專利名稱:熱成型機重結晶碳化硅加熱平臺的制作工藝的制作方法
技術領域:
本發(fā)明創(chuàng)造用重結晶碳化硅制作加熱平臺是用在起塑成型機上。
背景技術:
目前,用重結晶碳化硅制作的加熱平臺其厚度小于50mm,很難滿足起塑成型機對 重結晶碳化硅制作的加熱平臺要求,需要厚度達120mm的平臺,目前的工藝有不足之處1、 粗粉和細粉的粒度一致性不夠,造成在燒制過程中熱脹/熱縮不一致,產(chǎn)生局部開裂;2、降 溫過程中溫度下降速度較快,造成內(nèi)部熱脹大于外表面產(chǎn)生熱應力而開裂;3、在2000°C 2400°C這個重結晶反應區(qū)時間跨度較短,造成內(nèi)部重結晶不充分,影響材料的性能。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明創(chuàng)造的目的是提供一種能滿足厚度達120mm加熱平臺的熱成型機重結晶 碳化硅加熱平臺的制作工藝;本發(fā)明創(chuàng)造的目的是通過下述的技術方案實現(xiàn)的熱成型機 重結晶碳化硅加熱平臺的制作工藝,其步驟如下1)、選用碳化硅粉料選用純度99. 9%, 1500目細粉和選用純度99. 9%,150目粗 粉;2)、篩分用1800目的篩子對1500目細粉料篩選,取用篩上料用1000目的篩子篩 選,取出篩下料作為細粉;用200目的篩子對150目粗粉料篩選,取用篩上料用120目的篩子篩選,取出篩下 料作為粗粉;3)、將上一步驟篩分出的細粉和粗粉碳化硅粉料按1 1配比混合,加入粉料總質 量的20%的水及每50kg泥漿加入70ml結合劑,在攪拌機中攪拌30小時后,檢驗重結晶碳 化硅粉料混合密度,檢驗碳化硅粉料混合后流速,流速為25s ;4)、制作石膏模具,石膏模具預留加熱管和熱電偶位置;5)、澆注碳化硅粉料混合漿澆注速度控制在每公斤40秒,混合漿在模具中經(jīng)20 小時自然固化;6)、放入烘干箱內(nèi)烘干將自然固化后的碳化硅粉料混合漿脫模,放入80°C烘干 箱內(nèi)烘干,每隔8小時檢測水分蒸發(fā)后碳化硅粉料混合的總質量,總質量減少量低于1%。時 為加熱平臺毛坯;7)、繼續(xù)烘干將加熱平臺毛坯放入感應加熱爐中,加溫時間8小時,溫度達 1100 V ;繼續(xù)加溫,時間達20小時,溫度達2000 V ;繼續(xù)加溫,時間達37小時,溫度達 24000C ;保溫4小時,降溫2小時溫度至2000°C,繼續(xù)降溫9小時,溫度至1400°C,保溫14 小時,繼續(xù)降溫,經(jīng)23小時,溫度至200°C出爐;8)、打磨烘干后重結晶碳化硅加熱平臺平面。本發(fā)明創(chuàng)造的優(yōu)點由于工藝步驟中將選用碳化硅粗、細粉料又進行了篩選,合粗 粉和細粉的粒度分別一致,使燒制過程中熱脹/熱縮一致,不產(chǎn)生局部開裂;將2000°C 2400°C這個重結晶反應區(qū)時間跨度延長1小時,在2400°C保溫延長1小時至4小時,從 24000C降至2000°C用了 4個小時,較原工藝多出了 2個小時,使內(nèi)部重結晶更充分,不易開 裂,因而能實現(xiàn)厚度達120_的平臺。
具體實施例方式熱成型機重結晶碳化硅加熱平臺的制作工藝,其步驟如下1)、選用碳化硅粉料選用純度99. 9%, 1500目細粉和選用純度99. 9%,150目粗 粉;2)、篩分用1800目的篩子對1500目細粉料篩選,取用篩上料用1000目的篩子篩 選,取出篩下料作為細粉;用200目的篩子對150目粗粉料篩選,取用篩上料用120目的篩子篩選,取出篩下 料作為粗粉;3)、將上一步驟篩分出的細粉和粗粉碳化硅粉料按1 1配比混合,加入粉料總 質量的20%的水及每50kg泥漿加入70ml結合劑,在攪拌機中攪拌30小時后,檢驗重結晶 碳化硅粉料混合密度,密度為2. 4 2. 5X103kg/m3,檢驗碳化硅粉料混合后流速,流速為 25s ;4)、制作石膏模具,石膏模具預留加熱管和熱電偶位置;5)、澆注碳化硅粉料混合漿澆注速度控制在每公斤40秒,混合漿在模具中經(jīng)20 小時自然固化;6)、放入烘干箱內(nèi)烘干將自然固化后的碳化硅粉料混合漿脫模,放入80°C烘干 箱內(nèi)烘干,每隔8小時檢測水分蒸發(fā)后碳化硅粉料混合的總質量,總質量減少量低于1%。時 為加熱平臺毛坯;7)、繼續(xù)烘干將加熱平臺毛坯放入感應加熱爐中,加溫時間8小時,溫度達 1100 V ;繼續(xù)加溫,時間達20小時,溫度達2000 V ;繼續(xù)加溫,時間達37小時,溫度達 24000C ;保溫4小時,降溫2小時溫度至2000°C,繼續(xù)降溫9小時,溫度至1400°C,保溫14 小時,繼續(xù)降溫,經(jīng)23小時,溫度至200°C出爐;8)、打磨烘干后重結晶碳化硅加熱平臺平面。
權利要求
熱成型機重結晶碳化硅加熱平臺的制作工藝,其步驟如下1)、選用碳化硅粉料選用純度99.9%,1500目細粉和選用純度99.9%,150目粗粉;2)、篩分用1800目的篩子對1500目細粉料篩選,取用篩上料用1000目的篩子篩選,取出篩下料作為細粉;用200目的篩子對150目粗粉料篩選,取用篩上料用120目的篩子篩選,取出篩下料作為粗粉;3)、將上一步驟篩分出的細粉和粗粉碳化硅粉料按1∶1配比混合,加入粉料總質量的20%的水及每50kg泥漿加入70ml結合劑,在攪拌機中攪拌30小時后,檢驗重結晶碳化硅粉料混合密度,檢驗碳化硅粉料混合后流速,流速為25s;4)、制作石膏模具,石膏模具預留加熱管和熱電偶位置;5)、澆注碳化硅粉料混合漿澆注速度控制在每公斤40秒,混合漿在模具中經(jīng)20小時自然固化;6)、放入烘干箱內(nèi)烘干將自然固化后的碳化硅粉料混合漿脫模,放入80℃烘干箱內(nèi)烘干,每隔8小時檢測水分蒸發(fā)后碳化硅粉料混合的總質量,總質量減少量低于1‰時為加熱平臺毛坯;7)、繼續(xù)烘干將加熱平臺毛坯放入感應加熱爐中,加溫時間8小時,溫度達1100℃;繼續(xù)加溫,時間達20小時,溫度達2000℃;繼續(xù)加溫,時間達37小時,溫度達2400℃;保溫4小時,降溫2小時溫度至2000℃,繼續(xù)降溫9小時,溫度至1400℃,保溫14小時,繼續(xù)降溫,經(jīng)23小時,溫度至200℃出爐;8)、打磨烘干后重結晶碳化硅加熱平臺平面。
全文摘要
熱成型機重結晶碳化硅加熱平臺的制作工藝,1)選用重結晶碳化硅粉料2)篩分3)細粉和粗粉按1∶1混合,加入粉料總質量的20%的水及70ml結合劑,攪拌30小時后,檢驗混合密度和流速;4)制作石膏模;5)澆注混合漿在模中經(jīng)20小時自然固化;6)放入80℃烘干箱內(nèi)烘干每隔8小時檢測總質量,總質量減少量低于1‰時合格;7)繼續(xù)烘干加溫8小時,溫度達1100℃;時間達20小時,溫度達2000℃;時間達37小時,溫度達2400℃;保溫4小時,降溫2小時溫度至2000℃,降溫9小時,溫度至1400℃,保溫14小時,降溫23小時,溫度至200℃,出爐;8)打磨平面。優(yōu)點能制造厚度達120mm的平臺。
文檔編號B28B1/14GK101898384SQ201010228990
公開日2010年12月1日 申請日期2010年7月16日 優(yōu)先權日2010年7月16日
發(fā)明者白新宇, 陶春君 申請人:沈陽飛機工業(yè)(集團)有限公司