用于沿所述切割線斷開基板的斷開裝置；其中，所述切割線包括相互交叉的至少第一線部分和第二線部分；以及所述斷開裝置包括用于將蒸汽噴射到基板上所形成的包括相互交叉的至少第一線部分和第二線部分的切割線上的裝置。
2. 如權(quán)利要求l所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，所述切割線還包 括流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部分；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接；并且 切割線形成裝置形成第一線部分、曲線部分和第二線部分。
3. 如權(quán)利要求l所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，所述切割線還包 括第三線部分、第一曲線部分和第二曲線部分，第一線部分、第二線部 分和第三線部分相互交叉，并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；第一線部分、第二線部分和第三線部分在基板上限定了具有多邊形形狀的區(qū)域的至少一部分；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接；第二線部分的另一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第一曲線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部分；第二曲線部分是流暢地連接于第二線部分的另一端部和第三線部分的端部的曲線部分；切割線形成裝置形成第一線部分、第一曲線部分、第二線部分、第二曲線部分和第三線部分。
4.如權(quán)利要求l所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，所述切割線還包括第三線部分、第四線部分、第一曲線部分、第二曲線部分和第三曲線部分，第一線部分、第二線部分、第三線部分和第四線部分相互交叉，并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；第一線部分、第二線部分、第三線部分和第四線部分在基板上限定了具有矩形形狀的區(qū)域；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接;第二線部分的另一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第三線部分的另一個(gè)端部與第四線部分的端部相連接；第四線部分的另一個(gè)端部與第一線部分的另一個(gè)端部相連接；第一曲線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部分；第二曲線部分是流暢地連接于第二線部分的另一端部和第三線部分 的端部的曲線部分；第三曲線部分是流暢地連接于第三線部分的另一端部和第四線部分 的端部的曲線部分；切割線形成裝置形成第一線部分、第一曲線部分、第二線部分、第二 曲線部分、第三線部分、第三曲線部分和第四線部分。
5. 如權(quán)利要求l所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，所述切割線形成 裝置是具有盤形形狀的劃線切割刀，并且在劃線切割刀的外周邊表面上 形成有滾動(dòng)并接觸基板表面的刀刃。
6. 如權(quán)利要求5所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，在刀刃上形成有具有預(yù)定節(jié)距的多個(gè)突起。
7. 如權(quán)利要求l所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，所述基板切割設(shè) 備還包括用于加熱切割線的加熱裝置。
8. —種基板切割方法，包括 用于在基板上形成切割線的切割線形成步驟；以及 用于沿所述切割線斷開基板的斷開步驟；其中，所述切割線包括相互交叉的至少第一線部分和第二線部分;以及所述斷開步驟包括將蒸汽噴射到基板上所形成的包括相互交叉的至 少第一線部分和第二線部分的切割線上的步驟。
9. 如權(quán)利要求8所述的基板切割方法，其特征在于，所述切割線還包 括流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部分；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接；切割線形成步驟包括以下步驟形成第一線部分；形成曲線部分；以及形成第二線部分。
10. 如權(quán)利要求8所述的基板切割方法，其特征在于，所述切割線還 包括第三線部分、第一曲線部分和第二曲線部分，第一線部分、第二線 部分和第三線部分相互交叉，并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；第一線部分、第二線部分和第三線部分在基板上限定了具有多邊形形狀的區(qū)域的至少一部分；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接；第二線部分的另一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第一曲線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部分；第二曲線部分是流暢地連接于第二線部分的另一端部和第三線部分 的端部的曲線部分；切割線形成步驟包括以下步驟形成第一線部分；形成第一曲線部分；形成第二線部分；形成第二曲線部分；以及形成第三線部分。
11. 如權(quán)利要求8所述的基板切割方法，其特征在于，所述切割線還 包括第三線部分、第四線部分、第一曲線部分、第二曲線部分和第三曲 線部分，第一線部分、第二線部分、第三線部分和第四線部分相互交叉， 并且每個(gè)部分都是直線、曲線或其組合；第一線部分、第二線部分、第三線部分和第四線部分在基板上限定了具有矩形形狀的區(qū)域；第一線部分的端部與第二線部分的端部相連接；第二線部分的另一個(gè)端部與第三線部分的端部相連接；第三線部分的另一個(gè)端部與第四線部分的端部相連接；第四線部分的另一個(gè)端部與第一線部分的另一個(gè)端部相連接；第一曲線部分是流暢地連接于第一線部分的端部和第二線部分的端部的曲線部分；第二曲線部分是流暢地連接于第二線部分的另一端部和第三線部分 的端部的曲線部分；第三曲線部分是流暢地連接于第三線部分的另一端部和第四線部分 的端部的曲線部分；切割線形成步驟包括以下步驟:形成第一線部分；形成第一曲線部分；形成第二線部分；形成第二曲線部分； 形成第三線部分； 形成第三曲線部分；以及 形成第四線部分。
12.如權(quán)利要求8所述的基板切割方法，其特征在于，所述基板切割 方法還包括用于加熱切割線的加熱步驟。
全文摘要
用于切割基板的基板切割設(shè)備，包括用于在基板上形成切割線的切割線形成裝置；以及用于沿所述切割線斷開基板的斷開裝置。所述斷開裝置包括用于噴射溫度足以使得基板在基板上所形成的切割線上膨脹的熱流體的裝置，從而使得從切割線延伸的豎直裂紋沿基板的厚度方向進(jìn)一步延伸。
文檔編號(hào)C03B33/10GK101585657SQ20091013202
公開日2009年11月25日 申請日期2004年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月29日
發(fā)明者西尾仁孝 申請人:三星寶石工業(yè)株式會(huì)社