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一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):1847875閱讀:319來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于多線(xiàn)切割機(jī)領(lǐng)域,具體的涉及一種一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)
多線(xiàn)切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù),它的原理是通過(guò)一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線(xiàn)帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對(duì)半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦,從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過(guò)程中,鋼線(xiàn)通過(guò)十幾個(gè)導(dǎo)線(xiàn)輪的引導(dǎo),在主線(xiàn)輥上形成一張線(xiàn)網(wǎng),而待加工工件通過(guò)工作臺(tái)的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給,可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片,多線(xiàn)切割技術(shù)與其他技術(shù)相比有效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點(diǎn)。已逐漸取代了傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割,是目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。 多線(xiàn)切割機(jī)在一定速度下的鋼線(xiàn)張力精確控制是關(guān)鍵的、必要的。第一要有快速的張力變動(dòng)響應(yīng),保證切削時(shí)恒定的鋼線(xiàn)張力;第二需要收線(xiàn)和放線(xiàn)有單獨(dú)的排線(xiàn)結(jié)構(gòu),拓寬工藝路線(xiàn);第三需要可靠斷線(xiàn)檢測(cè)功能,確保意外斷線(xiàn)后及時(shí)停車(chē);第四盡量簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu),減少過(guò)線(xiàn)導(dǎo)輪數(shù)量,降低斷線(xiàn)幾率。在現(xiàn)有產(chǎn)品中過(guò)線(xiàn)輪結(jié)構(gòu)不合理,由于過(guò)線(xiàn)輪的失效導(dǎo)致的斷線(xiàn)幾率較高,且在斷線(xiàn)后沒(méi)有可靠的斷線(xiàn)檢測(cè)手段。

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,本發(fā)明旨在提供一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),該機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)線(xiàn)切割機(jī)鋼線(xiàn)張力的精確控制,提高鋼線(xiàn)張力控制的可靠性,提升整體性能。為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的,達(dá)到上述技術(shù)效果,本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),包括基板,還包括一鋼線(xiàn),所述鋼線(xiàn)由放線(xiàn)輥、長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪、放線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)線(xiàn)輪、放線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪、放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)輪控制放線(xiàn)側(cè)張力;所述鋼線(xiàn)由切削室導(dǎo)出后,經(jīng)收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪、收線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪、收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪和收線(xiàn)輥控制收線(xiàn)側(cè)張力;限位柱固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪和放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)論兩側(cè);防轉(zhuǎn)塊固聯(lián)于所述基板上,位于所述放線(xiàn)輥和收線(xiàn)輥?zhàn)笊戏?。進(jìn)一步的,所述收線(xiàn)輥由左右兩處的錐頭支撐在軸上,通過(guò)螺栓、壓塊和蝶簧軸向定位;所述軸經(jīng)聯(lián)第一軸器與第一電機(jī)連接;同時(shí)所述軸由左右兩處的軸承支撐于軸承座上,所述軸承座通過(guò)端面絕緣墊、第一絕緣襯套和第二絕緣襯套固聯(lián)于所述基板上;所述第一電機(jī)通過(guò)聯(lián)結(jié)法蘭固聯(lián)于所述基板。進(jìn)一步的,所述收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪通過(guò)軸承支撐于導(dǎo)輪軸,所述導(dǎo)輪軸固聯(lián)于直線(xiàn)軸,所述直線(xiàn)軸通過(guò)固定座、第一連桿和連板與絲桿固聯(lián),并由軸線(xiàn)軸承支撐于所述基板上;所述絲桿經(jīng)第二聯(lián)軸器與第二電機(jī)相連,并由左右兩處的軸承支撐于支架上,所述支架固聯(lián)于所述基板。進(jìn)一步的,所述收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪由軸承支撐于導(dǎo)輪軸上,并通過(guò)第二連桿、接軸固接于第三電機(jī),所述第三電機(jī)固聯(lián)于所述基板。進(jìn)一步的,所述防轉(zhuǎn)塊內(nèi)部開(kāi)有通孔,防轉(zhuǎn)桿在所述通孔內(nèi)自由滑動(dòng),限位桿固聯(lián)于所述防轉(zhuǎn)桿上。進(jìn)一步的,絕緣碳刷支架固聯(lián)于所述聯(lián)結(jié)法蘭上,碳刷座固聯(lián)于所述絕緣碳刷支架上,碳刷安裝在所述碳刷座內(nèi),所述碳刷座與刷環(huán)固連,所述刷環(huán)與軸固聯(lián);壓指通過(guò)銷(xiāo)鉸接于所述絕緣碳刷支架上,并通過(guò)固定在支桿上彈簧施加壓力于碳刷。進(jìn)一步的,所述長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪由軸承支撐于空軸上,所述空軸與所述基板固聯(lián)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果本發(fā)明采用伺服拖動(dòng)控制鋼線(xiàn)張力,實(shí)現(xiàn)鋼線(xiàn)高速下張力的精確控制;采用獨(dú)立的收放線(xiàn)排線(xiàn)結(jié)構(gòu),提升了工藝的靈活性;簡(jiǎn)化了過(guò)線(xiàn)導(dǎo)輪的空間布局,降低了斷線(xiàn)的幾率。上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段, 并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施,以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本發(fā)明的具體實(shí)施方式
由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。


此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解,構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分,本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明,并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中圖I示出了本發(fā)明的外部結(jié)構(gòu)示意圖。圖2示出了圖I中K-K的剖視圖。圖3示出了圖2中L-L的剖視圖。圖4示出了圖I中N-N的剖視圖。圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明1、基板;2、放線(xiàn)輥;3、長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪;4、放線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)線(xiàn)輪;5、放線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪;6、放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)輪;7、限位柱;8、防轉(zhuǎn)塊;9、收線(xiàn)輥;10、收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪;11、收線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪;12、收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪;13、鋼線(xiàn);14、錐頭;15、螺栓;16、蝶簧;17、壓塊;20、第一絕緣襯套;21、第二絕緣襯套;22、端面絕緣墊;23、聯(lián)結(jié)法蘭;24、第一聯(lián)軸器;25、第一電機(jī);26、軸承座;27、軸;29、導(dǎo)輪軸;30、直線(xiàn)軸;31、軸線(xiàn)軸承;32、固定座;33、第一連桿;34、連板;35、絲桿;36、第二聯(lián)軸器;37、第二電機(jī);40、支架;42、導(dǎo)輪軸;43、第二連桿;44、接軸;45、第三電機(jī);46、防轉(zhuǎn)桿;47、限位桿;48、絕緣碳刷支架;49、壓指;50、彈簧;51、支桿;52、銷(xiāo);53、碳刷座;54、碳刷;55、刷環(huán);56、軸承;57、空軸。
具體實(shí)施例方式下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例,來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。參見(jiàn)圖I所示,一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),包括基板1,還包括一鋼線(xiàn)13,所述鋼線(xiàn)13由放線(xiàn)輥2、長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪3、放線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)線(xiàn)輪4、放線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪5、放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)輪6控制放線(xiàn)側(cè)張力;所述鋼線(xiàn)13由切削室導(dǎo)出后,經(jīng)收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪12、收線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪11、收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪10和收線(xiàn)輥9控制收線(xiàn)側(cè)張力;限位柱7固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪12和放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)論6兩側(cè);防轉(zhuǎn)塊8固聯(lián)于所述基板I上,位于所述放線(xiàn)輥2和收線(xiàn)輥9左上方。進(jìn)一步的,參見(jiàn)圖2所示,所述收線(xiàn)輥9由左右兩處的錐頭14支撐在軸27上,通過(guò)螺栓15、壓塊17和蝶簧16軸向定位;所述軸27經(jīng)聯(lián)第一軸器24與第一電機(jī)25連接;同時(shí)所述軸27由左右兩處的軸承支撐于軸承座26上,所述軸承座26通過(guò)端面絕緣墊22、第一絕緣襯套20和第二絕緣襯套21固聯(lián)于所述基板I上;所述第一電機(jī)25通過(guò)聯(lián)結(jié)法蘭23固聯(lián)于所述基板I。進(jìn)一步的,參見(jiàn)圖2所示,所述收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪10通過(guò)軸承支撐于導(dǎo)輪軸29,所述導(dǎo)輪軸29固聯(lián)于直線(xiàn)軸30,所述直線(xiàn)軸30通過(guò)固定座32、第一連桿33和連板34與絲桿35固聯(lián),并由軸線(xiàn)軸承31支撐于所述基板I上;所述絲桿35經(jīng)第二聯(lián)軸器36與第二電機(jī)37相連,并由左右兩處的軸承支撐于支架40上,所述支架40固聯(lián)于所述基板I。進(jìn)一步的,參見(jiàn)圖2所示,所述收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪12由軸承支撐于導(dǎo)輪軸42上,并通過(guò)第二連桿43、接軸44固接于第三電機(jī)45,所述第三電機(jī)45固聯(lián)于所述基板I。進(jìn)一步的,參見(jiàn)圖2所示,所述防轉(zhuǎn)塊8內(nèi)部開(kāi)有通孔,防轉(zhuǎn)桿46在所述通孔內(nèi)自由滑動(dòng),限位桿47固聯(lián)于所述防轉(zhuǎn)桿46上。進(jìn)一步的,參見(jiàn)圖3所示,絕緣碳刷支架48固聯(lián)于所述聯(lián)結(jié)法蘭23上,碳刷座53 固聯(lián)于所述絕緣碳刷支架48上,碳刷54安裝在所述碳刷座53內(nèi),所述碳刷座53與刷環(huán)55固連,所述刷環(huán)55與軸27固聯(lián);壓指49通過(guò)銷(xiāo)52鉸接于所述絕緣碳刷支架48上,并通過(guò)固定在支桿51上彈簧50施加壓力于碳刷54。進(jìn)一步的,參見(jiàn)圖4所示,所述長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪3由軸承支撐于空軸57上,所述空軸57與所述基板I固聯(lián)。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),包括基板(I),其特征在于還包括一鋼線(xiàn)(13),所述鋼線(xiàn)(13)由放線(xiàn)輥(2)、長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪(3)、放線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)線(xiàn)輪(4)、放線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪(5)、放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)輪(6)控制放線(xiàn)側(cè)張力;所述鋼線(xiàn)(13)由切削室導(dǎo)出后,經(jīng)收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪(12)、收線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪(11)、收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪(10)和收線(xiàn)輥(9)控制收線(xiàn)側(cè)張力;限位柱(7)固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪(12)和放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)論(6)兩側(cè);防轉(zhuǎn)塊(8)固聯(lián)于所述基板(I)上,位于所述放線(xiàn)輥(2)和收線(xiàn)輥(9)左上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),其特征在于所述收線(xiàn)輥(9)由左右兩處的錐頭(14)支撐在軸(27)上,通過(guò)螺栓(15)、壓塊(17)和蝶簧(16)軸向定位;所述軸(27)經(jīng)聯(lián)第一軸器(24)與第一電機(jī)(25)連接;同時(shí)所述軸(27)由左右兩處的軸承支撐于軸承座(26)上,所述軸承座(26)通過(guò)端面絕緣墊(22)、第一絕緣襯套(20)和第二絕緣襯套(21)固聯(lián)于所述基板(I)上;所述第一電機(jī)(25)通過(guò)聯(lián)結(jié)法蘭(23)固聯(lián)于所述基板(I)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),其特征在于所述收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪(10)通過(guò)軸承支撐于導(dǎo)輪軸(29),所述導(dǎo)輪軸(29)固聯(lián)于直線(xiàn)軸(30),所述直線(xiàn)軸(30)通過(guò)固定座(32)、第一連桿(33)和連板(34)與絲桿(35)固聯(lián),并由軸線(xiàn)軸承(31)支撐于所述基板(I)上;所述絲桿(35)經(jīng)第二聯(lián)軸器(36)與第二電機(jī)(37)相連,并由左右兩處的軸承支撐于支架(40)上,所述支架(40)固聯(lián)于所述基板(I)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),其特征在于所述收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪(12)由軸承支撐于導(dǎo)輪軸(42)上,并通過(guò)第二連桿(43)、接軸(44)固接于第三電機(jī)(45),所述第三電機(jī)(45)固聯(lián)于所述基板(I)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),其特征在于所述防轉(zhuǎn)塊(8)內(nèi)部開(kāi)有通孔,防轉(zhuǎn)桿(46)在所述通孔內(nèi)自由滑動(dòng),限位桿(47)固聯(lián)于所述防轉(zhuǎn)桿(46)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),其特征在于絕緣碳刷支架(48)固聯(lián)于所述聯(lián)結(jié)法蘭(23)上,碳刷座(53)固聯(lián)于所述絕緣碳刷支架(48)上,碳刷(54)安裝在所述碳刷座(53)內(nèi),所述碳刷座(53)與刷環(huán)(55)固連,所述刷環(huán)(55)與軸(27)固聯(lián);壓指(49)通過(guò)銷(xiāo)(52)鉸接于所述絕緣碳刷支架(48)上,并通過(guò)固定在支桿(51)上彈簧(50)施加壓力于碳刷(54)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),其特征在于所述長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪(3)由軸承支撐于空軸(57)上,所述空軸(57)與所述基板(I)固聯(lián)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種臥式收放線(xiàn)張力控制機(jī)構(gòu),包括基板,還包括一鋼線(xiàn),所述鋼線(xiàn)由放線(xiàn)輥、長(zhǎng)導(dǎo)線(xiàn)輪、放線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)線(xiàn)輪、放線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪、放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)輪控制放線(xiàn)側(cè)張力;所述鋼線(xiàn)由切削室導(dǎo)出后,經(jīng)收線(xiàn)張力控制導(dǎo)輪、收線(xiàn)張力測(cè)量導(dǎo)輪、收線(xiàn)排線(xiàn)導(dǎo)輪和收線(xiàn)輥控制收線(xiàn)側(cè)張力;限位柱固聯(lián)于所述張力控制導(dǎo)輪和放線(xiàn)排線(xiàn)控制導(dǎo)論兩側(cè);防轉(zhuǎn)塊固聯(lián)于所述基板上,位于所述放線(xiàn)輥和收線(xiàn)輥?zhàn)笊戏?。本發(fā)明采用伺服拖動(dòng)控制鋼線(xiàn)張力,實(shí)現(xiàn)鋼線(xiàn)高速下張力的精確控制;采用獨(dú)立的收放線(xiàn)排線(xiàn)結(jié)構(gòu),提升了工藝的靈活性;簡(jiǎn)化了過(guò)線(xiàn)導(dǎo)輪的空間布局,降低了斷線(xiàn)的幾率。
文檔編號(hào)B28D7/00GK102672833SQ20111006413
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月17日
發(fā)明者張寶玉, 金萬(wàn)斌 申請(qǐng)人:蘇州赫瑞特電子專(zhuān)用設(shè)備科技有限公司
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