專(zhuān)利名稱(chēng)：晶圓劈裂刀具裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型關(guān)于一種將易碎基板劈裂的裝置，特別關(guān)于一種晶圓劈裂刀具裝置。
背景技術(shù)：
就制造微電子裝置而言，是將多個(gè)晶粒配裝在一晶圓上，接著使用半導(dǎo)體劃線(xiàn)及 裂片設(shè)備將晶圓分割成個(gè)別晶粒?？衫娩?、銳利的鉆石削尖劃線(xiàn)工具或激光執(zhí)行晶圓劃 線(xiàn)作業(yè)，以在晶圓上構(gòu)成應(yīng)力線(xiàn)，晶圓沿著該線(xiàn)裂片以分割個(gè)別晶粒。晶圓沿著切割線(xiàn)通過(guò) 施加足以使晶圓裂片的抗拉應(yīng)變涵蓋切割線(xiàn)而加以裂片。請(qǐng)參閱圖6所示，在現(xiàn)有晶圓裂 片裝置70的已知形式中，一切割線(xiàn)與一平直銳利的劈刀71對(duì)準(zhǔn)，劈刀71上方設(shè)有兩擊錘 72，在裂解晶圓時(shí)，兩擊錘向下?lián)舭l(fā)，帶動(dòng)劈刀71，其下方的銳利邊緣強(qiáng)制撞擊位于切割線(xiàn) 的正下方的晶圓80，使晶圓80裂解。一個(gè)影響裂片作業(yè)的重要因素在于，當(dāng)裂片的部分的表面不完全平整時(shí)，劈刀71 在裂片前，僅與晶圓80的高點(diǎn)接觸，擊錘72僅與劈刀71兩端連接，所以在裂片時(shí)無(wú)法均勻 施力于晶圓80，使切割出來(lái)的晶粒尺寸不夠整齊，精密度不夠，影響其使用效果及產(chǎn)品合格率。

實(shí)用新型內(nèi)容為解決現(xiàn)有裂片裝置的劈刀在裂片前，僅能與晶圓的高點(diǎn)接觸，在裂片時(shí)無(wú)法均 勻施力于晶片，使切割出來(lái)的晶粒尺寸不夠整齊，精密度不夠，影響其使用效果及產(chǎn)品合格 率的問(wèn)題，本實(shí)用新型的主要目的是提供一種能夠改進(jìn)現(xiàn)有缺點(diǎn)的晶片劈裂刀具裝置，其 有多個(gè)劈刀，能沿切割線(xiàn)與晶片表面靠接，且每一劈刀上方設(shè)有一擊錘，在裂片時(shí)能均勻施 力于晶片，使切割出來(lái)的晶粒尺寸平整度大幅提高，提高其使用的效果及產(chǎn)品合格率。本實(shí)用新型所運(yùn)用的技術(shù)手段在于提供一種晶圓劈裂刀具裝置，包含一基座；一限位單元，其一側(cè)與所述基座結(jié)合，包含一連接側(cè)部、一套合側(cè)部、一容置空間 與一蓋體，所述連接側(cè)部外側(cè)與所述基座的一側(cè)面結(jié)合，所述套合側(cè)部與所述連接側(cè)部對(duì) 合，且兩者間形成貫穿的容置空間，所述蓋體設(shè)于所述連接側(cè)部與套合側(cè)部上方，并分別與 所述連接側(cè)部與套合側(cè)部結(jié)合，所述蓋體包含由上而下貫穿設(shè)置的多個(gè)容置孔與一限位 口，所述容置孔下側(cè)是內(nèi)縮的，使所述蓋體在各容置孔中間段形成一擋緣，所述限位口由所 述蓋體底部?jī)?nèi)側(cè)與套合側(cè)部及連接側(cè)部所圍成，且與所述容置空間連通，所述限位口上方 及下方形成兩限位緣；以及多個(gè)裂片單元，所述多個(gè)裂片單元排列成一直線(xiàn)，且穿設(shè)于所述限位單元，包含多 個(gè)劈刀、多個(gè)對(duì)應(yīng)于劈刀設(shè)置的彈性組件與多個(gè)對(duì)應(yīng)于劈刀設(shè)置的擊錘，所述多個(gè)劈刀穿 設(shè)于所述容置空間，而與所述連接側(cè)部及套合側(cè)部結(jié)合，各劈刀頂部向兩相反側(cè)延伸形成 延伸片，設(shè)于所述限位口內(nèi)，各彈性組件穿設(shè)于所述容置孔下側(cè)，而與各劈刀的延伸片頂部 結(jié)合，各擊錘穿設(shè)于所述容置孔上側(cè)，而與各彈性組件頂部結(jié)合。[0009]所述的晶圓劈裂刀具裝置，其中所述的限位單元進(jìn)一步包含多個(gè)栓件與多個(gè)對(duì)應(yīng) 套設(shè)于栓件的彈簧，所述連接側(cè)部進(jìn)一步包含多個(gè)栓孔，各栓孔由所述連接側(cè)部?jī)?nèi)側(cè)面凹 設(shè)而成，各栓系栓設(shè)于各栓孔，各劈刀進(jìn)一步包含一個(gè)以上水平貫穿設(shè)置的容口與容孔，各 容孔開(kāi)口小于其對(duì)應(yīng)的容口，且分別與各栓孔連通，各栓件穿設(shè)于各容口與各容孔，各劈刀 在各容口周?chē)纬梢坏志?，所述套合?cè)部進(jìn)一步包含一個(gè)以上的套口，各套口由所述套合 側(cè)部?jī)?nèi)側(cè)面凹設(shè)而成，對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)栓孔，并與所述容口連通，各栓件頂部設(shè)于各套口 中，各彈簧兩端與各栓件頂部以及各抵緣抵靠。所述的晶圓劈裂刀具裝置，其中所述的蓋體進(jìn)一步包含多個(gè)貫穿的鎖合口與鎖固 口，供多個(gè)鎖件穿設(shè)，且所述多個(gè)鎖件頂部與所述蓋體迫緊抵靠，所述套合側(cè)部與連接側(cè)部 的頂部，包含有多個(gè)分別與鎖合口及鎖固孔連通的鎖合孔及鎖固孔，各鎖件與各鎖合孔及 各鎖固孔鎖固結(jié)合。本實(shí)用新型利用所提供的晶圓劈裂刀具裝置，可以獲得的有益效果為本實(shí)用新型的劈刀，能沿切割線(xiàn)與晶圓表面靠接，且每一劈刀上方設(shè)有一擊錘，在 裂片時(shí)能均勻施力于晶片，使切割出來(lái)的晶粒尺寸平整度大幅提高，提高其使用效果及產(chǎn) 品合格率。

圖1為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的立體外觀圖。圖2為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的立體分解圖。圖3為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的局部剖面圖。圖4為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的局部前視圖。圖5為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的實(shí)施狀態(tài)圖，用以說(shuō)明本實(shí)用新型用于切割晶圓 前的狀態(tài)。圖6為現(xiàn)有裂片裝置的實(shí)施狀態(tài)圖，用以說(shuō)明切割晶圓前的狀態(tài)。
具體實(shí)施方式
為能詳細(xì)了解本實(shí)用新型的技術(shù)特征及實(shí)用功效，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容來(lái)實(shí) 施，進(jìn)一步以如附圖所示的優(yōu)選實(shí)施例，詳細(xì)說(shuō)明如下本實(shí)用新型所提供的晶圓劈裂刀具裝置的優(yōu)選實(shí)施例如圖1至圖5所示，包含一 基座10、一限位單元20與多個(gè)裂片單元30。如圖1及圖3所示，基座10為一直立設(shè)置的板體。如圖2及圖3所示，限位單元20 —側(cè)與基座10的一面結(jié)合，包含一連接側(cè)部21、 一套合側(cè)部22、一容置空間23、一蓋體24、多個(gè)栓件25與多個(gè)對(duì)應(yīng)套設(shè)于栓件25的彈簧 26，本實(shí)施例中，連接側(cè)部21與套合側(cè)部22皆為板體，且二者的內(nèi)側(cè)面相對(duì)結(jié)合，連接側(cè)部 21的外側(cè)面與基座10的一側(cè)面固定結(jié)合，包含多個(gè)栓孔211、多個(gè)垂直設(shè)置的鎖固孔212 與兩墊片213，各栓孔211由連接側(cè)部21內(nèi)側(cè)面凹設(shè)而成，且開(kāi)口排列成兩上下平行的直 線(xiàn)，各栓件25栓設(shè)于各栓孔211，各鎖固孔212在連接側(cè)部21頂部凹設(shè)而成，套合側(cè)部22 與連接側(cè)部21通過(guò)兩墊片213相對(duì)結(jié)合，且在兩者間形成貫穿的容置空間23，此外，套合側(cè) 部22包含兩套口 221與多個(gè)鎖合孔222，各套口 221由套合側(cè)部22內(nèi)側(cè)面凹設(shè)而成，兩套
4口 221為橫長(zhǎng)形，且上下平行，而對(duì)應(yīng)于多個(gè)栓孔211排列而成的兩直線(xiàn)，各栓件25頂部設(shè) 于各套口 221中，各鎖合孔222在套合側(cè)部22頂部凹設(shè)而成；蓋體24設(shè)于連接側(cè)部21與套合側(cè)部22上方，并分別與連接側(cè)部21以及套合側(cè) 部22以鎖固方式結(jié)合，蓋體24包含由上而下貫穿設(shè)置的多個(gè)容置孔241與一限位口 242、 多個(gè)鎖合口 243、多個(gè)鎖固口 244與多個(gè)擋緣245，容置孔241下側(cè)是內(nèi)縮的，使蓋體24在 一個(gè)前述的容置孔241中間段形成一個(gè)前述的擋緣245，限位口 242由蓋體24底部?jī)?nèi)側(cè)與 套合側(cè)部22及連接側(cè)部21所圍成，且與前述的容置空間23連通，限位口 242上方及下方 形成兩限位緣2421，前述各彈簧26的一端與各栓件25頂部抵靠，多個(gè)鎖合口 243與多個(gè)鎖 固口 244分別垂直貫穿于蓋體24，多個(gè)鎖件40分別穿設(shè)于多個(gè)鎖合口 243與多個(gè)鎖固口 244，并與下方的各鎖合孔222與各鎖固孔212鎖合，且多個(gè)鎖件40頂部與蓋體24迫緊抵罪。如圖1及圖3所示，多個(gè)裂片單元30排列成一直線(xiàn)，且穿設(shè)于限位單元20，包含 多個(gè)劈刀31、多個(gè)對(duì)應(yīng)于劈刀31設(shè)置的彈性組件32與多個(gè)對(duì)應(yīng)于劈刀31設(shè)置的擊錘33， 多個(gè)劈刀31穿設(shè)于前述的容置空間23，各劈刀31頂部向兩相反側(cè)延伸形成延伸片311，設(shè) 于限位口 242內(nèi)，此外，各劈刀31包含兩水平貫穿兩相對(duì)側(cè)面的容口 312與容孔313與一 抵緣314，各容口 312與套口 221連通，各容孔313開(kāi)口小于其對(duì)應(yīng)的容口 312，且分別與各 栓孔211連通，各栓件25穿設(shè)于各容口 312與各容孔313，各劈刀31在各容口 312與各容 孔313交接處周?chē)纬傻志?14，各彈簧26的另一端與抵緣314抵靠，各彈性組件32穿設(shè) 于容置孔241下側(cè)，而與各劈刀31的延伸片311頂部結(jié)合，各擊錘33穿設(shè)于容置孔241上 側(cè)，而與各彈性組件32頂部結(jié)合；如上所述，請(qǐng)參閱圖3所示，裂片單元30受其擊錘33帶動(dòng)向下推動(dòng)時(shí)，擋緣245與 兩限位緣2421中位于下方者，能分別提供擊錘33與劈刀31的延伸片311抵擋限位的功能， 防止其過(guò)度向下切割，切割完成時(shí)，彈性組件32能將劈刀31向上拉，而上方的限位緣2421 用以抵擋延伸片311，以防止其被移動(dòng)過(guò)高。本實(shí)用新型的劈刀31，如圖5所示，能沿切割線(xiàn)與晶圓50表面靠接，且因其刀面寬 度比現(xiàn)有的劈刀小，各劈刀31能隨晶圓50表面起伏調(diào)整，因而，劈刀31與晶圓50表面的 貼齊程度，比現(xiàn)有的劈刀明顯高了許多，且每一劈刀31上方設(shè)有一擊錘33，在裂片時(shí)能均 勻施力于晶圓50，使切割出來(lái)的晶粒尺寸平整度大幅提高，提高其使用效果及產(chǎn)品合格率。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型做任何形式上的 限制，雖然本實(shí)用新型已以?xún)?yōu)選實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng) 域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)，應(yīng)當(dāng)可以利用上述揭示的技術(shù)內(nèi) 容作出些許改變或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi) 容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍 屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶圓劈裂刀具裝置，其特征在于，包含一基座；一限位單元，其一側(cè)與所述基座結(jié)合，包含一連接側(cè)部、一套合側(cè)部與一蓋體，所述連 接側(cè)部外側(cè)與所述基座的一側(cè)面結(jié)合，所述套合側(cè)部與所述連接側(cè)部對(duì)合，且兩者間形成 一貫穿的容置空間，所述蓋體設(shè)于所述連接側(cè)部與套合側(cè)部上方，并分別與所述連接側(cè)部 與套合側(cè)部結(jié)合，所述蓋體包含由上而下貫穿設(shè)置的多個(gè)容置孔與一限位口，所述容置孔 下側(cè)是內(nèi)縮的，使所述蓋體在各容置孔中間段形成一擋緣，所述限位口由所述蓋體底部?jī)?nèi) 側(cè)與套合側(cè)部及連接側(cè)部所圍成，且與所述容置空間連通，所述限位口上方及下方形成兩 限位緣；以及多個(gè)裂片單元，所述多個(gè)裂片單元排列成一直線(xiàn)，且穿設(shè)于所述限位單元，包含多個(gè)劈 刀、多個(gè)對(duì)應(yīng)于劈刀設(shè)置的彈性組件與多個(gè)對(duì)應(yīng)于劈刀設(shè)置的擊錘，所述多個(gè)劈刀穿設(shè)于 所述容置空間，而與所述連接側(cè)部及套合側(cè)部結(jié)合，各劈刀頂部向兩相反側(cè)延伸形成延伸 片，設(shè)于前述的限位口內(nèi)，各彈性組件穿設(shè)于所述容置孔下側(cè)，而與各劈刀的延伸片頂部結(jié) 合，各擊錘穿設(shè)于所述容置孔上側(cè)，而與各彈性組件頂部結(jié)合。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓劈裂刀具裝置，其特征在于所述的限位單元進(jìn)一步包含 多個(gè)栓件與多個(gè)對(duì)應(yīng)套設(shè)于栓件的彈簧，所述連接側(cè)部進(jìn)一步包含多個(gè)栓孔，各栓孔由所 述連接側(cè)部?jī)?nèi)側(cè)面凹設(shè)而成，各栓件栓設(shè)于各栓孔，各劈刀進(jìn)一步包含一個(gè)以上水平貫穿 設(shè)置的容口與容孔，各容孔開(kāi)口小于其對(duì)應(yīng)的容口，且分別與各栓孔連通，各栓件穿設(shè)于各 容口與各容孔，各劈刀在各容口周?chē)纬梢坏志?，所述套合?cè)部進(jìn)一步包含一個(gè)以上的套 口，各套口由所述套合側(cè)部?jī)?nèi)側(cè)面凹設(shè)而成，對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)栓孔，并與前述的容口連通， 各栓件頂部設(shè)于各套口中，各彈簧兩端與各栓件頂部以及各抵緣抵靠。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓劈裂刀具裝置，其特征在于所述的蓋體進(jìn)一步包含多個(gè) 貫穿的鎖合口與鎖固口，供多個(gè)鎖件穿設(shè)，所述多個(gè)鎖件頂部與所述蓋體迫緊抵靠，所述套 合側(cè)部與連接側(cè)部的頂部，包含有多個(gè)分別與鎖合口及鎖固孔連通的鎖合孔及鎖固孔，各 鎖件與各鎖合孔及各鎖固孔鎖固結(jié)合。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓劈裂刀具裝置，其特征在于所述的蓋體進(jìn)一步包含多個(gè) 貫穿的鎖合口與鎖固口，供多個(gè)鎖件穿設(shè)，且所述多個(gè)鎖件頂部與蓋體迫緊抵靠，所述套合 側(cè)部與連接側(cè)部的頂部，包含有多個(gè)分別與鎖合口及鎖固孔連通的鎖合孔及鎖固孔，各鎖 件與各鎖合孔及各鎖固孔鎖固結(jié)合。
專(zhuān)利摘要一種晶圓劈裂刀具裝置，包含一基座、一限位單元與多個(gè)裂片單元，所述限位單元的一側(cè)與所述基座結(jié)合，所述多個(gè)裂片單元水平排列，且穿設(shè)于所述限位單元，并分別通過(guò)栓件與所述限位單元迫緊抵靠，所述多個(gè)裂片單元的尖銳端分別與晶圓的切割線(xiàn)對(duì)齊，且分別與晶圓的表面靠接，當(dāng)所述多個(gè)裂片單元擊發(fā)時(shí)，將均勻施力于與其靠接的晶圓表面而將晶圓整齊地裂解。
文檔編號(hào)B28D5/00GK201788953SQ20102028845
公開(kāi)日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月11日
發(fā)明者廖連亨 申請(qǐng)人:廖連亨