專利名稱：一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)。屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域。
技術(shù)背景單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料，隨著國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)對(duì)單晶硅片需 求量的快速增加，單晶硅棒的市場(chǎng)需求也呈快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)，制作單晶硅棒 所使用的石英坩堝的需求量也快速增加?，F(xiàn)在制作石英坩堝時(shí)所使用的石英 坩堝高溫成形系統(tǒng)，包括坩堝模具、移動(dòng)底座、電極、遮熱板、加料漏斗、導(dǎo) 軌、支架。坩堝模具和遮熱板傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌架設(shè)在支架上，導(dǎo)軌與支架固定連接，坩堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈16°角，由于坩堝 模具的角度過大，容易塌料，加熱不均勻，噴涂厚度不均勻。遮熱板的支架和 冷卻水管外表都要用石英布纏繞，石英布價(jià)格貴，而且石英布每月都要更新； 石英布高溫下也易氧化，氧化物落到坩堝內(nèi)就會(huì)造次品；遮熱板效果不好，熱 量易流失；水管小，容易漏水。加料漏斗為一組漏斗，使用不方便，不便于加2 種以上原料。移動(dòng)底座水平放置，設(shè)置在一個(gè)圓形軌道上，這樣效率低，成本 高。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一種石英坩堝高溫 成形系統(tǒng)。改變了坩堝模具的角度，成形好，加熱均勻，噴涂厚度均勻，遮熱 板不用石英布，降低成本，減少了氧化物，增加了成品率，雙組加料漏斗使用 方便，利于加2種以上原料，推桿式的移動(dòng)底座，實(shí)用方便，降低成本。為了實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是 一種石英坩堝高溫成形 系統(tǒng)，包括坩堝模具、移動(dòng)底座、電極、遮熱板、加料漏斗、導(dǎo)軌、支架，移 動(dòng)底座水平放置，移動(dòng)底座內(nèi)設(shè)置有曲軸系統(tǒng)，曲軸系統(tǒng)上部設(shè)置有頂桿，移 動(dòng)底座與坩堝模具通過頂桿連接，坩堝模具和遮熱板傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌架設(shè)在支架上，導(dǎo)軌與支架固定連接，柑堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈6-10°角。所述坩堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈8。角。 所述遮熱板還包括冷卻水管，遮熱板內(nèi)部為中空，與冷卻水管相通。 所述遮熱板與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。所述加料漏斗還包括石英管，加料漏斗為雙組漏斗，雙組漏斗通過石英管 架設(shè)在坩堝模具側(cè)上方。所述移動(dòng)底座還包括推桿，移動(dòng)底座架設(shè)在地面軌道上，移動(dòng)底座下部前 端設(shè)置有推桿。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是-(1 )改變了坩堝模具的角度，成形好，加熱均勻，噴涂厚度均勻； (2)遮熱板不用石英布，降低成本，減少了氧化物，增加了成品率，水源 大，不易漏水；(3 )雙組加料漏斗使用方便，利于加2種以上原料； (4)推桿式的移動(dòng)底座，實(shí)用方便，降低成本。


附圖1本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖附圖標(biāo)記說明l坩堝模具2移動(dòng)底座21曲軸系統(tǒng)22頂桿23推桿 3電極4遮熱板41冷卻水管5加料漏斗51石英管6導(dǎo)軌7支架具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，但不作為對(duì)本實(shí) 用新型的限定。如圖1所示， 一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，包括坩堝模具l、移動(dòng)底座2、 電極3、遮熱板4、加料漏斗5、導(dǎo)軌6、支架7，移動(dòng)底座2水平放置，移動(dòng) 底座2內(nèi)設(shè)置有曲軸系統(tǒng)21，曲軸系統(tǒng)21上部設(shè)置有頂桿22，移動(dòng)底座2與坩堝模具1通過頂桿22連接，通過調(diào)節(jié)頂桿22，可以調(diào)節(jié)坩堝模具1的角度。 坩堝模具1和遮熱板4傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌6架設(shè)在支架7上，導(dǎo)軌6與支架7固 定連接。坩堝模具1和遮熱板3的中軸線與移動(dòng)底座2的中軸線呈8。角。遮 熱板4還包括冷卻水管41，遮熱板4內(nèi)部為中空，與冷卻水管41相通。遮熱 板4與導(dǎo)軌6滑動(dòng)連接，遮熱板4可以通過導(dǎo)軌6上下移動(dòng)。加料漏斗5還包 括石英管51，加料漏斗5為雙組漏斗，雙組漏斗通過石英管51架設(shè)在坩堝模具 l側(cè)上方。移動(dòng)底座2還包括推桿21,移動(dòng)底座2架設(shè)在地面軌道上，移動(dòng)底 座2下部前端設(shè)置有推桿23，推動(dòng)推桿23，可以使移動(dòng)底座2在地面軌道上滑 動(dòng)。以上所述的實(shí)施例，只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式
的一種，本領(lǐng) 域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在 本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，包括坩堝模具、移動(dòng)底座、電極、遮熱板、加料漏斗、導(dǎo)軌、支架，移動(dòng)底座水平放置，移動(dòng)底座內(nèi)設(shè)置有曲軸系統(tǒng)，曲軸系統(tǒng)上部設(shè)置有頂桿，移動(dòng)底座與坩堝模具通過頂桿連接，坩堝模具和遮熱板傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌架設(shè)在支架上，導(dǎo)軌與支架固定連接，其特征在于坩堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈6-10°角。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，其特征在于所述坩堝 模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈8°角。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，其特征在于所述遮熱 板還包括冷卻水管，遮熱板內(nèi)部為中空，與冷卻水管相通。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，其特征在于所述 遮熱板與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，其特征在于所述加料 漏斗還包括石英管，加料漏斗為雙組漏斗，雙組漏斗通過石英管架設(shè)在坩堝模 具側(cè)上方。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，其特征在于所述移動(dòng) 底座還包括推桿，移動(dòng)底座架設(shè)在地面軌道上，移動(dòng)底座下部前端設(shè)置有推桿。
專利摘要一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域，包括坩堝模具、移動(dòng)底座、電極、遮熱板、加料漏斗、導(dǎo)軌、支架，移動(dòng)底座水平放置，移動(dòng)底座內(nèi)設(shè)置有曲軸系統(tǒng)，曲軸系統(tǒng)上部設(shè)置有頂桿，移動(dòng)底座與坩堝模具通過頂桿連接，坩堝模具和遮熱板傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌架設(shè)在支架上，導(dǎo)軌與支架固定連接，坩堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈6-10°角。加料漏斗包括石英管，加料漏斗為雙組漏斗，雙組漏斗通過石英管架設(shè)在坩堝模具側(cè)上方。本實(shí)用新型改變了坩堝模具的角度，成形好，加熱均勻，噴涂厚度均勻，遮熱板不用石英布，降低成本，減少氧化物，增加了成品率，雙組加料漏斗使用方便，利于加2種以上原料，推桿式的移動(dòng)底座，實(shí)用方便，降低成本。
文檔編號(hào)C03B20/00GK201420043SQ20092015866
公開日2010年3月10日 申請(qǐng)日期2009年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
發(fā)明者潔 黃, 黃乃軍 申請(qǐng)人:余姚市晶英電弧坩堝有限公司