專利名稱：固定機(jī)構(gòu)、工件的固定方法及工件的固定解除方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種將平板狀的工件以立起姿勢固定的固定機(jī)構(gòu)、以及該固定機(jī)構(gòu)對工件的固定方法及工件的固定解除方法。
背景技術(shù)：
以往，眾所周知有如下基板斷開裝置，其將形成著劃線的母基板以水平狀態(tài)固定， 并且利用分別配置在母基板的上下方的斷開單元來沿著劃線使母基板斷開(例如專利文獻(xiàn)1) O背景技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本專利特開2006-289625號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
如此，專利文獻(xiàn)1中，僅記載了將平板狀的工件以水平狀態(tài)固定的技術(shù)，對于將該工件以立起姿勢固定的技術(shù)則沒有任何記載。其結(jié)果為，若僅應(yīng)用專利文獻(xiàn)1所記載的工件的固定技術(shù)，則會產(chǎn)生無法將立起姿勢的工件良好地固定的問題。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種將平板狀的工件以立起姿勢良好地固定的固定機(jī)構(gòu)、以及該固定機(jī)構(gòu)對工件的固定方法及工件的固定解除方法。為了解決所述問題，技術(shù)方案1的發(fā)明是一種固定機(jī)構(gòu)，其特征在于以立起姿勢固定平板狀的工件；且包含擠壓部，其擠壓所述工件的外緣部；及多個夾持部，各自將配置在與所述擠壓部之間的所述工件的所述外緣部夾持；所述擠壓部包含環(huán)狀的擠壓框； 及施壓構(gòu)件，其通過對所述擠壓框賦予施壓力而將所述工件的所述外緣部固定在所述擠壓框與各夾持部之間；且所述多個夾持部的各個沿著所述擠壓框而設(shè)置。而且，技術(shù)方案2的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于所述多個夾持部中的一部分是向相對于所述擠壓框接近或離開的方向進(jìn)退的可動夾持部。而且，技術(shù)方案3的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案2所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于所述多個夾持部中的剩余部分是固定在所述擠壓框附近的固定夾持部。而且，技術(shù)方案4的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1至3中任一項(xiàng)所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于所述工件包含環(huán)狀體，其在平板的中央形成著開口 ；片材體，其以覆蓋所述環(huán)狀體的所述開口的方式安裝；及脆性材料基板，其以位于所述開口上的方式貼附在所述片材體。而且，技術(shù)方案5的發(fā)明是一種工件的固定方法，其特征在于將平板狀的工件固定于固定機(jī)構(gòu)；且所述固定機(jī)構(gòu)包含擠壓部，其擠壓所述工件的外緣部；及多個夾持部， 各自將配置在與所述擠壓部之間的所述工件的所述外緣部夾持；所述擠壓部包含環(huán)狀的擠壓框；及施壓構(gòu)件，其通過對所述擠壓框賦予施壓力而將所述工件的所述外緣部固定在所述擠壓框與各夾持部之間；所述多個夾持部包含可動夾持部，其向相對于所述擠壓框接近或離開的方向進(jìn)退；及固定夾持部，其固定在所述擠壓框附近；并且所述多個夾持部的各個沿著所述擠壓框而設(shè)置；所述工件的固定方法包含下述步驟a)使所述工件呈立起姿勢并移動至所述固定機(jī)構(gòu)附近；b)使各可動夾持部向從所述擠壓框離開的方向移動；C) 使所述擠壓框向與由所述施壓構(gòu)件對所述擠壓框進(jìn)行施壓的施壓方向相反的方向移動；d) 通過使所述固定夾持部相對于所述工件相對性地移動，從而將所述工件的所述外緣部抵接于所述固定夾持部；e)在執(zhí)行所述步驟d)之后，使各可動夾持部向接近于所述擠壓框的方向移動，由此將所述工件的所述外緣部抵接于各可動夾持部；及f)在執(zhí)行所述步驟e)之后，使所述擠壓框向所述施壓方向移動，由此使立起姿勢的所述工件由所述固定機(jī)構(gòu)固定。而且，技術(shù)方案6的發(fā)明是一種工件的固定解除方法，其特征在于將由固定機(jī)構(gòu)固定的平板狀的工件的固定解除；且所述固定機(jī)構(gòu)包含擠壓部，其擠壓所述工件的外緣部；及多個夾持部，各自將配置在與所述擠壓部之間的所述工件的所述外緣部夾持；所述擠壓部包含環(huán)狀的擠壓框；及施壓構(gòu)件，其通過對所述擠壓框賦予施壓力而將所述工件的所述外緣部固定在所述擠壓框與各夾持部之間；所述多個夾持部包含可動夾持部，其向相對于所述擠壓框接近或離開的方向進(jìn)退；及固定夾持部，其固定在所述擠壓框附近； 并且所述工件的固定解除方法包含下述步驟a)在所述工件的所述外緣部抵接于所述多個可動夾持部及所述固定夾持部的狀態(tài)下，使所述擠壓框向與由所述施壓構(gòu)件對所述擠壓框進(jìn)行施壓的施壓方向相反的方向移動，從而將由所述固定機(jī)構(gòu)對所述工件的固定解除； b)在所述工件的所述外緣部抵接于所述固定夾持部的狀態(tài)下，在執(zhí)行所述步驟a)之后，使各可動夾持部向從所述擠壓框離開的方向移動；c)通過使所述固定夾持部相對于所述工件相對性地移動，從而使所述工件的所述外緣部從所述固定夾持部離開；及d)使所述工件從所述固定機(jī)構(gòu)離開。[發(fā)明的效果]根據(jù)技術(shù)方案1至4中任一項(xiàng)所述的發(fā)明，工件的外緣部能夠由多個夾持部與擠壓部良好地夾持。因此，能夠良好地固定立起姿勢的工件。特別是根據(jù)技術(shù)方案2所述的發(fā)明，通過使可動夾持部相對于擠壓框接近及離開，能夠容易地切換使呈立起姿勢的工件為可夾持的狀態(tài)的操作、及使以立起姿勢夾持的工件為夾持解除狀態(tài)的操作。特別是根據(jù)技術(shù)方案3所述的發(fā)明，固定夾持部固定在擠壓框附近。由此，以固定夾持部的位置為基準(zhǔn)而可容易地執(zhí)行工件相對于固定機(jī)構(gòu)的定位。因此，通過使用固定夾持部及可動夾持部而能夠良好地執(zhí)行工件的固定及固定解除。特別是根據(jù)技術(shù)方案4所述的發(fā)明，脆性材料基板貼附在片材體。因此，即便工件為立起姿勢，也可以切實(shí)地將脆性材料基板固定。特別是根據(jù)技術(shù)方案5及6所述的發(fā)明，能夠良好地執(zhí)行由固定機(jī)構(gòu)固定立起姿勢的工件的動作、及將由固定機(jī)構(gòu)固定的工件的固定解除的動作。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的基板斷開裝置的構(gòu)成的一例的前視圖。圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的基板斷開裝置的構(gòu)成的一例的后視圖。圖3是表示工件的構(gòu)成的一例的前視圖。圖4是表示姿勢變更單元的構(gòu)成的一例的側(cè)視圖。
5
圖5是表示姿勢 變更單元的構(gòu)成的一例的俯視圖。
圖6是表示搬送單元的構(gòu)成的一例的前視圖。
圖7是表示搬送單元的構(gòu)成的一例的后視圖。
圖8是表示可動夾持部的構(gòu)成的一例的前視圖。
圖9是從圖8的V-V線觀察的導(dǎo)引爪附近的剖面圖。
圖10是從圖7的W-W線觀察的導(dǎo)引爪附近的剖面圖。
圖11是用以說明固定機(jī)構(gòu)對工件的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。
圖12是用以說明固定機(jī)構(gòu)對工件的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。
圖13是用以說明固定機(jī)構(gòu)對工件的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。
圖14是表示非接觸保持單元的構(gòu)成的一例的前視圖。
圖15是表示斷開單元的構(gòu)成的一例的俯視圖。
[符號的說明]
1基板斷開裝置
3工件
4切割環(huán)
4b開口
5切割片
7脆性材料基板
8劃線
9電子零件
10姿勢變更單元
20交接部
21升降臺
23 (23a --23d)把持爪
25 (25a --25d)吸附部
27交接用氣缸
30擺動部
33擺動用氣缸
35擠壓部
37 (37a --37d)擠壓用氣缸
39 (39a --39d)輥
40主體單元
42 (42a --42c)搖桿
43、44導(dǎo)件
50搬送單元
51固定臺
51a貫通孔
52旋轉(zhuǎn)臺
60固定機(jī)構(gòu)
60a、68a缺口
60b階差面
60d對向面
61夾持部
61a 61c可動夾持部
66,73 (73aι 73d) 施壓構(gòu)件
67 (67a 67c)可動導(dǎo)件
68固定導(dǎo)件
69 (69a 69d)導(dǎo)引爪
71擠壓部
72擠壓框
75 (75a 75d)間隙
80非接觸保持單元
81安裝臺
81a插入孔
83第1吸引部
84第2吸引部
85斷開單元
86第1斷開棒
86a第1進(jìn)退驅(qū)動部
87第2斷開棒
87a第2進(jìn)退驅(qū)動部
90控制單元
D1、D2間隔(第1及第2間隔)
PlO交接位置
Pll解除位置
P12固定位置
P20斷開位置
具體實(shí)施例方式以下，一邊參照附圖一邊對本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)進(jìn)行說明。<1.整體構(gòu)成>圖1及圖2分別是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的基板斷開裝置1的構(gòu)成的一例的前視圖及后視圖。圖3是表示工件3的構(gòu)成的一例的前視圖。基板斷開裝置1是將形成著劃線8的脆性材料基板7 (參照圖3)沿著劃線8斷開(切斷)的裝置。如圖1及圖2所示，基板斷開裝置1主要包含姿勢變更單元10、主體單元40、搬送單元50、非接觸保持單元80、斷開單元85及控制單元90。另外，圖1及以后的各圖中，為了明確這些部分的方向關(guān)系，視需要適當(dāng)標(biāo)注以Z 軸方向?yàn)殂U垂方向、以XY平面為水平面的XYZ正交坐標(biāo)系。
姿勢變更單元10將平板狀的工件3的姿勢在水平姿勢及立起姿勢之間進(jìn)行變更， 并且將呈立起姿勢的工件3交接給搬送單元50。此外，姿勢變更單元10相對于主體單元 40而固定。此處，如圖3所示，固定在搬送單元50且由斷開單元85進(jìn)行斷開處理的工件3主要包含切割環(huán)4、切割片5及脆性材料基板7。切割環(huán)4(環(huán)狀體)是由不銹鋼等金屬形成的平板。如圖1及圖2所示，通過切割環(huán)4的外緣部如由固定機(jī)構(gòu)60夾持而將工件3固定在固定機(jī)構(gòu)60上。而且，如圖3所示，在切割環(huán)4的中央附近形成著開口 4b。進(jìn)而，在切割環(huán)4的外緣部如設(shè)置著缺口 4c。通過檢測該缺口如的位置來檢測工件3的旋轉(zhuǎn)角度。切割片5 (片材體)以覆蓋切割環(huán)4的開口 4b的方式安裝在切割環(huán)4上。而且， 脆性材料基板7以位于開口 4b上的方式貼附在切割片5。因此，即便使工件3為立起姿勢， 也可以切實(shí)地將脆性材料基板7固定。此處，本實(shí)施方式中，作為切割片5，也可以使用例如樹脂制的粘著片材。脆性材料基板7是例如玻璃基板或陶瓷基板等那樣由脆性材料形成的基板。如圖 3所示，在脆性材料基板7上形成著多個劃線8及多個電子零件9。劃線8是形成在脆性材料基板7的表面上的切割紋(縱向紋路)。此處，通過例如使燒結(jié)金剛石制的劃線輪(省略圖示)壓接在脆性材料基板7的表面并轉(zhuǎn)動而形成劃線 8。而且，對形成著多個劃線8的脆性材料基板7賦予應(yīng)力，并沿著各劃線8將脆性材料基板7斷開，由此獲得多個電子零件9 (例如多個液晶顯示裝置)。另外，本實(shí)施方式中，將工件3 (以及切割環(huán)4、切割片5及脆性材料基板7)的主面3a、3b中的沒有形成劃線8的面稱為第1主面3a，且將形成著劃線8的面稱為第2主面 3b。如圖1及圖2所示，主體單元40用作將姿勢變更單元10、非接觸保持單元80及斷開單元85等單元、以及多個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)固定的固部。此處，各旋轉(zhuǎn)致動器4K41a 41c)根據(jù)壓縮空氣的供給狀態(tài)而使軸(旋轉(zhuǎn)軸， 省略圖示)旋轉(zhuǎn)。由此，安裝在軸上的搖桿42 42c)擺動，并抵接于對應(yīng)的夾持部 61 (61a 61c)的抵接部63 (參照圖8)。另外，對于夾持部61 (61a 61c)的硬件構(gòu)成在下文中闡述。搬送單元50設(shè)置成能夠沿著固定在主體單元40上的一對導(dǎo)件43、44行進(jìn)。搬送單元50將平板狀的工件3以立起姿勢保持，并且使該工件3相對于姿勢變更單元10及主體單元40移動。此處，搬送單元50的保持可以通過對工件3的外緣部如進(jìn)行接觸保持而實(shí)現(xiàn)。如此，搬送單元50不僅搬送工件3 (搬送功能)，還可以通過對包含脆性材料基板 7的工件3的外緣部如也進(jìn)行接觸保持來將平板狀的工件3以立起姿勢的狀態(tài)予以固定 (保持功能)。也就是說，搬送單元50還可以用作“保持單元”。而且，本實(shí)施方式中，搬送工件3時，搬送單元50移動，但姿勢變更單元10及主體單元40靜止。因此，本實(shí)施方式中，也可以將姿勢變更單元10及主體單元40統(tǒng)稱為“固定側(cè)單元”。如圖2所示，非接觸保持單元80以與位于斷開位置P20的搬送單元50對向的方
8式設(shè)置，對由搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60接觸保持外緣部如的工件3進(jìn)行非接觸保持。如此，由對呈立起姿勢的平板狀的工件3的外緣部如進(jìn)行“接觸保持”的搬送單元50 (保持單元)以及對工件3的第1主面3a進(jìn)行“非接觸保持”的非接觸保持單元80構(gòu)成保持裝置。斷開單元85將由搬送單元50保持的工件3的脆性材料基板7沿著劃線8斷開。 此處，斷開單元85對脆性材料基板7賦予應(yīng)力，使垂直裂縫從形成著劃線8的脆性材料基板7的主面成長至其相反側(cè)的主面為止，由此將脆性材料基板7斷開?？刂茊卧?0對姿勢變更單元10、主體單元40、搬送單元50、非接觸保持單元80及斷開單元85中所包含的各要素的動作進(jìn)行控制，并且實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)運(yùn)算。如圖1及圖2所示， 控制單元90主要包含R0M91、RAM92及CPU93。ROM (Read Only Memory，只讀存儲器)91是所謂的非易失性的存儲部，例如儲存著程序91a。另外，作為R0M91，也可以使用自由讀寫的非易失性存儲器即快閃存儲器。 RAM (Random Access Memory，隨機(jī)存取存儲器)92是易失性的存儲部，例如儲存著用于 CPU93的運(yùn)算的數(shù)據(jù)。CPU (Central Processing Unit,中央處理器)93以特定的時點(diǎn)執(zhí)行依照R0M91的程序91a進(jìn)行控制(例如多個旋轉(zhuǎn)致動器4K41a 41c)及多個擠壓用氣缸37 (37a 37d) 的驅(qū)動控制等)。另外，對于姿勢變更單元10、搬送單元50、非接觸保持單元80以及斷開單元85的詳細(xì)硬件構(gòu)成在下文中闡述。<2.姿勢變更單元的構(gòu)成〉圖4及圖5是分別表示姿勢變更單元10的構(gòu)成的一例的側(cè)視圖及俯視圖。此處， 姿勢變更單元10如上所述，執(zhí)行變更工件3的姿勢的動作、及將工件3交接給搬送單元50 的動作。如圖4及圖5所示，姿勢變更單元10主要包含多個支撐部11 (1 Ia 1 Id)、多個定位把手13 (13a 13d)、交接部20、擺動部30及擠壓部35。多個(本實(shí)施方式中為4個)支撐部Ildla lid)支撐交接給姿勢變更單元10 的工件3。如圖4及圖5所示，各支撐部Ildla lid)固定在可以將工件3的切割環(huán)4的外緣部如支撐的位置、且不與交接部20的升降臺21相干擾的位置。而且，如圖4及圖5所示，各支撐部11 (Ila lid)在其前端具有設(shè)置成自由轉(zhuǎn)動的滾珠12(1加 12(1)。由此，各滾珠12(1 12d)可以點(diǎn)支撐工件3并旋轉(zhuǎn)。因此，由各支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3的位置能夠容易且靈活地變更。此處，由多個支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3也可以例如從未圖示的搬送機(jī)械手交接給姿勢變更單元10。而且，基板斷開裝置1的作業(yè)人員(以下，簡稱為“作業(yè)人員”)也可以將工件3載置在多個支撐部11上。如圖4及圖5所示，多個(本實(shí)施方式中為4個)定位把手13 (13a 13d)與對應(yīng)的把持爪23 (23a 23d)鄰接設(shè)置。各定位把手13 (13a 13d)通過設(shè)置在基部20a上的移動機(jī)構(gòu)(省略圖示)而沿著對應(yīng)的支臂 沈(1)的長度方向進(jìn)退。由此，各定位把手13 (13a 13d)以使由各支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3的位置處于所期望的范圍的方式，將工件3 (更具體的來說是切割片5)的外緣部如向朝向升降臺21的中心21a的方向擠壓。工件確認(rèn)傳感器15檢測工件3是否支撐在多個支撐部11。如圖5所示，工件確認(rèn)傳感器15固定在與支撐部lib鄰接、且不與交接部20的升降臺21相干擾的位置。作為工件確認(rèn)傳感器15，也可以使用例如以非接觸來檢測有無工件3的接近傳感器。交接部20保持呈水平姿勢且由多個支撐部11支撐的工件3。而且，交接部20在其與搬送單元50之間交接借由擺動部30而呈立起姿勢的工件3。如圖4及圖5所示，交接部20主要包含升降臺21、多個把持爪23 (23a 23d)、多個吸附部25 (25a 25d)及交接用氣缸觀。如圖5所示，升降臺21具有從中心21a向外側(cè)呈放射狀延伸的多個(本實(shí)施方式中為4根)支臂沈(26a ^d)。升降臺21防止由把持爪23及吸附部25保持的工件3發(fā)
生變形。多個(本實(shí)施方式中為4個)把持爪2303a 23d)(多個把持部)把持在水平姿勢及立起姿勢之間進(jìn)行姿勢變更的工件3 (更具體來說是切割環(huán)4)的外緣部如。如圖4 及圖5所示，各把持爪23 03a 23d)設(shè)置在對應(yīng)的支臂沈 ^d)的前端27 27d)附近。此處，如圖4所示，各定位把手13 (13a 13d)的上端附近(為了方便圖示，僅表示定位把手13b的上端附近)分叉。因此，即便各定位把手13 (13a 13d)為了對工件3 進(jìn)行定位而進(jìn)退，各定位把手13 (13a 13d)也不會與對應(yīng)的把持爪23 23d)及吸附部25 (25a 25d)形成干擾。而且，當(dāng)利用各定位把手13(13a 13d)以使工件3的位置為所期望的范圍的方式進(jìn)行定位時，工件3由各把持爪23 (23a 23d)圍繞。多個(本實(shí)施方式中為4個)吸附部25 25d)與各把持爪23 23d) 對應(yīng)而設(shè)置，且吸附工件3 (更具體來說是切割環(huán)4)的外緣部如。因此，在多個定位把手13 (13a 13d)進(jìn)行定位之后，由多個吸附部2525d)吸附工件3，由此將被多個支撐部11 (Ila lid)支撐的工件3交接給交接部20。如此，各把持爪23 03a 23d)及各吸附部25 25d)把持及吸附切割環(huán)4。 也就是說，脆性材料基板7并不由各把持爪23 03a 23d)及各吸附部25 25d)把持或吸附。因此，交接部20及擺動部30可執(zhí)行工件3的保持及姿勢變更，而不會對形成在脆性材料基板7上的劃線8 (參照圖3)帶來影響。交接用氣缸觀將呈立起姿勢的工件3在交接部20及搬送單元50之間進(jìn)行交接時，使工件3在交接部20及搬送單元50之間移動。如圖4所示，交接用氣缸觀包含主體部28a及拉桿四。拉桿四設(shè)置成能夠相對于主體部28a進(jìn)退。如圖4所示，拉桿四的前端固定在升降臺21的底面。因此，固定在升降臺21上的立起姿勢的工件3對應(yīng)于拉桿四的前進(jìn)或后退動作而在交接部20與搬送單元50之間移動。擺動部30通過使交接部20以擺動軸31為中心擺動，而使由交接部20保持的工件3的姿勢在水平姿勢與立起姿勢之間變更。如圖4及圖5所示，擺動部30主要包含擺動軸31、擺動框32及擺動用氣缸33。擺動軸31用作使交接部20相對于基部20a擺動的中心軸。如圖5所示，擺動軸31可旋轉(zhuǎn)地由軸承30a、30b支撐(軸支撐)。而且，軸承30a、30b分別固定在對應(yīng)的托架 30c、30d 上。擺動框32是由多片(本實(shí)施方式中為3片)板體3 32c形成的框體。如圖 5所示，在板體32a、32c之間固定著擺動軸31。另一方面，在板體32b固定著交接部20的交接用氣缸觀。擺動用氣缸33是使交接部20擺動的驅(qū)動部。如圖4所示，擺動用氣缸33主要包含主體部33a及拉桿34。拉桿34設(shè)置成能夠相對于主體部33a進(jìn)退。如圖4及圖5所示，主體部33a固定在交接部20的基部20a，拉桿34的前端34a固定在擺動框32的板體32a。因此，當(dāng)拉桿34從主體部33a前進(jìn)時，由把持爪23及吸附部25保持的工件3的姿勢從水平姿勢變更為立起姿勢。另一方面，當(dāng)拉桿34后退至主體部33a時，由把持爪23 及吸附部25保持的工件3的姿勢從立起姿勢變更為水平姿勢。擠壓部35調(diào)整從搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60賦予至工件3的負(fù)載。由此，由固定機(jī)構(gòu)60來執(zhí)行將從交接部20交接給搬送單元50的工件3固定的動作、及將工件3的固定狀態(tài)解除的動作。如圖4及圖5所示，擠壓部35主要包含安裝框35a、多個托架36 (36a 36d)及多個擠壓用氣缸37 (37a 37d)。安裝框3 及多個托架36 (36a 36d)用于將多個擠壓用氣缸37 (37a 37d)固定在姿勢變更單元10上。如圖2及圖4所示，安裝框3 形成為框體狀，并固定在基部20a。 而且，如圖2所示，多個(本實(shí)施方式中為4個)托架36(36a 36d)是從安裝框35a的縱板起沿著搬送單元50的搬送方向(箭頭ARl方向)延伸的安裝板。多個擠壓用氣缸37 (37a 37d)分別將對應(yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d，參照圖7) 壓縮。如圖4及圖5所示，各擠壓用氣缸37 (37a 37d)主要包含多個拉桿38 (38a 38d) 及多個輥39 (39a 39d)。多個(本實(shí)施方式中為4個)拉桿38(38a 38d)分別設(shè)置成能夠沿著箭頭AR2 方向進(jìn)退。而且，在各拉桿38 (38a 38d)的前端安裝著對應(yīng)的輥39 (39a 39d)。因此，當(dāng)各拉桿38 (38a 38d)前進(jìn)時，對應(yīng)的輥39 (39a 39d)抵接于各施壓構(gòu)件73 (73a 73d，參照圖7)，由此，各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)被壓縮。另一方面，當(dāng)各拉桿38 (38a 38d)后退時，對應(yīng)的輥39 (39a 39d)從各施壓構(gòu)件73 (73a 73d，參照圖7)離開。由此，各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)的壓縮狀態(tài)被解除。多個(本實(shí)施方式中為4個)輥39(39a 39d)分別是設(shè)置在對應(yīng)的拉桿 38(38a 38d)前端的旋轉(zhuǎn)體。如圖5所示，各輥39 (39a 39d)設(shè)置成能夠以在鉛垂方向 (與Z軸大致平行的方向，與箭頭ARl方向大致垂直的方向)延伸的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。因此，當(dāng)在各輥39 (39a 39d)抵接于對應(yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d)的狀態(tài)下， 搬送單元50沿搬送方向(箭頭ARl方向)移動時，各輥39 (39a 39d)以如下方式動作。 也就是說，各輥39 —邊將對應(yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d)壓縮，一邊在對應(yīng)的施壓構(gòu)件 73(73a 73d)上沿著搬送方向旋轉(zhuǎn)。因此，搬送單元50可以維持各輥39 (39a 39d)的壓縮狀態(tài)，且沿搬送方向移動。其結(jié)果為，即便搬送單元50相對于姿勢變更單元10及主體單元40 (固定側(cè)單元)移動時，也可以維持工件3的固定解除狀態(tài)。
<3.搬送單元的構(gòu)成〉圖6及圖7是表示搬送單元50的構(gòu)成的一例的前視圖及后視圖。圖8是表示可動夾持部61 (61a 61c)的構(gòu)成的一例的前視圖。圖9是從圖8的V-V線觀察的導(dǎo)引爪 69 (69a)附近的剖面圖。圖10是從圖7的W-W線觀察的導(dǎo)引爪69 (69d)附近的剖面圖。此處，搬送單元50接觸保持工件3的外緣部如，并且在執(zhí)行工件3的授受的交接位置PlO與由斷開單元85執(zhí)行脆性材料基板7的斷開的斷開位置P20之間搬送立起姿勢的工件3。由此，能夠抑制包含搬送路徑在內(nèi)的搬送單元50的設(shè)置面積(也就是搬送單元50 的移動區(qū)域尺寸)。因此，能夠減小基板斷開裝置1的尺寸。如圖6及圖7所示，搬送單元50主要包含固定臺51及旋轉(zhuǎn)臺52。此處，本實(shí)施方式的搬送單元50設(shè)置成能夠通過例如未圖示的線性馬達(dá)而相對于姿勢變更單元10、主體單元40及非接觸保持單元80等移動。旋轉(zhuǎn)臺52是相對于固定臺51旋轉(zhuǎn)的圓盤狀的旋轉(zhuǎn)部。如圖6及圖7所示，旋轉(zhuǎn)臺52自由轉(zhuǎn)動地嵌入至形成在固定臺51的圓形狀的貫通孔51a中。而且，旋轉(zhuǎn)臺52具有將工件3固定的固定機(jī)構(gòu)60。另外，對于固定機(jī)構(gòu)60的構(gòu)成在下文中闡述。固定臺51用作安裝例如用以使旋轉(zhuǎn)臺52旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)要素、及用以使固定臺51及旋轉(zhuǎn)臺52相對于主體單元40行進(jìn)的行進(jìn)要素的安裝部。如圖6及圖7所示，固定臺51主要包含導(dǎo)塊55、馬達(dá)56及皮帶57。如圖6所示，多個(本實(shí)施方式中為6個)導(dǎo)塊55設(shè)置在固定臺51的正面51b。 另外，在各導(dǎo)塊55的內(nèi)部將多個滾珠(省略圖示)設(shè)置成能夠旋轉(zhuǎn)。而且，各導(dǎo)塊55安裝在對應(yīng)的導(dǎo)件43、44時，各導(dǎo)塊55內(nèi)的滾珠(省略圖示)以能夠旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)與對應(yīng)的導(dǎo)件 43、44接觸。由此，當(dāng)各導(dǎo)塊55沿著對應(yīng)的導(dǎo)件43、44 (也就是沿著搬送方向(箭頭ARl方向)) 移動時，各導(dǎo)塊陽內(nèi)的滾珠(省略圖示)在對應(yīng)的導(dǎo)件43、44上旋轉(zhuǎn)。因此，固定臺51能夠沿著導(dǎo)件43、44順利地行進(jìn)。馬達(dá)56是對旋轉(zhuǎn)臺52賦予旋轉(zhuǎn)力的驅(qū)動部。皮帶57將由馬達(dá)56賦予的旋轉(zhuǎn)力傳遞至旋轉(zhuǎn)臺52。如圖6所示，皮帶57卷繞在旋轉(zhuǎn)臺52、及安裝在馬達(dá)56的旋轉(zhuǎn)軸56a 前端的馬達(dá)用滑輪58上。由此，若馬達(dá)56旋轉(zhuǎn)，則固定在固定機(jī)構(gòu)60的工件3旋轉(zhuǎn)。張力調(diào)整用滑輪59調(diào)整賦予至皮帶57的張力。本實(shí)施方式中，張力調(diào)整用滑輪 59的位置(例如Z軸方向上的位置)是由未圖示的定位機(jī)構(gòu)來調(diào)整。由此，可容易地消除皮帶57的松弛，并且可容易地調(diào)整皮帶57的張力。因此，能夠良好地維持旋轉(zhuǎn)臺52的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。<3. 1.固定機(jī)構(gòu)的構(gòu)成〉固定機(jī)構(gòu)60將平板狀的工件3以立起姿勢固定。如圖6及圖7所示，固定機(jī)構(gòu)60 主要包含多個夾持部61 (61a 61c)、62及多個擠壓部71。多個夾持部61 (61a 61c)、62將配置在與擠壓部71之間的工件3的外緣部如夾持。如圖7所示，多個夾持部61 (61a 61c)、62分別沿著擠壓框72而設(shè)置。另外，以下說明中，將標(biāo)注符號61 (61a 61c)的夾持部稱為“可動夾持部”，將標(biāo)注符號62的夾持部稱為“固定夾持部”。
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也就是說，多個夾持部包含多個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62。再換言之，多個夾持部中的一部分是多個可動夾持部61 (61a 61c)，多個夾持部中的剩余部分是固定夾持部62。多個(本實(shí)施方式中為3個)可動夾持部61 (61a 61c)分別在相對于擠壓框72 接近或離開的方向進(jìn)退。如圖7及圖8所示，各可動夾持部61 (61a 61c)主要包含抵接部63、轉(zhuǎn)動板64、施壓構(gòu)件66、可動導(dǎo)件67 (67a 67c)及導(dǎo)引爪69 (69a 69c)。此處，可動夾持部61a 61c具有彼此相同的硬件構(gòu)成。因此，以下僅對可動夾持部61a的硬件構(gòu)成進(jìn)行說明。抵接部63是由例如金屬成形的球狀體，且安裝在轉(zhuǎn)動板64上。轉(zhuǎn)動板64是以轉(zhuǎn)動軸6 為中心轉(zhuǎn)動的板體。例如，旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a)的搖桿42 )(參照圖1及圖2) 擺動，搖桿42 (42a)抵接于對應(yīng)的夾持部61 (61a)的抵接部63時，轉(zhuǎn)動板64以轉(zhuǎn)動軸6 為中心向箭頭Rl方向轉(zhuǎn)動。連桿65是連接轉(zhuǎn)動板64及可動導(dǎo)件67 (67a)的寬度較窄的板體。連桿65的一端利用轉(zhuǎn)動軸6 而與轉(zhuǎn)動板64連動連結(jié)，且連桿65的另一端利用轉(zhuǎn)動軸6 而與可動導(dǎo)件67 (67a)連動連結(jié)。施壓構(gòu)件66由彈簧等彈性構(gòu)件形成。如圖8所示，施壓構(gòu)件66的一端66a固定在可動側(cè)的轉(zhuǎn)動板64上，施壓構(gòu)件66的另一端66b固定在固定側(cè)的強(qiáng)化板64b。由此，若轉(zhuǎn)動板64沿箭頭Rl方向轉(zhuǎn)動，則施壓構(gòu)件66對轉(zhuǎn)動板64向與箭頭Rl方向相反的方向施壓?？蓜訉?dǎo)件67 (67a)是平板狀的可動構(gòu)件。可動導(dǎo)件67向相對于擠壓框72接近或離開的方向進(jìn)退，由此來調(diào)整工件3的固定狀態(tài)。也就是說，利用旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a)使搖桿42 02a)擺動，使轉(zhuǎn)動板64沿箭頭Rl 方向轉(zhuǎn)動時，可動導(dǎo)件67 (67a)向從擠壓框72離開的方向移動。由此，可動導(dǎo)件67 (67a) 成為夾持解除狀態(tài)。另一方面，當(dāng)利用旋轉(zhuǎn)致動器4K41a)使搖桿42 02a)回到擺動前的位置，由于施壓構(gòu)件66的施壓力轉(zhuǎn)動板64向與箭頭Rl方向相反的方向轉(zhuǎn)動時，可動導(dǎo)件67(67a)向接近于擠壓框72的方向移動。由此，可動導(dǎo)件67 (67a)成為其與擠壓框 72之間能夾持工件3的狀態(tài)。如此，設(shè)置在主體單元40的多個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)用作驅(qū)動部(第1驅(qū)動部)，使多個夾持部61 (61a 61c)、62中的一部分(多個可動夾持部61a 61c)向相對于擠壓框72接近或離開的方向進(jìn)退。如圖8所示，缺口 60a是形成在可動導(dǎo)件67的擠壓框72側(cè)的凹口。此處，當(dāng)在姿勢變更單元10的交接部20與搬送單元50之間交接工件3時，把持爪23 (23a)可配置在由缺口 60a形成的空間(例如間隙75(7 ))中(參照圖8及圖11至圖13)。因此，在交接工件3時，能夠有效防止把持爪23 (23a)與可動導(dǎo)件67 (67a)相干擾。多個(本實(shí)施方式中為兩個)導(dǎo)引爪69(69a)與可動導(dǎo)件67(67a)及擠壓框72協(xié)作，從而夾持工件3。如圖8所示，導(dǎo)引爪69 (69a)在沿著對向的擠壓框72的輪廓線的方向上離開而安裝在可動導(dǎo)件67陽7幻上。而且，如圖9所示，以導(dǎo)引爪69 (69a)的階差面60b 位于可動導(dǎo)件67(67a)的下端面60c的更下方的方式，將導(dǎo)引爪69(69a)安裝在可動導(dǎo)件67 (67a)上。因此，如圖9所示，通過可動導(dǎo)件67 (67a)的下端面60c、導(dǎo)引爪69 (69a)的階差面 60b及擠壓框72的對向面60d與工件3接觸，而實(shí)現(xiàn)可動夾持部61 (61a)及擠壓部71對工件3的夾持。如圖7所示，固定夾持部62固定在擠壓框72附近。如圖7所示，固定夾持部62 主要包含固定導(dǎo)件68及導(dǎo)引爪69 (69d)。固定導(dǎo)件68是平板狀的固定構(gòu)件。也就是說，固定導(dǎo)件68與可動導(dǎo)件67 (67a 67c)不同，不在相對于擠壓框72接近或離開的方向上進(jìn)退，而是固定在旋轉(zhuǎn)臺52上。由此，能夠以固定夾持部62的位置為基準(zhǔn)容易地執(zhí)行工件3相對于固定機(jī)構(gòu)60 的定位。因此，通過使用多個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62而能夠良好地將工件3夾持及夾持解除。如圖7所示，缺口 68a是形成在固定導(dǎo)件68的擠壓框72側(cè)的凹口。此處，當(dāng)在姿勢變更單元10的交接部20與搬送單元50之間交接工件3時，把持爪23 (23d)可以配置在由缺口 68a形成的空間(例如間隙75(75d))中(參照圖7及圖11至圖13)。因此，在交接工件3時，能夠有效防止把持爪23 與固定導(dǎo)件68相干擾。多個(本實(shí)施方式中為兩個)導(dǎo)引爪69(69d)與固定導(dǎo)件68及擠壓框72協(xié)作， 從而夾持工件3。如圖7所示，導(dǎo)引爪69 (69d)在沿著對向的擠壓框72的輪廓線的方向上離開而安裝在固定導(dǎo)件68上。而且，如圖10所示，以導(dǎo)引爪69 (69d)的階差面60b位于比固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b更靠擠壓框72側(cè)的方式，將導(dǎo)引爪69 (69d)安裝在固定導(dǎo)件68上。因此，如圖9所示，通過固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b、導(dǎo)引爪69 (69d)的階差面60b 及擠壓框72的對向面60d與工件3接觸，來實(shí)現(xiàn)固定夾持部62及擠壓部71對工件3的夾持。擠壓部71通過在與可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62之間夾持工件 3來擠壓工件3的外緣部如。如圖7所示，擠壓部71主要包含擠壓框72及多個施壓構(gòu)件 73 (73a 73d)。如圖6及圖7所示，擠壓框72形成為環(huán)狀(更具體來說是矩形環(huán)狀)，且安裝在旋轉(zhuǎn)臺52的中央附近。如圖9及圖10所示，擠壓框72從工件3的第2主面北側(cè)對工件 3的外緣部如進(jìn)行擠壓。多個(本實(shí)施方式中為4個)施壓構(gòu)件73 (73a 73d)由彈簧等彈性構(gòu)件形成。 如圖7所示，各施壓構(gòu)件73(73a 73d)與擠壓框72的四個角部中的對應(yīng)的角連結(jié)。此處，若各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)從對應(yīng)的擠壓用氣缸37 (37a 37d)(參照圖 4及圖5)接收從圖7的紙面的正面朝向背面的方向(也就是與箭頭AR2方向相反的方向) 的力，則各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)被壓縮。也就是說，擠壓部35的擠壓用氣缸37 (37a 37d)用作向?qū)?yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d)賦予壓縮力的驅(qū)動部(第2驅(qū)動部)。另一方面，當(dāng)拉桿38(38a 38d)后退，輥39 (39a 39d)從對應(yīng)的施壓構(gòu)件 73 (73a 73d)離開時，各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)對擠壓框72施壓箭頭AR2方向(施壓方向)的施壓力。由此，工件3因受到來自各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)的施壓力而被可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62與擠壓框72夾持。其結(jié)果為，工件3固定在固定機(jī)構(gòu)60 上。如此，固定機(jī)構(gòu)60上的工件3的固定狀態(tài)由姿勢變更單元10的擠壓用氣缸 37 (37a 37d)(第2驅(qū)動部)及主體單元40的旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)(第1驅(qū)動部) 來進(jìn)行調(diào)整。也就是說，通過搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60、姿勢變更單元10的擠壓用氣缸 37 (37a 37d)及主體單元40的旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)，來執(zhí)行對成為搬送對象的工件3的固定。因此，本實(shí)施方式中，也將姿勢變更單元10、主體單元40及搬送單元50統(tǒng)稱為“搬送系統(tǒng)”。<3. 2.工件的固定方法〉圖11至圖13是用以說明由固定機(jī)構(gòu)60對工件3的固定步驟及固定解除步驟的后視圖。此處，對將呈立起姿勢的工件3固定在固定機(jī)構(gòu)60上的步驟進(jìn)行說明。另外，該固定步驟是通過控制單元90控制姿勢變更單元10、主體單元40、搬送單元50中所包含的各要素的動作來實(shí)現(xiàn)。而且，開始正式固定步驟之前，使搬送單元50移動至交接位置PlO的解除位置 PlK參照圖2)，工件3由各吸附部25 25d)吸附保持。正式固定步驟中，首先利用擺動部30使交接部20移動(擺動)。由此，由交接部 20保持的工件3為立起姿勢，同時使工件3移動至搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60附近。其次，使設(shè)置在主體單元40的多個旋轉(zhuǎn)致動器41 Gla 41c)(參照圖2)動作，且使各搖桿42 42c)擺動。由此，使各可動夾持部61 (61a 61c)的可動導(dǎo)件67 (67a 67c)向從擠壓框72離開的方向移動。然后，使多個擠壓用氣缸37 (37a 37d)運(yùn)轉(zhuǎn)，從而各拉桿38 (38a 38d)從氣缸主體前進(jìn)。由此，各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)被對應(yīng)的輥39 (39a 39d)壓縮，擠壓框72 向與各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)的施壓方向(箭頭AR2方向)相反的方向移動。然后，使搬送單元50從交接位置PlO的解除位置Pll移動至固定位置P12 (參照圖1及圖2)。由此，各擠壓用氣缸37 (37a 37d)前端的輥39 (39a 39d)將對應(yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d)壓縮，且施壓構(gòu)件73 (73a 73d)上旋轉(zhuǎn)。因此，搬送單元50在已使擠壓框72從工件3離開的狀態(tài)下沿著搬送方向移動。然后，在擠壓框72從工件3離開了的狀態(tài)下，工件3的外緣部如抵接于固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b (圖10)。然后，在工件3的外緣部如抵接于固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b (圖10)的狀態(tài)下， 使旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)運(yùn)轉(zhuǎn)，從而對應(yīng)的搖桿42 (42a 42c)回到擺動前的位置。由此，各可動夾持部61 (61a 61c)的可動導(dǎo)件67 (67a 67c)向接近于擠壓框 72的方向移動。因此，工件3的外緣部如抵接于各可動導(dǎo)件67 (67a 67c)。然后，在工件3的外緣部如抵接于各可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62 的狀態(tài)下，使各擠壓用氣缸37 (37a 37d)運(yùn)轉(zhuǎn)，從而使各拉桿38 (38a 38d)后退。由此，未受到由各擠壓用氣缸37 (37a 37d)賦予至對應(yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d)的壓縮力，擠壓框72向各施壓構(gòu)件73的施壓方向移動。然后，如圖9及圖10所示， 可動導(dǎo)件67 (67a 67c)及固定導(dǎo)件68的階差面60b與擠壓框72的對向面60d的距離變窄。因此，工件3夾在可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62與擠壓部71之間， 立起姿勢的工件3由固定機(jī)構(gòu)60固定。也就是說，根據(jù)正式固定步驟，可將立起姿勢的工件3良好地固定在固定機(jī)構(gòu)60上。然后，在工件3由固定機(jī)構(gòu)60固定的狀態(tài)下，解除各吸附部25 25d)的吸附狀態(tài)。由此，交接部20對工件3的保持狀態(tài)得以解除，工件3的固定步驟完成。<3.3.工件的固定解除方法〉此處，一邊參照圖11至圖13，一邊說明對通過固定機(jī)構(gòu)60而以立起姿勢固定的工件3解除該工件3的固定狀態(tài)的步驟。另外，該解除步驟與工件3的固定步驟同樣地是通過控制單元90控制姿勢變更單元10、主體單元40、搬送單元50中所包含的各要素的動作來實(shí)現(xiàn)。而且，開始正式解除步驟之前，搬送單元50移動至交接位置PlO的固定位置 P12(參照圖2)，工件3由固定機(jī)構(gòu)60固定。正式解除步驟中，首先將由固定機(jī)構(gòu)60固定的工件3被各吸附部25 25d) 吸附。由此，工件3于固定在固定機(jī)構(gòu)60的狀態(tài)下由交接部20保持。其次，在工件3的外緣部如抵接于多個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部 62的狀態(tài)下，使多個擠壓用氣缸37 (37a 37d)(第2驅(qū)動部)運(yùn)轉(zhuǎn)，從而各拉桿38 (38a 38d)從氣缸主體前進(jìn)。由此，各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)被對應(yīng)的輥39 (39a 39d)壓縮，使擠壓框72 向與各施壓構(gòu)件73 (73a 73d)的施壓方向(箭頭AR2方向)相反的方向移動。而且，如圖9及圖10所示，可動導(dǎo)件67 (67a 67c)及固定導(dǎo)件68的階差面60b與擠壓框72的對向面60d的距離擴(kuò)大。因此，固定機(jī)構(gòu)60對立起姿勢的工件3的固定被解除，工件3由交接部20的各吸附部25 25d)吸附保持。如此，擠壓部35的各擠壓用氣缸37 (37a 37d)壓縮對應(yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d)，由此可解除工件3的固定狀態(tài)。然后，在工件3的外緣部如抵接于多個可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62的狀態(tài)下，使多個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)(第1驅(qū)動部)運(yùn)轉(zhuǎn)，從而使各搖桿 42 42c)擺動。由此，使各可動夾持部61 (61a 61c)的可動導(dǎo)件67 (67a 67c)向從擠壓框72離開的方向移動。然后，使搬送單元50從交接位置PlO的固定位置P12移動至解除位置Pll (參照圖1及圖2)。由此，各擠壓用氣缸37 (37a 37d)前端的輥39 (39a 39d)將對應(yīng)的施壓構(gòu)件73 (73a 73d)壓縮，且在施壓構(gòu)件73 (73a 73d)上旋轉(zhuǎn)。因此，搬送單元50在已使擠壓框72從工件3離開的狀態(tài)下沿著搬送方向移動。而且，在擠壓框72從工件3離開了的狀態(tài)下，工件3的外緣部如從固定導(dǎo)件68的側(cè)端面68b (圖10)離開。如此，根據(jù)正式解除步驟，能夠良好地解除由固定機(jī)構(gòu)60固定的工件3的固定狀態(tài)。然后，通過由擺動部30使交接部20移動(擺動)，由交接部20保持的工件3從搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60離開。而且，工件3從固定機(jī)構(gòu)60離開之后，使多個擠壓用氣缸 37(37a 37d)的拉桿38 (38a 38d)后退，由此擠壓框72向施壓方向(箭頭AR2方向) 移動，工件3的固定解除步驟完成。
<4.非接觸保持單元的構(gòu)成〉圖14是表示非接觸保持單元80的構(gòu)成的一例的前視圖。此處，非接觸保持單元 80將如上所述般由搬送單元50接觸保持的工件3的第1主面3a輔助性地非接觸保持。如圖14所示，非接觸保持單元80主要包含安裝臺81、多個第1吸引部83及多個第2吸引部 84。此處，本實(shí)施方式中，也將符號83的“第1吸引部”與符號84的“第2吸引部84” 統(tǒng)稱為“吸引部”。也就是說，多個吸引部包含多個第1吸引部83及多個第2吸引部84。安裝臺81以與行進(jìn)至斷開位置P20為止的搬送單元50對向的方式設(shè)置。如圖2 所示，安裝臺81固定在主體單元40上。而且，如圖1及圖14所示，安裝臺81的鉛垂面81a 用作安裝多個第1吸引部83及多個第2吸引部84的安裝面。插入孔81b是在鉛垂方向(與Z軸平行的方向)延伸的貫通長孔，且形成在安裝臺81的中央附近。第1斷開棒86經(jīng)由插入孔81b到達(dá)工件3的第1主面3a。如圖1及圖14所示，多個吸引部(多個第1吸引部83及多個第2吸引部84)設(shè)置在安裝臺81的鉛垂面81a上。多個吸引部吸引對向的立起姿勢的工件3的第1主面3a， 由此，以非接觸狀態(tài)保持工件3。此處，本實(shí)施方式中，作為多個第1吸引部83及多個第2 吸引部84也可以使用伯努利吸盤。如圖14所示，多個(本實(shí)施方式中為12個)第1吸引部83在沿著形成在安裝臺 81上的插入孔81b的長度方向兩側(cè)的狀態(tài)下，設(shè)置在安裝臺81的鉛垂面81a上。各第1吸引部83由例如伯努利吸盤構(gòu)成。由此，能夠通過各第1吸引部83吸引對向的工件3而將工件3以非接觸狀態(tài)保持。如圖14所示，多個(本實(shí)施方式中為12個)第2吸引部84在從兩側(cè)夾持多個第 1吸引部83的狀態(tài)下，設(shè)置在安裝臺81的鉛垂面81a上。各第2吸引部84與第1吸引部 83同樣地由例如伯努利吸盤構(gòu)成。由此，各第2吸引部84與第1吸引部83同樣地吸引對向的工件3，由此能夠?qū)⒐ぜ?以非接觸狀態(tài)保持。此處，如圖14所示，各第1吸引部83的直徑小于各第2吸引部84的直徑。而且， 如圖14所示，多個第1吸引部83中相鄰接的第1吸引部83彼此的間隔Dl (第1間隔)小于多個第2吸引部84中相鄰接的第2吸引部84彼此的間隔D2 (第2間隔)。如此，多個第1吸引部83比多個第2吸引部84更密集地配置。由此，能夠更切實(shí)地將插入孔81b附近的工件3 (換言之，第1斷開棒86附近的工件3)非接觸保持。因此， 能夠良好地執(zhí)行脆性材料基板7的斷開。<5.斷開單元的構(gòu)成>圖15是表示斷開單元85的構(gòu)成的一例的俯視圖。此處，斷開單元85將由搬送單元50及非接觸保持單元80形成保持狀態(tài)的脆性材料基板7沿著劃線8斷開。如圖15所示，斷開單元85主要包含第1斷開棒86及多個第2斷開棒87。第1斷開棒86以經(jīng)由插入孔81b到達(dá)搬送單元50側(cè)的方式進(jìn)退。如圖14及圖 15所示，第1斷開棒86沿著安裝臺81的插入孔81b在一個方向(插入孔81b的長度方向， Z軸方向)(以下簡稱為“延伸方向”)延伸。多個(本實(shí)施方式中為2根)第2斷開棒87夾持由搬送單元50保持的工件3而設(shè)置在第1斷開棒86的相反側(cè)。各第2斷開棒87在與第1斷開棒86平行的方向(Z軸方向)延伸。此處，如圖15所示，搬送方向(箭頭ARl方向)上的多個第2斷開棒87僅隔開所期望的距離D3而配置。而且，如圖15所示，第2斷開棒87、第1斷開棒86及第2斷開棒 87沿著從交接位置PlO朝向斷開位置P20的方向(Y軸負(fù)方向)而依序配置。而且，第1斷開棒86從形成著劃線8的第2主面北的相反側(cè)的第1主面3a側(cè)起 (在此情況下，第1斷開棒86抵接于切割片5)沿著劃線8賦予負(fù)載。也就是說，負(fù)載是從形成著劃線8的第2主面北的相反側(cè)的第1主面3a賦予至劃線8。因此，能夠良好且切實(shí)地執(zhí)行沿著劃線8的脆性材料基板7的斷開。第1進(jìn)退驅(qū)動部86a通過對第1斷開棒86賦予驅(qū)動力而使第1斷開棒86在進(jìn)退方向(箭頭AR6方向，參照圖15)進(jìn)退。例如，第1進(jìn)退驅(qū)動部86a在第1斷開棒86的延伸方向與劃線8大致平行的狀態(tài)下使第1斷開棒86向X軸負(fù)方向移動，由此使第1斷開棒 86接近于脆性材料基板7的第1主面3a。第2進(jìn)退驅(qū)動部87a通過對多個第2斷開棒87賦予驅(qū)動力而使多個第2斷開棒 87在進(jìn)退方向(箭頭AR6方向，參照圖15)進(jìn)退。例如，第2進(jìn)退驅(qū)動部87a在多個第2斷開棒87的延伸方向與劃線8大致平行的狀態(tài)下使多個第2斷開棒87向X軸正方向移動， 由此使多個第2斷開棒87接近于脆性材料基板7的第2主面北。若如此利用第1及第2進(jìn)退驅(qū)動部86a、87a使第1及第2斷開棒86、87進(jìn)退，則脆性材料基板7由這些第1及第2斷開棒86、87夾持。其結(jié)果為，呈立起姿勢的脆性材料基板7沿著劃線8斷開。也就是說，利用基板斷開裝置1執(zhí)行的斷開處理中，第1及第2斷開棒86、87接近于脆性材料基板7的方向(進(jìn)退方向(箭頭AR6方向))均與重力方向(Z軸負(fù)方向)大致垂直。由此，重力對第1及第2斷開棒86、87的影響相同。因此，無需針對第1及第2斷開棒86、87的每一個采取用以減輕重力影響的措施便可良好地將脆性材料基板7斷開。<6.本實(shí)施方式的基板斷開裝置的優(yōu)點(diǎn)>如上所述，本實(shí)施方式的基板斷開裝置1中，由搬送單元50(保持單元)保持脆性材料基板7時，第1及第2斷開棒86、87配置在以立起姿勢保持的脆性材料基板7的兩主面3a>3b側(cè)。此處，與本實(shí)施方式不同，對如下情況進(jìn)行研究第1及第2斷開棒配置在脆性材料基板的上下方，使第1及第2斷開棒分別從脆性材料基板的上側(cè)及下側(cè)接近。在此情況下，第1及第2斷開棒接近于脆性材料基板的方向與重力方向所成的角分別約為 0° (deg)、180° (deg)。也就是說，重力對第1及第2斷開棒的影響不同。其結(jié)果為，在未對重力的影響進(jìn)行任何調(diào)整的情況下，會產(chǎn)生從第1及第2斷開棒賦予至脆性材料基板的負(fù)載不同的問題。其次，如本實(shí)施方式，對如下情況進(jìn)行研究使第1及第2斷開棒86、87分別從以立起姿勢保持的脆性材料基板7的兩主面3a、!3b側(cè)接近。在此情況下，第1及第2斷開棒 86,87接近于脆性材料基板7的方向與重力方向所成的角都約為90° (deg)。由此，重力對第1及第2斷開棒86、87的影響相同。因此，無需針對第1及第2斷開棒86、87的每一個采取用以減輕重力影響的措施便可良好地將脆性材料基板7斷開。
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而且，根據(jù)本實(shí)施方式的基板斷開裝置1及其固定機(jī)構(gòu)60，工件3的外緣部如由可動夾持部61 (61a 61c)及固定夾持部62與擠壓部71良好地夾持。因此，可良好地將立起姿勢的工件3固定。而且，本實(shí)施方式的基板斷開裝置1及其姿勢變更單元10中，搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60通過從姿勢變更單元10的擠壓部35賦予的負(fù)載而執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除。也就是說，搬送單元50不需要用以執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除的要素，從而無需將與該要素相關(guān)的配管及配線配置在移動側(cè)(搬送單元50)與固定側(cè)(例如姿勢變更單元10等)之間。因此，通過使用姿勢變更單元10而可提高行進(jìn)時的搬送單元 50的安全性及維護(hù)時的作業(yè)人員的作業(yè)效率。而且，通過本實(shí)施方式的基板斷開裝置1實(shí)現(xiàn)的搬送系統(tǒng)中，借助來自設(shè)置在主體單元40及姿勢變更單元10 (固定側(cè)單元)上的多個旋轉(zhuǎn)致動器41 (41a 41c)(第1驅(qū)動部)及多個擠壓用氣缸37 (37a 37d)(第2驅(qū)動部)的驅(qū)動力，來執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除。也就是說，搬送單元50不需要用以執(zhí)行工件3的固定及工件3的固定解除的驅(qū)動部(第1及第2驅(qū)動部)，從而無需將與該要素相關(guān)的配管及配線配置在移動側(cè)(搬送單元 50)與固定側(cè)(姿勢變更單元10及主體單元40)之間。因此，可以提高行進(jìn)時的搬送單元 50的安全性及維護(hù)時的作業(yè)人員的作業(yè)效率。進(jìn)而，本實(shí)施方式的基板斷開裝置1及通過該基板斷開裝置1實(shí)現(xiàn)的保持裝置不僅由搬送單元50的固定機(jī)構(gòu)60將工件3的外緣部如接觸保持，還可以通過非接觸保持單元80將工件3的主面(更具體來說是第1主面3a)非接觸保持。因此，即便在因工件3的特性而無法將除了工件3的外緣部如以外(例如工件的主面3a、3b)接觸保持的情況下， 也可以通過搬送單元50 (保持單元)及非接觸保持單元80來將工件3良好地保持。<7.變形例 >以上，已對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于所述實(shí)施方式，而可以進(jìn)行各種變形。(1)本實(shí)施方式中，說明了可動導(dǎo)件67(67a 67c)及導(dǎo)引爪69 (69a 69c)如圖 8及圖9所示相互獨(dú)立而構(gòu)成，但并不限定于此。例如，可動導(dǎo)件67 (67a)及導(dǎo)引爪69(69a) 也可以形成為一體。(2)另外，本實(shí)施方式中，說明了搬送單元50相對于姿勢變更單元10及主體單元 40而移動，但并不限定于此。例如，也可以為姿勢變更單元10及主體單元40相對于搬送單元50而移動。如此，各單元10、40及50的移動方式只要使搬送單元50相對于姿勢變更單元10 及主體單元40 (固定側(cè)單元)而相對性地移動即可。(3)另外，本實(shí)施方式中，姿勢變更單元10的工件確認(rèn)傳感器15(參照圖4及圖 5)在升降臺21附近僅設(shè)置一個，但工件確認(rèn)傳感器15的個數(shù)并不限定于此。也可以在升降臺21附近設(shè)置多個(兩個以上)工件確認(rèn)傳感器15。
權(quán)利要求
1.一種固定機(jī)構(gòu)，其特征在于以立起姿勢固定平板狀的工件；且包含(a)擠壓部，其擠壓所述工件的外緣部；及(b)多個夾持部，各自將配置在與所述擠壓部之間的所述工件的所述外緣部夾持； 所述擠壓部包含(a-Ι)環(huán)狀的擠壓框；及(a-2)施壓構(gòu)件，其通過對所述擠壓框賦予施壓力而將所述工件的所述外緣部固定在所述擠壓框與各夾持部之間；且所述多個夾持部的各個沿著所述擠壓框而設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于所述多個夾持部中的一部分是向相對于所述擠壓框接近或離開的方向進(jìn)退的可動夾持部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于所述多個夾持部中的剩余部分是固定在所述擠壓框附近的固定夾持部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定機(jī)構(gòu)，其特征在于 所述工件包含環(huán)狀體，其在平板的中央形成著開口 ；片材體，其以覆蓋所述環(huán)狀體的所述開口的方式安裝；及脆性材料基板，其以位于所述開口上的方式貼附在所述片材體。
5.一種工件的固定方法，其特征在于將平板狀的工件固定于固定機(jī)構(gòu)；且所述固定機(jī)構(gòu)包含擠壓部，其擠壓所述工件的外緣部；及多個夾持部，各自將配置在與所述擠壓部之間的所述工件的所述外緣部夾持； 所述擠壓部包含 環(huán)狀的擠壓框；及施壓構(gòu)件，其通過對所述擠壓框賦予施壓力而將所述工件的所述外緣部固定在所述擠壓框與各夾持部之間； 所述多個夾持部包含可動夾持部，其向相對于所述擠壓框接近或離開的方向進(jìn)退；及固定夾持部，其固定在所述擠壓框附近；并且所述多個夾持部的各個沿著所述擠壓框而設(shè)置； 所述工件的固定方法包含下述步驟a)使所述工件呈立起姿勢并移動至所述固定機(jī)構(gòu)附近；b)使各可動夾持部向從所述擠壓框離開的方向移動；c)使所述擠壓框向與由所述施壓構(gòu)件對所述擠壓框進(jìn)行施壓的施壓方向相反的方向移動；d)通過使所述固定夾持部相對于所述工件相對性地移動，從而將所述工件的所述外緣部抵接于所述固定夾持部；e)在執(zhí)行所述步驟d)之后，使各可動夾持部向接近于所述擠壓框的方向移動，由此將所述工件的所述外緣部抵接于各可動夾持部；及f)在執(zhí)行所述步驟e)之后，使所述擠壓框向所述施壓方向移動，由此使立起姿勢的所述工件由所述固定機(jī)構(gòu)固定。
6. 一種工件的固定解除方法，其特征在于將由固定機(jī)構(gòu)固定的平板狀的工件的固定解除；且所述固定機(jī)構(gòu)包含擠壓部，其擠壓所述工件的外緣部；及多個夾持部，各自將配置在與所述擠壓部之間的所述工件的所述外緣部夾持； 所述擠壓部包含 環(huán)狀的擠壓框；及施壓構(gòu)件，其通過對所述擠壓框賦予施壓力而將所述工件的所述外緣部固定在所述擠壓框與各夾持部之間； 所述多個夾持部包含可動夾持部，其向相對于所述擠壓框接近或離開的方向進(jìn)退；及固定夾持部，其固定在所述擠壓框附近；并且所述工件的固定解除方法包含下述步驟a)在所述工件的所述外緣部抵接于所述多個可動夾持部及所述固定夾持部的狀態(tài)下， 使所述擠壓框向與由所述施壓構(gòu)件對所述擠壓框進(jìn)行施壓的施壓方向相反的方向移動，從而將由所述固定機(jī)構(gòu)對所述工件的固定解除；b)在所述工件的所述外緣部抵接于所述固定夾持部的狀態(tài)下，在執(zhí)行所述步驟a)之后，使各可動夾持部向從所述擠壓框離開的方向移動；c)通過使所述固定夾持部相對于所述工件相對性地移動，從而使所述工件的所述外緣部從所述固定夾持部離開；及d)使所述工件從所述固定機(jī)構(gòu)離開。
全文摘要
本發(fā)明提供一種將平板狀的工件以立起姿勢良好地固定的固定機(jī)構(gòu)、以及該固定機(jī)構(gòu)對工件的固定方法及工件的固定解除方法。擠壓框(72)形成為環(huán)狀，并擠壓工件(3)的外緣部。多個施壓構(gòu)件(73)由彈簧等彈性構(gòu)件形成，并與擠壓框(72)的四個角部中的對應(yīng)的角連結(jié)。多個可動夾持部(61(61a～61c))的各個向相對于擠壓框(72)接近或離開的方向進(jìn)退。固定夾持部(62)固定在擠壓框(72)附近。而且，多個可動夾持部(61)及固定夾持部(62)的各個沿著擠壓框(72)而設(shè)置。由此，工件(3)的外緣部由多個可動夾持部(61)及固定夾持部(62)與擠壓框(72)良好地夾持。
文檔編號B28D7/04GK102399054SQ20111022194
公開日2012年4月4日 申請日期2011年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月31日
發(fā)明者岡島康智, 池田健一郎 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司