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一種集中供冷單晶硅線切機組的制作方法

文檔序號:1974863閱讀:154來源:國知局
專利名稱:一種集中供冷單晶硅線切機組的制作方法
技術(shù)領域
本實用新型涉及一種線切機組,特別涉及一種集中供冷單晶硅線切機組。
背景技術(shù)
單晶硅線切機在工作時,發(fā)熱量較大,必須需要額外加裝冷卻設備。現(xiàn)在的線切機 和冷卻設備都是一一對應安裝,即一臺線切機裝一臺冷卻機。由于切線機和冷卻機體積都 較大,使得場地的使用率不高、配套設備多、維護工作量大、運行效率低、能耗高。
發(fā)明內(nèi)容為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,本實用新型目的在于提供一種集中供冷單晶硅線 切機組,采用大功率的冷卻機帶動多臺線切機,節(jié)省了空間。為了達到上述目的,本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的一種集中供冷單晶硅線切機組,包括兩臺或兩臺以上的線切機,其特征在于,每臺 線切機的冷卻口均與冷卻機2采用并聯(lián)方式相連通。本實用新型采用一拖多的冷卻模式,參照了現(xiàn)在中央空調(diào)的原理,將冷卻機置于 廠房外,節(jié)省了廠房空間。

附圖是本實用新型的結(jié)構(gòu)原理圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作詳細敘述。參照附圖,以6個線切機組成的線切機組為例,線切機101、線切機102、線切機 103、線切機104、線切機105、線切機106的冷卻口通過管道3與置于室外的的冷卻機2相連 通,采用的是并聯(lián)的方式。管道3的內(nèi)部其實是兩根水管,一個是進水管,一個是回水管,進 水管進冷凍水冷卻,水管將冷卻過后升溫的水再次回到冷卻機,形成循環(huán)使用,節(jié)省用水。本實用新型的工作原理為冷卻機2將冷凍水通過管道3給每臺線切機供涼水冷 卻機組,由于采用并聯(lián)方式,所以對每臺線切機可單獨控制。
權(quán)利要求一種集中供冷單晶硅線切機組,包括兩臺或兩臺以上的線切機,其特征在于,每臺線切機的冷卻口均與冷卻機(2)采用并聯(lián)方式相連通。
專利摘要一種集中供冷單晶硅線切機組,包括兩臺或兩臺以上的線切機,其特征在于,每臺線切機的冷卻口均與冷卻機采用并聯(lián)方式相連通。冷卻機將涼水通過管道給每臺線切機供涼水冷卻機組,由于采用并聯(lián)方式,所以對每臺線切機可單獨控制,本實用新型采用一拖多的冷卻模式,參照了現(xiàn)在中央空調(diào)的原理,將冷卻機置于廠房外,節(jié)省了廠房空間。
文檔編號B28D5/04GK201712076SQ20102024196
公開日2011年1月19日 申請日期2010年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月28日
發(fā)明者李勇超 申請人:渭南安信電子技術(shù)有限公司
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