專利名稱：無塵室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種無塵室結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷的進(jìn)步，ICエ藝線徑不斷的縮小，因此外部空氣中含微污染物物質(zhì)，如含硫物質(zhì)等，對于エ藝良率的影響，日益擴(kuò)大。為了提升エ藝良率，對于生產(chǎn)環(huán)境的凈化規(guī)格，相對提高，對無塵室的潔凈度要求也相對提高。而當(dāng)操作員需要頻繁往返于無塵室及普通環(huán)境時，很可能使無塵室內(nèi)的潔凈度降低。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供ー種操作方便，并能夠保證無塵室潔凈度的無塵室結(jié)構(gòu)。 一種無塵室，包括ー艙體、設(shè)置于該艙體側(cè)壁上至少ー個艙門、及設(shè)置于艙體內(nèi)部的第一排塵裝置。該無塵室還包括第一料盤，其設(shè)置于該艙體內(nèi)部，與非設(shè)置該艙門的第一側(cè)壁垂直，該第一料盤包括多個網(wǎng)孔。進(jìn)料ロ，其設(shè)置于該第一側(cè)壁上，并位于該第一料盤上方。第二排塵裝，設(shè)置于該艙體內(nèi)部且位于進(jìn)料ロ的上方，用于當(dāng)物料從該進(jìn)料ロ進(jìn)入該艙體中時，阻絕塵粒子隨物料進(jìn)入。出料ロ，設(shè)置于靠近該艙體內(nèi)底部，且位于第一側(cè)壁上，用于移出物料。相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的無塵室，通過在艙體的側(cè)壁上設(shè)置ー進(jìn)料ロ及一出料ロ，防止操作人員往返無塵室，而污染艙體內(nèi)的空間。在艙體內(nèi)部設(shè)置網(wǎng)狀的料盤，并于料盤上方設(shè)置排塵裝置，防止塵粒子累積于料盤之上，降低艙體內(nèi)的潔凈度。從而，該無塵室可達(dá)到方便操作，并提升潔凈度的功能。


圖I為本發(fā)明的無塵室的立體圖。主要元件符號說明
無塵室I_
艙體10
側(cè)壁100、102 :
頂部101
艙門:11
第一料盤12
進(jìn)料ロ13
出料ロ14
第二料盤15
腳輪:16第一排塵裝置17
第二排塵裝置丨[8_
如下具體實施方式
將結(jié)合上述附圖進(jìn)ー步說明本發(fā)明。
具體實施例方式下面將結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進(jìn)ー步的詳細(xì)說明。請參閱圖1，為本發(fā)明的無塵室的立體圖。本發(fā)明的無塵室I包括ー艙體10，且于艙體10的側(cè)壁上設(shè)有至少ー艙門11。在本實施方式中，該艙體10為長方體,且于該艙體10的其中一與地面垂直的側(cè)壁100上設(shè)置艙門11。該艙體10內(nèi)的頂部101上設(shè)有至少ー將塵粒子排出并阻絕塵粒子進(jìn)入的第一排塵裝置17。該艙體10內(nèi)設(shè)置一第一料盤12,且與該艙體10的非設(shè)置艙門11的側(cè)壁102垂直，該第一料盤12與該側(cè)壁102相交處還設(shè)有一進(jìn)料ロ 13，該第一料盤12用于承載由進(jìn)料ロ 13進(jìn)入艙體10內(nèi)部的物料。該艙體10的內(nèi)部在進(jìn)料ロ 13的上方設(shè)置有第二排塵裝置18，用于當(dāng)物料從進(jìn)料ロ 13進(jìn)入艙體10中時，阻絕塵粒子隨物料進(jìn)入?？拷撆擉w10內(nèi)底部103處還設(shè)置一出料ロ 14，且與進(jìn)料ロ 13位于相同的側(cè)壁102上，用于移出物料，防止操作人員往返該無塵室1，而污染該艙體10內(nèi)的空間?！ぴ诒緦嵤┓绞街校撆擉w內(nèi)還設(shè)置有一第二料盤15,該第二料盤15位于第一料盤12的下方，并保持一預(yù)定距離，用于承載物料。該第二料盤15與側(cè)壁102垂直，且與該第一料盤12平行設(shè)置。該第一料盤12與第二料盤15均為網(wǎng)狀，該第一與第二排塵裝置設(shè)置于第一料盤12與第二料盤15上方，塵粒子可通過該網(wǎng)狀的第一料盤12與第二料盤15跌落至艙體10的底部，從而防止塵粒子累積于該第一料盤12與第二料盤15之上，降低艙體10內(nèi)的潔凈度。該艙體10的外部還覆蓋一層防靜電外層(圖未示)，在本實施方式中，該外層為網(wǎng)狀，并由防靜電膠皮材料制成。該艙體10的底部還設(shè)置有多個腳輪16，從而允許該無塵室I可被推動至需要的位置。使用上述無塵室1，通過在艙體10的側(cè)壁102上設(shè)置ー進(jìn)料ロ 13及一出料ロ 15，防止操作人員往返該無塵室1，而污染該艙體10內(nèi)的空間。在艙體10內(nèi)部設(shè)置網(wǎng)狀的料盤，并于料盤上方設(shè)置排塵裝置，防止塵粒子累積于料盤之上，降低艙體10內(nèi)的潔凈度。因此，該無塵室I可達(dá)到方便操作，并提升潔凈度的功能?？梢岳斫獾氖牵瑢τ诒绢I(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思做出其它各種相應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種無塵室，包括ー艙體、設(shè)置于所述艙體側(cè)壁上至少ー個艙門、及設(shè)置于艙體內(nèi)部的第一排塵裝置，其特征在于，所述無塵室還包括 第一料盤，其設(shè)置于所述艙體內(nèi)部，與所述艙體內(nèi)非設(shè)置所述艙門的第一側(cè)壁垂直，所述第一料盤包括多個網(wǎng)孔； 進(jìn)料ロ，其設(shè)置于所述第一側(cè)壁上，并位于所述第一料盤上方； 第二排塵裝置，設(shè)置于所述艙體內(nèi)部且位于所述進(jìn)料ロ的上方，用于當(dāng)物料從所述進(jìn)料ロ進(jìn)入所述艙體中時，阻絕塵粒子隨物料進(jìn)入； 出料ロ，設(shè)置于靠近所述艙體內(nèi)底部，且位于第一側(cè)壁上，用于移出物料。
2.如權(quán)利要求I所述的無塵室，其特征在于，所述艙體為長方體，且于所述艙體的其中一與地面垂直的側(cè)壁上設(shè)置所述艙門。
3.如權(quán)利要求I所述的無塵室，其特征在于，所述艙體內(nèi)還設(shè)置有第二料盤，所述第二料盤位于所述第一料盤的下方，并保持一預(yù)定距離，用于承載物料。
4.如權(quán)利要求3所述的無塵室，其特征在于，所述第二料盤與所述第一側(cè)壁垂直，并與所述第一料盤平行設(shè)置。
5.如權(quán)利要求3所述的無塵室，其特征在于，所述第二料盤包括多個網(wǎng)孔。
6.如權(quán)利要求I所述的無塵室，其特征在于，所述艙體的外部還覆蓋ー層防靜電外層。
7.如權(quán)利要求6所述的無塵室，其特征在于，所述外層為網(wǎng)狀，并由防靜電膠皮材料制成。
8.如權(quán)利要求I所述的無塵室，其特征在于，所述艙體的底部還設(shè)置有多個腳輪。
全文摘要
一種無塵室，包括一艙體、設(shè)置于該艙體側(cè)壁上至少一個艙門、及設(shè)置于艙體內(nèi)部的第一排塵裝置。該無塵室還包括第一料盤，其設(shè)置于該艙體內(nèi)部，與非設(shè)置該艙門的第一側(cè)壁垂直，該第一料盤包括多個網(wǎng)孔。進(jìn)料口，其設(shè)置于該第一側(cè)壁上，并位于該第一料盤上方。第二排塵裝，設(shè)置于該艙體內(nèi)部且位于進(jìn)料口的上方，用于當(dāng)物料從該進(jìn)料口進(jìn)入該艙體中時，阻絕塵粒子隨物料進(jìn)入。出料口，設(shè)置于靠近該艙體內(nèi)底部，且位于第一側(cè)壁上，用于移出物料。使用本發(fā)明的無塵室，通過在艙體的側(cè)壁上設(shè)置一進(jìn)料口及一出料口，內(nèi)部設(shè)置網(wǎng)狀的料盤，并于料盤上方設(shè)置排塵裝置，可達(dá)到方便操作，提升潔凈度的功能。
文檔編號E04H5/08GK102839832SQ20111016940
公開日2012年12月26日 申請日期2011年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月22日
發(fā)明者陳登奎 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司