專利名稱：：脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種搬送及分?jǐn)嗖ＡО宓却嘈圆牧匣宓难b置。
背景技術(shù)：
：先前，在分?jǐn)嗖ＡО宓却嘈圆牧匣鍟r(shí)，是準(zhǔn)備搬送裝置、刻劃裝置以及斷開(kāi)裝置，利用各裝置來(lái)進(jìn)行處理。即，玻璃板被搬送裝置載置到刻劃裝置的平臺(tái)上，在此于玻璃板上形成分?jǐn)嗖?。其次，形成有分?jǐn)嗖鄣牟ＡО灞话崴脱b置搬送到斷開(kāi)裝置的平臺(tái)上，在此沿著分?jǐn)嗖鄯謹(jǐn)嗖ＡО?。例如，在日本專利特開(kāi)平7-276174號(hào)公報(bào)中所揭示的工件加工方法以及裝置中，是利用中間搬送機(jī)械手(robot)在刻劃平臺(tái)(scribetable)上吸附形成有分?jǐn)嗖鄣牟ＡО宥崴偷綌嚅_(kāi)平臺(tái)(breaktable)。[先前技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開(kāi)平7-276174號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容如上所述，在先前的特別是用于分?jǐn)啻笮筒ＡО宓南到y(tǒng)中，形成分?jǐn)嗖鄣目虅澭b置、進(jìn)行分?jǐn)嗟臄嚅_(kāi)裝置、以及用于將玻璃板搬送到刻劃裝置或斷開(kāi)裝置的各個(gè)平臺(tái)上的搬送裝置是各自獨(dú)立地設(shè)置。在所述先前的系統(tǒng)中，整個(gè)系統(tǒng)體型龐大，為了配置各裝置，需要寬廣的空間，并且用于構(gòu)建整個(gè)系統(tǒng)的費(fèi)用升高。本發(fā)明的課題在于縮小用于分?jǐn)啻笮筒ＡО宓南到y(tǒng)構(gòu)成的體型，抑制用于系統(tǒng)構(gòu)建的成本。技術(shù)方案1的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置包括刻劃平臺(tái)、刻劃頭(scribehead)以及一對(duì)鉗子(pliers)?？虅澠脚_(tái)是將應(yīng)分?jǐn)嗟牟ＡО遢d置在特定位置上?？虅濐^是在X軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，用于在載置于刻劃平臺(tái)上的玻璃板上形成分?jǐn)嗖?。一?duì)鉗子是在與X軸正交的Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，可握持脆性材料基板的X軸方向的兩端搬送脆性材料基板，并且使分?jǐn)嘭?fù)荷作用于脆性材料基板的分?jǐn)嗖鄣膬啥硕謹(jǐn)啻嘈圆牧匣濉４颂?，在本發(fā)明中，所謂分?jǐn)嗖?，是指包含利用通常用于刻劃脆性材料基板的刻劃輪以及由激光等的照射所產(chǎn)生的熱應(yīng)力而形成的刻劃線、通過(guò)使用磨石的切割加工而形成的分?jǐn)嘤们胁墼趦?nèi)，成為用于通過(guò)分?jǐn)喽勾嘈圆牧匣宸蛛x的引導(dǎo)線(guideline)的槽。另外，在本發(fā)明中，所謂分?jǐn)啵侵赣糜谘刂纬捎诖嘈圆牧系闹鞅砻嫔系目虅澗€或切槽分離脆性材料基板的加工步驟。此外，在本發(fā)明中，脆性材料基板包括建材用玻璃、汽車用窗玻璃、FPD(FlatPanelDisplay，平板顯示器)等的玻璃電路基板、燒結(jié)材料的陶瓷、單晶硅、半導(dǎo)體晶片、陶瓷基板、藍(lán)寶石基板、石材等。在所述裝置中，如果將脆性材料基板供給到刻劃平臺(tái)上，那么脆性材料基板會(huì)被一對(duì)鉗子握持而移動(dòng)到特定位置。在所述特定位置，用刻劃頭在脆性材料基板上形成分?jǐn)嗖邸Ｐ纬捎蟹謹(jǐn)嗖鄣拇嘈圆牧匣逶诜謹(jǐn)辔恢帽灰粚?duì)鉗子沿著分?jǐn)嗖鄱謹(jǐn)?。如上所述，在所述裝置中，是一對(duì)鉗子搬送脆性材料基板，并且利用所述一對(duì)鉗子還進(jìn)行脆性材料基板的分?jǐn)唷Ｒ虼?，與像先前裝置那樣分別設(shè)置搬送裝置以及分?jǐn)啻嘈圆牧匣宓难b置的情況相比，可使整個(gè)系統(tǒng)小型化，并且可將用來(lái)構(gòu)建系統(tǒng)的成本抑制得較低。技術(shù)方案2的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案1的裝置，其中還包括斷開(kāi)平臺(tái)，其隔著刻劃頭而配置在與刻劃平臺(tái)相反之側(cè)，以載置形成有分?jǐn)嗖鄣拇嘈圆牧匣?。而且，一?duì)鉗子可在刻劃平臺(tái)與斷開(kāi)平臺(tái)之間搬送脆性材料基板。此時(shí)也與上述相同，一對(duì)鉗子在刻劃平臺(tái)與斷開(kāi)平臺(tái)之間搬送脆性材料基板，并且利用一對(duì)鉗子還進(jìn)行脆性材料基板的分?jǐn)?，因此可使整個(gè)系統(tǒng)小型化，并且可將用于構(gòu)建系統(tǒng)的成本抑制得較低。技術(shù)方案3的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案1的裝置，其中一對(duì)鉗子還可在X軸方向上移動(dòng)。技術(shù)方案4的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案2的裝置，其中一對(duì)鉗子還可在X軸方向上移動(dòng)。此處，由于一對(duì)鉗子還在X軸方向上移動(dòng)自如，因此可根據(jù)脆性材料基板的尺寸等將鉗子調(diào)整到適當(dāng)位置，從而可對(duì)各種脆性材料基板進(jìn)行良好的分?jǐn)?。技術(shù)方案5的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案2的裝置，其中還包括一個(gè)基臺(tái)，其一側(cè)設(shè)置有刻劃平臺(tái)，并且另一側(cè)設(shè)置有斷開(kāi)平臺(tái)。此處，由于在一個(gè)基臺(tái)上設(shè)置有刻劃平臺(tái)與斷開(kāi)平臺(tái)，因此可進(jìn)一步小型化和降低成本。技術(shù)方案6的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案1至5中任一項(xiàng)的裝置，其中一對(duì)鉗子分別包括第一夾盤及第二夾盤。第一夾盤在前端部包含用于按壓脆性材料基板的第一面的按壓體。第二夾盤包含承托部，其與按壓體相對(duì)向且相對(duì)于按壓體相對(duì)地接近、遠(yuǎn)離自如而配置，用于承托脆性材料基板的第二面。而且，第二夾盤的承托部包含可彈性變形的彈性板，其在與分?jǐn)嗖劢徊娴淖笥曳较蛏弦蕴囟ㄩL(zhǎng)度延伸，且剛性較脆性材料基板更低；以及彈性板支撐部，其相對(duì)于第二夾盤支撐彈性板的左右方向兩端部；且第一夾盤的按壓體包含用于使較分?jǐn)嗖鄣牟蹖捀鼘拸V的分布負(fù)荷作用于脆性材料基板的按壓部。在所述裝置中，形成有分?jǐn)嗖鄣拇嘈圆牧匣灞坏诙A盤的承托部所支撐，并受到第一夾盤的按壓體按壓而彎曲，從而被分?jǐn)唷４藭r(shí)，脆性材料基板的一個(gè)表面被承托部的彈性板所覆蓋，并且脆性材料基板的另一個(gè)表面以包含分?jǐn)嗖鄣奶囟▽挾韧ㄟ^(guò)按壓體而承受分布負(fù)荷。由于通過(guò)包含這種夾盤的鉗子搬送脆性材料基板，所以可確實(shí)地保持并搬送脆性材料基板。另外，在分?jǐn)鄷r(shí)，是使分布負(fù)荷作用于脆性材料基板來(lái)進(jìn)行分?jǐn)啵虼伺c先前的使用工具的情況相比，能夠以緩慢的速度分?jǐn)啻嘈圆牧匣澹瑥亩勾嘈圆牧匣宓姆謹(jǐn)嗝娴钠焚|(zhì)提升。此外，在所述鉗子中，各夾盤的按壓體以及承托部較分?jǐn)嗖鄣牟蹖捀鼘?，因此無(wú)須嚴(yán)格管理各夾盤對(duì)脆性材料基板的握持位置。即，各夾盤的握持位置即使自分?jǐn)嗖勰撤N程度上偏離也是允許的。因此，無(wú)須嚴(yán)格管理一對(duì)鉗子的搬送精度，從而使搬送控制變得容易ο技術(shù)方案7的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案1至5中任一項(xiàng)的裝置，其中刻劃頭是配置在刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的下方或上方，并在脆性材料基板的下表面或上表面形成分?jǐn)嗖鄣目虅澼?，并且該搬送與分?jǐn)嘌b置還包括支撐棒，其與刻劃頭相對(duì)向，并從配置有刻劃輪的相反側(cè)支撐形成分?jǐn)嗖蹠r(shí)的脆性材料基板。技術(shù)方案8的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案6的裝置，其中刻劃頭是配置在刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的下方或上方，并在脆性材料基板的下表面或上表面形成分?jǐn)嗖鄣目虅澼啠⑶以摪崴团c分?jǐn)嘌b置還包括支撐棒，其與刻劃頭相對(duì)向，并從配置有刻劃輪的相反側(cè)支撐形成分?jǐn)嗖蹠r(shí)的脆性材料基板。此處，是利用配置在玻璃板的下方或上方的刻劃頭在玻璃板的下表面或上表面形成分?jǐn)嗖?。這時(shí)，由于利用支撐棒從上方或下方支撐玻璃板，所以可良好地形成分?jǐn)嗖?。技術(shù)方案9的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案1至5中任一項(xiàng)的裝置，其中還包括分別一個(gè)或多個(gè)第一定位銷、第二定位銷以及第三定位銷。第一定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部。第二定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部。第三定位銷是在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。技術(shù)方案10的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案6的裝置，其中還包括分別一個(gè)或多個(gè)第一定位銷、第二定位銷以及第三定位銷。第一定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部。第二定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部。第三定位銷是在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。技術(shù)方案11的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案7的裝置，其中還包括分別一個(gè)或多個(gè)第一定位銷、第二定位銷以及第三定位銷。第一定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部。第二定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部。第三定位銷是在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。技術(shù)方案12的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置如技術(shù)方案8的裝置，其中還包括分別一個(gè)或多個(gè)第一定位銷、第二定位銷以及第三定位銷。第一定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部。第二定位銷是在刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部。第三定位銷是在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。此處，供給到刻劃平臺(tái)上的脆性材料基板通過(guò)第一至第三定位銷而定位在特定位置上。由此，可將分?jǐn)嗖坌纬捎诖嘈圆牧匣宓臏?zhǔn)確位置上。[發(fā)明的效果]如上所述的本發(fā)明與先前相比，能夠以小體型及低成本進(jìn)行脆性材料基板的搬送及分?jǐn)唷Ｓ绕涫强墒÷杂糜诎崴偷难b置或機(jī)構(gòu)，從而可實(shí)現(xiàn)整個(gè)系統(tǒng)的小型化。另外，用于分?jǐn)嗟膱?chǎng)所不受限制，無(wú)需勉強(qiáng)設(shè)置斷開(kāi)平臺(tái)，因此可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化。圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的玻璃板的搬送與分?jǐn)嘌b置的外觀立體圖。圖2是所述裝置的鉗頭的示意圖。圖3是所述鉗頭的夾盤部分的構(gòu)成圖。圖4是圖3的側(cè)視圖。圖5是用來(lái)說(shuō)明所述裝置的動(dòng)作的流程圖。[符號(hào)的說(shuō)明]1基臺(tái)2刻劃平臺(tái)3刻劃頭4斷開(kāi)平臺(tái)5鉗子13第一定位銷14第二定位銷15第三定位銷22支撐棒32鉗頭35上夾盤36下夾盤40按壓體40a按壓板40b按壓板支撐部45承托部46彈性板47彈性板支撐部具體實(shí)施例方式[整體構(gòu)成]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的玻璃板的搬送與分?jǐn)嘌b置的概略外觀立體圖。所述裝置是能夠執(zhí)行玻璃板G的搬送、分?jǐn)嗖?刻劃線)的形成以及分?jǐn)?斷開(kāi))的裝置，所述裝置包括基臺(tái)1、刻劃平臺(tái)2、刻劃頭3、斷開(kāi)平臺(tái)4以及一對(duì)鉗子5。再者，在以下說(shuō)明中，如圖1所示，將沿著基臺(tái)1的一條邊的方向(與玻璃板的搬送方向正交的方向)定義為X軸方向，將在水平面內(nèi)與X軸方向正交的方向(玻璃板的搬送方向)定義為Y軸方向，將高度(垂直)方向定義為Z軸方向。[基臺(tái)]基臺(tái)1是在Y軸方向上較長(zhǎng)的長(zhǎng)方體形狀，在X軸方向的兩端部具有沿Y軸方向而形成的一對(duì)導(dǎo)軌10。所述一對(duì)導(dǎo)軌10具有與基臺(tái)1的Y軸方向的長(zhǎng)度大致相同的長(zhǎng)度。[刻劃平臺(tái)]刻劃平臺(tái)2是形成在基臺(tái)1的一側(cè)的一部分上。在所述刻劃平臺(tái)2的表面配置有三行萬(wàn)向滾珠(balltransfer)12，從而可使玻璃板G在X及Y軸方向上移動(dòng)自如。另外，在所述刻劃平臺(tái)2上設(shè)置有多個(gè)定位銷13、14、15。具體而言，在Y軸方向上，在基臺(tái)1的長(zhǎng)度方向的大致中央部配置有兩個(gè)第一定位銷13。所述第一定位銷13在上下方向上移動(dòng)自如，從而可獲得能夠抵接于刻劃平臺(tái)2上所載置的玻璃板G的搬送方向下游側(cè)的端面的定位位置、以及不妨礙玻璃板G的移動(dòng)的退避位置。并且，以與兩個(gè)第一定位銷13在Y軸方向上相對(duì)向的方式配置有兩個(gè)第二定位銷14。所述第二定位銷14在上下方向上移動(dòng)自如，從而可獲得能夠抵接于刻劃平臺(tái)2上所載置的玻璃板G的搬送方向上游側(cè)的端面的定位位置、以及不妨礙玻璃板G的移動(dòng)的退避位置。另外，第二定位銷14構(gòu)成為還可以在已上升的定位位置沿著Y軸方向移動(dòng)。此外，在所述刻劃平臺(tái)2上，在X軸方向的兩端部分別配置有兩根(共計(jì)四根)第三定位銷15。所述第三定位銷15沿著X軸方向移動(dòng)自如，從而可抵接于刻劃平臺(tái)2上所載置的玻璃板G的端面而使玻璃板G沿著X軸方向移動(dòng)或者進(jìn)行定位。[刻劃頭]刻劃頭3配置在刻劃平臺(tái)2上所載置的玻璃板G的下方。并且，所述刻劃頭3沿著在X軸方向上延伸的刻劃引導(dǎo)器(scribeguide)20而在X軸方向上移動(dòng)自如。在刻劃頭3的上部設(shè)置著用于在玻璃板上形成分?jǐn)嗖鄣目虅澼?1。另外，與刻劃頭3在上下方向上相對(duì)向地配置著支撐棒22。支撐棒22可通過(guò)固定在門型框架23上的氣缸(cylinder)24而在上下方向上移動(dòng)。更具體而言，支撐棒22通過(guò)氣缸24而在按壓位置與退避位置之間移動(dòng)，所述按壓位置是當(dāng)在玻璃板G上形成刻劃線時(shí)從上方按壓玻璃板G的位置，所述退避位置是當(dāng)搬送玻璃板G時(shí)自玻璃板G朝上方遠(yuǎn)離的位置。再者，在圖1中，省略了將門型框架24支撐于基臺(tái)1上的支撐部。[斷開(kāi)平臺(tái)]斷開(kāi)平臺(tái)4形成在基臺(tái)1的另一側(cè)的一部分上，即隔著刻劃頭3、刻劃引導(dǎo)器20以及支撐棒22而與刻劃平臺(tái)2在Y軸方向上相反之側(cè)。在所述斷開(kāi)平臺(tái)4上載置著利用刻劃頭3而形成有刻劃線的玻璃板G，在此進(jìn)行玻璃板G的分?jǐn)唷Ｔ僬?，雖然未進(jìn)行圖示，但是在所述斷開(kāi)平臺(tái)4上設(shè)置有搬送帶(conveyer)，從而通過(guò)所述搬送帶搬出經(jīng)分?jǐn)嗟牟ＡО錑0[鉗子]—對(duì)鉗子5分別沿著導(dǎo)軌10在Y軸方向上移動(dòng)自如。一對(duì)鉗子5具有彼此相同的構(gòu)成，如圖1及圖2所示，包含在Y軸方向上移動(dòng)自如地卡合于導(dǎo)軌10的第一移動(dòng)體30、在X軸方向上移動(dòng)自如地卡合于第一移動(dòng)體30的第二移動(dòng)體31、以及鉗頭32。通過(guò)這種構(gòu)成，鉗頭32在X軸方向以及Y軸方向的兩個(gè)方向上移動(dòng)自如。鉗頭32如圖2中示意性地表示，包含上夾盤35與下夾盤36。上夾盤35安裝在加壓氣缸37的桿前端，可通過(guò)加壓氣缸37而在上下方向上移動(dòng)。并且，下夾盤36安裝在承托側(cè)氣缸38的桿前端，可通過(guò)承托側(cè)氣缸38而在上下方向上移動(dòng)。通過(guò)如上所述的構(gòu)成，可利用上下夾盤35、36握持玻璃板G的X軸方向的兩端，而在刻劃平臺(tái)2與斷開(kāi)平臺(tái)4之間在Y軸方向上搬送玻璃板G。并且，同樣地，可利用上下夾盤35、36握持玻璃板G的X軸方向的兩端，使分?jǐn)嘭?fù)荷作用于斷開(kāi)平臺(tái)4上所載置的玻璃板G的刻劃線的兩端而分?jǐn)嗖ＡО錑。<夾盤>其次，使用圖3及圖4來(lái)對(duì)各夾盤35、36進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。上夾盤35在前端部具有按壓體40。按壓體40是為了從上方按壓玻璃板G而設(shè)置的部分，如圖3及圖4所示，其包含作為按壓部的按壓板40a以及按壓板支撐部40b。再者，圖4是圖3的右側(cè)視圖。按壓板40a是用于使分布負(fù)荷在較刻劃線的槽寬更寬廣的范圍作用于形成有刻劃線的玻璃板G上的構(gòu)件，其在X軸方向及Y軸方向上具有特定寬度。所述按壓板40a優(yōu)選由具有較玻璃更高的剛性的不銹鋼材料或者SK(工具鋼)材料等形成，但并不特別限定于這些材質(zhì)。再者，在本實(shí)施方式中，按壓板40a的Y軸方向的寬度形成得較下述第二夾盤36的承托部的寬度更短。按壓板支撐部40b是用于將按壓板40a支撐在加壓氣缸37的桿前端部的構(gòu)件。所述按壓板支撐部40b包含從按壓板40a的上表面朝上方延伸的三個(gè)板狀部分。在加壓氣缸37的桿前端部固定有連結(jié)構(gòu)件42。在連結(jié)構(gòu)件42上形成有插入到按壓板支撐部40b的三個(gè)板狀部分的安裝部42a。并且，利用穿過(guò)形成于按壓板支撐部40b與安裝部42a上的貫穿孔的連結(jié)銷43，將連結(jié)構(gòu)件42與按壓板支撐部40b、即加壓氣缸37的桿與按壓體40加以連結(jié)。再者，按壓體40經(jīng)由連結(jié)銷43而與連結(jié)構(gòu)件42轉(zhuǎn)動(dòng)自如地連結(jié)，可使按壓板40a的接觸面的整個(gè)面與玻璃板G的表面相接觸，因此可在按壓板40a與下述彈性板46之間確實(shí)地夾持玻璃板G。下夾盤36在前端部具有承托部45。承托部45包含彈性板46及彈性板支撐部47。彈性板46是在Y軸方向上以特定長(zhǎng)度延伸，且剛性較玻璃板G更低的可彈性變形的構(gòu)件。在本實(shí)施方式中，彈性板46形成為在Y軸方向上較按壓板40a更長(zhǎng)、在X軸方向上與按壓板40a大致相同的長(zhǎng)度。另外，所述彈性板46優(yōu)選由聚縮醛、氯乙烯、聚乙酮等樹(shù)脂來(lái)形成，但并不特別限定于這些材質(zhì)。彈性板支撐部47是相對(duì)于承托側(cè)氣缸38而支撐彈性板46的長(zhǎng)度方向兩端部的構(gòu)件，其包含支撐軸48以及一對(duì)支撐構(gòu)件49。支撐軸48具有與彈性板46大致相同的長(zhǎng)度。此處，在承托側(cè)氣缸38的桿前端固定有連結(jié)構(gòu)件50，支撐軸48貫穿所述連結(jié)構(gòu)件50上所形成的承托部支撐孔50a。一對(duì)支撐構(gòu)件49為大致矩形的板狀構(gòu)件，其上表面固定在彈性板46的兩端部。并且，在一對(duì)支撐構(gòu)件49上形成有貫穿孔，支撐軸48貫穿于其中。在一對(duì)支撐構(gòu)件49的上表面，在X軸方向的外側(cè)的端部設(shè)置有玻璃板G的端面所抵接的止動(dòng)部(st0pper)52。通過(guò)使玻璃板G的端面抵接于所述止動(dòng)部52，可進(jìn)行玻璃板G與鉗頭32(夾盤35、36)的相對(duì)定位。再者，在連結(jié)構(gòu)件50中形成有在Y軸方向上貫穿于承托部支撐孔50a的螺孔。并且，在所述螺孔中旋接著螺釘構(gòu)件51，利用其前端按壓著支撐軸48。[動(dòng)作]其次，使用圖5的流程圖，對(duì)玻璃板的搬送以及分?jǐn)鄤?dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)通過(guò)與本裝置不同的自動(dòng)搬送裝置或者手工操作將玻璃板G搬入到基臺(tái)1時(shí)，執(zhí)行步驟Sl的玻璃板設(shè)置處理。即，在所述步驟Sl中，使一對(duì)鉗子5(具體而言，第一移動(dòng)體30)沿著導(dǎo)軌10移動(dòng)到基臺(tái)1的一端側(cè)，并利用所述一對(duì)鉗子5的鉗頭32的上下夾盤35、36(以下僅記作鉗頭32)握持搬入到基臺(tái)1上的玻璃板G的兩端。這時(shí)，向加壓氣缸37以及承托側(cè)氣缸38輸送壓力比較低的空氣，利用低壓夾持玻璃板G(以下記作低壓夾持)。然后，在利用鉗頭32夾持著玻璃板G的狀態(tài)下，使玻璃板G移動(dòng)到配置有定位銷1315的刻劃平臺(tái)2上。其次，在步驟S2中，使用定位銷1315執(zhí)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)處理。此處，在解除了鉗頭32對(duì)玻璃板G的夾持狀態(tài)下，執(zhí)行以下的處理。即，首先使第一定位銷13以及第二定位銷14突出至玻璃板G的端面可抵接的定位位置。然后，利用第二定位銷14將玻璃板G的端面推向第一定位銷13側(cè)，并且使左右第三定位銷15移動(dòng)以使它們彼此接近，從而進(jìn)行玻璃板G的X軸方向的定位。這樣，通過(guò)使各定位銷1315抵接于玻璃板G的四個(gè)端面，來(lái)將玻璃板G載置在基準(zhǔn)位置上。其次，在步驟S3中，使所有定位銷1315退避，再次利用鉗頭32握持玻璃板G并搬送到刻劃位置。利用鉗頭32握持玻璃板G時(shí)玻璃板G上的夾盤位置優(yōu)選玻璃板G的搬送方向上的玻璃板G的前頭的兩端，但可對(duì)應(yīng)于所搬送的玻璃板G的大小等而適當(dāng)設(shè)定。再者，朝向所述刻劃位置的搬送是根據(jù)從步驟S2的基準(zhǔn)位置起的朝向鉗頭32的移動(dòng)距離而設(shè)定。即，鉗頭32的第一移動(dòng)體30是通過(guò)未圖示的伺服電動(dòng)機(jī)(servomotor)而在Y軸方向上移動(dòng)，因此可通過(guò)檢測(cè)伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速并加以控制，而高精度地控制玻璃板G的移動(dòng)距離，從而使玻璃板G準(zhǔn)確地移動(dòng)到刻劃位置。當(dāng)使玻璃板G移動(dòng)到刻劃位置時(shí)，通過(guò)步驟S4執(zhí)行刻劃動(dòng)作。即，使刻劃頭3在X軸方向上移動(dòng)，從而在玻璃板下表面形成刻劃線。這時(shí)，預(yù)先驅(qū)動(dòng)氣缸24使支撐棒22下降，通過(guò)所述支撐棒22按壓玻璃板G的上表面。然后，在形成了一條刻劃線之后，使支撐棒22上升而從玻璃板G退避。其次，在步驟S5中，判斷是否已形成預(yù)定條數(shù)的刻劃線。在大型玻璃板的情況下，有時(shí)會(huì)在一塊玻璃板上形成多條刻劃線，因此反復(fù)執(zhí)行步驟S3至步驟S5，直到形成預(yù)定條數(shù)的刻劃線為止。當(dāng)形成預(yù)定條數(shù)的刻劃線時(shí)，從步驟S5轉(zhuǎn)移到步驟S6。在步驟S6中，暫時(shí)解除鉗頭32對(duì)玻璃板G的夾持后，以使最早形成的刻劃線位于上夾盤35的按壓板40a的Y軸方向的中央的方式，利用鉗頭32握持玻璃板G。再者，此處的鉗頭32對(duì)玻璃板G的握持是通過(guò)低壓夾持來(lái)進(jìn)行的。其次，在步驟S7中，使鉗頭32移動(dòng)到斷開(kāi)平臺(tái)5為止，從而使玻璃板G位于斷開(kāi)位置。在使玻璃板G移動(dòng)到斷開(kāi)位置之后，在步驟S8中，利用鉗頭32分?jǐn)嗖ＡО錑。即，朝加壓氣缸37以及承托側(cè)氣缸38供給比較高的氣壓，并利用加壓氣缸37按壓玻璃板G。此處的氣壓是較利用鉗頭32握持并搬送玻璃板G的情況下的低壓夾持時(shí)更高的壓力。借此，玻璃板G被沿著刻劃線而分?jǐn)?。?jīng)分?jǐn)嗟牟ＡО逋ㄟ^(guò)步驟SlO而搬出到下一步驟。在步驟S9中，判斷是否已對(duì)所有刻劃線進(jìn)行了分?jǐn)嗵幚?。?dāng)對(duì)所有刻劃線的分?jǐn)嗵幚砩形赐瓿蓵r(shí)，返回到步驟S6，以使最前端的刻劃線位于上夾盤35的按壓板40a的Y軸方向的中央的方式，利用鉗頭32握持玻璃板G。再者，如上所述，此處的鉗頭32對(duì)玻璃板G的握持被替換成利用低壓夾持的握持。反復(fù)執(zhí)行以上步驟S6至步驟S9的處理，當(dāng)對(duì)所有刻劃線的分?jǐn)嗵幚硗瓿蓵r(shí)，結(jié)束分?jǐn)嗵幚怼特征]在所述裝置中，通過(guò)一對(duì)鉗頭32進(jìn)行玻璃板G的搬送以及分?jǐn)?，因此與像先前裝置那樣通過(guò)各自獨(dú)立的裝置進(jìn)行搬送、刻劃線的形成以及分?jǐn)嗟那闆r相比，可使整個(gè)系統(tǒng)小型化，并且可將用于構(gòu)建系統(tǒng)的成本抑制得較低。鉗頭32不僅可在Y軸方向上，而且可在X軸方向上移動(dòng)，因此可根據(jù)玻璃板的尺寸等而將鉗頭32調(diào)整到適當(dāng)?shù)奈恢?，從而可?duì)各種玻璃板進(jìn)行良好的分?jǐn)?。在鉗頭32中設(shè)置包含按壓體及承托部的夾盤35、36，以比較寬廣的面積部分握持并搬送玻璃板，因此可防止搬送時(shí)玻璃板與鉗頭32發(fā)生偏移等的故障。尤其是按壓板40a轉(zhuǎn)動(dòng)自如地連結(jié)于連結(jié)構(gòu)件42，并且在承托部45中設(shè)置有剛性較玻璃板更低的可彈性變形的彈性板46，因此可確實(shí)地保持并搬送玻璃板。并且，在分?jǐn)鄷r(shí)，是使分布負(fù)荷作用于玻璃板來(lái)進(jìn)行分?jǐn)?，因此與先前的使用工具的情況相比，能夠以緩慢的速度分?jǐn)嗖ＡО澹瑥亩共ＡО宓姆謹(jǐn)嗝娴钠焚|(zhì)提升。[另一實(shí)施方式]在所述實(shí)施方式中，在鉗頭32的下夾盤36上設(shè)置有包含彈性板46的承托部45，但鉗頭32的各夾盤35、36的構(gòu)成并不限定于所述實(shí)施方式。另外，關(guān)于用于驅(qū)動(dòng)鉗頭的各夾盤的構(gòu)成，也可以進(jìn)行各種變形，而并不限定于所述實(shí)施方式的構(gòu)成。第一至第三定位銷也可以各設(shè)一個(gè)。在所述實(shí)施方式中，是在刻劃平臺(tái)2上于玻璃板G上形成分?jǐn)嗖壑?，通過(guò)鉗頭32的高壓夾持動(dòng)作在斷開(kāi)平臺(tái)4上對(duì)所述玻璃板G進(jìn)行分?jǐn)啵且部梢詫⒃诳虅澠脚_(tái)2上于玻璃板G上形成有分?jǐn)嗖鄣牟ＡО錑送回到Y(jié)軸上的玻璃板G的搬送方向上游側(cè)，并通過(guò)鉗頭32的高壓夾持動(dòng)作在刻劃平臺(tái)2上進(jìn)行分?jǐn)?。這種情況下，可將斷開(kāi)平臺(tái)4從基臺(tái)1上拆除。權(quán)利要求一種脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于包括刻劃平臺(tái)，其是將應(yīng)分?jǐn)嗟拇嘈圆牧匣遢d置在特定位置上；刻劃頭，其在X軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，用于在載置于所述刻劃平臺(tái)上的脆性材料基板上形成分?jǐn)嗖?；以及一?duì)鉗子，其在與X軸正交的Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，用來(lái)握持脆性材料基板的X軸方向的兩端而可搬送脆性材料基板，并且用來(lái)使分?jǐn)嘭?fù)荷作用于脆性材料基板的分?jǐn)嗖鄣膬啥硕謹(jǐn)啻嘈圆牧匣濉?.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于還包括斷開(kāi)平臺(tái)，其隔著所述刻劃頭而配置在與所述刻劃平臺(tái)相反之側(cè)，以載置形成有分?jǐn)嗖鄣拇嘈圆牧匣?；并且所述一?duì)鉗子可在所述刻劃平臺(tái)與所述斷開(kāi)平臺(tái)之間搬送脆性材料基板。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述一對(duì)鉗子還可在X軸方向上移動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述一對(duì)鉗子還可在X軸方向上移動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于還包括一個(gè)基臺(tái)，其一側(cè)設(shè)置有所述刻劃平臺(tái)，并且另一側(cè)設(shè)置有所述斷開(kāi)平臺(tái)。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述一對(duì)鉗子分別包括第一夾盤，其在前端部具有用于按壓脆性材料基板的第一面的按壓體；以及第二夾盤，其包含承托部，所述承托部與所述按壓體相對(duì)向且相對(duì)于所述按壓體相對(duì)地接近、遠(yuǎn)離自如而配置，用于承托脆性材料基板的第二面；所述第二夾盤的承托部包含可彈性變形的彈性板，其在與所述分?jǐn)嗖劢徊娴淖笥曳较蛏弦蕴囟ㄩL(zhǎng)度延伸，并且剛性較脆性材料基板低；以及彈性板支撐部，其相對(duì)于所述第二夾盤支撐所述彈性板的左右方向兩端部；并且所述第一夾盤的按壓體包含用于使較所述分?jǐn)嗖鄣牟蹖捀鼘拸V的分布負(fù)荷作用于脆性材料基板的按壓部。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述刻劃頭是配置在所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的下方或上方，而在脆性材料基板的下表面或上表面形成分?jǐn)嗖鄣目虅澼啠龃嘈圆牧匣宓陌崴团c分?jǐn)嘌b置還包括支撐棒，其與所述刻劃頭相對(duì)向，并且從配置有所述刻劃輪的相反側(cè)支撐形成分?jǐn)嗖蹠r(shí)的脆性材料基板。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述刻劃頭是配置在所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的下方或上方，而在脆性材料基板的下表面或上表面形成分?jǐn)嗖鄣目虅澼啠龃嘈圆牧匣宓陌崴团c分?jǐn)嘌b置還包括支撐棒，其與所述刻劃頭相對(duì)向，并且從配置有所述刻劃輪的相反側(cè)支撐形成分?jǐn)嗖蹠r(shí)的脆性材料基板。9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于還包括一個(gè)或多個(gè)第一定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部；一個(gè)或多個(gè)第二定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如并且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部；以及一個(gè)或多個(gè)第三定位銷，其在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于還包括一個(gè)或多個(gè)第一定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部；一個(gè)或多個(gè)第二定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如并且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部；以及一個(gè)或多個(gè)第三定位銷，其在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于還包括一個(gè)或多個(gè)第一定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部；一個(gè)或多個(gè)第二定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如并且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部；以及一個(gè)或多個(gè)第三定位銷，其在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，其特征在于還包括一個(gè)或多個(gè)第一定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如而設(shè)置，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)的特定位置上所載置的脆性材料基板的搬送方向下游側(cè)的端部；一個(gè)或多個(gè)第二定位銷，其在所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑上出沒(méi)自如并且在Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，并可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的搬送方向上游側(cè)的端部；以及一個(gè)或多個(gè)第三定位銷，其在X軸方向上移動(dòng)自如地設(shè)置于所述刻劃平臺(tái)的脆性材料基板搬送路徑的兩側(cè)，并且可抵接于所述刻劃平臺(tái)上所載置的脆性材料基板的X軸方向兩端。全文摘要本發(fā)明提供一種脆性材料基板的搬送與分?jǐn)嘌b置，縮小用于分?jǐn)嗖ＡО宓南到y(tǒng)構(gòu)成的體型，抑制用于系統(tǒng)構(gòu)建的成本。所述裝置包括刻劃平臺(tái)2、刻劃頭3、斷開(kāi)平臺(tái)4以及一對(duì)鉗頭32。刻劃頭3是在X軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，用于在載置于刻劃平臺(tái)2上的玻璃板上形成分?jǐn)嗖邸嚅_(kāi)平臺(tái)4隔著刻劃頭3而配置在與刻劃平臺(tái)2相反之側(cè)，以載置形成有分?jǐn)嗖鄣牟ＡО濉Ｒ粚?duì)鉗頭32是在與X軸正交的Y軸方向上移動(dòng)自如而設(shè)置，可握持玻璃板的X軸方向的兩端在刻劃平臺(tái)2與斷開(kāi)平臺(tái)4之間搬送玻璃板，并且使分?jǐn)嘭?fù)荷作用于斷開(kāi)平臺(tái)4上所載置的玻璃板的分?jǐn)嗖鄣膬啥硕謹(jǐn)嗖ＡО?。文檔編號(hào)C03B33/02GK101823836SQ20101011064公開(kāi)日2010年9月8日申請(qǐng)日期2010年1月29日優(yōu)先權(quán)日2009年1月30日發(fā)明者岡島康智,前川和哉申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司