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多線切割機主軸的制作方法

文檔序號:1961491閱讀:613來源:國知局
專利名稱:多線切割機主軸的制作方法
技術領域
本發(fā)明涉及一種多線切割機主軸,特別是一種用于對硅晶棒等半導體材料進行切
片的多線切割機主軸。
背景技術
由于國內巨大的硅材料加工市場,帶動了硅材料加工設備的迅速發(fā)展和國內多線 切割機的研制的蓬勃興起,目前我國太陽能光伏電池產業(yè)所用的線切割機基本是進口設 備,國內巨大硅材料加工市場帶動了國內許多廠家加緊研制國產多線切割機,硅片多線切 割設備以其極高的生產效率和出片率,在太陽能電池以及各類大直徑半導體材料加工領域 得到普及應用。所切晶片與內圓切片工藝相比具有彎曲度(B0W)、翹曲度(WARP)小,平行度 (TAPER)好,總厚度公差(TTV)離散性小,刃口切割損耗小,表面損傷層淺,晶片表面粗糙度 小等優(yōu)點。 多線切割機主軸是決定所切晶片彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP),平行度(TAPER) 好,總厚度公差(TTV)離散性小的關鍵部件,它的解決,標志著國產多線切割機可以實用 化。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種結構緊湊、功能強大的多線切割機主軸。
本發(fā)明采用如下技術方案 本發(fā)明包括主傳動軸組件、中間軸輥、副傳動軸組件和連接螺釘,其中,主傳動軸
組件中的主傳動軸、中間軸輥和副傳動軸組件中的副傳動軸三者間依次兩兩錐面配合對
接,連接螺釘的螺桿從右至左依次縱穿副傳動軸和中間軸輥的中心孔并與主傳動軸螺紋連
接固定,且主傳動軸與中間軸輥間及副傳動軸與中間軸輥間均設有供傳遞扭矩的銷軸,主
傳動軸組件和副傳動軸組件中均設有結構相同的氣封結構和結構相同的冷卻水循環(huán)結構。 所說主傳動軸組件中的主傳動軸與主軸套間設有三組軸承,每組軸承均為兩個角
接觸球軸承,其中,設于軸左端的第一組軸承中的兩個軸承背對背安裝,設于軸中部的第二
組軸承與設于軸右端的第三組軸承背對背安裝。 所說副傳動軸組件中的副傳動軸與副軸套間設有兩組軸承,每組軸承均為兩個角 接觸球軸承,且兩組軸承背對背安裝。 所說主傳動軸組件中的氣封結構是其右軸承壓蓋與主傳動軸相配合的內圓表面 上設有環(huán)形氣封槽,主軸套的側壁上沿縱向設有與環(huán)形氣封槽連通的導氣孔,導氣孔與設 于左軸承壓蓋上的壓縮空氣進氣孔連通,左軸承壓蓋與主軸套間及右軸承壓蓋與主軸套間 均設有兩道密封圈,且左、右軸承壓蓋分別與主軸套的左、右兩端固定。 所說主傳動軸組件,其冷卻水循環(huán)結構是其主軸套的周壁上沿縱向間隔設有多個 貫通的導水孔,左軸承壓蓋上設有與導水孔兩兩對應連通的左導水槽、進水口和出水口 ,右 軸承壓蓋上設有與導水孔兩兩對應連通的右導水槽,且由進水口 、導水孔、右導水槽、左導
3水槽、出水口相互串接,構成蛇形單通道冷卻水循環(huán)結構。 本發(fā)明的有益效果本發(fā)明所提供的多線切割機主軸結構緊湊、功能強大,由于本 主軸的主傳動軸組件及副傳動軸組件中均采用了結構相同的氣封結構和冷卻水循環(huán)機構, 這樣不僅可有效防止砂漿微粒進入主軸內部損壞主軸軸承,還可確保本主軸在高速運轉的 情況下得到有效的降溫,故本主軸工作可靠,使用壽命長。


附圖1是本發(fā)明一種實施例的主視剖視結構示意圖;
附圖2是圖1所示中間軸輥的剖視結構示意圖;
附圖3是圖2的局部放大結構示意圖; 附圖4是本主軸的主傳動軸組件中的主軸套及左右軸承壓蓋的軸測分解圖;
附圖5是圖4所示右軸承壓蓋的主視結構示意圖;
附圖6是圖5的左視剖視圖;
附圖7是圖6的I處局部放大圖。 在附圖中1鎖母、2軸端擋圈、3左軸承壓蓋、40型密封圈、5第一組軸承、6導水 孔、7第二組軸承、8主軸套、9第三組軸承、100型密封圈、11主傳動軸組件、12銷軸、13銷 軸、14副傳動軸組件、15左軸承壓蓋、160型密封圈、17軸承、18軸承、190型密封圈、20右 軸承壓蓋、21鎖緊螺母、22密封蓋、23鎖緊螺母、24壓縮空氣進氣孔、25導氣孔、26機架、27 大墊圈、28小墊圈、29副傳動軸、30副軸套、31.環(huán)形氣封槽、32連接螺釘、33中間軸輥、34 環(huán)形氣封槽、35右軸承壓蓋、36.主傳動軸、37導氣孔、38壓縮空氣進氣孔、39同步齒形帶帶 輪、40漲緊套、41銷孔、42左端錐孔、43右端錐孔、44鋼線、45進水口 、46進氣連通孔、47進 水連通孔、48左導水槽、49出水連通孔、50出水口、51右導水槽、52氣體導入孔。
具體實施例方式
下面將結合實施例附圖對本發(fā)明作進一步詳述 參見附圖,本發(fā)明的構成中包括主傳動軸組件11、中間軸輥33、副傳動軸組件14 和連接螺釘32,其中,主傳動軸組件11中的主傳動軸36右端的錐體端與中間軸輥33的左 端錐孔42配合,副傳動軸組件14中的副傳動軸29左端的錐體端與中間軸輥33的右端錐 孔43配合,且主傳動軸36與中間軸輥33的對接端部固定有一對供傳遞扭矩的銷軸12,銷 軸12與中間輥33左端的銷孔41配合,副傳動軸29與中間軸輥33的對接端部同樣固定有 一對供傳遞扭矩的銷軸13,銷軸13與中間軸輥33右端的銷孔相配合,連接螺釘32的螺桿 從右至左依次縱穿副傳動軸29和中間軸輥33的中心孔并與主傳動軸36的中心螺孔螺紋 連接固定。 在本實施例中,主傳動軸組件11中的主傳動軸36與主軸套8間由左至右設置有 三組軸承,每組均為兩個角接觸球軸承,其中,設于軸左端的第一組軸承5中的兩個軸承背 對背安裝,設于軸中部的第二組軸承7與設于軸右端的第三組軸承9背對背安裝。副傳動 軸組件14中的副傳動軸29與副軸套30間設有兩組軸承17、18,每組同樣為兩個角接觸球 軸承,且兩組軸承17、 18背對背安裝。 為了有效防止本主軸工作時砂漿微粒及粉塵進入主軸,導致軸承損壞,在本主軸的主傳動軸組件11和副傳動軸組件14中均設有結構相同的氣封結構。下面以主傳動軸組 件11中的氣封結構為例說明其具體結構。在主傳動軸組件11中,其右軸承壓蓋35與主傳 動軸36相配合的內圓表面上設有多道環(huán)形氣封槽34,與環(huán)形氣封槽34連通的氣體導入孔 52與設于主軸套8側壁上的導氣孔37連通,左軸承壓蓋3上設有壓縮空氣進氣孔38,與壓 縮空氣進氣孔38連通的進氣連通孔46與主軸套8側壁上的導氣孔37連通。左軸承壓蓋3 與主軸套8左端固定,且其間設有兩道0型密封圈4,右軸承壓蓋35與主軸套8右端固定, 且其間設有兩道0型密封圈10。 主傳動軸組件11中的第一組軸承5外側設有軸端擋圈2,擋圈2由鎖母1鎖定限 位。主傳動軸36左端固定有一同步齒形帶帶輪39,帶輪39與主傳動軸36間設漲緊套40 連接固定。 中間軸輥33的圓柱面上均布有多道供鋼線44導向的環(huán)形線槽。
為了能使高速運轉的主軸得到有效的降溫,在本多線切割機主軸的主傳動軸組件 11和副傳動軸組件14中均設有結構相同的冷卻水循環(huán)機構。下面以主傳動軸組件11中的 冷卻水循環(huán)機構為例說明其具本結構。在主傳動軸組件11中,它的主軸套8的周壁上沿縱 向間隔設有多個貫通的導水孔6,左軸承壓蓋3上設有與導水孔6兩兩對應連通的左導水槽 48,進水口 45和出水口 50,右軸承壓蓋35上設有與導水孔6兩兩對應連通的右導水槽51, 并由進水口 45、導水孔6、右導水槽51、左導水槽48、出水口 50相互串接,構成蛇形單通道 冷卻水循環(huán)結構。具體連接是這樣的進水口 45與左軸承壓蓋3上所設的進水連通孔47 連通,進水連通孔47與主軸套8上的一個導水孔6連通,這個導水孔6的右端和其相鄰的 另一個導水孔6的右端共同被右軸承壓蓋35上的一個右導水槽51連通,左軸承壓蓋3上 的左導水槽48與右軸承壓蓋35上的右導水槽51相對并相錯一個導水孔6的位置布置,這 樣便可依次將主軸套8周壁上的多個導水孔6串接連通,連通后的最后一個導水孔6的左 端與設于左軸承壓蓋3上的出水連通孔49連通,出水連通孔49與出水口 50連通。
副傳動軸組件14的構成中同樣設有左軸承壓蓋15和右軸承壓蓋20,左軸承壓蓋 15與副軸套30的左端固定,且其間設有兩道0型密封環(huán)16。右軸承壓蓋20與副軸套30 的右端固定,且其間同樣設有兩道0型密封圈19左軸承壓蓋15與副傳動軸29相配合的內 圓表面上設有環(huán)形氣封槽31,副軸套30上設有與環(huán)形氣封槽31連通的導氣孔25,右軸承 壓蓋20上設有與導氣孔25連通的壓縮空氣進氣孔24。 副傳動軸29與副軸套30間所設兩組軸承17、 18的外側設有小墊圈28和大墊圈
27,小墊圈28與右側一組軸承18的內圈相接觸,并設鎖緊螺母21鎖緊固定。 在本實施例中,連接螺桿32采用圓柱頭內六角螺釘,其頭部設有鎖緊螺母23,以
防自行松動。 副傳動軸組件14的右端設有密封蓋22。 在使用安裝時,主傳動軸組件11中的主軸套8和副傳動軸組件14中的副軸套30 均與機架26固定。
權利要求
一種多線切割機主軸,其特征是它包括主傳動軸組件(11)、中間軸輥(33)、副傳動軸組件(14)和連接螺釘(32),其中,主傳動軸組件(11)中的主傳動軸(36)、中間軸輥(33)和副傳動軸組件(14)中的副傳動軸(29)三者間依次兩兩錐面配合對接,連接螺釘(32)的螺桿從右至左依次縱穿副傳動軸(29)和中間軸輥(33)的中心孔并與主傳動軸(36)螺紋連接固定,且主傳動軸(36)與中間軸輥(33)間及副傳動軸(29)與中間軸輥(33)間均設有供傳遞扭矩的銷軸,主傳動軸組件(11)和副傳動軸組件(14)中均設有結構相同的氣封結構和結構相同的冷卻水循環(huán)結構。
2. 根據權利要求l所述的多線切割機主軸,其特征是所說主傳動軸組件(ll)中的主傳 動軸(36)與主軸套(8)間設有三組軸承,每組軸承均為兩個角接觸球軸承,其中,設于軸左 端的第一組軸承(5)中的兩個軸承背對背安裝,設于軸中部的第二組軸承(7)與設于軸右 端的第三組軸承(9)背對背安裝。
3. 根據權利要求1所述的多線切割機主軸,其特征是所說副傳動軸組件(14)中的副傳 動軸(29)與副軸套(30)間設有兩組軸承(17、18),每組軸承均為兩個角接觸球軸承,且兩 組軸承(17、 18)背對背安裝。
4. 根據權利要求l所述的多線切割機主軸,其特征是所說主傳動軸組件(ll)中的氣封 結構是其右軸承壓蓋(35)與主傳動軸(36)相配合的內圓表面上設有環(huán)形氣封槽(34),主 軸套(8)的側壁上沿縱向設有與環(huán)形氣封槽(34)連通的導氣孔(37),導氣孔(37)與設于 左軸承壓蓋(3)上的壓縮空氣進氣孔(38)連通,左軸承壓蓋(3)與主軸套(8)間及右軸承 壓蓋(35)與主軸套(8)間均設有兩道密封圈,且左、右軸承壓蓋分別與主軸套(8)的左、右 兩端固定。
5. 根據權利要求1或4所述的多線切割機主軸,其特征是所說主傳動軸組件(ll),其 冷卻水循環(huán)結構是其主軸套(8)的周壁上沿縱向間隔設有多個貫通的導水孔(6),左軸承 壓蓋(3)上設有與導水孔(6)兩兩對應連通的左導水槽(48)、進水口 (45)和出水口 (50), 右軸承壓蓋(35)上設有與導水孔(6)兩兩對應連通的右導水槽(51),且由進水口 (45)、導 水孔(6)、右導水槽(51)、左導水槽(48)、出水口 (50)相互串接,構成蛇形單通道冷卻水循 環(huán)結構。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多線切割機主軸,它包括主傳動軸組件、中間軸輥、副傳動軸組件和連接螺釘,其中,主傳動軸組件中的主傳動軸、中間軸輥和副傳動軸組件中的副傳動軸三者間依次兩兩錐面配合對接,連接螺釘的螺桿從右至左依次縱穿副傳動軸和中間軸輥的中心孔并與主傳動軸螺紋連接固定,且主傳動軸與中間軸輥間及副傳動軸與中間軸輥間均設有供傳遞扭矩的銷軸,主傳動軸組件和副傳動軸組件中均設有結構相同的氣封結構和結構相同的冷卻水循環(huán)結構,本發(fā)明所提供的多線切割機主軸結構緊湊、功能強大。
文檔編號B28D5/04GK101700684SQ20091017522
公開日2010年5月5日 申請日期2009年11月26日 優(yōu)先權日2009年11月26日
發(fā)明者種寶春, 靳永吉 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所
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