專利名稱：涂漿裝置及涂漿方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在平面面板的制造過程中用于在基板上涂漿或滴下液晶的涂漿裝置 及涂漿方法。
背景技術(shù)：
作為以往的涂漿裝置，提出有這樣的涂漿裝置，S卩，在支承臺(tái)設(shè)有保持著被描繪漿 料圖案的基板的基板保持機(jī)構(gòu)，另外，在支承臺(tái)上設(shè)有能夠在Y軸方向移動(dòng)多個(gè)涂敷頭的2 個(gè)涂敷頭支承機(jī)構(gòu)，固定這些涂敷頭支承機(jī)構(gòu)中的一方，在支承臺(tái)上使另一方在X軸方向 移動(dòng)，在這些涂敷頭部朝Y軸方向移動(dòng)和涂敷頭支承機(jī)構(gòu)朝X軸方向移動(dòng)的同時(shí)，由涂敷頭 部在基板上涂敷漿料，這樣，在基板上描繪規(guī)定的漿料圖案(例如參照專利文獻(xiàn)1)。[專利文獻(xiàn)1]日本專利第3793727號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
在LCD (液晶顯示裝置)等平面面板的領(lǐng)域中，用于形成該面板的玻璃基板的尺寸 的大型化急速發(fā)展，隨之，用于制作該面板的涂漿裝置也大型化，對(duì)于對(duì)搭載玻璃基板的臺(tái) 進(jìn)行驅(qū)動(dòng)、使涂敷頭部的噴嘴上下移動(dòng)來描繪漿料圖案的方式來說，已難以實(shí)現(xiàn)省空間化。因此，記載于上述專利文獻(xiàn)1的涂漿裝置采用這樣的方式，即，將能夠在X軸方向 移動(dòng)的涂敷頭支承機(jī)構(gòu)形成為跨過基板的結(jié)構(gòu)的門形架(門形構(gòu)架)的結(jié)構(gòu)，使該門形架 的一方能夠在X軸方向移動(dòng)，同時(shí)，在該門形架的橫梁使多個(gè)涂敷頭部能夠在Y軸方向移 動(dòng)，一邊改變涂敷頭部與基板的相對(duì)位置關(guān)系，一邊從涂敷頭部的噴嘴將漿料涂敷在基板 上，從而在基板上描繪漿料圖案，這樣，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。然而，隨著玻璃基板的大型化，如在繼續(xù)采用該方式的情況下使涂漿裝置大型化， 則超過輸送該涂漿裝置的輸送車輛的寬度限度，產(chǎn)生運(yùn)輸困難這樣的問題。本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種在運(yùn)輸裝置時(shí)能夠使裝置小型化、順 利地進(jìn)行裝置的運(yùn)輸?shù)耐繚{裝置及涂漿方法。本發(fā)明的另一目的在于提供一種在工作時(shí)也實(shí)施防塵對(duì)策，并且不降低涂敷精 度，能夠減小設(shè)置空間的涂漿裝置及涂漿方法。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的涂漿裝置在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在該門形架能夠 移動(dòng)地設(shè)置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)上載置基 板，門形架相對(duì)于該基板移動(dòng)，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支承臺(tái)上的基 板載置臺(tái)的外側(cè)設(shè)置門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置了能夠裝拆地安裝門形架的門形 架安裝裝置。另外，本發(fā)明的涂漿裝置在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在該門形架能夠移動(dòng)地設(shè)置從 噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)上載置基板，門形架相對(duì) 于該基板移動(dòng)，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支承臺(tái)上的比基板載置臺(tái)處 于更下側(cè)的位置設(shè)置門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置了能夠裝拆地安裝門形架的門形架安裝裝置。另外，在本發(fā)明的涂漿裝置中，門形架安裝裝置設(shè)置在比基板載置臺(tái)更低的位置。為了達(dá)到上述目的，在本發(fā)明的涂漿方法中，涂漿裝置在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在 該門形架能夠移動(dòng)地設(shè)置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于支承臺(tái)上的基板載置 臺(tái)上載置基板，門形架相對(duì)于該基板移動(dòng)，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支 承臺(tái)上的基板載置臺(tái)的外側(cè)設(shè)置門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使門形架移動(dòng)，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠?qū)㈤T 形架從移動(dòng)機(jī)構(gòu)拆卸或?qū)㈤T形架安裝到移動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，在本發(fā)明的涂漿方法中，涂漿裝置在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在該門形架能夠 移動(dòng)地設(shè)置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)上載置基 板，門形架相對(duì)于該基板移動(dòng)，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支承臺(tái)上的比 基板載置臺(tái)處于更下側(cè)的位置設(shè)置門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使門形架移動(dòng)，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠?qū)?門形架從移動(dòng)機(jī)構(gòu)拆卸或?qū)㈤T形架安裝到移動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，在本發(fā)明的涂漿方法中，門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在比基板載置臺(tái)更低的位置。按照本發(fā)明，能夠處理大型的基板，而且，在運(yùn)輸時(shí)，能夠由簡單的分解作業(yè)使之 小型化到不超過輸送車的限制寬度的程度，能夠沒有障礙地進(jìn)行其運(yùn)輸。另外，不降低設(shè)置裝置之際的裝置組裝所要求的裝置各部分的精度，運(yùn)輸裝置之 際的裝置分解、組裝、調(diào)整等作業(yè)也變少，裝置向交貨目的地的運(yùn)送、交貨變得容易。另外，由于支承門形架使其移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)比設(shè)置的基板處于更下方，所以，由該 移動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)產(chǎn)生的灰塵等不會(huì)影響到基板。從以上情況可以得知，按照本發(fā)明，能夠確保裝置的輸送的順利化、安全化，能夠 在工作時(shí)進(jìn)行高質(zhì)量的漿料的涂敷、液晶的滴下。


圖1為表示本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第1實(shí)施方式的立體圖。圖2為表示圖1的涂敷頭部的一具體例的立體圖。圖3為表示圖1所示第1實(shí)施方式的主控制系統(tǒng)的一具體例的框圖。圖4為表示圖1所示第1實(shí)施方式的副控制系統(tǒng)的一具體例的框圖。圖5為表示圖1所示第1實(shí)施方式的整體動(dòng)作的一具體例的流程圖。圖6為表示從支承臺(tái)拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架的狀態(tài)的一具體例的立體 圖。圖7為放大地表示圖6中的“F部”即門形架與支承臺(tái)的連接機(jī)構(gòu)的立體圖。圖8為表示用于從圖6所示狀態(tài)成為圖1所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。圖9為表示用于從圖1所示狀態(tài)成為圖6所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。圖10為表示從基座拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架的狀態(tài)的另一具體例的立 體圖。圖11為放大地表示圖10中的門形架與支承臺(tái)的連接機(jī)構(gòu)的立體圖。
圖12為從大體Y軸方向觀看本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第2實(shí)施方式的立體圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明為具有由橫梁構(gòu)成的門形構(gòu)架(門形架)的構(gòu)成，該門形構(gòu)架具有涂敷頭 的Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該涂敷頭的Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)具有噴嘴的1個(gè)或多個(gè)涂敷頭部進(jìn) 行直動(dòng)導(dǎo)向。
隨著由玻璃基板逐年大型化而導(dǎo)致的涂漿裝置大型化，在將組裝、調(diào)整了的裝置 就這樣從制造地向安裝地等進(jìn)行陸上運(yùn)輸時(shí)，由道路、輸送車輛的寬度等的限制產(chǎn)生障礙。 另外，由于門形架在比玻璃基板更處于上側(cè)的位置移動(dòng)的結(jié)構(gòu)較多，所以，隨著該移動(dòng)，由 門形架的支承部的滑動(dòng)產(chǎn)生的灰塵落下到玻璃基板的表面，存在使成為產(chǎn)品的涂敷了漿料 或滴下了液晶的玻璃基板的質(zhì)量劣化的問題。因此，本發(fā)明形成為能夠在門形架的支承部和其移動(dòng)機(jī)構(gòu)的連接部將門形架與支 承臺(tái)分開的結(jié)構(gòu)，這樣，在涂漿裝置的陸上運(yùn)輸之際，從支承臺(tái)將門形架分開后對(duì)其進(jìn)行運(yùn) 輸，在安裝地，將門形架組合在支承臺(tái)，形成為能夠簡化組裝作業(yè)地使用的狀態(tài)。另外，與在支承臺(tái)上的門形架的移動(dòng)相關(guān)的滑動(dòng)部在支承臺(tái)的邊部配置在比載置 玻璃基板的臺(tái)更處于下側(cè)的位置，這樣，在抑制了裝置的設(shè)置面積增加的同時(shí)，使得在向下 流動(dòng)的空調(diào)環(huán)境下發(fā)生于門形架的滑動(dòng)部的灰塵難以落下到成為產(chǎn)品的玻璃基板。下面，根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1為在大體X軸方向觀看本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第1實(shí)施方式的立體圖， 符號(hào)1為支承臺(tái)，符號(hào)la、lb為支承臺(tái)側(cè)面，符號(hào)2a、2b為門形架(門形構(gòu)架)，符號(hào)3a、3b 為橫梁，符號(hào)4a、4b為橫梁側(cè)支承構(gòu)件，符號(hào)5a、5b為支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件，符號(hào)6a、6b為X 軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，符號(hào)7為磁鐵板，符號(hào)8為基板保持機(jī)構(gòu)，符號(hào)9為涂敷頭設(shè)置面，符號(hào)10 為涂敷頭部，符號(hào)11為包含線性軌的Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，符號(hào)12為Z軸伺服馬達(dá)，符號(hào)13 為Z軸移動(dòng)臺(tái)支承托架，符號(hào)14為Z軸移動(dòng)臺(tái)。在圖1中，為了避免該附圖變得煩雜，僅在圖上出現(xiàn)的部分標(biāo)注符號(hào)，此外的部分 省略符號(hào)。另外，該第1實(shí)施方式涉及在基板面上描繪漿料圖案(密封材料圖案)的涂漿 裝置及方法，當(dāng)然也能夠適用于使液晶滴下到基板上的滴下裝置。在圖1中，在支承臺(tái)1上設(shè)有基板保持機(jī)構(gòu)8，輸送來的圖中未表示的玻璃基板搭 載于該基板保持機(jī)構(gòu)8。該基板保持機(jī)構(gòu)8能夠使搭載的基板在X、Y軸方向移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)(θ 軸方向的移動(dòng))，這樣，基板的位置、姿勢受到微調(diào)。在支承臺(tái)1上的該基板保持機(jī)構(gòu)8的兩側(cè)的下側(cè)，沿支承臺(tái)1的兩側(cè)的邊部設(shè)置 X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b，支承臺(tái)1的該兩側(cè)的邊部沿著X軸方向。這些X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu) 6a、6b分別在這里例如形成線性馬達(dá)，其磁鐵板7沿X軸方向設(shè)置。在這些X軸方向移動(dòng)機(jī) 構(gòu)6a、6b上載置、支承了 2個(gè)門形架2a、2b，它們由這些X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b能夠在X 軸方向移動(dòng)。相對(duì)于使用的最大寬度的基板，為了盡可能地減小支承臺(tái)1的Y軸方向的寬 度(以下稱橫向?qū)挾?、盡可能地小型化，使分別設(shè)置在該橫向?qū)挾确较虻南嘞虻倪叺拇盆F 板7接近支承臺(tái)1的X軸方向的側(cè)面(即支承臺(tái)側(cè)面)la、lb地設(shè)置。在這里，說明圖上的前面?zhèn)鹊拈T形架2b。該門形架2b由在與X軸方向垂直的Y軸 方向長的橫梁3b和設(shè)于該橫梁3b的兩端部并支承該橫梁3b的支腳狀的2個(gè)橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b構(gòu)成，這些橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b分別安裝在能夠移動(dòng)地設(shè)于X軸方向移動(dòng)機(jī) 構(gòu)6a、6b的支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件(滑動(dòng)件)5a、5b。門形架2b的橫梁3b比支承臺(tái)1的Y軸方向的寬度長，因此，橫梁3b的兩端部從支 承臺(tái)1的平行于X軸的兩側(cè)的側(cè)面即支承臺(tái)側(cè)面la、lb突出，因此，設(shè)于該橫梁3b的兩端 部的下面的橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b也分別從支承臺(tái)1的該兩側(cè)的支承臺(tái)側(cè)面la、lb突出。 這樣，門形架2b形成為橫梁3b用橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b和支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b將基 板保持機(jī)構(gòu)8抱入那樣的形狀。另一方的門形架2a也構(gòu)成與門形架2b的以上構(gòu)成同樣的結(jié)構(gòu)。在門形架2a、2b的橫梁3a、3b的相互面對(duì)的涂敷頭設(shè)置面9上分別設(shè)置多個(gè)涂敷 頭部10。在圖1中，相向側(cè)的門形架2a的涂敷頭設(shè)置面9朝正面?zhèn)鹊乇硎?，所以，以下關(guān)于 門形架2a說明其涂敷頭設(shè)置面9。在門形架2a的涂敷頭設(shè)置面9，沿其面的縱向(即Y軸方向)設(shè)置Y軸方向移動(dòng) 機(jī)構(gòu)11，在該Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11安裝有多個(gè)涂敷頭部10 (在這里，僅對(duì)1個(gè)涂敷頭部10 標(biāo)注符號(hào))。在這些涂敷頭部10分別設(shè)有與Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11 一起構(gòu)成的Y軸方向移 動(dòng)機(jī)構(gòu)的線性馬達(dá)，該線性馬達(dá)使這些涂敷頭部10沿Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11在Y軸方向移 動(dòng)。在以下的說明中，該X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)也作為Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11說明。在各個(gè)涂敷頭部10的基座，在其背面?zhèn)?涂敷頭設(shè)置面9側(cè))如上述那樣設(shè)置作 為Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11的線性馬達(dá)，在其表面?zhèn)仍O(shè)置了具有Z軸伺服馬達(dá)12的Z軸移動(dòng) 臺(tái)支承托架13，設(shè)有由該Z軸伺服馬達(dá)12使涂敷頭部10上下移動(dòng)的Z軸移動(dòng)臺(tái)14。在該 Z軸移動(dòng)臺(tái)14，如后述那樣，安裝有設(shè)置了漿料收容筒(注射器)、噴嘴的噴嘴支承件、測距 儀、具有照明光源的鏡筒和圖像識(shí)別攝像機(jī)等。以上的構(gòu)成對(duì)前面?zhèn)鹊拈T形架2b的涂敷頭設(shè)置面也同樣。另外，按照該構(gòu)成，由 Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11沿Y軸方向在載置于基板保持機(jī)構(gòu)8的基板上驅(qū)動(dòng)各涂敷頭部10，另 外，由X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b沿X軸方向驅(qū)動(dòng)門形架2a、2b，這樣，各涂敷頭部10同樣在 X軸方向受到驅(qū)動(dòng)，在該基板上同時(shí)描繪多個(gè)同一形狀的漿料圖案。圖2為放大地表示圖1的涂敷頭部10的一具體例的要部的立體圖，符號(hào)15為漿 料收容筒，符號(hào)16為噴嘴支承件，符號(hào)17為噴嘴，符號(hào)18為測距儀，符號(hào)19為基板。在該圖中，設(shè)置了漿料收容筒15、噴嘴17的噴嘴支承件16及測距儀18設(shè)在Z軸 移動(dòng)臺(tái)14(圖1)。測距儀18按非接觸式的三角測距法測量從噴嘴17的前端部到搭載于基板保持機(jī) 構(gòu)8(圖1)的基板19的表面(上面)的距離。即，在測距儀18的箱體內(nèi)設(shè)置發(fā)光元件，從 該發(fā)光元件放射的激光在基板19上的測量點(diǎn)S反射，相應(yīng)于同樣設(shè)置在箱體內(nèi)的受光元件 的受光位置進(jìn)行測量。另外，在基板19上的激光的測量點(diǎn)S和噴嘴17的正下位置，在基板 19上偏移微小的距離AX及A Y，但該微小距離程度的偏移處在基板19的表面凹凸差為能 夠忽視的范圍，所以，在測距儀18的測量結(jié)果與從噴嘴17的前端部到基板19的表面(上 面)的距離間基本上不存在差。因此，根據(jù)該測距儀18的測量結(jié)果控制Z軸移動(dòng)臺(tái)14，從 而能夠相應(yīng)于基板19的表面凹凸(起伏)將從噴嘴17的前端部到基板19的表面(上面) 的距離(間隔)維持一定。這樣，將從噴嘴17的前端部到基板19的表面(上面)的距離(間隔)維持一定，而且，將從噴嘴17排出的單位時(shí)間的漿料量維持一定，從而使涂敷描繪在基板19上的漿料
圖案的寬度、厚度變得一樣。雖然未在圖中表示，但實(shí)際上具有能夠照明的光源的鏡筒和圖像識(shí)別攝像機(jī)除了用于各涂敷噴嘴17的平行調(diào)整、間隔調(diào)整外，還為了基板19的對(duì)位、漿料圖案的形狀識(shí)別 等，與基板相向地設(shè)置。返回到圖1，在該實(shí)施方式中，具有控制以上各部的控制部。即，在支承臺(tái)1的內(nèi) 部，設(shè)置對(duì)驅(qū)動(dòng)各機(jī)構(gòu)的線性馬達(dá)和使臺(tái)移動(dòng)的伺服馬達(dá)進(jìn)行控制的主控制部。在該主控 制部，通過電纜連接副控制部。副控制部對(duì)驅(qū)動(dòng)Z軸移動(dòng)臺(tái)14的Z軸伺服馬達(dá)12進(jìn)行控 制。圖3為表示該主控制部的構(gòu)成和其控制的一具體例的框圖，符號(hào)20a為主控制部， 符號(hào)20aa為微機(jī)，符號(hào)20ab為馬達(dá)控制器，符號(hào)20ac為圖像處理裝置，符號(hào)20ad為外部 接口，符號(hào)20ae為數(shù)據(jù)通信總線，符號(hào)20b為副控制部，符號(hào)21為USB (通用串行總線)存 儲(chǔ)器，符號(hào)22為硬盤，符號(hào)23為監(jiān)視器，符號(hào)24為鍵盤，符號(hào)25為調(diào)節(jié)器，符號(hào)26為閥單 元，符號(hào)27a為涂敷頭部移動(dòng)用Y軸線性馬達(dá)用驅(qū)動(dòng)器，符號(hào)27b為門形架移動(dòng)用X軸線性 馬達(dá)用驅(qū)動(dòng)器，符號(hào)27c為臺(tái)旋轉(zhuǎn)用θ軸馬達(dá)用驅(qū)動(dòng)器，符號(hào)28為圖像識(shí)別攝像機(jī)，符號(hào) 29為通信電纜。在該圖中，主控制部20a內(nèi)裝微機(jī)20aa、馬達(dá)控制器20ab、圖像處理裝置20ac、及 外部接口 20ad，該馬達(dá)控制器20ab控制對(duì)Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的涂敷頭部移動(dòng) 用Y軸線性馬達(dá)用驅(qū)動(dòng)器(以下簡稱為Y軸驅(qū)動(dòng)器)27a、對(duì)X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b進(jìn)行 驅(qū)動(dòng)的門形架移動(dòng)用X軸線性馬達(dá)用驅(qū)動(dòng)器(以下簡稱為X軸驅(qū)動(dòng)器)27b、在θ軸方向?qū)?搭載了基板的基板保持機(jī)構(gòu)8(圖1)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的臺(tái)旋轉(zhuǎn)用θ軸馬達(dá)用驅(qū)動(dòng)器(以下簡稱 為θ軸驅(qū)動(dòng)器)27c，該圖像處理裝置20ac對(duì)由圖像識(shí)別攝像機(jī)28獲得的圖像信號(hào)進(jìn)行 處理，該外部接口 20ad與副控制部20b、控制涂敷頭部10的漿料涂敷動(dòng)作的調(diào)節(jié)器25、閥 單元26進(jìn)行通信，這些微機(jī)20aa、馬達(dá)控制器20ab、圖像處理裝置20ac、外部接口 20ad通 過數(shù)據(jù)通信總線20ae相互連接。在這里，副控制部20b通過通信電纜29連接在該外部接 20acL另外，在主控制部20a連接USB存儲(chǔ)器21、作為外部存儲(chǔ)裝置的硬盤22、監(jiān)視器 23、鍵盤24等。從鍵盤24輸入的數(shù)據(jù)等由監(jiān)視器23顯示，同時(shí)，存儲(chǔ)保管在硬盤22、USB 存儲(chǔ)器21等存儲(chǔ)介質(zhì)。在微機(jī)20aa中，雖然未在圖中表示，但實(shí)際上具有主運(yùn)算部，存儲(chǔ)用于進(jìn)行后述 的涂敷描繪的處理程序的ROM，存儲(chǔ)在主運(yùn)算部的處理結(jié)果、來自外部接20ad、馬達(dá)控制器 20ab的輸入數(shù)據(jù)的RAM，與外部接口 20ad、馬達(dá)控制器20ab進(jìn)行數(shù)據(jù)交換的輸入輸出部等。這些由Y軸驅(qū)動(dòng)器27a驅(qū)動(dòng)的作為各涂敷頭部10的Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11的線性 馬達(dá)、由X軸驅(qū)動(dòng)器27b驅(qū)動(dòng)的作為門形架2a、2b的X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b的線性馬達(dá) 設(shè)有用于檢測各涂敷頭部10、門形架2a、2b的位置檢測用的直尺的編碼器，將其檢測結(jié)果 分別供給到Y(jié)軸驅(qū)動(dòng)器27a、X軸驅(qū)動(dòng)器27b，進(jìn)行涂敷頭部10的X軸方向、Y軸方向的位置 控制。另外，同樣，在由θ軸驅(qū)動(dòng)器27c驅(qū)動(dòng)的基板保持機(jī)構(gòu)8(圖1)中內(nèi)裝檢測該基板 的旋轉(zhuǎn)量的編碼器，將其檢測結(jié)果供給到θ軸驅(qū)動(dòng)器27c，進(jìn)行基板的朝向的控制。圖4為表示圖3的副控制部20b的一具體例的框圖，符號(hào)20ba為微機(jī)，符號(hào)20bb為馬達(dá)控制器，符號(hào)20bc為外部接口，符號(hào)20bd為數(shù)據(jù)通信總線，符號(hào)27d為Z軸馬達(dá)用 驅(qū)動(dòng)器，在與上述附圖對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同符號(hào)，省略重復(fù)的說明。在該圖中，副控制部20b內(nèi)裝微機(jī)20ba、馬達(dá)控制器20bb、進(jìn)行由測距儀18獲得 的高度數(shù)據(jù)的輸入、與主控制部20a的信號(hào)傳送的外部接口 20bc，它們通過數(shù)據(jù)通信總線 20bd相互連接。另外，在微機(jī)20ba，雖然未在圖中表示，但實(shí)際上具有主運(yùn)算部，存儲(chǔ)用于 進(jìn)行涂敷描繪時(shí)噴嘴17(圖2)離開基板19的表面的高度控制的處理程序的ROM，存儲(chǔ)主 運(yùn)算部的處理結(jié)果、來自外部接20bc及馬達(dá)控制器20bb的輸入數(shù)據(jù)的RAM，與外部接口 20bc、馬達(dá)控制器20bb進(jìn)行數(shù)據(jù)交換的輸入輸出部等。由馬達(dá)控制器20bb控制的Z軸馬 達(dá)用驅(qū)動(dòng)器27d對(duì)各涂敷頭部10設(shè)置，對(duì)其Z軸伺服馬達(dá)12進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，在這些Z軸伺服馬 達(dá)12內(nèi)安裝有檢測其旋轉(zhuǎn)量的編碼器，其檢測結(jié)果返回到Z軸馬達(dá)用驅(qū)動(dòng)器27d，進(jìn)行噴嘴 17的高度位置控制。根據(jù)主控制部20a和副控制部20b的聯(lián)合的控制，各馬達(dá)(線性馬達(dá)、Z軸伺服馬 達(dá)、e軸伺服馬達(dá))根據(jù)從鍵盤24(圖3)輸入、存儲(chǔ)在微機(jī)20aa的RAM的數(shù)據(jù)進(jìn)行移動(dòng)、 旋轉(zhuǎn)，使保持于基板保持機(jī)構(gòu)8(圖1)的基板19 (圖2)在X軸方向移動(dòng)任意的距離，而且， 通過上下移動(dòng)噴嘴17(圖2)的Z軸移動(dòng)臺(tái)14，由設(shè)于橫梁2a、2b的涂敷頭部10的Y軸方 向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11使受到支承的噴嘴17在Y軸方向移動(dòng)任意的距離，在其移動(dòng)過程中，在漿料 收容筒15繼續(xù)地加施加設(shè)定的氣壓，從噴嘴17的前端部的排出口排出漿料，在基板19描 繪所期望的漿料圖案。在噴嘴17朝Y軸方向水平移動(dòng)的過程中，測距儀18測量噴嘴17與基板19的表 面間的間隔，將其時(shí)常維持為一定間隔地通過Z軸移動(dòng)臺(tái)14的上下移動(dòng)來控制噴嘴17。圖5為表示圖1所示實(shí)施方式的整體動(dòng)作的流程圖。在該圖中，如在圖1所示涂漿裝置接通電源(步驟S100)，則首先實(shí)施裝置的初始 設(shè)定(步驟S101)。在該初始設(shè)定工序中，在圖1中，驅(qū)動(dòng)Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11、X軸方向 移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b的線性馬達(dá)、Z軸移動(dòng)臺(tái)14，從而使基板保持機(jī)構(gòu)8在Y軸方向移動(dòng)，定位 在規(guī)定的基準(zhǔn)位置，另外，使其漿料排出口處于開始漿料涂敷的位置(即漿料涂敷開始點(diǎn)) 地將噴嘴17(圖2)的位置設(shè)定在規(guī)定的原點(diǎn)位置，同時(shí)，進(jìn)一步設(shè)定漿料圖案數(shù)據(jù)、基板位 置數(shù)據(jù)、漿料排出結(jié)束位置數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)的輸入從鍵盤24(圖3)進(jìn)行，輸入的數(shù)據(jù)如上述那樣存儲(chǔ)在內(nèi)裝于微機(jī) 20aa(圖 3)的 RAM。如該初始設(shè)定工序(步驟S101)結(jié)束，則接下來將基板19搭載于基板保持機(jī)構(gòu) 8 (圖1)使其受到保持(步驟S102)。接著，進(jìn)行基板預(yù)備定位處理(步驟S103)。在該處理中，由圖像識(shí)別攝像機(jī)對(duì)搭 載于基板保持機(jī)構(gòu)8的基板19的定位用標(biāo)記進(jìn)行攝影，通過圖像處理從該圖像信號(hào)求出定 位用標(biāo)記的重心位置，檢測基板19在0軸方向的傾斜，與其相應(yīng)地驅(qū)動(dòng)Y軸驅(qū)動(dòng)器27a、X 軸驅(qū)動(dòng)器27b、0軸驅(qū)動(dòng)器27c (圖3)，使涂敷頭部10在X、Y軸方向移動(dòng)，另外，修正0軸 方向的傾斜。由以上步驟，結(jié)束基板預(yù)備定位處理(步驟S103)。然后，進(jìn)行漿料圖案描繪處理(步驟S104)。在該處理中，首先，使噴嘴17的排出口 移動(dòng)到基板19的涂敷開始位置，精密地對(duì)噴嘴位置進(jìn)行定位。然后，使Z軸驅(qū)動(dòng)器27d(圖 4)動(dòng)作，將各噴嘴17的高度設(shè)定為漿料圖案描繪高度。根據(jù)噴嘴的初始移動(dòng)距離數(shù)據(jù)使各
8噴嘴17下降與初始移動(dòng)距離相當(dāng)?shù)牧俊Ｔ诮酉聛淼膭?dòng)作中，由測距儀18測定基板19的表 面高度，確認(rèn)噴嘴17的前端是否被設(shè)定為描繪漿料圖案的高度，在未能設(shè)定為描繪高度的 場合，使噴嘴17下降微小距離，反復(fù)進(jìn)行上述基板19的表面測量和噴嘴17下降微小距離 的動(dòng)作，將噴嘴17的前端設(shè)定為漿料圖案的涂敷描繪高度。
如以上的處理結(jié)束，則接下來根據(jù)存儲(chǔ)在微機(jī)20aa(圖3)的RAM的漿料圖案數(shù)據(jù) 和θ軸方向的傾斜的修正，驅(qū)動(dòng)Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11、X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b的線性馬 達(dá)，這樣，在噴嘴17的漿料排出口面對(duì)基板19的狀態(tài)下，相應(yīng)于該漿料圖案數(shù)據(jù)，分別在X、 Y軸方向相對(duì)于基板19移動(dòng)噴嘴17，同時(shí)，在各漿料收容筒15(圖2)按設(shè)定了的壓力施加 氣壓，開始從噴嘴17的漿料排出口排出漿料。這樣，開始漿料圖案在基板19的涂敷。然后，與此同時(shí)，如前面說明的那樣，副控制部20b的微機(jī)20ba從測距儀18獲取 噴嘴17的漿料排出口與基板19的表面之間的間隔的實(shí)測數(shù)據(jù)，測定基板19的表面的起 伏，相應(yīng)于該測定值驅(qū)動(dòng)各個(gè)Z軸伺服馬達(dá)12，從而將從基板19的表面離開的噴嘴17的設(shè) 定高度維持為一定。這樣，能夠按所期望的涂敷量涂敷漿料圖案。如以上那樣，進(jìn)行漿料圖案的描繪，對(duì)噴嘴17的漿料排出口是否處于基板19上的 由上述漿料圖案數(shù)據(jù)決定的描繪圖案的終端進(jìn)行判斷，如不處于該終端，則再次返回到基 板表面起伏的測定處理，以下，反復(fù)進(jìn)行上述涂敷描繪，在形成的漿料圖案到達(dá)該描繪圖案 的終端之前繼續(xù)進(jìn)行。然后，如到達(dá)該描繪圖案終端，則驅(qū)動(dòng)Z軸伺服馬達(dá)12，使噴嘴17上升，該漿料圖 案描繪工序(步驟S104)結(jié)束。然后，前進(jìn)到基板排出處置(步驟S105)，從圖1所示的基板保持機(jī)構(gòu)8解除基板 19，排出到裝置外。然后，判定是否以上的整個(gè)工序相對(duì)于成為對(duì)象的所有基板19進(jìn)行完畢(步驟 S106)，在將相同漿料圖案形成在多片基板的場合，從基板搭載處理(步驟S102)反復(fù)進(jìn)行， 如對(duì)全部基板結(jié)束了這一連串的處理，則作業(yè)全部結(jié)束(步驟S107)。返回到圖1，設(shè)于門形 架2a、2b的涂敷頭設(shè)置面9的Y軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)11超過多個(gè)涂敷頭部10在基板上描繪漿 料圖案所需的范圍在Y軸方向延伸。這樣，涂敷頭部10能夠移動(dòng)到從基板上脫離的位置。 在這樣的從基板脫離了的場所進(jìn)行各涂敷頭部10的維修、安裝、拆卸等作業(yè)。因此，各門形架2a、2b的橫梁3a、3b變得比支承臺(tái)1的橫向?qū)挾乳L，它們的兩端部 從支承臺(tái)1的支承臺(tái)側(cè)面la、lb突出。另外，為了更穩(wěn)定地支承該長度的橫梁2a、2b，橫梁 側(cè)支承構(gòu)件4a、4b設(shè)在橫梁2a、2b的前端部，分別安裝在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b。這樣， 特別是橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b也從支承臺(tái)1的支承臺(tái)側(cè)面la、lb突出?？墒?，例如，隨著液晶面板的大型化，用于漿料圖案的描繪的基板也大面積化，為 了提高這樣的面板的制造效率，同時(shí)在一片基板描繪多個(gè)漿料圖案，因此，使用該基板的涂 漿裝置大型化，其支承臺(tái)也大型化，但如支承臺(tái)過于大型化，其橫向?qū)挾茸兊眠^大，則在例 如運(yùn)送涂漿裝置時(shí)，導(dǎo)致不能搭載于搬運(yùn)車輛等問題。為此，對(duì)支承臺(tái)1的橫向?qū)挾仁┘恿?限制。然而，即使這樣在支承臺(tái)的橫向?qū)挾仁┘酉拗啤⒂纱四軌驅(qū)⒅С信_(tái)搭載在搬運(yùn)車 輛上，即使為了能夠使用大面積的基板而使支承臺(tái)的橫向?qū)挾葹槟軌蚴褂迷摶宓淖畲蟪?度限制的橫向?qū)挾?，也如圖1所示那樣，門形架2a、2b的橫梁3a、3b的兩側(cè)的前端部、橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b從支承臺(tái)1的支承臺(tái)側(cè)面la、lb突出，超過支承臺(tái)1的橫向?qū)挾鹊南拗?值，產(chǎn)生同樣的問題。在該實(shí)施方式中，為了消除該問題，形成為支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b和橫梁側(cè)支 承構(gòu)件4a、4b由連接螺栓結(jié)合的構(gòu)成，通過拆卸該連接螺栓，支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b和橫 梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b能夠分離，能夠從支承臺(tái)1拆下門形架2b。另一方的門形架2a也為同 樣的構(gòu)成。圖6為表示從支承臺(tái)1拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架2a、2b的狀態(tài)的一具體 例的立體圖，符號(hào)7a、7b為直動(dòng)導(dǎo)向件，符號(hào)30a、30b為滑動(dòng)件，符號(hào)31a、31b為L形配件， 與圖1對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同符號(hào)，省略重復(fù)的說明。在該圖中，X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a包括相互平行地設(shè)置的磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件 7a,以及配置在這些磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件7a上、能夠沿這些磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件7a移 動(dòng)的滑動(dòng)件30a，由磁鐵板7和設(shè)于滑動(dòng)件30a的圖中未表示的部件形成線性馬達(dá)。另外， X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6b也包括相互平行地設(shè)置的磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件7b，以及配置在這些 磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件7b上、能夠沿這些磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件7b移動(dòng)的滑動(dòng)件30b，由 磁鐵板7和設(shè)于滑動(dòng)件30b的圖中未表示的部件形成線性馬達(dá)。這些滑動(dòng)件30a、30b相當(dāng) 于圖1中的支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b，其上面構(gòu)成平坦面。另一方面，在設(shè)于門形架2b的橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b，分別在其前端部一體地設(shè) 置L形配件31a、31b，這些L形配件31a、31b的下面構(gòu)成為平坦面。通過將這些L形配件 31a、31b的下面固定在相應(yīng)的滑動(dòng)件30a、30b的上面，從而如圖1所示那樣，成為門形架2b 安裝在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b的狀態(tài)，因此成為門形架2b安裝在支承臺(tái)1的狀態(tài)，成為 能夠在基板涂敷漿料圖案的狀態(tài)。另外，如圖5所示，解除L形配件31a、31b的下面和滑動(dòng) 件30a、30b的上面的固定，從而能夠?qū)㈤T形架2b提升，從支承臺(tái)1拆下。如上述那樣，門形架2b的橫梁3b的兩端部、橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b從支承臺(tái)1的 支承臺(tái)側(cè)面la、lb突出，橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b的兩端面構(gòu)成為相互面對(duì)的垂直面，在該垂 直的端面安裝L形配件31a、31b的垂直的安裝面。為此，這些L形配件31a、31b從橫梁側(cè) 支承構(gòu)件4a、4b的前端部在水平方向相互面對(duì)地配置，這樣，即使橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b從 支承臺(tái)1的支承臺(tái)側(cè)面la、lb突出，也能夠分別同時(shí)地使L形配件31a的平坦的下面面對(duì) 設(shè)于磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件7a上的、支承臺(tái)1上的滑動(dòng)件30a的平坦的上面，使L形配件 31b的平坦的下面面對(duì)設(shè)于磁鐵板7和直動(dòng)導(dǎo)向件7b上的支承臺(tái)1上的滑動(dòng)件30b的平坦 的上面。這樣，能夠如上述那樣將門形架2b安裝在滑動(dòng)件30a、30b，或?qū)⑵洳鹣?。這樣，滑動(dòng)件30a、30b的上面部構(gòu)成門形架2b的連接部。另一方的門形架2a也成為同樣的構(gòu)成。如以上那樣，在該具體例中，使得能夠從支承臺(tái)1分離門形架2a、2b，但在該分解 前的狀態(tài)下，在從上面觀看該涂漿裝置的場合，如設(shè)作為門形架2a、2b的長度的裝置短邊 的尺寸為A，則現(xiàn)在的大型基樣玻璃基板的尺寸約為超過2m見方，在將其圍住的門形架為 一體的場合，裝置的寬度A超過3. 5m，擴(kuò)大到4m左右。為此，在利用一般公路輸送裝置時(shí)， 發(fā)生不能在輸送車輛內(nèi)部收容該裝置的問題。作為其對(duì)策，通常討論從支承臺(tái)1將基板保 持機(jī)構(gòu)8也包含在內(nèi)地分割裝置的結(jié)構(gòu)，在該場合，如拆卸或安裝基板保持機(jī)構(gòu)8，則此時(shí) 裝置的組裝精度下降，另外，涂敷位置精度也劣化。
然而，在該具體例的構(gòu)成的場合，形成為僅限于門形架2a、2b能夠分解的結(jié)構(gòu)，這 樣，作為裝置，能夠小型化到支承臺(tái)1的橫向?qū)挾鹊某叽鏐。另外，作為門形架2a、2b，可以 為更小的短邊的寬度C，所以，分解后的裝置的最大尺寸能夠?yàn)锽，即使用于超大型的基樣 玻璃基板，也能夠抑制為超過3m—些的程度的寬度。結(jié)果，利用一般公路的裝置輸送也能 沒有問題地得到解決。圖7為放大地表示圖6中的“F”部即門形架2b與支承臺(tái)1的連接機(jī)構(gòu)的立體圖， 表示從支承臺(tái)1拆下了門形架2b的狀態(tài)，符號(hào)7b為導(dǎo)軌，符號(hào)30b 1為載置面，符號(hào)31bl 為抵接面，符號(hào)31b2為上面，符號(hào)32、33為螺栓孔，符號(hào)34a、34b為肋，符號(hào)35為連接螺栓。 在與上述圖對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同符號(hào)，省略重復(fù)的說明。在該圖中，設(shè)于支承臺(tái)1(圖6)側(cè)的支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b由滑動(dòng)件30b構(gòu)成，該滑 動(dòng)件30b具有與磁鐵板7 —起構(gòu)成X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6b的線性馬達(dá)，能夠沿磁鐵板7和平 行于其設(shè)置的導(dǎo)軌7b移動(dòng)。該滑動(dòng)件30b的平坦的上面成為載置面30bl。該滑動(dòng)件30b 不從支承臺(tái)1的支承臺(tái)側(cè)面Ib突出地設(shè)置。另一方面，門形架2b的橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的前端部的L形配件31b的垂直部分 一體化在橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b，其水平部分為結(jié)合在滑動(dòng)件30b的載置面30bl的部分。為 此，該L形配件31b的下面成為抵接在滑動(dòng)件30b的載置面30bl的抵接面31bl，在其上面 31b2設(shè)置用于加強(qiáng)該L形配件31b的肋34a，在該肋34a的兩側(cè)各設(shè)置多個(gè)(在這里為3 個(gè))貫通到抵接面31bl的螺栓孔32。相對(duì)于此，在滑動(dòng)件30b的載置面30bl也在分別對(duì) 應(yīng)于L形配件31b的螺栓孔32的位置設(shè)有在內(nèi)部切出螺紋的螺栓孔33。在橫梁側(cè)支承構(gòu) 件4b設(shè)有用于對(duì)其進(jìn)行加強(qiáng)的肋34b。因此，將L形配件31b載置在滑動(dòng)件30b的載置面30bl上，相對(duì)于滑動(dòng)件30b對(duì) L形配件31b進(jìn)行位置調(diào)整，從而能夠使L形配件31b的螺栓孔32分別與滑動(dòng)件30b上的 相應(yīng)的螺紋孔33 —致，在該狀態(tài)下從螺栓孔32分別插入連接螺栓35，從而能夠?qū)形配件 31b固定在滑動(dòng)件30b，門形架2b的橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b安裝在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b。該構(gòu)成對(duì)門形架2b的橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a及支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a也同樣，通過分 別安裝這些橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b和支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b，能夠移動(dòng)地在支承臺(tái)1安裝 門形架2b。另外，以上的情況對(duì)另一方的門形架2a也同樣，同樣，門形架2a也能夠移動(dòng)地 安裝在支承臺(tái)1。因此，如圖1所示那樣，當(dāng)處于門形架2a、2b安裝在支承臺(tái)1的狀態(tài)時(shí)，通過從橫 梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b及支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b將連接螺栓35拆下，在圖7中，能夠從滑 動(dòng)件30b分離L形配件31b，這樣，能夠從支承臺(tái)1拆卸門形架2a、2b。圖8為表示用于從圖6所示狀態(tài)成為圖1所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。以下以門形架2b為例進(jìn)行說明，但對(duì)門形架2a也同樣。在該圖中，首先，將由提升用夾具提升了的門形架2b送入到支承臺(tái)1的連接部即 滑動(dòng)件30b的上方(步驟S200)。然后，使門形架2b下降，使橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的前端部 的L形配件31b的抵接面31bl抵接在滑動(dòng)件30b的載置面30bl，成為L形配件31b載置在 該載置面30bl的狀態(tài)(步驟S201)。然后，使L形配件31b的螺栓孔32與滑動(dòng)件30b的 載置面30bl的螺栓孔33 —致，將連接螺栓35從螺栓孔32插入并將其擰入，從而將L形配 件31b固定在滑動(dòng)件30b。這樣，門形架2b固定在支承臺(tái)1的支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b，門形架2b安裝在支承臺(tái)1 (步驟S202)。此后，從門形架2b拆下提升用夾具(步驟S203)，進(jìn)行在門形架2b與支承臺(tái)1的 連接部的配線及配管的連接(步驟S204)，一連串的組裝作業(yè)結(jié)束。圖9為表示用于從圖1所示狀態(tài)成為圖6所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。在以下說明中，以門形架2b為例進(jìn)行說明，但對(duì)門形架2a也同樣。在該圖中，首先，拆下門形架2b與支承臺(tái)1的連接部的配線及配管的連接(步驟 S300)，將提升用夾具安裝在門形架2b (步驟S301)。然后，如在圖7中說明的那樣，從L形 配件31b及滑動(dòng)件30b拆下連接螺栓35(步驟S302)，由提升用夾具將門形架2b提升(步 驟S303)，使其移動(dòng)到別的場所(步驟S304)。這樣，門形架2b從支承臺(tái)1分離。如以上那樣，能夠由比較簡單的作業(yè)將門形架2a、2b安裝在支承臺(tái)1或從支承臺(tái) 1將其拆下。圖10為表示從支承臺(tái)1拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架2a、2b的狀態(tài)的另一 具體例的立體圖，在與圖6對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注同一符號(hào)，省略重復(fù)的說明。圖6及圖7所示具體例在水平面連接門形架2b的橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b和支承 臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b，該具體例如圖10所示那樣，在垂直面對(duì)其進(jìn)行連接。在圖10中，橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b的前端面構(gòu)成垂直面，作為支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件 5a、5b的滑動(dòng)件30a、30b的抵接面也構(gòu)成垂直面。使橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a、4b的前端面抵接 在滑動(dòng)件30a、30b的抵接面，由連接螺栓對(duì)其進(jìn)行連接，從而將門形架2b安裝在支承臺(tái)1。圖11為放大地表示圖10中的門形架2b與支承臺(tái)1的連接機(jī)構(gòu)的立體圖，表示將 門形架2b從支承臺(tái)1分離的狀態(tài)，符號(hào)31b3為頂面，符號(hào)36、37為抵接面，符號(hào)38為突出 部，符號(hào)39為螺栓孔，在與圖7對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注同一符號(hào)，省略重復(fù)的說明。在該圖中，支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b成為在圖7所示滑動(dòng)件30b上一體地搭載圖7所 示L形配件31b的構(gòu)成，該L形配件31b的垂直部的外面構(gòu)成抵接面36。該抵接面36在支 承臺(tái)1的側(cè)面lb按不從該處突出的程度靠近配置。另一方面，橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的前端形成平坦的垂直面，該垂直面構(gòu)成抵接面 37，在該抵接面的上邊設(shè)置臺(tái)階部，形成突出部38。然后，在該抵接面37設(shè)置多個(gè)貫通到其 相反側(cè)的面的螺栓孔39。使橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的抵接面37抵接在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b側(cè)的L形配件31b 的抵接面36，從而將橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b安裝在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b，在該狀態(tài)下，橫梁側(cè) 支承構(gòu)件4b的前端的抵接面37與突出部38間的臺(tái)階部抵接在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b側(cè)的 L形配件31b的頂面31b3，突出部38載置在該頂面31b3，這樣，橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的抵接 面37相對(duì)于L形配件31b的抵接面36進(jìn)行上下方向的定位。另外，在L形配件31b的抵接面36，雖然圖中未表示，但實(shí)際上設(shè)有與橫梁側(cè)支承 構(gòu)件4b的抵接面37處的螺栓孔39分別對(duì)應(yīng)的螺栓孔，在這些螺栓孔切有螺紋。因此，在L形配件31b的抵接面36，如上述那樣，抵接橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的抵接面 37，以在該抵接面37處的螺栓孔39分別與設(shè)于L形配件31b的抵接面36的螺栓孔一致的 方式調(diào)整橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的抵接面37的位置，然后，從橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b側(cè)通過抵接 面37的螺栓孔39將連接螺栓插入到L形配件31b的抵接面36的螺栓孔、再擰入，從而將 橫梁側(cè)支承構(gòu)件4b的抵接面37固定在L形配件31b的抵接面36，因而固定在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b。然后，同樣，橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a也固定在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a，從而能夠移動(dòng) 地將門形架2b安裝在支承臺(tái)1。按照該構(gòu)成，拆下對(duì)橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a和支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a進(jìn)行固定的連接 螺栓，從而能夠簡單地從支承臺(tái)1拆下門形架2b。以上，為涉及門形架2b的內(nèi)容，但對(duì)另一方的門形架2a也同樣。該具體例也能夠獲得與圖6、圖7所示具體例同樣的效果。圖12為從大體X軸方向觀看本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第2實(shí)施方式的立體圖， 符號(hào)40a、40b為X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置面，在與圖1對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注同一符號(hào)，省略重復(fù)的 說明。在圖12中，與圖1同樣，該圖為了避免煩雜，僅對(duì)出現(xiàn)在圖上的部分標(biāo)注符號(hào)，此 外的部分省略符號(hào)。另外，該第2實(shí)施方式涉及在基板面上描繪漿料圖案(密封材料圖案) 的涂漿裝置及方法，但當(dāng)然也能夠適用于在基板上滴下液晶的滴下裝置。在圖12中，在支承臺(tái)1的左右的側(cè)面la、lb側(cè)，相對(duì)于這些側(cè)面la、lb設(shè)置凹下 了臺(tái)階D的平坦的垂直面的X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置面40a、40b，在這些X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè) 置面40a、40b設(shè)置X軸方向的X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b。在這里，該臺(tái)階D按X軸方向移 動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b的支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a、5b (但是，支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5b未圖示)不從側(cè)面 la、lb突出的程度設(shè)定。支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a例如與圖7所示滑動(dòng)件30b等同，其抵接面構(gòu)成垂直面。另 外，作為門形架2b的橫梁側(cè)支承構(gòu)件4a的前端面的抵接面也構(gòu)成垂直面，橫梁側(cè)支承構(gòu)件 4a的抵接面抵接在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a的抵接面，用連接螺栓緊固，從而將門形架2b的橫 梁側(cè)支承構(gòu)件4a固定在支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件5a，門形架2b設(shè)置在支承臺(tái)1。另外，通過拆卸 該連接螺栓，將門形架2b從支承臺(tái)1分離，能夠?qū)⑼繚{裝置分離成門形架2b和支承臺(tái)1。以上內(nèi)容對(duì)于另一方的門形架2a也同樣。另外，門形架2a、2b在支承臺(tái)1的安裝作業(yè)與前面圖8所示作業(yè)相同，門形架2a、 2b從支承臺(tái)1的拆卸作業(yè)也與前面圖9所示作業(yè)同樣。另外，該第2實(shí)施方式的在基板的 涂漿動(dòng)作也與圖5所示第1實(shí)施方式同樣。如以上那樣，在該第2實(shí)施方式中，能夠?qū)㈤T形架2a、2b從支承臺(tái)1拆下或安裝在 支承臺(tái)1，所以，能夠獲得與前面的第1實(shí)施方式同樣的效果，但由于將用于使門形架2a、2b 移動(dòng)的X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b設(shè)在支承臺(tái)1的側(cè)面la、lb，所以，與圖1所示第1實(shí)施方 式相比，不需要用于設(shè)置在支承臺(tái)1的上面的X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)6a、6b的空間，所以，能夠 使支承臺(tái)1的橫向?qū)挾菳2(圖12)比在圖6所示第1實(shí)施方式下的支承臺(tái)1的橫向?qū)挾菳1 狹小，能夠相應(yīng)地使裝置小型化。
權(quán)利要求
一種涂漿裝置，在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在該門形架能夠移動(dòng)地設(shè)置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于該支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)上載置基板，該門形架相對(duì)于該基板移動(dòng)，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；其特征在于在該支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)的外側(cè)設(shè)置該門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在該移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置了能夠裝拆地安裝該門形架的門形架安裝裝置。
2.一種涂漿裝置，在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在該門形架能夠移動(dòng)地設(shè)置從噴嘴排出口 排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于該支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)上載置基板，該門形架相對(duì)于該基 板移動(dòng)，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；其特征在于在該支承臺(tái)上的比該基板載置臺(tái)處于更下側(cè)的位置設(shè)置該門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在該移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置了能夠裝拆地安裝該門形架的門形架安裝裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂漿裝置，其特征在于上述門形架安裝裝置設(shè)置在比上述 基板載置臺(tái)更低的位置。
4.一種涂漿方法，其特征在于涂漿裝置在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在該門形架能夠移 動(dòng)地設(shè)置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于該支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)上載置基 板，該門形架相對(duì)于該基板移動(dòng)，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；在該支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)的外側(cè)設(shè)置該門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使該門形架移動(dòng)，在該移動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠?qū)⒃撻T形架從該移動(dòng)機(jī)構(gòu)拆卸或?qū)⒃撻T形架安裝到該移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
5.一種涂漿方法，其特征在于涂漿裝置在支承臺(tái)上設(shè)置門形架，在該門形架能夠移 動(dòng)地設(shè)置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設(shè)置于該支承臺(tái)上的基板載置臺(tái)上載置基 板，該門形架相對(duì)于該基板移動(dòng)，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；在該支承臺(tái)上的比該基板載置臺(tái)處于更下側(cè)的位置設(shè)置該門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使該門 形架移動(dòng)，在該移動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠?qū)⒃撻T形架從該移動(dòng)機(jī)構(gòu)拆卸或?qū)⒃撻T形架安裝到該移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂漿方法，其特征在于上述門形架的移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在比上 述基板載置臺(tái)更低的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供涂漿裝置及涂漿方法。在裝置的運(yùn)輸時(shí)，能夠?qū)⒀b置小型化，能夠順利地進(jìn)行裝置的運(yùn)輸。在支承臺(tái)(1)的上面設(shè)有載置基板的基板保持機(jī)構(gòu)(8)，在其兩側(cè)設(shè)置X軸方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)(6a、6b)，分別設(shè)置沿其磁鐵板(7)和導(dǎo)軌(7a、7b)移動(dòng)的作為支承臺(tái)側(cè)支承構(gòu)件(5a、5b)的滑動(dòng)件(30a、30b)。另外，在門形架(2b)的橫梁(3b)的各個(gè)前端部，設(shè)置橫梁側(cè)支承構(gòu)件(4a、4b)，這些前端部的L形配件(31a、31b)分別設(shè)置在滑動(dòng)件(30a、30b)的上面、由連接螺栓固定，這樣，門形架(2b)能夠移動(dòng)地安裝在支承臺(tái)(1)。另外，通過拆下該連接螺栓，能夠從支承臺(tái)(1)分離門形架(2b)。另一方的門形架(2a)也同樣。
文檔編號(hào)C03C17/00GK101875535SQ20101012618
公開日2010年11月3日 申請(qǐng)日期2010年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月28日
發(fā)明者小菅忠男, 渡邊健, 片田一哉, 近藤弓人 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)