專利名稱：單晶硅線切割送線收線裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，特別涉及一種單晶硅線切割送線收線裝置。
背景技術(shù)：
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動把磨料帶入硅碇加工區(qū)域進(jìn)行研磨， 最終把硅碇切割成為薄片的一種新型加工方法，多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割 成硅片切割加工的主要方式。多線切割在收線和送線的時候需要進(jìn)行一個排線的過程，傳 統(tǒng)的采用接近開關(guān)來實(shí)現(xiàn)排線，但這樣的所需要的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，系統(tǒng)成本過高，而且排線的效 果也不夠理想，常常出現(xiàn)排線交錯的現(xiàn)象，從而影響生產(chǎn)的正常進(jìn)行。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種通過步進(jìn)電機(jī)控制的調(diào)整裝置，本裝置的調(diào)整的精度高， 能很好的保證排線的精度，保證了后續(xù)的切割工作的順利進(jìn)行。本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)單晶硅線切割送線收線裝置，包括一個箱體，箱體的一個側(cè)壁上設(shè)置有多個張緊 輪，還包括由電機(jī)驅(qū)動的收線軸和放線軸，在箱體的內(nèi)壁上設(shè)置有一對對送線和收線進(jìn)行 控制的調(diào)整裝置。所述的調(diào)整裝置包括一個固定連接在箱體上的絲杠，絲杠的前端設(shè)置有一個滑動 塊，滑動塊上設(shè)置有一個保持架，保持架上設(shè)置有驅(qū)動滑動塊運(yùn)動的步進(jìn)電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)和 滑動塊之間采用同步帶進(jìn)行連接，在保持架的端部設(shè)置有調(diào)整輪，本實(shí)用新型設(shè)置有一個 通過步進(jìn)電機(jī)控制的絲杠運(yùn)動機(jī)構(gòu)構(gòu)成調(diào)整機(jī)構(gòu)，步進(jìn)電機(jī)控制保證了調(diào)整機(jī)構(gòu)的精度。所述的調(diào)整裝置還包括設(shè)置在保持架上的一對圓柱體滾筒，這里采用一對圓柱體 滾筒對金屬絲進(jìn)行導(dǎo)向，減少了金屬絲的磨損，延長了金屬絲的使用壽命。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于1、具有較好的調(diào)整精度，能對金屬絲進(jìn)行較好的排布，減少了金屬絲之間的磨損， 延長了金屬絲的使用壽命；2、本實(shí)用新型采用步進(jìn)電機(jī)控制調(diào)整裝置的運(yùn)動，保證了調(diào)整裝置的精度。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為調(diào)整裝置結(jié)構(gòu)示意圖，圖中1為收線軸，2為放線軸，3為調(diào)整輪，4為箱體，5為張緊輪，6為滑動塊，7為 步進(jìn)電機(jī)，8為同步帶，9為絲杠，10為保持架，11為圓柱體滾筒。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明[0016]如圖1和圖2所示的單晶硅線切割送線收線裝置，包括一個箱體4，箱體4的一個 側(cè)壁上設(shè)置有七個張緊輪5，還包括由電機(jī)驅(qū)動的收線軸1和放線軸2，在進(jìn)行收線和放線 的時候需要同步進(jìn)行對金屬絲的排線，使金屬絲規(guī)律的排布在收線軸和防線軸上，故我們 在箱體的內(nèi)壁上設(shè)置有一對對送線和收線進(jìn)行控制的調(diào)整裝置。所述的調(diào)整裝置包括一個固定連接在箱體上的絲杠9，絲杠9的前端設(shè)置有一個 滑動塊6，滑動塊6上設(shè)置有一個保持架10，保持架10上設(shè)置有驅(qū)動滑動塊6運(yùn)動的步進(jìn) 電機(jī)7，步進(jìn)電機(jī)7和滑動塊6之間采用同步帶8進(jìn)行連接，在保持架7的端部設(shè)置有調(diào)整 輪3，所述的調(diào)整裝置還包括設(shè)置在保持架上的一對圓柱體滾筒11，這里采用一對圓柱 體滾筒11對金屬絲進(jìn)行導(dǎo)向，減少了金屬絲的磨損，延長了金屬絲的使用壽命。本實(shí)用新型設(shè)置有一個通過步進(jìn)電機(jī)控制的絲杠運(yùn)動機(jī)構(gòu)構(gòu)成調(diào)整機(jī)構(gòu)，步進(jìn)電 機(jī)控制保證了調(diào)整機(jī)構(gòu)的精度，保證了在收線和放線時的金屬絲的排布的均勻性，減少了 金屬絲之間的相互磨損，另外還通過設(shè)置的圓柱體滾筒對金屬絲進(jìn)行導(dǎo)向，減少了金屬絲 與機(jī)器部件之間的磨損，延長了金屬絲的使用壽命。
權(quán)利要求1.單晶硅線切割送線收線裝置，包括一個箱體，箱體的一個側(cè)壁上設(shè)置有多個張緊輪， 還包括由電機(jī)驅(qū)動的收線軸和放線軸，其特征在于在箱體的內(nèi)壁上設(shè)置有一對對送線和 收線進(jìn)行控制的調(diào)整裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅線切割送線收線裝置，其特征在于所述的調(diào)整裝置 包括一個固定連接在箱體上的絲杠，絲杠的前端設(shè)置有一個滑動塊，滑動塊上設(shè)置有一個 保持架，保持架上設(shè)置有驅(qū)動滑動塊運(yùn)動的步進(jìn)電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)和滑動塊之間采用同步帶 進(jìn)行連接，在保持架的端部設(shè)置有調(diào)整輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶硅線切割送線收線裝置，其特征在于所述的調(diào)整裝置 還包括設(shè)置在保持架上的一對圓柱體滾筒。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，特別涉及一種單晶硅線切割送線收線裝置。單晶硅線切割送線收線裝置，包括一個箱體，箱體的一個側(cè)壁上設(shè)置有多個張緊輪，還包括由電機(jī)驅(qū)動的收線軸和放線軸，其特征在于在箱體的內(nèi)壁上設(shè)置有一對對送線和收線進(jìn)行控制的調(diào)整裝置。本實(shí)用新型所述的調(diào)整裝置的調(diào)整的精度高，能很好的保證排線的精度，保證了后續(xù)的切割工作的順利進(jìn)行。
文檔編號B28D7/00GK201895367SQ20102052566
公開日2011年7月13日 申請日期2010年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月13日
發(fā)明者陳榮興 申請人:江蘇創(chuàng)大光伏科技有限公司