專利名稱:外圓切方機(jī)循環(huán)給水裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中使用的外圓切方機(jī)循環(huán)給水裝置。
背景技術(shù):
在單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中需使用外圓切方機(jī)切割硅棒,去掉其邊皮,在切割過(guò)程中,水 作為切削液噴射到鋸片上起到冷卻降溫的作用。長(zhǎng)期使用后,水會(huì)使機(jī)臺(tái)生銹,導(dǎo)致機(jī)床的 移動(dòng)不精準(zhǔn),使硅棒的尺寸出現(xiàn)偏差,影響生產(chǎn)。此外,現(xiàn)有的外圓切方機(jī),整個(gè)切割過(guò)程, 水需不斷地注入,隨切割下的硅粉流入排水通道,浪費(fèi)水資源的同時(shí),還使大量的硅粉流 失,造成不必要的浪費(fèi)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可循環(huán)用水,防止機(jī)臺(tái)生銹,并且可對(duì) 硅粉進(jìn)行有效分離的外圓切方機(jī)循環(huán)給水裝置。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的它有一個(gè)儲(chǔ)水箱,其特殊之處是在儲(chǔ)水箱上設(shè)有循 環(huán)水進(jìn)口和出口,在儲(chǔ)水箱底部設(shè)有排水口,在所述的循環(huán)水進(jìn)口、循環(huán)水出口和排水口分 別安裝過(guò)濾器、抽水泵和閥門。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)過(guò)濾器能有效的把水和硅粉分離,避免切割下的硅粉 隨水流走帶來(lái)的損失;水可以循環(huán)利用,節(jié)約成本;加入切削液與水混合起到潤(rùn)滑的作用, 有效防止機(jī)臺(tái)生銹。
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中過(guò)濾器1,抽水泵2,儲(chǔ)水箱3,閥門4,出水管5,進(jìn)水管6。
具體實(shí)施方式
如圖所示,該外圓切方機(jī)循環(huán)給水裝置有一個(gè)儲(chǔ)水箱3,儲(chǔ)水箱3是由箱體和蓋板 構(gòu)成,在儲(chǔ)水箱3上設(shè)有循環(huán)水進(jìn)口和循環(huán)水出口,在儲(chǔ)水箱3底部設(shè)有排水口,在所述的 循環(huán)水進(jìn)口、循環(huán)水出口和排水口分別安裝有過(guò)濾器1、抽水泵2和閥門4。使用時(shí),循環(huán)水進(jìn)口和出口分別通過(guò)過(guò)濾器1和抽水泵2與外圓切方機(jī)的機(jī)臺(tái)上 出水管5和進(jìn)水管6連接。工作前,先打開(kāi)蓋板按比例向儲(chǔ)水箱內(nèi)注入水和切削液形成混 合液,工作時(shí)在抽水泵2的作用下,把儲(chǔ)水箱3中的混合液噴射到鋸片上進(jìn)行冷卻降溫,然 后在經(jīng)過(guò)過(guò)濾器1的作用下把含有硅粉的混合液進(jìn)行分離,把硅粉分離出來(lái),分離后的混 合液經(jīng)過(guò)濾器1后注入儲(chǔ)水箱3,抽水泵2抽出經(jīng)過(guò)濾后的混合液繼續(xù)打入機(jī)臺(tái)進(jìn)行切割, 不斷循環(huán)。
權(quán)利要求一種外圓切方機(jī)循環(huán)給水裝置,包括一個(gè)儲(chǔ)水箱,其特征是在儲(chǔ)水箱上設(shè)有循環(huán)水進(jìn)口和循環(huán)水出口,在儲(chǔ)水箱底部設(shè)有排水口,在所述的循環(huán)水進(jìn)口、循環(huán)水出口和排水口分別安裝過(guò)濾器、抽水泵和閥門。
專利摘要一種外圓切方機(jī)循環(huán)給水裝置,包括一個(gè)儲(chǔ)水箱,其特殊之處是在儲(chǔ)水箱上設(shè)有循環(huán)水進(jìn)口和循環(huán)水出口,在儲(chǔ)水箱底部設(shè)有排水口,在所述的循環(huán)水進(jìn)口、循環(huán)水出口和排水口分別安裝過(guò)濾器、抽水泵和閥門。優(yōu)點(diǎn)是水可以循環(huán)利用,節(jié)約成本,加入切削液起到潤(rùn)滑作用,并防止機(jī)臺(tái)生銹,過(guò)濾器有效的把水和硅粉分離,避免切割下的硅粉隨水流走帶來(lái)的損失。
文檔編號(hào)B28D7/00GK201677412SQ201020159300
公開(kāi)日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月11日
發(fā)明者劉雷, 張昱博, 李陽(yáng), 王克寧, 趙亮 申請(qǐng)人:錦州陽(yáng)光能源有限公司