專利名稱：一種石英玻璃坩堝及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種石英玻璃坩堝，特別是在提拉法生產(chǎn)單晶硅中使用的石英玻璃坩堝，以及所述石英玻璃坩堝的制備方法。
背景技術(shù)：
石英坩堝作為直拉單晶硅過程中盛放多晶硅料的容器被廣泛采用，因此石英坩堝作為與單晶硅料直接接觸的物體，決定了單晶硅能否順利生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。其中在直拉法生產(chǎn)單晶硅過程中，造成拉晶失敗的一個(gè)主要原因，就是在石英玻璃坩堝內(nèi)表面上形成的方石英脫落后進(jìn)入熔融的硅熔體當(dāng)中造成的。目前，解決此問題的方法中，多采用含有堿土金屬的結(jié)晶促進(jìn)劑涂覆到坩堝內(nèi)表面上，以在單晶拉制的早期階段，坩堝內(nèi)表面形成致密的方石英結(jié)晶層來抑制脫落，例如中國專利03108420在坩堝的整個(gè)或部分側(cè)面上涂覆金屬氧化物涂層；中國專利021M513. 8 中采用在坩堝表面上涂布結(jié)晶促進(jìn)劑后，進(jìn)行高溫?zé)傻姆椒?，將涂層燒成在坩堝上。但這些涂層方法中，存在著如下問題(1)由于坩堝內(nèi)表面上的涂層與坩堝內(nèi)表面的結(jié)合力較弱，涂層容易在運(yùn)輸和使用過程中發(fā)生脫落，使得涂層不能起到本應(yīng)有的效果，甚至引起反作用；(2)由于這些涂層的粘附力較弱，因此在洗滌過程中非常容易被沖洗掉，尤其不能滿足坩堝進(jìn)行酸洗凈的要求；(3)該工藝是在坩堝制作完成后，進(jìn)行的涂層加工，工藝流程長，操作復(fù)雜，以及存在著坩堝易被二次污染等嚴(yán)重影響坩堝質(zhì)量的風(fēng)險(xiǎn)。而美國專利US6，641，663B2公開了使用摻雜有含Ba元素的石英砂制作坩堝內(nèi)層的方法，雖解決了上述問題，但該方法制作的坩堝內(nèi)層Ba元素含量較低(5 150ppm)，制作的坩堝內(nèi)層較厚(0.2 1.0mm)。發(fā)明人在實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)，按照專利US6，641，663B2公開的方法制備石英玻璃坩堝，由于其內(nèi)層Ba元素含量低，制得的坩堝在拉制單晶的過程中，易造成方石英結(jié)晶層在坩堝內(nèi)表面分布不均勻。而為了保證拉晶效果，就需要增加坩堝內(nèi)層的厚度，而內(nèi)層的厚度增大會(huì)造成方石英層過厚等不利的影響，而且顯然內(nèi)層厚度增大就要增加內(nèi)層石英砂的用量，加大成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了提供一種石英玻璃坩堝及其制備方法，以解決坩堝在使用過程中內(nèi)表面上方石英結(jié)晶層脫落、以及方石英結(jié)晶層分布不均勻或方石英結(jié)晶層較厚等對拉晶產(chǎn)生不良影響的問題。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種石英玻璃坩堝，所述石英玻璃坩堝包括坩堝基體，其特征在于所述石英玻璃坩堝的坩堝基體的內(nèi)表面上涂敷有理論厚度為50 500μπι的透明涂層，所述透明涂層是通過熔融摻雜有堿土金屬元素的石英砂制備得到，所述石英砂為天然石英砂、合成石英砂
4或兩者以任意比例的混合，優(yōu)選合成石英砂，所述堿土金屬元素是指鎂元素、鋇元素、鍶元素或鈣元素，優(yōu)選鋇元素，所述堿土金屬元素來自于氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬的鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬的鹽任意比例的混合物，所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂中堿土金屬元素的質(zhì)量含量為400 2000ppm，所述內(nèi)表面是指坩堝基體的底部內(nèi)表面、坩堝基體的壁部內(nèi)表面或坩堝基體的全部內(nèi)表面。所述堿土金屬的堿為下列之一或兩種以上的混合氫氧化鎂、氫氧化鋇、氫氧化鍶或氫氧化鈣，優(yōu)選氫氧化鋇。所述堿土金屬的鹽為堿土金屬無機(jī)鹽和/或堿土金屬有機(jī)鹽。所述堿土金屬無機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合MeXn，η為1或2，其中Me為Mg2+、Ba2+、Sr2+或Ca2+，X為 Γ、Cr、C00\ CH3C00\ C2H5C00\ C032\ SiO廣或 C2O: ；X 為 Γ、Cr、C00\ CH3C00\ C2H5COCT 時(shí)， η = 2 ;X為C032_、Si032_或C2 042_時(shí)，η = 1。所述堿土金屬有機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合(R) 2M，其中M為Mg、Ba、Sr或Ca，R為CmH2m+1C00，m = 3 8的整數(shù)。所述透明涂層的理論厚度為50 500 μ m，優(yōu)選50 μ m 100 μ m，根據(jù)預(yù)計(jì)透明涂層的厚度b和預(yù)計(jì)涂敷的內(nèi)表面的面積S，可按公式m = KXSXbX P計(jì)算出所需摻雜有堿土金屬元素的石英砂的質(zhì)量用量m，其中K為不同尺寸直徑坩堝經(jīng)驗(yàn)系數(shù)，K = 1. 5 2. 0， P為摻雜有堿土金屬元素的石英砂的密度，然后熔融制得所述透明涂層。所述按公式m = KXSXbX P計(jì)算時(shí)，各參數(shù)單位必須統(tǒng)一。本發(fā)明所述P為摻雜有堿土金屬元素的石英砂在高溫熔融之前的正常密度，摻雜有堿土金屬元素的石英砂經(jīng)熔融之后，密度通常會(huì)增大，為了使實(shí)際熔融得到的透明涂層的厚度與預(yù)計(jì)透明涂層的厚度一致，在計(jì)算所需摻雜有堿土金屬元素的石英砂質(zhì)量用量 m時(shí)，熔融之后摻雜有堿土金屬元素的石英砂相比于熔融之前的石英砂的密度增大的倍數(shù)， 也體現(xiàn)在系數(shù)K之中。所述的透明涂層通過在用坩堝模具制備石英玻璃坩堝基體時(shí)，待坩堝基體熔融成型后，再在所述的坩堝模具上接電極通入強(qiáng)電流，進(jìn)而在所述的模具內(nèi)瞬間形成高溫狀態(tài)(大于2000°C)的電弧，然后均勻地投入摻雜有堿土金屬元素的石英砂，經(jīng)高溫熔融后涂敷在石英玻璃坩堝基體的內(nèi)表面，得到所述的透明涂層。更具體的，所述的石英玻璃坩堝的坩堝基體是由天然石英砂熔融制得。所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂中堿土金屬元素的質(zhì)量含量優(yōu)選為SOOppm 1200ppm。更具體的，所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂可按以下方法得到將氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬的鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬的鹽任意比例的混合物配制成質(zhì)量百分含量為0. 01 50%的溶液，加入到石英砂中，所述石英砂為天然石英砂、合成石英砂或兩者以任意比例的混合，充分?jǐn)嚢杌旌?，然后?0 1000°C下干燥1 10小時(shí)(優(yōu)選 200 300°C下干燥2 5小時(shí))，得到摻雜有堿土金屬元素的石英砂，使堿土金屬元素在石英砂中的質(zhì)量含量為400 2000ppm。所述溶液為水溶液或有機(jī)溶液，更具體的，所述氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬無機(jī)鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬無機(jī)鹽的混合物通常只能溶于水配成水溶液；所述堿土金屬有機(jī)鹽通常只能溶于有機(jī)溶劑配成有機(jī)溶液，所述有機(jī)溶劑為下列之一或兩種以上的混合C1 C5的醇、C2 C8的酯、C7 Cll的烷基取代苯，有機(jī)溶劑優(yōu)選為下列之一或兩種以上的混合甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1- 丁醇、異丁醇、1-戊醇、2-戊醇、2-甲基-2戊醇、異戊醇、甲苯、二甲苯、乙酸乙酯，最優(yōu)選甲苯或乙酸乙酯。所述配制好的溶液加入到石英砂中，充分?jǐn)嚢杌旌希缓笤?0 1000°C (優(yōu)選 200 300°C )下干燥1 10小時(shí)的操作，可以多次進(jìn)行，使堿土金屬元素在石英砂中的質(zhì)量含量為400 2000ppm即可。多次操作時(shí)，所述溶液可以是配制好的相同的溶液分次加入，分次干燥，也可以是不同的溶液分次加入，分次干燥，最終使使堿土金屬元素在石英砂中的質(zhì)量含量為400 2000ppm即可。特別對于堿土金屬元素來自于堿土金屬有機(jī)鹽和堿土金屬的堿、堿土金屬有機(jī)鹽和堿土金屬無機(jī)鹽或堿土金屬有機(jī)鹽、堿土金屬的堿、堿土金屬無機(jī)鹽三種的混合時(shí)，堿土金屬有機(jī)鹽溶于有機(jī)溶劑配成有機(jī)溶液，堿土金屬的堿、堿土金屬無機(jī)鹽或堿土金屬的堿、堿土金屬無機(jī)鹽兩者的混合分別溶于水配成水溶液，則有機(jī)溶液與水溶液必須分開進(jìn)行操作。這應(yīng)當(dāng)是本領(lǐng)域人員公知的處理方法。較為具體的，本發(fā)明所述石英玻璃坩堝按照以下方法制得(1)將氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬的鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬的鹽任意比例的混合物配制成質(zhì)量百分含量為0. 01 50%的溶液，加入到石英砂中，所述石英砂為天然石英砂、合成石英砂或兩者以任意比例的混合，充分?jǐn)嚢杌旌希缓笤?0 1000°C (優(yōu)選200 300°C )下干燥1 10小時(shí)，得到摻雜有堿土金屬元素的石英砂，使堿土金屬元素在石英砂中的質(zhì)量含量為400 2000ppm ；所述堿土金屬的堿為下列之一或兩種以上的混合氫氧化鎂、氫氧化鋇、氫氧化鍶或氫氧化鈣，優(yōu)選氫氧化鋇。所述堿土金屬的鹽為堿土金屬無機(jī)鹽和/或堿土金屬有機(jī)鹽。所述堿土金屬無機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合MeXn，η為1或2，其中Me為Mg2+、Ba2+、Sr2+或Ca2+，X為 Γ、Cr、C00\ CH3C00\ C2H5C00\ C032\ SiO廣或 C2O: ；X 為 Γ、Cr、C00\ CH3C00\ C2H5COCT 時(shí)， η = 2 ;X為C032_、Si032_或C2 042_時(shí)，η = 1。所述堿土金屬有機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合(R) 2M，其中M為Mg、Ba、Sr或Ca，R為CmH2m+1C00，m = 3 8的整數(shù)；(2)將天然石英砂放入旋轉(zhuǎn)的坩堝模具中，在離心力作用下所述天然石英砂形成坩堝狀，然后對坩堝模具上方的電極通入強(qiáng)電流形成2000°C以上高溫狀態(tài)的電弧，緩慢地將天然石英砂融化并形成坩堝基體，待坩堝基體熔融成型后，將步驟(1)得到的摻雜有堿土金屬元素的石英砂，以50 IOOg/分鐘的速度均勻投入到坩堝基體的內(nèi)表面，所述內(nèi)表面為坩堝基體的底部內(nèi)表面、坩堝基體的壁部內(nèi)表面或坩堝基體的全部內(nèi)表面，投料結(jié)束并熔融完成后，冷卻后取出，即制得所述石英玻璃坩堝。所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂的質(zhì)量用量m以預(yù)計(jì)透明涂層的厚度b和預(yù)計(jì)涂敷的內(nèi)表面的面積S，按照公式m = KXSXbX P計(jì)算得到，其中K為不同尺寸直徑坩堝經(jīng)驗(yàn)系數(shù)，K= 1.5 2.0，P為摻雜有堿土金屬元素的石英砂的密度，所述預(yù)計(jì)透明涂層的厚度b為50 500 μ m。所述步驟(1) 中，所述堿土金屬的堿優(yōu)選為氫氧化鋇；所述堿土金屬無機(jī)鹽優(yōu)選為碳酸鋇或硅酸鋇，所述堿土金屬有機(jī)鹽優(yōu)選硬脂酸鋇或異辛酸鋇。本發(fā)明提供的石英玻璃坩堝在單晶硅拉制的高溫過程中，由于坩堝內(nèi)表面的透明涂層中摻雜有堿土金屬元素，在單晶拉制的早期階段坩堝內(nèi)表面便形成了均勻致密的方石英層，其結(jié)果是可獲得高無位錯(cuò)比例的硅單晶體。因此本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在(1)由于此石英玻璃坩堝的內(nèi)表面上附著的透明涂層，是在電弧法生產(chǎn)坩堝的熔融過程中將石英砂均勻投入到坩堝的內(nèi)表面形成的，因此，它在坩堝的內(nèi)表面具有較好的均勻分布性。(2)本發(fā)明石英坩堝由于提高了內(nèi)表面透明層中堿土金屬元素的含量，可以制得較薄的內(nèi)表面透明涂層，最薄可以到50 μ m，較薄的內(nèi)表面透明涂層可防止在拉晶過程中形成的方石英結(jié)晶層脫落或熔融硅液進(jìn)入方石英結(jié)晶層等不良事故的發(fā)生，而且方石英結(jié)晶層在坩堝內(nèi)表面分布均勻，利于拉晶的順利進(jìn)行。(3)本發(fā)明提供的石英玻璃坩堝具有較高的耐久使用性，坩堝使用過程中內(nèi)表面透明涂層不易發(fā)生脫落剝離等對拉晶過程造成不利影響的現(xiàn)象，拉制單晶硅的無位錯(cuò)比例高，拉晶效果好。(4)本發(fā)明方法制作的石英玻璃坩堝在經(jīng)受酸洗和高壓水洗后，內(nèi)表面透明涂層仍然存在。(5)由于本發(fā)明方法是在石英玻璃坩堝熔融過程中實(shí)現(xiàn)的內(nèi)表面涂層，因此該坩堝的制備方法操作簡單、坩堝生產(chǎn)工藝流程較短。(6)整個(gè)石英玻璃坩堝生產(chǎn)過程采用全自動(dòng)進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)了坩堝批量生產(chǎn)的均勻一致性。


圖1實(shí)施例1制得的石英玻璃坩堝橫截面圖片，圖中1所指為透明涂層。圖2在拉晶環(huán)境中使用前實(shí)施例1制得的石英玻璃坩堝。圖3在拉晶環(huán)境中使用后實(shí)施例1制得的石英玻璃坩堝。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的描述，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不僅限于此摻雜有堿土金屬元素鋇的石英砂的配制方法稱取一定質(zhì)量的含有堿土金屬元素鋇的化合物，溶于溶劑中配制成溶液，然后將該溶液加到石英砂中，充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚝蟾稍铮纯芍频煤袎A土金屬元素鋇的石英砂。按照上述方法配制含有堿土金屬元素鋇的石英砂，具體含有堿土金屬元素的化合物、溶劑等對應(yīng)和對應(yīng)用量等如下表1 表 1
權(quán)利要求
1.一種石英玻璃坩堝，所述石英玻璃坩堝包括坩堝基體，其特征在于所述石英玻璃坩堝的坩堝基體的內(nèi)表面上涂敷有理論厚度為50 500 μ m的透明涂層，所述透明涂層是通過熔融摻雜有堿土金屬元素的石英砂制備得到，所述石英砂為天然石英砂、合成石英砂或兩者以任意比例的混合，所述堿土金屬元素是指鎂元素、鋇元素、鍶元素或鈣元素，所述堿土金屬元素來自于氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬的鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬的鹽任意比例的混合物，所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂中堿土金屬元素的質(zhì)量含量為 400 2000ppm，所述內(nèi)表面是指坩堝基體的底部內(nèi)表面、坩堝基體的壁部內(nèi)表面或坩堝基體的全部內(nèi)表面。
2.如權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述的透明涂層通過在用坩堝模具制備石英玻璃坩堝基體時(shí)，待坩堝基體熔融成型后，再在所述的坩堝模具上接電極通入強(qiáng)電流，進(jìn)而在所述的模具內(nèi)瞬間形成高溫狀態(tài)的電弧，然后均勻地投入摻雜有堿土金屬元素的石英砂，經(jīng)高溫熔融后涂敷在石英玻璃坩堝基體的內(nèi)表面，得到所述的透明涂層。
3.如權(quán)利要求2所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述坩堝基體是由天然石英砂熔融制得。
4.如權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述的透明涂層的理論厚度為50 100 μ m0
5.如權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝，其特征在于摻雜有堿土金屬元素的石英砂中堿土金屬元素的質(zhì)量含量為800 1200ppm。
6.如權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述堿土金屬的堿為下列之一或兩種以上的混合氫氧化鎂、氫氧化鋇、氫氧化鍶或氫氧化鈣；所述堿土金屬的鹽為堿土金屬無機(jī)鹽和/或堿土金屬有機(jī)鹽，所述堿土金屬無機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合 MeXn，η 為 1 或 2，其中 Me 為 Mg2+、Ba2+、Sr2+ 或 Ca2+，X 為 Γ、Cr、COCT、CH3COCT、C2H5COO^CO廣、 SiO廣或 C2O, ；X 為 Γ、Cr、COCT、CH3COO^ C2H5COCT 時(shí)，η = 2 ;Χ 為 CO廣、SiO廣或 C2O,時(shí)， η = 1 ；所述堿土金屬有機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合(R)2M,其中M為Mg、Ba、Sr 或 Ca，R 為 CmH2m+1C00，m = 3 8 的整數(shù)。
7.如權(quán)利要求5所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂可按以下方法得到將氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬的鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬的鹽任意比例的混合物配制成質(zhì)量百分含量為0. 01 50%的溶液，加入到石英砂中，所述石英砂為天然石英砂、合成石英砂或兩者以任意比例的混合，充分?jǐn)嚢杌旌?，然后?0 1000°C下干燥1 10小時(shí)，得到摻雜有堿土金屬元素的石英砂，使堿土金屬元素在石英砂中的質(zhì)量含量400 2000ppm。
8.如權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述石英玻璃坩堝按照以下方法制得(1)將氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬的鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬的鹽任意比例的混合物配制成質(zhì)量百分含量為0. 01 50%的溶液，加入到石英砂中，所述石英砂為天然石英砂、合成石英砂或兩者以任意比例的混合，充分?jǐn)嚢杌旌?，然后?0 1000°C下干燥 1 10小時(shí)，得到摻雜有堿土金屬元素的石英砂，使堿土金屬元素在石英砂中的質(zhì)量百分含量400 2000ppm ；所述堿土金屬的堿為下列之一或兩種以上的混合氫氧化鎂、氫氧化鋇、氫氧化鍶或氫氧化鈣；所述堿土金屬的鹽為堿土金屬無機(jī)鹽和/或堿土金屬有機(jī)鹽，所述堿土金屬無機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合=MeXn, η為1或2，其中Me為Mg2+、Ba2+、Sr2+或Ca2+，X為 Γ、Cr、C00\ CH3C00\ C2H5C00\ C032\ SiO廣或 C2O: ；X 為 Γ、Cr、C00\ CH3C00\ C2H5COCT 時(shí)， η = 2 ;X為C032_、SiO:或C2042_時(shí)，η = 1 ；所述堿土金屬有機(jī)鹽為下列中的一種或兩種以上的混合(R) 2M，其中M為Mg、Ba、Sr或Ca，R為CmH2m+1C00，m = 3 8的整數(shù)；(2)將天然石英砂放入旋轉(zhuǎn)的坩堝模具中，在離心力作用下所述天然石英砂形成坩堝狀，然后對坩堝模具上方的電極通入強(qiáng)電流形成2000°C以上高溫狀態(tài)的電弧，緩慢地將天然石英砂融化并形成坩堝基體，待坩堝基體熔融成型后，將步驟(1)得到的摻雜有堿土金屬元素的石英砂，以50 IOOg/分鐘的速度均勻投入到坩堝基體的內(nèi)表面，所述內(nèi)表面為坩堝基體的底部內(nèi)表面、坩堝基體的壁部內(nèi)表面或坩堝基體的全部內(nèi)表面，投料結(jié)束并熔融完成后，冷卻后取出，即制得所述石英玻璃坩堝；所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂的質(zhì)量用量m以預(yù)計(jì)透明涂層的厚度b和預(yù)計(jì)涂敷的內(nèi)表面的面積S，按照公式m = KXSXbX P計(jì)算得到，其中K為不同尺寸直徑坩堝經(jīng)驗(yàn)系數(shù)，K =1.2 1.8，P為摻雜有堿土金屬元素的石英砂的密度，所述預(yù)計(jì)透明涂層的厚度b為50 500 μ m。
9.如權(quán)利要求8所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述堿土金屬的堿為氫氧化鋇；所述堿土金屬無機(jī)鹽為碳酸鋇或硅酸鋇，所述堿土金屬有機(jī)鹽為硬脂酸鋇或異辛酸鋇。
10.如權(quán)利要求9所述的石英玻璃坩堝，其特征在于所述堿土金屬元素在石英砂中的質(zhì)量百分含量為800 1200ppm，所述預(yù)計(jì)透明涂層的厚度b為50 100 μ m。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種石英玻璃坩堝，所述石英玻璃坩堝的坩堝基體的內(nèi)表面上涂敷有理論厚度為50~500μm的透明涂層，所述透明涂層是通過熔融摻雜有堿土金屬元素的石英砂制備得到，所述堿土金屬元素是指鎂元素、鋇元素、鍶元素或鈣元素，所述堿土金屬元素來自于氧化鋇、堿土金屬的堿、堿土金屬的鹽或堿土金屬的堿與堿土金屬的鹽任意比例的混合物，所述摻雜有堿土金屬元素的石英砂中堿土金屬元素的質(zhì)量百分含量為400~2000ppm。本發(fā)明還公開了所述石英玻璃坩堝的制備方法。本發(fā)明提供的石英玻璃坩堝具有較高的耐久使用性，坩堝使用過程中內(nèi)表面透明涂層不易發(fā)生脫落剝離等對拉晶過程造成不利影響的現(xiàn)象，拉制單晶硅的無位錯(cuò)比例高，拉晶效果好。
文檔編號C03B20/00GK102453956SQ20111004045
公開日2012年5月16日 申請日期2011年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者周勇, 渥美崇, 王春來 申請人:杭州先進(jìn)石英材料有限公司