專利名稱：多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及多線切割設備領域，具體是指可以根據張力計設定多線切割機主 輥驅動皮帶松緊的調節(jié)裝置，用以提高多線切割機切片質量和對皮帶的兼容性。
背景技術：
在目前的半導體和太陽能升產行業(yè)中，硅片加工多使用多線切割機，它的原理是 通過一根高速運動的鋼絲，帶動附著在鋼絲的切割磨料對硅等半導體脆硬材料進行磨削加 工，從而達到切割效果。在整個切割過程中，鋼絲通過多個導向輪的換向引導，在主輥上形 成一張由若干平行鋼絲組成的線網，而待加工的工件通過工件進給裝置實現(xiàn)進給，可以將 硅棒等脆硬材料一次同時切割為數(shù)百片，多線切割技術具有切割效率高、切片質量好、精度 高等優(yōu)點，業(yè)內已逐漸取代傳統(tǒng)的內圓切割，是目前采用最廣泛的半導體等脆硬材料的切 割技術。在硅片切割過程中，切割鋼絲受很大的磨削力，纏繞鋼絲的主輥轉動要均勻、平 穩(wěn)，這樣才能防止主輥轉速突變造成硅片厚度不均勻、碎片和線痕等質量缺陷，這對電機所 傳遞給主輥的驅動力以及電機主軸與主輥平行度提出了較高要求?，F(xiàn)有調節(jié)裝置存在如下 問題主輥安裝緊固以后，電機安裝必須以主輥的主軸位置為基準，調節(jié)電機上下位置；但 是，這種裝置要調整好電機位置非常麻煩，以至于費時費力還很難確保電機主軸與主輥主 軸之間的平行度，從而造成多線切割機所切割出的硅片厚度不均，合格率低，還會導致切割 鋼絲發(fā)生跳線、斷線等，影響設備的正常使用。
發(fā)明內容本實用新型要解決的技術問題是，針對現(xiàn)有技術存在的缺陷，提供多線切割機主 輥驅動張力調節(jié)裝置，該裝置在設備底座固定以后，只需經過簡單調整就能使主輥驅動電 機按照主輥主軸基準定位，確保驅動皮帶的松緊程度以及電機主軸與主輥主軸之間的平行 度，從而消除硅片厚薄不均，合格率低及鋼絲跳線、斷線現(xiàn)象。本實用新型的技術方案是，所述多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置的組成是，電 機安裝座底部用A緊固螺栓固定在切割設備底板上并同該切割設備底板成平面連接，電機 安裝板與電機安裝座的豎板經定位銷和B緊固螺栓成平面連接；上調整塊通過A螺栓與電 機安裝座連接，下調整塊通過B螺栓與電機安裝板連接；調整螺桿上端通過上調整塊的開 口腰形光孔與該上調整塊連接而所述調整螺桿的下端通過螺紋副與下調整塊連接；電機安 裝座上用于接納定位銷的定位孔和用于接納B緊固螺栓的定位孔均為豎向的長槽形定位 孔。以下對本實用新型做出進一步說明。本實用新型的技術原理是(參見圖1)，由于增加了定位銷1及接納定位銷1的長槽 形定位孔6，定位銷1及長槽形定位孔6的數(shù)量根據實際情況而定，一般為2個；利用上調整 塊4和下調整塊3與調整螺桿2及改變用于接納B緊固螺栓13的螺栓孔為長槽形定位孔7，當電機安裝座9固定以后，如果主輥驅動皮帶出現(xiàn)過緊和過松時，只要擰松電機安裝板5 的B緊固螺栓13，旋轉調整螺桿2即可調整電機安裝板5的位置，從而改變電機驅動皮帶松 緊，此裝置改進簡單，方便實用。本實用新型克服了現(xiàn)有技術電機安裝座上用于接納定位螺栓的螺栓孔為圓形，電 機(重量較大)不能上下調整的缺陷，因為用圓形螺栓孔來調整時，電機和電機安裝座只能 整體調整，在電機重量較大時調整更加困難，而本發(fā)明通過改變兩者的相對位置較容易實 現(xiàn)。由以上可知，本實用新型為一種多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置，該裝置在設 備底座固定以后，只需經過簡單調整就能使主輥驅動電機按照主輥主軸基準定位，確保驅 動皮帶的松緊程度以及電機主軸與主輥主軸之間的平行度，從而消除硅片厚薄不均，合格 率低及鋼絲跳線、斷線現(xiàn)象。


圖1是本實用新型一種實施例的整體結構示意圖； 圖2是圖1所示裝置的俯視結構示意圖； 圖3是本實用新型裝置的使用狀態(tài)示意圖； 圖4是圖3左視結構示意圖。 在圖中
1 一定位銷， 4一上調整塊， 7—定位孔， 10—主輥， 13 — B緊固螺栓， 16—A緊固螺栓，
2—調整螺桿， 5—電機安裝板， 8—設備底板， 11一驅動皮帶， 14—A螺栓， 17—支持螺栓。
3—下調整塊， 6—定位孔， 9一電機安裝座，
12—電動機， 15—B螺栓，
具體實施方式
參見圖1和圖2，所述多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置的組成是，電機安裝座9 底部用6個A緊固螺栓16固定在切割設備底板8上并同該切割設備底板8成平面連接，電 機安裝板5與電機安裝座9的豎板經2個定位銷1和4個B緊固螺栓13成平面連接；上調 整塊4通過A螺栓14與電機安裝座9連接，下調整塊3通過B螺栓15與電機安裝板5連 接；調整螺桿2上端通過上調整塊4的開口腰形光孔與該上調整塊4連接而所述調整螺桿 2的下端通過螺紋副與下調整塊3連接；電機安裝座9上用于接納定位銷1的定位孔6和 用于接納B緊固螺栓13的定位孔7均為豎向的長槽形定位孔。調整螺桿2的上端是有限位臺階的光軸，頂端是用于扳手夾緊的六方結構。電機安裝板5底部裝有支撐螺栓17，用以防止電機安裝板5突然下降。
權利要求1.一種多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置，它的電機安裝座(9)底部用A緊固螺栓 (16)固定在切割設備底板(8)上并同該切割設備底板(8)成平面連接，其特征是，電機安裝 板(5)與電機安裝座(9)的豎板經定位銷(1)和B緊固螺栓(13)成平面連接；上調整塊(4) 通過A螺栓(14)與電機安裝座(9)連接，下調整塊(3)通過B螺栓(15)與電機安裝板(5) 連接；調整螺桿(2)上端通過上調整塊(4)的開口腰形光孔與該上調整塊(4)連接而所述調 整螺桿(2)的下端通過螺紋副與下調整塊(3)連接；電機安裝座(9)上用于接納定位銷(1) 的定位孔(6)和用于接納B緊固螺栓(13)的定位孔(7)均為豎向的長槽形定位孔。
2.根據權利要求1所述多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置，其特征是，調整螺桿(2)的 上端是有限位臺階的光軸，頂端是用于扳手夾緊的六方結構。
3.根據權利要求1所述多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置，其特征是，電機安裝板(5) 底部裝有支撐螺栓(17)。
專利摘要本實用新型公開了一種多線切割機主輥驅動張力調節(jié)裝置，包括電機安裝座、電機安裝板、上調整塊、下調整塊、調整螺桿、定位銷等；電機安裝座與設備底板經緊固螺栓呈平面連接，電機安裝板與電機安裝座經定位銷和緊固螺栓呈平面連接，上調整塊與電機安裝座連接，下調整塊與電機安裝板連接。本實用新型通過增加定位銷和用于接納其的長槽形定位孔、調整塊和調整螺桿及改變用于接納緊固螺栓的螺栓孔形狀。利用調整螺桿旋轉調整電機安裝板的上下位置來調節(jié)皮帶的張緊，克服了現(xiàn)有電機重量大導致皮帶張力不易調整的缺陷。
文檔編號B28D7/00GK201816150SQ201020548070
公開日2011年5月4日 申請日期2010年9月29日 優(yōu)先權日2010年9月29日
發(fā)明者劉咸成, 呂文利, 王學仕, 賈京英, 龔杰洪 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所