專利名稱：高cte玻璃的激光輔助的玻璃料密封以及制得的密封的玻璃封裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用來制造玻璃封裝的激光輔助的玻璃料密封法，所述玻璃封裝包括第一玻璃板(其具有較高的cte，約為so-goxio+cr1)，第二玻璃板以及玻璃料(其cte至少約為35X 10_7°C ―1)，所述玻璃料形成將第一玻璃板與第二玻璃板相連的密封件(例如氣密密封件)。
背景技術(shù)：
對濕氣和氧氣敏感的裝置的封裝是制造有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的一個(gè)重要的部分。已經(jīng)證明在具有中等熱膨脹系數(shù)(CTE)(大約30-40x10_7°C -1)的被玻璃料分隔的兩塊顯示器玻璃板之間對OLED進(jìn)行的激光輔助的玻璃料密封可以在最高達(dá)20-50毫米/秒的高速下進(jìn)行。為了獲得低成本的制造工藝，高達(dá)20-50毫米/秒的較高的密封速度是一個(gè)重要的要求。在題為“顯示器元件的封裝方法(Method of Encapsulating a Display Element) ”的共同轉(zhuǎn)讓的美國專利申請公開第2007/0128966號以及題為“制造玻璃封套的方法(Method of Making a Glass Envelope) ”的共同轉(zhuǎn)讓的美國專利申請公開第2007/0128967號中已經(jīng)描述了該激光輔助的玻璃料密封方法。這兩份文獻(xiàn)的內(nèi)容通過引用納入本文。但是，在不同于顯示器應(yīng)用的用途中，例如在固態(tài)照明或太陽能電池應(yīng)用中，減少材料成本更為重要，顯示器質(zhì)量的玻璃的應(yīng)用是一個(gè)限制因素。因此，制造商傾向于在這些類型的應(yīng)用中使用更廉價(jià)的玻璃板，例如鈉鈣玻璃板。但是，這些種類的玻璃板的CTE要高得多， 80-90Xl(T°C ―1。問題在于，需要改變密封方法和/或玻璃料性質(zhì)，以便能夠?qū)Ω?CTE玻璃板進(jìn)行激光輔助的玻璃料密封，以制造玻璃封裝，用于例如固態(tài)照明或太陽能電池之類的應(yīng)用。其它的需要解決的問題在于，需要對密封方法和/或玻璃料性質(zhì)進(jìn)行改變，以便能夠?qū)Ω逤TE玻璃板進(jìn)行高速激光輔助的玻璃料密封。本發(fā)明解決了這些問題以及其它的問題。發(fā)明概述寬泛地來說，本發(fā)明的實(shí)施方式涉及玻璃封裝以及制造玻璃封裝的方法。所述玻璃封裝可以是例如包括電-光部件之類電子部件的玻璃封裝。例如，所述玻璃封裝可以包括一層或多層有機(jī)材料，例如有機(jī)電致發(fā)光材料。所述玻璃封裝可以包括顯示器裝置，例如有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器，或者所述玻璃封裝可以包括光生伏打裝置(例如太陽能電池)。
在一個(gè)方面，本發(fā)明的實(shí)施方式包括玻璃封裝，該玻璃封裝包括(a)第一玻璃板，其CTE約為80-90ΧΙΟ—7"C-1Jb)第二玻璃板；以及(c)玻璃料，其CTE至少約為 βδχκΤττ1，所述玻璃料形成密封件，該密封件將所述第一玻璃板與第二玻璃板相連。在另一個(gè)方面，本發(fā)明的實(shí)施方式包括一種制造玻璃封裝的方法，該方法包括以下步驟(a)提供第一玻璃板，所述第一玻璃板的CTE約為80-90 X KTtT1 ;(b)提供第二玻璃板；(c)提供玻璃料，所述玻璃料的CTE至少約為35X 10_7°C 1 ； (d)將所述玻璃料沉積在所述第一玻璃板或第二玻璃板上；(e)將所述第一玻璃板放置在第二玻璃板上，所述玻璃料位于所述第一玻璃板和第二玻璃板之間；以及(f)使用激光器引導(dǎo)激光束通過第一玻璃板或第二玻璃板，射向玻璃料，然后使得激光束以預(yù)定的密封速度沿著所述玻璃料移動(dòng)，對玻璃料進(jìn)行加熱，使得玻璃料熔化，形成將第一玻璃板與第二玻璃板相連的密封件，其中， 所述激光束在玻璃料上形成激光束覆蓋區(qū)(footprint)，在所述激光束覆蓋區(qū)內(nèi)的玻璃料的特定位置的停留時(shí)間等于或大于100毫秒，等于或大于200毫秒，或者等于或大于400毫秒。在以下發(fā)明詳述、附圖和任一權(quán)利要求中部分地提出了本發(fā)明的另外一些方面， 它們部分源自發(fā)明詳述，或可以通過實(shí)施本發(fā)明來理解。應(yīng)理解，前面的一般性描述和以下的發(fā)明詳述都只是示例和說明性的，不構(gòu)成對所揭示的本發(fā)明的限制。附圖簡要說明參照以下結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，可以更完整地理解本發(fā)明，附圖中圖IA和IB分別是依據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的密封裝置主要部件和密封的玻璃封裝的截面?zhèn)纫晥D和俯視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式，用來制造圖IA和IB所示的玻璃封裝的示例性密封方法的步驟的流程圖；圖3-9顯示用來測試本發(fā)明實(shí)施方式的密封方法和玻璃封裝的各種試驗(yàn)結(jié)果的示意圖和曲線圖。發(fā)明詳述在以下的詳述中，為了說明而非限制，給出了說明具體細(xì)節(jié)的示例性實(shí)施方式，以提供對本發(fā)明的充分理解。但是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員顯而易見的是，在從本說明書獲益后，可以以不同于本文詳述的其它實(shí)施方式實(shí)施本發(fā)明。另外，本文會(huì)省去對于眾所周知的裝置、方法和材料的描述，以免使得本發(fā)明的描述難以理解。最后，在任何適用的情況下， 相同的編號表示相同的元件。盡管下文中結(jié)合基礎(chǔ)玻璃封裝的制造來描述本發(fā)明的激光輔助玻璃料密封技術(shù)， 但是應(yīng)當(dāng)理解，可以通過相同的或者類似的激光輔助的玻璃料密封技術(shù)將兩塊玻璃板(其中至少一塊玻璃板具有大約80-90x10_7°C 1的較高的CTE)互相密封，其可以用于很多種應(yīng)用和裝置，例如固態(tài)照明、太陽能電池，甚至例如氣密密封的OLED顯示器。因此，本發(fā)明的玻璃封裝和激光輔助的玻璃料密封技術(shù)不應(yīng)看作限制于此。如圖IA和IB所示，由其頂視圖和截面圖可見本發(fā)明的密封的玻璃封裝100的基本組成。所述密封的玻璃封裝100包括第一玻璃板102 (其CTE約為80-90x10-7°C ―1)，一個(gè)或多個(gè)部件104，電極106 (任選的)，玻璃料108 (其CTE至少約為35 X 10_7°C ―1)以及第二玻璃板110。所述密封的玻璃封裝100具有由玻璃料108形成的密封件112(例如氣密密封件112)，它保護(hù)位于第一玻璃板102和第二玻璃板110之間的一個(gè)或多個(gè)部件104(如果存在)。電極106(如果存在)與部件104相連，并且穿透密封件112以便與外部裝置相連(未顯示)。密封件112通常圍繞在玻璃封裝100的周邊，這樣部件104(如果存在)和至少一部分電極106(如果存在)位于密封件112的周邊內(nèi)。如何通過熔化玻璃料108來形成密封件112，以及輔助部件，如用于加熱和熔化玻璃料108形成密封件112 (如氣密密封件)的密封裝置114(如，激光器114)由下圖2和實(shí)驗(yàn)結(jié)果部分作更為詳盡的描述。
如圖2所示，以流程圖說明本發(fā)明的制備密封玻璃封裝100的示例性密封方法200 的步驟。由步驟202和204開始，提供第一玻璃板102和第二玻璃板110以便制備密封玻璃封裝100。在一個(gè)實(shí)施方式中，所述第一和第二玻璃板102和110是鈉鈣玻璃板之類的玻璃板，CTE約為80-90 X KTtr1。在另一個(gè)實(shí)施方式中，所述第一玻璃板102(或第二玻璃板110)是鈉鈣玻璃板之類的玻璃板，CTE約為80-90X 10_7°C ―1，而第二玻璃板110(或第一玻璃板10 是CTE約為30 X IO-7oC 1的玻璃板，或者其CTE小于第一玻璃板102 (或第二玻璃板110)的CTE。例如，所述CTE約為30x10_7°C 1或者小于第一玻璃板102(或第二玻璃板110)的CTE的第二玻璃板110(或第一玻璃板10 可以包括堿土金屬鋁硼硅酸鹽玻璃板，例如康寧有限公司(Corning Incorporated)生產(chǎn)并銷售的商品名為Code 1737玻璃或 Eagle2000TM玻璃，或者可以是以下公司生產(chǎn)并銷售的玻璃板旭牌玻璃公司(Asahi Glass Co.)(例如OAlO玻璃和0A21玻璃)，日本電力玻璃公司(Nippon Electric Glass Co.), NHTechno 和三星-康寧精密玻璃公司(Samsung Corning Precision Glass Co.)(以上為示例)。 在步驟206和208，以一種方式沿著第一玻璃板102 (或第二玻璃板110)的邊緣提供和沉積CTE至少約為35x10〃°C ―1的玻璃料108 (例如玻璃料糊料108)，使得玻璃料108 在第一玻璃板102(或第二玻璃板110)的表面上形成閉合回路。例如，玻璃料108可以放置在距第一玻璃板102(或第二玻璃板110)的自由邊約Imm的地方?？梢钥吹?，所述玻璃料 108的CTE不與玻璃板102和110中的至少一者的CTE相匹配。在一個(gè)實(shí)施方式中，玻璃料 108是一種低溫玻璃料，含有一種或多種選自鐵、銅、釩和釹的吸收性離子(如過渡金屬)。 所述玻璃料108還可以用填料(例如逆轉(zhuǎn)填料，添加劑填料)摻雜，以將CTE降低至至少約為35X10_7°C人在一個(gè)實(shí)施例中，所述玻璃料108的組成可以為SId2O3 5摩爾％ )， V2O5 (47. 5 摩爾 % )，P2O5 (27 摩爾 % )，TiO2 (1. 0 摩爾 % )，Al2O3 (1. 0 摩爾 % )，F(xiàn)e2O3 (2. 5 摩爾％ )，以及至少10%的β -理霞石玻璃-陶瓷CTE降低填料(LiAlSiO4)。在以下文獻(xiàn)中詳細(xì)討論了可以用于本發(fā)明的這些玻璃料108以及一些不同的示例性玻璃料108的組成 共同轉(zhuǎn)讓的2008年7月觀日提交的美國臨時(shí)專利申請系列號第61/084，007號，以及題為“用玻璃料氣密密封的玻璃封裝以及制造方法(Glass Package that is Hermetically Sealed with a Frit and Method of Fabrication) ”的共同轉(zhuǎn)讓的美國專利第 6，998，776 號。這些文獻(xiàn)的內(nèi)容通過引用納入本文。 步驟210 (任選)中，玻璃料108可以預(yù)燒結(jié)到第一玻璃板102 (或第二玻璃板110) 上。為了完成這一操作，對沉積在第一玻璃板102(或第二玻璃板110)上的玻璃料108進(jìn)行加熱，使其附著于第一玻璃板102(或第二玻璃板110)。例如，該預(yù)燒結(jié)步驟208可以通過將第一玻璃板102和沉積的玻璃料108放入加熱爐內(nèi)在400°C加熱1小時(shí)，然后以受控速率冷卻從而防止玻璃料108和第一玻璃板102開裂來完成。如果需要，可以研磨該預(yù)燒結(jié)玻璃料108使其厚度變化小于5-10 μ m(舉例來說)。在步驟212 (任選的)，將部件104和相關(guān)的電極106沉積在第二玻璃板110 (或第一玻璃板10 上。例如，所述部件104和相關(guān)的電極106可以與0LED、固態(tài)照明裝置和太陽能電池相連。如果需要的話，作為部件104和電極106的替代或補(bǔ)充，所述玻璃封裝100 可以包含液體(圖中未顯示)。在步驟214，將所述第一玻璃板102設(shè)置在第二玻璃板110上，玻璃料108位于第一玻璃板102和第二玻璃板110之間?；蛘撸梢詫⑺龅诙ＡО?10設(shè)置在第一玻璃板102上，玻璃料108位于第一玻璃板102和第二玻璃板110之間。在步驟216，可通過使用密封裝置114(例如激光器114)對玻璃料108進(jìn)行加熱， 使得玻璃料108形成將第一玻璃板102與第二玻璃板110結(jié)合的密封件112(例如，氣密密封件11 (參見

圖1B)。此外，密封件112可以通過阻止，例如，周圍環(huán)境中的氧氣和水份進(jìn)入密封玻璃封裝100來保護(hù)部件104(如果存在)。在一個(gè)實(shí)施方式中，所述密封裝置 114(激光器114)引導(dǎo)激光束115通過第一玻璃板102或第二玻璃板110(如圖所示)射向玻璃料108，然后使得激光束115以預(yù)定的密封速度(例如20-50毫米/秒)沿著玻璃料108移動(dòng)，以加熱玻璃料108，使得玻璃料108熔化，形成將第一玻璃板102與第二玻璃板 110相連的密封件112。所述激光束115的光點(diǎn)尺寸通常大于玻璃料108的寬度。例如，所述玻璃料108的寬度可以至少為1毫米，因此激光束合適的光點(diǎn)尺寸可以超過1毫米，例如光束直徑至少約為2毫米，至少約為3毫米，或者至少約為4毫米。具體來說，所述激光束 115將在玻璃料108上形成激光束覆蓋區(qū)，在激光束覆蓋區(qū)內(nèi)的玻璃料108的特定位置的停留時(shí)間等于或大于100微秒，等于或大于200微秒，甚至等于或大于400微秒(注意光點(diǎn)尺寸和激光束覆蓋區(qū)可能與例如Ι/e2，全寬度最大值(FWHM)等相關(guān))。在密封過程中，希望激光束115在玻璃料108的特定位置的停留事件> 100毫秒，因?yàn)檫@有助于防止玻璃料 108從第一和第二玻璃板102和110開裂和脫層。在下面的試驗(yàn)結(jié)果部分提供了對密封步驟216和停留加熱時(shí)間(加熱曲線)的詳細(xì)討論。如果需要，所述密封裝置114(例如激光器114)可用于發(fā)射光線115(激光束115) 來加熱玻璃料108，其方式是使光線117沿具有無電極106區(qū)域和電極106占據(jù)區(qū)域(如果采用)的玻璃料108(例如，沿密封線118)移動(dòng)，將玻璃料108的溫度升高到一個(gè)基本恒定的溫度，同時(shí)使得玻璃料108熔化并形成連接第一玻璃板102和第二玻璃板110的密封件 112。在題為“用來密封有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的參數(shù)的最優(yōu)化(Optimization of Parameters for Sealing Organic Emitting Light Diode (OLED) Displays)，，白勺共同轉(zhuǎn)ih 的美國專利第 , 371，143號中描述了可以在本發(fā)明中用來實(shí)現(xiàn)恒溫密封技術(shù)的不同的密封技術(shù)和設(shè)備的例子。該文獻(xiàn)內(nèi)容通過引用納入本文。實(shí)驗(yàn)結(jié)果對上文所述的激光玻璃料密封方法200以及密封的高CTE玻璃102和110 (大部分是鈉鈣玻璃)進(jìn)行分析。通過觀察以及新的在線應(yīng)力檢測裝置，對在各種密封條件下(包括不同的密封速度，激光束光點(diǎn)尺寸等)制造的試驗(yàn)玻璃封裝100進(jìn)行分析。發(fā)現(xiàn)如果采用顯示器玻璃所用的激光密封條件(激光器功率33瓦，密封速度20毫米/秒，光束點(diǎn)尺寸 1. 8毫米，玻璃料寬度1毫米)對高CTE玻璃進(jìn)行玻璃料密封，通常會(huì)造成不利的裂紋和玻璃料108的脫層，這是由于密封的高CTE玻璃封裝100中的瞬時(shí)應(yīng)力和殘余應(yīng)力造成的。另外，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)通過減小密封速度以及/或者增大激光束115的光點(diǎn)尺寸而延長停留加熱時(shí)間(加熱、密封和冷卻玻璃料108所需的時(shí)間)，可以顯著提高高CTE玻璃封裝100的密封產(chǎn)率。通過應(yīng)力分析證明了這一點(diǎn)，應(yīng)力分析表明，采用較長的停留加熱時(shí)間密封的鈉鈣玻璃板102和110的應(yīng)力減小。本文中還描述了對其它的玻璃的該項(xiàng)分析和另外的試驗(yàn)，以說明在對高CTE玻璃板102和110進(jìn)行密封的時(shí)候，高CTE玻璃板102和110的最優(yōu)化密封條件以及重要的參數(shù)，例如CTE，退火點(diǎn)，加熱曲線和玻璃料組成等。密封質(zhì)量的評價(jià)在這些試驗(yàn)中，按照以上所述的共同轉(zhuǎn)讓的美國專利申請公開第2007/0128966 號和第2007/0128967號所述的常規(guī)密封工藝制造的密封件采用的評價(jià)方法類似的方法， 在光亮和黑暗的照明條件下，用光學(xué)顯微鏡進(jìn)行觀察來評價(jià)密封件的質(zhì)量。通過使用該種方法，能夠看到密封件112中的任何缺陷，可能是玻璃料108中的裂紋或脫層和/或玻璃板102和110中的裂紋。在一個(gè)試驗(yàn)中，使用兩塊鈉鈣玻璃板102和110以及1毫米寬的玻璃料108制造了玻璃封裝100，在玻璃封裝100中密封了鈣小片302，密封條件如下激光器功率為33瓦，密封速度為2毫米/秒，擴(kuò)展的光束光點(diǎn)尺寸為3. 2毫米。例如，可以用鈣小片302來檢測封裝的泄漏(非氣密性)，因此可以用來代表敏感性封裝內(nèi)容物。例如， 所述鈣小片302可以代表OLED裝置的一個(gè)或多個(gè)有機(jī)層，鈣小片測試的結(jié)果可以用來確定特定密封件在OLED裝置上的效果。如果在預(yù)定時(shí)間長度之后，鈣小片302的全部或一部分變成“白色片狀硬殼”，則表示封裝中存在氧氣，封裝可能發(fā)生了泄漏。在另一個(gè)試驗(yàn)中，用兩塊低CTE玻璃板(康寧的Eagle 玻璃板)和1毫米寬的玻璃料108制造了常規(guī)玻璃封裝，密封條件如下激光器功率為33瓦，密封速度為20毫米/秒，擴(kuò)展的激光束光點(diǎn)尺寸為3. 2毫米。在這兩種情況下，所述玻璃料108的組成為Sb2O3 5摩爾％)，V2O5 5摩
% ), P2O5(27 摩爾％ )，Ti&(1.0 摩爾％ )，A1203(1.0 摩爾％ )，F(xiàn)%03(2. 5 摩爾％ )，以及至少10%的β -理霞石玻璃-陶瓷CTE降低填料(LiAlSiO4)。所述密封的玻璃封裝100和常規(guī)密封的玻璃封裝通過了氣密性測試，所述測試包括在85°C /85%相對濕度的室內(nèi)放置 1000小時(shí)。本發(fā)明人通過改變激光器功率、密封速度和光束尺寸，以不同的密封條件進(jìn)行試驗(yàn)。另外，本發(fā)明人以不同種類的玻璃料108進(jìn)行試驗(yàn)，所述玻璃料108包括含有30%的 β-理霞石填料的玻璃料以及具有不同的玻璃/β-理霞石填料比(70/30至90/10)的玻璃料。如表#1所示，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，如果使用1毫米寬的玻璃料108，采用2毫米/秒的緩慢速度，激光器功率33瓦，擴(kuò)展的3. 2毫米的光束光點(diǎn)尺寸，能夠?qū)︹c鈣玻璃板102和110 進(jìn)行很好的密封，而在使用Eagle2000⑧玻璃板，1毫米寬的玻璃料108，相同的密封條件， 但是密封速度為20毫米/秒、光束光點(diǎn)尺寸為1. 8毫米的條件下，可以獲得非常高的密封產(chǎn)率。實(shí)際上，當(dāng)在密封條件包括激光器功率=33瓦、密封速度=20毫米/秒、光束光點(diǎn)尺寸=1.8毫米的情況下，對鈉鈣玻璃板102和110進(jìn)行密封的結(jié)果非常差。但是，當(dāng)使用大約2毫米/秒的較慢的密封速度，以及1. 8毫米的光束光點(diǎn)尺寸對鈉鈣玻璃板102和110 進(jìn)行密封的時(shí)候，可以獲得好得多的密封結(jié)果。另外，當(dāng)玻璃料108的寬度為1毫米時(shí)，將光束直徑增大到大約3. 2毫米，能夠獲得更好的密封質(zhì)量和密封產(chǎn)率。這兩個(gè)調(diào)節(jié)都是增加對玻璃封裝100單個(gè)位置的有效加熱時(shí)間(停留加熱時(shí)間)。實(shí)際上，本發(fā)明人將停留加熱時(shí)間τ (eff)定義為D/v，其中D是具有恒定光束形狀的激光束115的直徑，ν是激光束115沿著玻璃料108平移的線速度?？梢钥吹剑珼的增大以及ν的減小導(dǎo)致τ (eff)的增大(參見圖2中步驟216的關(guān)于停留加熱時(shí)間的討論)。對于Eagle2000 型玻璃這樣的低CTE玻璃板，即CTE = 32-36 X IO^7oC 1的玻璃，所述密封可以在速度高于50毫米/秒、 光點(diǎn)尺寸為1.8毫米的條件下完成。這意味著此類低CTE玻璃的停留加熱時(shí)間可以等于或小于90毫秒。本發(fā)明所解決的問題是，高CTE玻璃(80-90xl0_7°C ―1)的常規(guī)停留加熱時(shí)間應(yīng)當(dāng)至少比顯示器玻璃的停留加熱時(shí)間高一個(gè)數(shù)量級，以防玻璃料108從第一和第二玻璃板102和110開裂和脫層(見下文的討論)。表 #1
玻璃I與玻璃II的密封件CTE[x IO-7oC"1] 玻璃I/玻璃II密封速度 [毫米/秒]玻璃II應(yīng)變點(diǎn)
玻璃II退火點(diǎn)
激光光點(diǎn)尺寸[毫米]Eagle/Eagle32/32206667251.8鈉鈣/鈉鈣89/8925115453.2玻璃A32/51204725121.8E^le/玻璃B32/59不密封8028371.8E^le/玻璃C32/74205085501.8對表1所示的不同的玻璃進(jìn)行了測試，因?yàn)樗鼈兙哂胁煌腃TE，其它的具有類似 CTE的玻璃在相同的密封條件下會(huì)表現(xiàn)出類似的激光密封結(jié)果。表1中的鈉鈣玻璃和玻璃料的組成如下鈉鈣玻璃:73Si02,14Na20,9Ca0,0. 15A1203,0. 03K20,4MgO, 0. 02Ti02，0· IFe2O3-玻璃料108 =Sb2O3 (23. 5 摩爾 % )，V2O5 (47. 5 摩爾 % )，P2O5 (27 摩爾 % )，TiO2 (1. 0 摩爾％)，Al2O3 (1.0摩爾％)，F(xiàn)ii2O3 0.5摩爾％)，以及至少10%的β-理霞石玻璃-陶瓷 CTE 降低填料(LiAlSiO4)。表1的其它的玻璃都是可以從康寧購得的玻璃。Eagle 2000 玻璃是堿土金屬硼鋁硅酸鹽顯示器玻璃,其CTE為32X10〃"CT1。玻璃A(Corning Code 7058)和B(Corning Code 9753)是CTE分別為δΙχΚΓΤΤ1和MxlO+CT1的石灰鋁硅酸鹽玻璃。玻璃C (Corning Code 0211)是堿金屬-鋅硼硅酸鹽玻璃，在市場上作為顯微鏡蓋片玻璃購得，CTE為 74x10"7 0C Λ參見圖[[5] ] 1圖中顯示了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，多個(gè)高CTE玻璃封裝100 隨著密封速度或激光束形狀變化的加熱曲線。在此曲線中，X-軸是時(shí)間(秒)，y_軸是玻璃料溫度(°C )，用以下的編號方式來鑒別各個(gè)曲線1.實(shí)線表示玻璃冷卻的本征速率。2.該實(shí)線表示采用2毫米/秒、光點(diǎn)尺寸3. 2毫米的條件密封的時(shí)候，在0. 7毫米寬的玻璃料108中心處測得的加熱曲線。2A.該虛線表示采用2毫米/秒、光點(diǎn)尺寸3. 2毫米的條件密封的時(shí)候，在0. 7毫米寬的玻璃料108邊緣處測得的加熱曲線。3.該實(shí)線表示采用2毫米/秒、光點(diǎn)尺寸1. 8毫米的條件密封的時(shí)候，在0. 7毫米寬的玻璃料108中心處測得的加熱曲線。3A.該虛線表示采用2毫米/秒、光點(diǎn)尺寸1. 8毫米的條件密封的時(shí)候，在0. 7毫米寬的玻璃料108邊緣處測得的加熱曲線。4.該實(shí)線表示采用20毫米/秒、光點(diǎn)尺寸1. 8毫米的條件密封的時(shí)候，在0. 7毫米寬的玻璃料108中心處測得的加熱曲線。4A.該虛線表示采用20毫米/秒、光點(diǎn)尺寸1. 8毫米的條件密封的時(shí)候，在0. 7毫米寬的玻璃料108邊緣處測得的加熱曲線。表1和圖3顯示了較寬的激光束115光點(diǎn)尺寸會(huì)提供更均勻的加熱曲線，這對于高CTE玻璃(如鈉鈣玻璃)的玻璃料激光密封是很重要的。在線和密封過稈之后的應(yīng)力評價(jià)為了測量激光密封的玻璃封裝100內(nèi)的應(yīng)力，發(fā)明人采用了在密封的玻璃封裝 100內(nèi)原位測量雙折射的設(shè)備。該設(shè)備與M. H. L. Tardy的"用來測量光學(xué)材料中的雙折射的試驗(yàn)方法(An Experimental Method for Measuring the Birefringence in Optical Materials) “，Optics Review，第8卷，第59-69頁，1929 (其內(nèi)容參考結(jié)合入本文中)中所述的Tardy法類似。但是，在這些試驗(yàn)中，本發(fā)明人使用包括快速攝相機(jī)的設(shè)備監(jiān)控雙折射。由此，本發(fā)明人能夠計(jì)算密封的玻璃封裝100中的瞬時(shí)應(yīng)力和殘余應(yīng)力。具體來說，本發(fā)明人使用該設(shè)備測量延遲的量，需要將其轉(zhuǎn)化為雙折射，然后需要將雙折射轉(zhuǎn)化為應(yīng)力。 對兩個(gè)被測的玻璃封裝提供雙折射圖，這兩個(gè)封裝各自都是由0. 63毫米厚的鈉鈣玻璃板 102和110以及位于其間的通常為1毫米寬的玻璃料108制成，所述被測的第一玻璃封裝使用1. 8毫米的點(diǎn)激光束115、20瓦的激光器功率，以10毫米/秒的速度密封，所述被測的第二玻璃封裝IOOb使用1. 8毫米的點(diǎn)激光束115、12瓦的激光器功率，以2毫米/秒的速度密封。以10毫米/秒的速度密封的第一玻璃封裝中的應(yīng)力水平顯著高于以2毫米/秒的速度密封的第二玻璃封裝中的應(yīng)力(見圖6)。對于設(shè)備的校準(zhǔn)，本發(fā)明人使用相同的密封的第二玻璃封裝將由設(shè)備600獲得的殘余雙折射與由標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)的偏光計(jì)獲得的殘余雙折射進(jìn)行比較。還在一些鈉鈣玻璃封裝100中，垂直于常規(guī)的玻璃料108測量雙折射，在Hinds偏振光鏡上采集的數(shù)據(jù)見圖[[7]]i的曲線。在此曲線中，χ-軸是在玻璃料上的距離(毫米)， y-軸是雙折射(納米/厘米)，用以下的編號方式來鑒別各個(gè)曲線1.使用掩模，在速度為20毫米/秒、激光器功率為175瓦、激光束光點(diǎn)尺寸為4. 8 毫米的條件下對該鈉鈣玻璃封裝100進(jìn)行密封。2.使用掩模，在速度為20毫米/秒、激光器功率為370瓦、激光束光點(diǎn)尺寸為6. 4 毫米的條件下對該鈉鈣玻璃封裝100進(jìn)行密封。3.使用掩模，在速度為20毫米/秒、激光器功率為18瓦、激光束光點(diǎn)尺寸為1.6 毫米的條件下對該鈉鈣玻璃封裝100進(jìn)行密封。出于參照的目的，在激光器功率為33瓦、激光束光點(diǎn)尺寸為1. 8毫米、密封速度為 20毫米/秒的條件下密封的常規(guī)fegle 2000 玻璃封裝產(chǎn)生的應(yīng)力能夠與在激光器功率為370瓦、激光束光點(diǎn)尺寸為6. 4毫米、密封速度為20毫米/秒的條件下密封的鈉鈣玻璃封裝100的應(yīng)力相近。應(yīng)當(dāng)理解，應(yīng)力越小，則玻璃封裝100的機(jī)械性能和壽命越好。Hinds偏振光鏡提供了雙折射的值，給出了關(guān)于玻璃料108中的應(yīng)力的峰值，以及應(yīng)力寬度相對于玻璃料108寬度的信息。圖4所示的所得的雙折射可以用圖5所示的已知的應(yīng)力-光學(xué)系數(shù)圖轉(zhuǎn)化為應(yīng)力值，其中對沿著光路的應(yīng)力局域化進(jìn)行了某些假設(shè)。在此具體的曲線中，χ-軸是距離(毫米)，y_軸是鈉鈣玻璃封裝100中的應(yīng)力(psi)，以下的編號方式用來分辨與密封條件相關(guān)的曲線(1)2毫米/秒的密封速度，激光器功率為12瓦， 激光束光點(diǎn)尺寸為1. 8毫米；(2) 10毫米/秒的密封速度，激光器功率為20瓦，激光束光點(diǎn)尺寸為1. 8毫米。因?yàn)榭梢栽诿芊膺^程中的任意特定時(shí)間點(diǎn)監(jiān)控應(yīng)力，因此可以獲得瞬時(shí)應(yīng)力和殘余應(yīng)力的峰值應(yīng)力值。這些數(shù)據(jù)總結(jié)于圖9。參見圖6，其中總結(jié)了不同的玻璃封裝以及密封條件下的峰值應(yīng)力，包括瞬時(shí)應(yīng)力 (底部的斜陰影線)和殘余應(yīng)力(頂部的斜陰影線)。在此圖中，X-軸表示多個(gè)取樣的玻璃封裝，y-軸表示最大應(yīng)力(PSi)，樣品鑒別如下=(I)Eagle表示用常規(guī)的玻璃料108密封的 Eagle 2000 玻璃板；(2) SLN表示用常規(guī)的玻璃料108密封的鈉鈣玻璃板102和110 ； (3) SL90-10表示用常規(guī)的玻璃料108(其中玻璃與CTE降低填料比為90/10)密封的鈉鈣玻璃板102和110 (注第二個(gè)數(shù)字表示2毫米/秒或10毫米/秒的激光密封速度)。在此測試中，密封條件包括激光器功率為12瓦和20瓦(分別用于2毫米/秒和10毫米/秒的速度)，激光束光點(diǎn)尺寸為1.8毫米。在圖6中，看到鈉鈣玻璃的瞬時(shí)應(yīng)力值大于fegle 2000 玻璃，但是其應(yīng)力峰值并未隨著密封速度的不同而出現(xiàn)顯著變化。與此同時(shí)，當(dāng)在較慢的速度下對鈉鈣玻璃進(jìn)行密封的時(shí)候，殘余應(yīng)力值下降。總體來說，如圖4和圖6所示，fegle 2000 玻璃和鈉鈣玻璃密封的殘余應(yīng)力值之間的差異是最顯著的。通過對各種應(yīng)力圖案進(jìn)行詳細(xì)分析表明，在等于和大于10毫米/秒的快密封速度下，應(yīng)力圖案相對于玻璃料108的中心明顯不對稱。另外，頂部鈉鈣玻璃板110的應(yīng)力明顯大于底部鈉鈣玻璃板102，如圖5所示，如本文以下的部分進(jìn)一步討論。這也適用于低CTE顯示器玻璃的密封，但是并不是這么關(guān)鍵，這是因?yàn)轱@示器玻璃的應(yīng)力的量級小于較高CTE的玻璃。對于較高CTE的玻璃，應(yīng)力的不對稱性也是激光密封故障的一個(gè)重要因素。因此，基于Eagle和鈉鈣玻璃密封的測試結(jié)果，玻璃封裝100 中的殘余應(yīng)力的量不應(yīng)比常規(guī)玻璃封裝中的常規(guī)應(yīng)力值大4-5倍。從圖6可以看到，發(fā)現(xiàn)玻璃封裝100中的最大殘余應(yīng)力的量小于1500psi，因此對于常規(guī)的玻璃封裝，應(yīng)當(dāng)為小于 7000psi。換言之，玻璃封裝100中的殘余應(yīng)力不應(yīng)大于大約1500psi，對于常規(guī)的玻璃封裝，應(yīng)當(dāng)不大于7000psi。背板玻璃和蓋板玻璃的應(yīng)力差異應(yīng)小于20-30%。激光束光點(diǎn)尺寸的影響如上文所述，鈉鈣玻璃的激光密封需要非常顯著地改變加熱曲線以便以高產(chǎn)率提供密封件112。本發(fā)明人對于各種激光束115光點(diǎn)尺寸和密封速度，使用上述常規(guī)的玻璃料 108，進(jìn)行鈉鈣玻璃密封試驗(yàn)。這些試驗(yàn)表明即使在低得多的速度下，< 1毫米/秒，1. 8毫米的光點(diǎn)尺寸提供低質(zhì)量的密封件，而在大約2毫米/秒的速度下以大于3毫米的光點(diǎn)尺寸進(jìn)行密封的話，制得的玻璃封裝100具有高質(zhì)量的密封件112。這可以通過以下條件的差異來解釋停留加熱時(shí)間，玻璃料加熱、密封和冷卻所需的時(shí)間(見圖2的步驟216)以及玻璃料108的中心和邊緣的加熱均一性。通過對玻璃料108進(jìn)行均一的加熱可以確保玻璃料108的中心和邊緣具有類似的停留加熱時(shí)間。例如，在光束寬度為1. 8毫米、速度為1毫米/秒(功率為12瓦)的條件下，1毫米寬的玻璃料108的中心的停留加熱時(shí)間為1.8秒， 而對于3. 25毫米寬的光束和2毫米/秒(功率30瓦)的條件來說幾乎是相同的(約1. 6 秒)，但是對于3. 25毫米寬的光束來說，密封結(jié)果要好得多。1. 8毫米的光束對玻璃料108 的邊緣的停留加熱時(shí)間要比3. 25毫米的光束短得多。應(yīng)當(dāng)理解，所述激光束可以具有階梯狀的強(qiáng)度曲線(沿著光束的寬度的強(qiáng)度分布)，在光束的寬度上具有基本均一的強(qiáng)度，或者光束可以具有高斯強(qiáng)度曲線。在本文中，基本均一的強(qiáng)度分布表示在光束的寬度上可能有一些很小的強(qiáng)度變化。例如，實(shí)際上，真實(shí)的階梯函數(shù)強(qiáng)度分布是很難實(shí)現(xiàn)的，在分布的“側(cè)面”可以有一定的斜率，或者可能發(fā)生其它的小的強(qiáng)度變化。上文中已經(jīng)討論了以2毫米/ 秒的密封速度制造的玻璃封裝100中，保護(hù)Ca小片302(用于氣密性測試)的常規(guī)密封件 (使用兩塊鈉鈣玻璃板102和110以及1毫米寬的玻璃料108制造，密封Ca小片302，密封條件為激光器功率=33瓦，密封速度為2毫米/秒，擴(kuò)展的光束光點(diǎn)尺寸為3. 2毫米)。迄今為止，如前文所述制造的初始測試的玻璃封裝100中有四分之三都通過了在 850C /85%相對濕度的室內(nèi)保持1000小時(shí)的試驗(yàn)。需要注意的是，所述出現(xiàn)故障的玻璃封裝100在激光開始/停止位置具有密封件112缺陷，已知對于顯示器玻璃和鈉鈣型玻璃，這都是最重要的密封點(diǎn)。在包括更多數(shù)量的玻璃封裝100(大于20)的其它的試驗(yàn)中，幾乎所有的沒有可見缺陷的玻璃封裝100都能夠通過在85°C /85%相對濕度的室內(nèi)保持至少1000 小時(shí)的測試，而不會(huì)發(fā)生任何可見的玻璃料108泄漏的預(yù)兆，而鈉鈣玻璃板102和110自身顯著地風(fēng)化。高諫密封為了獲得20毫米/秒的密封速度，可以增大激光束115的光點(diǎn)尺寸，以保持與較低速度條件下相同的加熱曲線。顯示為采用400瓦激光器功率、密封速度20毫米/秒、激光束光點(diǎn)尺寸9毫米。由于制備的這些種類的玻璃封裝100的數(shù)量有限，沒有統(tǒng)計(jì)學(xué)數(shù)據(jù)， 但是這些玻璃封裝100中的至少兩個(gè)成功地密封了 Ca小片302，在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中堅(jiān)持了至少2000小時(shí)。這說明可以通過保持寬的加熱曲線對高CTE玻璃進(jìn)行密封。該方法允許延長玻璃料108寬度上的停留加熱時(shí)間，同時(shí)保持20毫米/秒的較高的密封速度。玻璃料改良對于鈉鈣玻璃板102和110的密封，發(fā)現(xiàn)相對于常規(guī)玻璃料108的CTE變化對鈉鈣玻璃板102和110的密封沒有重要影響。實(shí)際上，填料量較少的較高CTE玻璃料108的性能更差一些，但是在這些玻璃封裝100中實(shí)現(xiàn)成功的密封件112。不類似的玻璃的密封應(yīng)變點(diǎn)的影響還對不類似的玻璃與性質(zhì)不同于fegle 2000 玻璃和鈉鈣玻璃的玻璃的密封進(jìn)行了研究，結(jié)果匯總于上表#1?？梢钥吹?，Eagle 2000 玻璃與玻璃A和B的密封表明了應(yīng)變點(diǎn)的值的重要性。應(yīng)變點(diǎn)越低，玻璃密封越好，這可以通過對應(yīng)力值的觀察來解釋。對于較高應(yīng)變點(diǎn)的玻璃，其中的總體應(yīng)力高于具有相同CTE和較低應(yīng)變點(diǎn)的玻璃中的應(yīng)力。這是因?yàn)閼?yīng)力在低于玻璃應(yīng)變點(diǎn)的溫度產(chǎn)生。如果密封溫度低于玻璃的應(yīng)變點(diǎn)，則具有相同 CTE的玻璃將具有相同的應(yīng)力值。如果應(yīng)變點(diǎn)低于密封溫度，則具有較低應(yīng)變點(diǎn)的玻璃將會(huì)具有較低的應(yīng)力。對于玻璃A和玻璃B就是這種情況，其中玻璃A的應(yīng)變點(diǎn)為472°C，能夠很好地密封于fegle 2000 玻璃，而玻璃B具有類似的CTE，但是應(yīng)變點(diǎn)高于800°C，其根本無法密封，而是發(fā)生了分層。一般來說，應(yīng)變CTE*AT/At (應(yīng)變點(diǎn)至室溫)的總體數(shù)值應(yīng)低于某個(gè)數(shù)值。制備良好密封件的常規(guī)的值約為1500ppm。但是，如果玻璃的冷卻速率比本征冷卻速率更慢，則可以超過該數(shù)值。因此，在本發(fā)明中，有可能在特定停留加熱時(shí)間(例如> 400毫秒)，玻璃板102和110的應(yīng)變點(diǎn)減去密封工藝之前的玻璃板102和/或110的
12平衡溫度的差可以小于500°c。例如，如果需要縮短停留加熱時(shí)間(< 400毫秒)，根據(jù)以上公式，需要升高環(huán)境溫度而減小應(yīng)變點(diǎn)和環(huán)境溫度之間的ΔΤ。例如，如果需要以<100 毫秒或者< 200毫秒的停留加熱時(shí)間進(jìn)行密封，則需要分別將環(huán)境溫度升高至少200°C或 100°C。具體來說，在本發(fā)明中，有可能在特定停留加熱時(shí)間(約等于或大于200毫秒)，玻璃板102和110的應(yīng)變點(diǎn)減去密封工藝之前的玻璃板102和/或110的平衡溫度的差可以約小于400°C。而且，在本發(fā)明中，有可能在特定停留加熱時(shí)間(約等于或大于100毫秒)， 玻璃板102和110的應(yīng)變點(diǎn)減去密封工藝之前的玻璃板102和/或110的平衡溫度的差可以約小于300°C。玻璃厚度的影響玻璃板102和110的厚度也對玻璃密封發(fā)揮著重要作用?？梢詫⒑穸葹?50微米的玻璃C密封于fegle 2000 玻璃，而厚度大于400微米的較厚的玻璃C在以上表1所述的密封條件下會(huì)產(chǎn)生裂紋和分層。在這些試驗(yàn)中，使用的常規(guī)玻璃料108的組成為Sb2O3 5 摩爾 ％ )，V20J47. 5 摩爾 ％ )，P2O507 摩爾 ％ )，Ti&(1.0 摩爾 ％ )，Α1203 (1·0 摩爾 ％ )， Fe2O3 (2. 5摩爾％ )，以及至少10%的β -理霞石玻璃-陶瓷CTE降低填料(LiAlSiO4)。使用鈉鈣玻璃進(jìn)行的其它的試驗(yàn)也表明，厚玻璃的密封毫米相對于0.7毫米)會(huì)得到較低的密封產(chǎn)率。應(yīng)當(dāng)理解以上所述的試驗(yàn)使用具有特定尺寸和組成的玻璃料108，玻璃板102和 110具有特定的組成，但是應(yīng)當(dāng)理解可以使用本發(fā)明將不同種類的玻璃料108以及不同種類的玻璃板102和110互相連接。另外，以上實(shí)驗(yàn)涉及使用具體的步驟和具體的步驟順序， 但是應(yīng)理解為了利用本發(fā)明制造密封的玻璃封裝110，可實(shí)施或不實(shí)施這些步驟中的任何步驟，或者采用或不采用該具體的步驟順序。因此，激光輔助的玻璃料密封法200和所得的密封的玻璃封裝100應(yīng)理解為不受限于特定類型的玻璃料108，特定類型的玻璃板102和 110，特定的步驟或特定的步驟順序。雖然參照附圖以及前面的發(fā)明詳述說明了本發(fā)明的許多實(shí)施方式，但是應(yīng)理解， 本發(fā)明不限于所公開的這些實(shí)施方式，在不偏離由所附權(quán)利要求書限定的本發(fā)明構(gòu)思的前提下能夠進(jìn)行各種重排、修改和替換。
權(quán)利要求
1.一種用來制造玻璃封裝的方法，所述方法包括以下步驟提供第一玻璃板，其中所述第一玻璃板的熱膨脹系數(shù)CTE約為80-90X 10_7°C 1 ；提供第二玻璃板；提供玻璃料，其中所述玻璃料的CTE至少約為35X 10_7°C 1 ；將玻璃料沉積在第一玻璃板或第二玻璃板上；將所述第一玻璃板設(shè)置在第二玻璃板上，其中玻璃料位于第一玻璃板和第二玻璃板之間；使用激光器引導(dǎo)激光束通過所述第一玻璃板或第二玻璃板，射向玻璃料，然后使得激光束以預(yù)定的密封速度，沿著所述玻璃料移動(dòng)，以加熱玻璃料，使得所述玻璃料熔化，形成將第一玻璃板與第二玻璃板相連的密封件；以及所述激光束在所述玻璃料上形成激光束覆蓋區(qū)，在所述激光束覆蓋區(qū)內(nèi)的玻璃料的一個(gè)位置的停留時(shí)間等于或大于100毫秒。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光束在玻璃料的一個(gè)位點(diǎn)的停留時(shí)間使得在玻璃料中心和邊緣的加熱和冷卻基本均一。
3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第二玻璃板的CTE約為 30x10_7°C ―1，或者小于第一玻璃板的CTE。
4.如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，以一種方式按照預(yù)定的加熱曲線以大約20-50毫米/秒的預(yù)定密封速度進(jìn)行玻璃料的熔化以形成密封件，從而防止第一玻璃板和第二玻璃板之間的密封的玻璃料的隨后的裂紋和分層。
5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述激光束的光點(diǎn)尺寸大于玻璃料的寬度。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述激光束具有高斯強(qiáng)度分布或基本均一的強(qiáng)度分布。
7.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述激光束具有基本均一的強(qiáng)度分布。
8.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述第一玻璃板是鈉鈣玻璃板。
9.如權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述第二玻璃板是鈉鈣玻璃板。
10.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一玻璃板的應(yīng)變點(diǎn)約低于500°C。
11.如權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，對于約等于或大于100毫秒的停留加熱時(shí)間，第一玻璃板的應(yīng)變點(diǎn)減去密封之前的第一玻璃板的平衡溫度的差值約小于 300 "C。
12.如權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，對于約等于或大于200毫秒的停留加熱時(shí)間，第一玻璃板的應(yīng)變點(diǎn)減去密封之前的第一玻璃板的平衡溫度的差值約小于 400 "C。
13.如權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，對于約等于或大于400毫秒的停留加熱時(shí)間，第一玻璃板的應(yīng)變點(diǎn)減去密封之前的第一玻璃板的平衡溫度的差值約小于 500 "C。
14.如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述密封的第一玻璃板的殘余應(yīng)力不大于約1500磅/平方英寸。
15.如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在進(jìn)行設(shè)置步驟之前，將玻璃料預(yù)燒結(jié)在第一玻璃板或第二玻璃板上的步驟。
16.如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在進(jìn)行設(shè)置步驟之前，將至少一個(gè)部件放置在第二玻璃板上的步驟。
17.如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，用所述密封裝置加熱所述玻璃料，以便在所述玻璃料熔化并形成連接第一玻璃板和第二玻璃板的密封件的時(shí)候，使所述玻璃料沿密封線保持基本恒定的溫度。
18.如權(quán)利要求1-17中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述玻璃料包括釩-磷酸鹽玻璃和β-理霞石填料。
19.如權(quán)利要求1-17中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述玻璃料包含用一種或多種吸收離子摻雜的玻璃，所述吸收離子選自鐵、銅、釩、錳、鈷、鎳、鉻或釹。
20.一種玻璃封裝，其包括第一玻璃板，所述第一玻璃板的熱膨脹系數(shù)CTE約為80-90Χ 10_7°C 1 ；第二玻璃板；和玻璃料，其CTE至少約為35X 10_7°C ―1，所述玻璃料形成將第一玻璃板與第二玻璃板相連的密封件。
21.如權(quán)利要求20所述的玻璃封裝，其特征在于，所述第二玻璃板的CTE約為 30x10_7°C ―1，或者小于第一玻璃板的CTE。
22.如權(quán)利要求20或21所述的玻璃封裝，其特征在于，所述第一玻璃板是鈉鈣玻璃板。
23.如權(quán)利要求20-22中任一項(xiàng)所述的玻璃封裝，其特征在于，所述第一玻璃板的應(yīng)變點(diǎn)約低于500°C。
24.如權(quán)利要求20-23中任一項(xiàng)所述的玻璃封裝，其特征在于，所述玻璃料包括釩-磷酸鹽玻璃和β-理霞石填料。
全文摘要
本發(fā)明描述了用來制造玻璃封裝的激光輔助的玻璃料密封法，所述玻璃封裝包括第一玻璃板(其具有較高的CTE，約為80-90×10-7℃-1)，第二玻璃板以及玻璃料(其CTE至少約為35×10-7℃-1)，所述玻璃料形成將第一玻璃板與第二玻璃板相連的密封件(例如氣密密封件)。
文檔編號C03C27/06GK102264662SQ200980153150
公開日2011年11月30日 申請日期2009年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月24日
發(fā)明者S·L·羅格諾弗, S·馬加諾維克 申請人:康寧股份有限公司