專利名稱：吹氣腐蝕機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及的是一種吹氣腐蝕機，適用于石英晶片加工的化學(xué)腐蝕工序。具 體涉及該工序的裝置設(shè)計、制造；加工方法設(shè)計；加工流程設(shè)計等。屬于壓電石英晶體制造 技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，石英晶片加工制造業(yè)內(nèi)采用傳統(tǒng)的搖籃式腐蝕機。該機器在生產(chǎn)加工過程 中，不能使晶片完全有效的游離，極易造成晶片腐蝕痕不良，使產(chǎn)品報廢。受此缺陷的限制， 極大地制約了該工序產(chǎn)能的提升，和造成產(chǎn)品質(zhì)量的波動。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型旨在克服現(xiàn)有的搖籃式腐蝕機所存在的加工過程中晶片不能有效分 散游離；產(chǎn)能受限(Max :2000pCS/瓶)；極易造成晶片腐蝕痕不良等技術(shù)缺陷。提出一種吹 氣腐蝕機。本設(shè)備不僅使得石英晶片在腐蝕加工過程中晶片能處于游離狀態(tài)，解決晶片腐 蝕痕不良的致命傷，而且還有效提升單瓶產(chǎn)能(Max :5000pcs/瓶)。本實用新型的技術(shù)解決方案吹氣腐蝕機的結(jié)構(gòu)包括PVC板箱體、電氣控制柜、不 銹鋼方管支架、控制器、廢液溢水槽、排污口、抽風機孔、Pra給水管，其中電氣控制柜設(shè)置在 PVC板箱體的兩側(cè)，不銹鋼方管支架在PVC板箱體的下方，控制裝置設(shè)在電氣控制柜內(nèi)，廢 液溢水槽與PVC板箱體是一體的，在PVC板箱體底部設(shè)排污口，抽風機孔開在PVC板箱體的 上方，在PVC板箱體的背面設(shè)Pra水管，PVC板箱體內(nèi)安裝腐蝕溶液槽、純凈水槽、熱水槽。本實用新型的有益效果本實用新型在腐蝕作業(yè)和清洗作業(yè)時，由于是壓縮空氣 經(jīng)流量控制，所以晶片翻騰的分散游離，不會產(chǎn)生疊片貼合，不會產(chǎn)生腐蝕痕不良品；由于 腐蝕瓶與氣室是快速螺紋連接，安裝和拆卸操作便捷；單瓶裝片量達5000pCS，比搖籃提高 3000pcs，產(chǎn)能，效率高；結(jié)構(gòu)簡單，無須伺服電機控制；

附圖1是吹氣腐蝕機機體的主視結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2是附圖1的左側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。附圖3是附圖1的后視結(jié)構(gòu)示意圖。附圖4是吹氣腐蝕機內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中的1是PVC板箱體、2是電氣控制柜、3是不銹鋼方管支架、4是控制裝置、5 是廢液溢水槽、6是廢酸出口、7是排污口、8是抽風機孔、9是PI3R給水管，9’是吹氣腐蝕機 機體、10是吹氣瓶、11是溢水孔、12是腐蝕溶液槽、13是純凈水槽、14是熱水槽、15是進氣 管、16是進氣閥、17是進水閥、18是進水管、19是盤管筒、20是腐蝕溶液槽中的A氣室、21 是溶液交換孔、22是純凈水槽中的B氣室、23是溫控儀、24是計時器、25是進氣閥控制器、 26是進水閥控制器、27是氣體流量計、28是氣瓶的加蓋蒙網(wǎng)。
具體實施方式
對照附圖1-3，其結(jié)構(gòu)是包括PVC板箱體1、電氣控制柜2、不銹鋼方管支架3、控制器4、廢液溢水槽5、排污口 7、抽風機孔8、PI5R給水管9，其中電氣控制柜2設(shè)置在PVC板箱 體1的兩側(cè)，不銹鋼方管支架3在PVC板箱體1的下方，用以支撐PVC板箱體1，控制裝置4 設(shè)在電氣控制柜2內(nèi)，廢液溢水槽5與PVC板箱體1是一體的，在PVC板箱體1底部設(shè)排污 口 7，抽風機孔8開在PVC板箱體1的上方，在PVC板箱體1的背面設(shè)Pra水管9。PVC板箱 體1內(nèi)安裝蝕溶液槽、純凈水槽、熱水槽。對照附圖4，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)是包括腐蝕溶液槽12、純凈水槽13、熱水槽14，其中熱水 槽14中的盤管筒19上繞有進氣管15，進氣管15的一端與進氣閥16相接，進氣管15的另 一端與固定在腐蝕溶液槽12中的A氣室20相接，凈水機終端通過進水閥17與進水管18 一端連接，進水管18的另一端與固定在純凈水槽13中的B氣室22相連，純凈水槽13的側(cè) 壁上開有溢水孔11，氣瓶的加蓋蒙網(wǎng)28安裝在吹氣瓶10的底部，加設(shè)氣瓶的加蓋蒙網(wǎng)28， 防止晶片的遺漏并保證熱壓縮空氣通過，吹氣瓶10與腐蝕溶液槽12中的A氣室20通過快 速密封螺紋連接，吹氣瓶10上開有溶液交換孔21。電氣控制柜2內(nèi)的控制裝置4包括溫控 儀23、計時器24、進氣閥控制器25、進水閥控制器26、氣體流量計27 (均屬現(xiàn)有技術(shù))，其 中溫控儀23與熱水槽14、腐蝕溶液槽12、純凈水槽13連接；進水閥控制器26與進氣閥17 連接；進氣閥控制器25接氣體流量計27，計時器24和進氣閥16連接?？刂蒲b置4是監(jiān)控 整個腐蝕和清洗的作業(yè)過程。具體控制方法如下，(1)溫控儀23控制腐蝕溶液槽12、純凈水槽13和熱水槽14內(nèi)的溫度。(2)計時器24控制吹氣瓶10內(nèi)的晶片腐蝕時間。(3)進氣閥控制器25控制進氣閥16的開合。(4)進水閥控制器26控制進水閥24的開合。(5)氣體流量計27控制進入吹氣瓶10的氣體流量的大小調(diào)節(jié)。吹氣腐蝕機的腐蝕和清洗的工藝流程1)加熱，熱水槽14、腐蝕溶液槽12、純凈水槽13通過溫控儀23控制加熱子加熱， 熱水槽14中的水溫控制在90-100°C，腐蝕溶液槽12的水溫控制在65-70°C，純凈水槽13 的水溫控制在65-70°C，使繞在熱水槽14中的盤管筒19上的進氣管中的壓縮空氣升溫，該 壓縮空氣的氣壓為0. 5MPa；2)腐蝕，打開進氣閥控制器25，壓縮空氣通過氣體流量計27，控制壓縮空氣流量 為lOL/min，使壓縮空氣到達腐蝕溶液槽12中的A氣室20噴出，使安裝在氣室中吹氣瓶10 內(nèi)的晶片在腐蝕液中進行翻滾，消除疊片現(xiàn)象(即片與片之間貼在一起所遮蓋的地方不能 和氟化氫銨良好的反應(yīng)，造成各晶片的腐蝕頻率的上升幅度不一致的現(xiàn)象)，使晶片以小的 頻率散差達到設(shè)計頻率。設(shè)定計時器24的計時時間；3)初步清洗，當計時器24計時完成并報警后，首先關(guān)閉進氣閥控制器25，然后從 腐蝕溶液槽12中取出吹氣瓶10的同時吹氣瓶10中的腐蝕溶液從溶液交換孔21和氣瓶的 加蓋蒙網(wǎng)28流出，吹氣瓶10安裝在純凈水槽13中的B氣室22中，打開進水閥控制器26 控制進水閥17，使純凈水對吹氣瓶10中的晶片進行初步清洗，清洗時間由計時器24計時控制，純凈水槽13中的廢酸、水從溢水孔11溢出；隔4)排污，熱水槽14、腐蝕溶液槽12、純凈水槽13在加熱時產(chǎn)生的水蒸汽、酸汽通過 抽風機孔8排出，清洗過程中產(chǎn)生的廢液通過廢液溢水槽5和排污口 7排出；[0024]5)收集晶片，關(guān)閉進水閥控制器26，將出吹氣瓶10從純凈水槽13中取出，再吹氣 瓶10中的晶片倒出。
權(quán)利要求吹氣腐蝕機，其特征是包括PVC板箱體、電氣控制柜、不銹鋼方管支架、控制器、廢液溢水槽、排污口、抽風機孔、PPR給水管，其中電氣控制柜設(shè)置在PVC板箱體的兩側(cè)，不銹鋼方管支架在PVC板箱體的下方，電氣控制柜內(nèi)設(shè)有控制裝置，廢液溢水槽與PVC板箱體是一體的，在PVC板箱體底部設(shè)排污口，抽風機孔開在PVC板箱體的上方，在PVC板箱體的背面設(shè)PPR水管，PVC板箱體內(nèi)安裝腐蝕溶液槽、純凈水槽、熱水槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹氣腐蝕機，其特征是PVC板箱體內(nèi)的熱水槽中的盤管筒上 繞有進氣管，進氣管的一端與進氣閥相接，進氣管的另一端與固定在腐蝕溶液槽中的A氣 室相接，凈水機終端通過進水閥與進水管一端連接，進水管的另一端與固定在純凈水槽中 的B氣室相連，純凈水槽的側(cè)壁上開有溢水孔，氣瓶的加蓋蒙網(wǎng)安裝在吹氣瓶的底部，加設(shè) 氣瓶的加蓋蒙網(wǎng)，防止晶片的遺漏并保證熱壓縮空氣通過，吹氣瓶與腐蝕溶液槽中的A氣 室通過快速密封螺紋連接，吹氣瓶上開有溶液交換孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹氣腐蝕機，其特征是電氣控制柜內(nèi)的控制裝置包括溫控 儀、計時器、進氣閥控制器、進水閥控制器、氣體流量計，其中溫控儀與熱水槽、腐蝕溶液槽、 純凈水槽連接；進水閥控制器與進氣閥連接；進氣閥控制器接氣體流量計，計時器和進氣 閥連接。
專利摘要本實用新型是吹氣腐蝕機，結(jié)構(gòu)包括PVC板箱體、電氣控制柜、不銹鋼方管支架、廢液溢水槽、抽風機孔、PPR給水管，其中電氣控制柜設(shè)置在PVC板箱體的兩側(cè)，不銹鋼方管支架在PVC板箱體的下方，電氣控制柜內(nèi)有控制裝置，廢液溢水槽與PVC板箱體是一體的，在PVC板箱體底部設(shè)排污口，抽風機孔開在PVC板箱體的上方，在PVC板箱體的背面設(shè)PPR水管，PVC板箱體內(nèi)安裝腐蝕溶液槽、純凈水槽、熱水槽。優(yōu)點在腐蝕作業(yè)和清洗作業(yè)時，壓縮空氣經(jīng)流量控制，晶片翻騰的分散游離不會產(chǎn)生疊片貼合和腐蝕痕不良品；腐蝕瓶與氣室是快速螺紋連接，安裝和拆卸操作便捷；單瓶裝片量比搖籃提高3000pcs，結(jié)構(gòu)簡單，無須伺服電機控制。
文檔編號C03C15/00GK201762245SQ201020258519
公開日2011年3月16日 申請日期2010年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月15日
發(fā)明者孟為民, 張駿, 詹軍, 高軍 申請人:菲特晶(南京)電子有限公司