專利名稱：用于pcvd加工的光纖預(yù)制棒沉積車床的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用PCVD方法即等離子體化學(xué)汽相沉積法制作光纖預(yù)制棒的沉積車床，尤其涉及該沉積車床的微波沉積裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中已存在有用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，該沉積車床主要包括床身結(jié)構(gòu)、機(jī)械傳動部分、微波沉積裝置和預(yù)熱爐裝置。現(xiàn)有沉積車床均為設(shè)置一套微波沉積裝置的單諧振腔結(jié)構(gòu)，即一次只能加工一根光纖預(yù)制棒，由于微波沉積加工一根光纖預(yù)制棒的時間較長，需要旋轉(zhuǎn)往復(fù)幾萬次才能完成一根預(yù)制棒的沉積加工，因此單諧振腔結(jié)構(gòu)的微波沉積裝置不僅加工效率低，而且也影響機(jī)床其它運(yùn)行部分的運(yùn)行功效。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足而提供一種有效提高機(jī)床加工效率的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床。本發(fā)明的技術(shù)方案為包括床身、微波沉積裝置和保溫爐，床身上面的導(dǎo)軌上安設(shè)往復(fù)移動滑臺，微波沉積裝置安設(shè)在往復(fù)移動滑臺上，所述的微波沉積裝置包括有諧振腔和微波發(fā)生器，諧振腔通過波導(dǎo)與微波發(fā)生器相連，在床身兩側(cè)對應(yīng)諧振腔分別設(shè)置固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭和移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭，其不同之處在于在往復(fù)移動滑臺上安設(shè)前、后微波沉積裝置，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與后微波沉積裝置的后諧振腔軸線相平行，在床身兩側(cè)對應(yīng)前、后諧振腔分別設(shè)置前、后固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭和前、后移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭，構(gòu)成雙諧振腔沉積車床。按上述方案，所述的前諧振腔與后諧振腔等高平行安設(shè)。按上述方案，所述的前諧振腔與后諧振腔左右齊平。按上述方案，所述的前諧振腔右端面與后諧振腔左端面對齊，或前諧振腔左端面與后諧振腔右端面對齊。按上述方案，所述的保溫爐為開合式可升降保溫爐，安設(shè)在諧振腔的上方，保溫爐爐腔橫截面為矩形或腰圓形與前、后諧振腔相配置。本發(fā)明的積極效果為1、采用雙諧振腔結(jié)構(gòu)，一臺沉積機(jī)床可同時加工兩根光纖預(yù)制棒，使得沉積機(jī)床的加工效率大幅提高；2、整個機(jī)床的結(jié)構(gòu)設(shè)置緊湊合理，通過增設(shè)一套微波沉積裝置即能實(shí)現(xiàn)雙諧振腔的工作，使機(jī)床的其他運(yùn)行部件得到充分的利用，可降低機(jī)床的運(yùn)行能耗，有利節(jié)能降耗；3、由于運(yùn)行參數(shù)相同，使加工的光纖預(yù)制棒的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)接近和相同，能使分開加工的光纖更為匹配。


圖1為本發(fā)明一個實(shí)施例的正視結(jié)構(gòu)圖。圖2為本發(fā)明一個實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。
圖3為本發(fā)明另一個實(shí)施例的正視結(jié)構(gòu)圖。圖4為本發(fā)明另一個實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖進(jìn)一步說明本發(fā)明的實(shí)施例。第一個實(shí)施例如圖1、2所示，包括有一床身12，床身上面設(shè)置導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上安設(shè)往復(fù)移動滑臺11，往復(fù)移動滑臺與往復(fù)移動機(jī)構(gòu)相連；在往復(fù)移動滑臺上安設(shè)前、后微波沉積裝置，所述的前、后微波沉積裝置包括前諧振腔9A和后諧振腔9B以及兩套微波發(fā)生器1， 兩套微波發(fā)生器安設(shè)在往復(fù)移動滑臺兩側(cè)，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與后微波沉積裝置的后諧振腔軸線等高平行，前、后諧振腔的安裝方位左右相錯，前諧振腔右端面與后諧振腔左端面對齊，在床身兩側(cè)對應(yīng)前、后諧振腔分別設(shè)置前、后固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭和前、后移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭，其中在床身的一側(cè)安設(shè)固定床頭箱18，固定床頭箱上前后并行安設(shè)兩個旋轉(zhuǎn)密封夾套17，旋轉(zhuǎn)密封夾套分別通過氣控閥16與兩個工藝氣體控制柜15相連通，每個工藝氣體控制柜均與SiC14蒸發(fā)柜13和GeC14蒸發(fā)柜14相并接，構(gòu)成前、后固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭；對應(yīng)前、后固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭，在床身的另一側(cè)并行安設(shè)前后移動床頭箱21， 前、后移動床頭箱與前后諧振腔相對應(yīng)，前、后移動床頭箱上分別安設(shè)兩個并行的旋轉(zhuǎn)密封夾套17，前、后移動床頭箱上的旋轉(zhuǎn)密封夾套分別與前、后諧振腔及固定床頭箱上的兩個旋轉(zhuǎn)密封夾套同軸線，前、后移動床頭箱上的旋轉(zhuǎn)密封夾套分別通過真空間閥19和冷卻盒20 與真空抽排裝置22相接。前諧振腔9A和后諧振腔9B分別通過安設(shè)在支承座6上的立柱波導(dǎo)7、彎波導(dǎo)5、調(diào)節(jié)器4及微波功率檢測器3、循環(huán)器2與兩套微波發(fā)生器1相連接，構(gòu)成前、后微波沉積裝置。在床身的上方安設(shè)有保溫爐10，所述的保溫爐為開合式可升降保溫爐，安設(shè)在諧振腔的上方，保溫爐爐腔橫截面為矩形或腰圓形，與前、后諧振腔相配置。本發(fā)明第二個實(shí)施例如圖3、4所示，它與上一個實(shí)施例的主要不同之處在于所述的前諧振腔與后諧振腔左右齊平設(shè)置，后諧振腔的立柱波導(dǎo)7下端通過彎波導(dǎo)5和半圓波導(dǎo)23與調(diào)節(jié)器4、微波功率檢測器3、循環(huán)器2及微波發(fā)生器1相連接。其它結(jié)構(gòu)與上一個實(shí)施例相同。
權(quán)利要求
1.一種用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，包括床身、微波沉積裝置和保溫爐，床身上面的導(dǎo)軌上安設(shè)往復(fù)移動滑臺，微波沉積裝置安設(shè)在往復(fù)移動滑臺上，所述的微波沉積裝置包括有諧振腔和微波發(fā)生器，諧振腔通過波導(dǎo)與微波發(fā)生器相連，在床身兩側(cè)對應(yīng)諧振腔分別設(shè)置固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭和移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭，其特征在于在往復(fù)移動滑臺上安設(shè)前、后微波沉積裝置，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與后微波沉積裝置的后諧振腔軸線相平行，在床身兩側(cè)對應(yīng)前、后諧振腔分別設(shè)置前、后固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭和前、后移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭，構(gòu)成雙諧振腔沉積車床。
2.按權(quán)利要求1所述的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，其特征在于所述的前諧振腔與后諧振腔等高平行安設(shè)。
3.按權(quán)利要求2所述的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，其特征在于所述的前諧振腔與后諧振腔左右齊平。
4.按權(quán)利要求2所述的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，其特征在于所述的前諧振腔右端面與后諧振腔左端面對齊，或前諧振腔左端面與后諧振腔右端面對齊。
5.按權(quán)利要求1或2所述的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，其特征在于所述的保溫爐為開合式可升降保溫爐，安設(shè)在諧振腔的上方，保溫爐爐腔橫截面為矩形或腰圓形與前、后諧振腔相配置。
6.按權(quán)利要求5所述的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，其特征在于在床身的一側(cè)安設(shè)固定床頭箱，固定床頭箱上前后并行安設(shè)兩個旋轉(zhuǎn)密封夾套，旋轉(zhuǎn)密封夾套分別通過氣控閥與兩個工藝氣體控制柜相連通，每個工藝氣體控制柜均與SiC14蒸發(fā)柜和GeC14 蒸發(fā)柜相并接，構(gòu)成前、后固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭；在床身的另一側(cè)并行安設(shè)前、后移動床頭箱， 前、后移動床頭箱與前后諧振腔相對應(yīng)，前、后移動床頭箱上分別安設(shè)兩個并行的旋轉(zhuǎn)密封夾套，前、后移動床頭箱上的旋轉(zhuǎn)密封夾套分別與前、后諧振腔及固定床頭箱上的兩個旋轉(zhuǎn)密封夾套同軸線，前、后移動床頭箱上的旋轉(zhuǎn)密封夾套分別通過真空間閥和冷卻盒與真空抽排裝置相接，構(gòu)成前、后移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭。
7.按權(quán)利要求4所述的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，其特征在于前諧振腔和后諧振腔分別通過立柱波導(dǎo)、彎波導(dǎo)、調(diào)節(jié)器及微波功率檢測器與兩套微波發(fā)生器相連接， 構(gòu)成前、后微波沉積裝置。
8.按權(quán)利要求3所述的用于PCVD加工的光纖預(yù)制棒沉積車床，其特征在于前諧振腔通過立柱波導(dǎo)、彎波導(dǎo)、調(diào)節(jié)器及微波功率檢測器與微波發(fā)生器相連接，后諧振腔的立柱波導(dǎo)下端通過彎波導(dǎo)和半圓波導(dǎo)與調(diào)節(jié)器、微波功率檢測器及微波發(fā)生器相連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用PCVD方法即等離子體化學(xué)汽相沉積法制作光纖預(yù)制棒的沉積車床，包括床身、微波沉積裝置和保溫爐，床身上面的導(dǎo)軌上安設(shè)往復(fù)移動滑臺，微波沉積裝置安設(shè)在往復(fù)移動滑臺上，所述的微波沉積裝置包括有諧振腔和微波發(fā)生器，在床身兩側(cè)對應(yīng)諧振腔分別設(shè)置固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭和移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭，其特征在于在往復(fù)移動滑臺上安設(shè)前、后微波沉積裝置，所述的前微波沉積裝置的前諧振腔軸線與后微波沉積裝置的后諧振腔軸線相平行，在床身兩側(cè)對應(yīng)前、后諧振腔分別設(shè)置前、后固定旋轉(zhuǎn)密封夾頭和前、后移動旋轉(zhuǎn)密封夾頭，構(gòu)成雙諧振腔沉積車床。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)置緊湊合理，提高了功效，降低了運(yùn)行能耗，并使加工的光纖預(yù)制棒的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)接近和相同。
文檔編號C03B37/018GK102249532SQ201110094020
公開日2011年11月23日 申請日期2011年4月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月15日
發(fā)明者吳駿, 閆長鹍 申請人:長飛光纖光纜有限公司