專利名稱：基板劃線裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及對(duì)大尺寸的液晶面板等玻璃基板、帶膜基板、其他基板同時(shí)劃上用于產(chǎn)品大小的小塊切割用的多條切割線的基板劃線裝置。
背景技術(shù)：
通過(guò)從大尺寸液晶面板的玻璃基板一次同時(shí)獲得多張產(chǎn)品大小的基板，能夠提高
生產(chǎn)率。為了達(dá)到上述目的，在往返移動(dòng)的工作臺(tái)上載置大尺寸玻璃基板之后，一邊使工作臺(tái)移動(dòng)，一邊通過(guò)在工作臺(tái)移動(dòng)路徑的正上方左右以規(guī)定間隔排列的多個(gè)切割器、針 (needle)、激光等劃線工具(jig)的下降，在玻璃基板的表面(上表面)一次劃出多條平行的小塊切割用的切割線。該小塊切割用的切割線只劃在X軸方向或者X軸方向以及Y軸方向上。另外，并列的各劃線工具通過(guò)數(shù)值控制能夠調(diào)節(jié)間隔，使得能夠與產(chǎn)品大小的尺寸相匹配(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。另外，除了上述結(jié)構(gòu)以外，還有通過(guò)攝像機(jī)能夠進(jìn)行準(zhǔn)確劃線的例子(例如，參照專利文獻(xiàn)2、3)。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)平11-343133號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2009-73714號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本實(shí)公平6-415號(hào)公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容根據(jù)上述專利文獻(xiàn)1的平板玻璃的切割方式，通過(guò)劃出從大尺寸的玻璃基板一次同時(shí)獲得多張產(chǎn)品大小的基板的切割線，能夠提高生產(chǎn)率。但是，在專利文獻(xiàn)1的切割方式中，在初期階段中，對(duì)主基板進(jìn)行試切(劃出切割線)，確認(rèn)試切的各切割線是否在劃線位置，在切割線不位于劃線位置的情況下進(jìn)行切割器的位置調(diào)節(jié)。另外，該切割器的位置調(diào)節(jié)是通過(guò)依次提供玻璃基板并劃出切割線來(lái)進(jìn)行的。但是，如果進(jìn)行試切，由于使用大尺寸高價(jià)的母基板，因此發(fā)生因進(jìn)行無(wú)益作業(yè)而產(chǎn)生不必要支出的問(wèn)題。另外，由于每次改變切割線時(shí)都進(jìn)行試切，因此除了造成大量支出之外，還因劃線位置的確認(rèn)作業(yè)等而存在機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)率顯著下降的問(wèn)題。另外，根據(jù)專利文獻(xiàn)2的玻璃基板切割裝置，每個(gè)基板或者每次檢測(cè)時(shí)都進(jìn)行劃線工具的定位，以便通過(guò)攝像機(jī)補(bǔ)償劃線加工位置的偏移量，因此，存在生產(chǎn)節(jié)拍大幅下降的問(wèn)題。再有，在專利文獻(xiàn)1、2以及3的玻璃基板切割方式中，移動(dòng)切割器以及工作臺(tái)來(lái)能夠一次進(jìn)行多張產(chǎn)品大小的劃線。[0016]但是，雖然能夠進(jìn)行并列切割器的Y軸方向(與工作臺(tái)的移動(dòng)方向交叉的橫移方向)的定位，但無(wú)法進(jìn)行各切割器的X軸方向(工作臺(tái)的移動(dòng)方向)的調(diào)節(jié)。即，沒(méi)有X軸方向的位置調(diào)節(jié)功能。這樣，如果存在并列切割器的位置偏移(相對(duì)于X軸)，則如圖13所示，已劃線的各圖案的產(chǎn)品E的工作臺(tái)方向端在X軸線上發(fā)生不對(duì)齊的偏移量X。由此產(chǎn)生不合格品。 即，發(fā)生產(chǎn)品E的電極面的不對(duì)齊。因此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種解決上述問(wèn)題的基板劃線裝置。為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型采用以下結(jié)構(gòu)，S卩，具備移動(dòng)體，其設(shè)置成可往返移動(dòng)；工作臺(tái)，其設(shè)置成在該移動(dòng)體上可通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元在平面上旋轉(zhuǎn)且保持所載置的大尺寸基板；多個(gè)滑塊，其設(shè)置成可在橫切該工作臺(tái)的移動(dòng)路徑正上方的導(dǎo)軌上，可通過(guò)橫向移動(dòng)單元各自向左右方向滑動(dòng)；劃線工具，在該各滑塊上設(shè)置成可通過(guò)升降單元進(jìn)行升降； 和攝像機(jī)，其搭載在上述各滑塊上，可讀取上述基板的各劃線標(biāo)記以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，根據(jù)與由上述攝像機(jī)讀取上述基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的讀取操作相伴的加工偏移量，通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，并且計(jì)算出與由上述攝像機(jī)讀取上述基板的劃線標(biāo)記和切割器所劃出的短試切線的讀取操作相伴的劃線加工偏移量，進(jìn)行聯(lián)動(dòng)以便通過(guò)上述橫向移動(dòng)單元將上述滑塊移動(dòng)至劃線坐標(biāo)上，并且通過(guò)劃線工具進(jìn)行劃線，在劃線結(jié)束時(shí)根據(jù)劃線中心線和劃線基準(zhǔn)中心的距離計(jì)算出補(bǔ)償值，為了下次的劃線，將該補(bǔ)償值加減到劃線工具的移動(dòng)距離上。再有，本實(shí)用新型采用以下結(jié)構(gòu)，即，具備移動(dòng)體，其設(shè)置成可往返移動(dòng)；工作臺(tái)，其設(shè)置成在該移動(dòng)體上可通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元在平面上旋轉(zhuǎn)且保持所載置的大尺寸基板；多個(gè)帶位置調(diào)節(jié)單元的滑塊，其設(shè)置成在橫切該工作臺(tái)的移動(dòng)路徑正上方的水平棒部件上， 可通過(guò)橫向移動(dòng)單元向左右方向滑動(dòng)；移動(dòng)臺(tái)，其設(shè)置成在該各滑塊的基座上可通過(guò)縱向移動(dòng)單元向上述工作臺(tái)的移動(dòng)方向滑動(dòng)；劃線工具，其設(shè)置成在上述各移動(dòng)臺(tái)上可通過(guò)升降單元進(jìn)行升降；以及攝像機(jī)，其搭載在上述各移動(dòng)臺(tái)上，可讀取上述基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以及各圖案標(biāo)記，隨著由該攝像機(jī)讀取對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，通過(guò)上述旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)上述工作臺(tái)，隨著由各攝像機(jī)讀取各圖案標(biāo)記，通過(guò)上述移動(dòng)單元使移動(dòng)臺(tái)移動(dòng)，從而使上述劃線工具移動(dòng)到正常的劃線位置。如上所述，根據(jù)本實(shí)用新型的基板劃線裝置，通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，來(lái)補(bǔ)償與由攝像機(jī)讀取對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的讀取操作相伴的、相對(duì)于玻璃基板左右兩邊緣的加工偏移量， 并且下降切割器且使工作臺(tái)略微移動(dòng)，由攝像機(jī)分別讀取劃在基板上的短試切線和劃線標(biāo)記，通過(guò)橫向移動(dòng)單元使滑塊向左或右方向滑動(dòng)，補(bǔ)償與讀取操作相伴的試切線相對(duì)于劃線標(biāo)記的偏移量，因此不需要使用母基板的試切。因此，不僅能夠消除因使用大尺寸且高價(jià)的母基板而產(chǎn)生的無(wú)用的支出，而且能夠消除像因試切和之后的劃線位置的確認(rèn)而產(chǎn)生的機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)率大幅下降這樣的問(wèn)題。尤其是，在劃線結(jié)束時(shí)，根據(jù)劃線中心線和劃線基準(zhǔn)中心的距離計(jì)算出補(bǔ)償值，并且為了下次劃線，將該補(bǔ)償值加減到劃線工具的移動(dòng)距離上，因此，大幅提高依次劃線的生產(chǎn)節(jié)拍的運(yùn)轉(zhuǎn)率而顯著提高生產(chǎn)率，并且劃線精度穩(wěn)定且提高成品率。另外，在移動(dòng)臺(tái)上設(shè)置劃線工具和攝像機(jī)，一邊通過(guò)縱向移動(dòng)單元將該移動(dòng)臺(tái)向工作臺(tái)的移動(dòng)方向前后方移動(dòng)，一邊由攝像機(jī)讀取圖案標(biāo)記而進(jìn)行與偏移相伴的補(bǔ)償量相對(duì)應(yīng)的移動(dòng)臺(tái)的移動(dòng)，因此，能夠進(jìn)行不發(fā)生通過(guò)各劃線工具進(jìn)行了劃線的圖案產(chǎn)品的工作臺(tái)移動(dòng)方向前邊緣的偏移，即不產(chǎn)生不合格品的圖案產(chǎn)品的劃線。
圖1是表示本實(shí)用新型的第一實(shí)施方式的俯視圖；圖2是表示本實(shí)用新型的第一實(shí)施方式的側(cè)視圖；圖3是表示本實(shí)用新型的第一實(shí)施方式的主要部分的縱剖放大側(cè)視圖；圖4是玻璃基板的俯視圖；圖5是表示試切線和劃線標(biāo)記的關(guān)系的放大俯視圖；圖6是表示試切線和劃線標(biāo)記的關(guān)系的放大俯視圖；圖7是表示正確劃線的放大俯視圖；圖8是表示第二實(shí)施方式的俯視圖；圖9是表示第二實(shí)施方式的縱剖側(cè)視圖；圖10是表示第二實(shí)施方式的主要部分的放大俯視圖；圖11是表示第二實(shí)施方式的主要部分的縱剖放大側(cè)視圖；圖12是表示產(chǎn)品圖案的俯視圖；圖13是表示產(chǎn)品的偏移量的俯視圖。附圖標(biāo)記A 基板；a 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；[0040]B 劃線標(biāo)記；C 試切線；[0041]1 移動(dòng)體；2 旋轉(zhuǎn)單元；[0042]3 工作臺(tái)；4:導(dǎo)軌；[0043]5 滑塊；6 螺栓；[0044]7 螺母；8:第一馬達(dá)；[0045]9 銷；21 水平部件；[0046]22導(dǎo)軌;23 滑塊；[0047]24升降單元；25 劃線工具；[0048]26橫向移動(dòng)單元；27 齒條；[0049]28基座；29 第二馬達(dá)；[0050]30小齒輪；31 攝像機(jī)；[0051]61棒部件；62 橫向移動(dòng)單元[0052]63位置調(diào)節(jié)單元；64 滑塊；[0053]65導(dǎo)軌;66:橫向部件；[0054]67滑塊；68 螺栓；[0055]69螺母；70:馬達(dá)；[0056]71導(dǎo)軌;72 齒條；[0057]73小齒輪；74:馬達(dá);[0058]75縱向移動(dòng)單元；76 移動(dòng)臺(tái)；[0059]77升降單元；78 劃線工具；[0060]79基座；80 導(dǎo)軌；[0061]81:滑塊；82:螺栓；83 螺母；84 攝像機(jī)；S:圖案標(biāo)記。
具體實(shí)施方式
下面，基于附圖說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式。在本實(shí)用新型的第一實(shí)施方式中，如圖1至圖6所示，在往返移動(dòng)的移動(dòng)體1上設(shè)置有通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元2在平面上旋轉(zhuǎn)并且保持所載置的大尺寸基板A的工作臺(tái)3。作為上述基板A，例如是玻璃制且用于液晶用基板、帶膜基板等的劃線加工的基板。在圖示的情況下，上述移動(dòng)體1的往返移動(dòng)是以如下方式進(jìn)行，即，使設(shè)置在移動(dòng)體1的兩側(cè)下表面的滑塊5可滑動(dòng)自由地與所鋪設(shè)的兩條導(dǎo)軌4卡合，并且對(duì)配置于導(dǎo)軌 4之間而轉(zhuǎn)動(dòng)自由地軸支撐兩端的螺栓6擰進(jìn)安裝在移動(dòng)體1下表面的螺母7，通過(guò)第一馬達(dá)8的運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)可逆驅(qū)動(dòng)螺栓6而使得移動(dòng)體1向前后方向移動(dòng)。但不限定于此，也可以通過(guò)其他結(jié)構(gòu)向前后方向移動(dòng)。在圖示的情況下，上述旋轉(zhuǎn)單元2在移動(dòng)體1上安裝可逆馬達(dá)，并將該可逆馬達(dá)的輸出軸固定到工作臺(tái)3的下表面中心部，但不限定于此。載置于上述工作臺(tái)3上的基板A的保持是以如下方式進(jìn)行，即，將工作臺(tái)3作為盒子而吸引盒子內(nèi)部，在盒子的頂壁設(shè)置多個(gè)連通小孔35，通過(guò)吸引來(lái)保持。此時(shí)，設(shè)為通過(guò)在工作臺(tái)3上的夾著一個(gè)隅角的兩邊的銷9上抵接玻璃基板A的邊緣，進(jìn)行定位。還有，在橫切工作臺(tái)3的移動(dòng)路徑的水平部件21的兩端之間設(shè)置導(dǎo)軌22，將多個(gè)滑塊23滑動(dòng)自由地與該導(dǎo)軌22卡合，在該各滑塊23上設(shè)置有通過(guò)氣缸等升降單元24進(jìn)行升降的劃線工具25。作為上述的劃線工具25有切割輪、滾針、激光光線等。并且，各滑塊23被設(shè)為通過(guò)橫向移動(dòng)單元26能夠單獨(dú)向左右方向移動(dòng)。在圖示的情況下，上述的橫向移動(dòng)單元26被設(shè)為在水平部件21的大致全長(zhǎng)上鋪設(shè)齒條27，并使在被安裝于各滑塊23的基座28上的第二馬達(dá)29的輸出軸上固定的小齒輪 30嚙合，從而通過(guò)第二馬達(dá)29的可逆運(yùn)轉(zhuǎn)使滑塊23向左方向、右方向滑動(dòng)。并且，在各劃線工具25的附近設(shè)有安裝在基座28上的攝像機(jī)31。上述的攝像機(jī)31以及劃線工具25配置在劃線方向的同軸線上的前后。該攝像機(jī)31通過(guò)橫向移動(dòng)單元26使兩側(cè)滑塊23移動(dòng)到基板A的上表面兩側(cè)角的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記a的位置，讀取對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記a，并讀取設(shè)置于基板A上表面的劃線標(biāo)記B以及通過(guò)劃線工具25的切割輪等劃在玻璃基板A的邊緣部上表面的短的試切線C。圖中的41是引導(dǎo)劃線工具25的升降的導(dǎo)向單元。如果如上所述地構(gòu)成，則將基板A載置于工作臺(tái)3上，使移動(dòng)體1往返移動(dòng)，通過(guò)攝像機(jī)31讀取基板A的四角的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記a，通過(guò)與攝像機(jī)31相連接的運(yùn)算裝置計(jì)算與讀取相伴的加工偏移量，根據(jù)其計(jì)算，通過(guò)控制裝置使旋轉(zhuǎn)單元2運(yùn)轉(zhuǎn)而使工作臺(tái)3向順時(shí)針、 逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)與補(bǔ)償量相對(duì)應(yīng)的角度。[0080]另外，在基板A的相向的兩側(cè)兩個(gè)邊的邊緣之間，通過(guò)劃線工具25劃出切割線 (劃線)之前，首先與工作臺(tái)3—起保持使基板A略微向前方移動(dòng)。此時(shí)，通過(guò)升降單元24使各劃線工具25下降，在圖4所示的基板A的必要的邊緣部表面所印刷的各劃線標(biāo)記B的前方(脫離劃線標(biāo)記B)部分劃出圖5、圖6所示的短的試切線C，劃出試切線C之后，通過(guò)升降單元24使各劃線工具25上升而返回。此時(shí)，通過(guò)各攝像機(jī)31讀取劃線標(biāo)記B和試切線C，檢測(cè)與讀取相伴的試切線C是在設(shè)定有劃線標(biāo)記B的正規(guī)位置(表示在圖5中)上、還是如圖6所示地在非正規(guī)位置上， 從與檢測(cè)相伴的非正規(guī)位置(如圖6所示，如果相對(duì)于劃線X存在試切線C的偏移距離Z， 則使劃線工具25與劃線X—致)通過(guò)橫向移動(dòng)單元26 (通過(guò)第二馬達(dá)29的運(yùn)轉(zhuǎn))將劃線工具25的滑塊23移動(dòng)，進(jìn)行與偏移量相適應(yīng)的修正并微小移動(dòng)至正規(guī)位置(補(bǔ)償)。上述的補(bǔ)償方式中，通過(guò)與攝像機(jī)31連接的運(yùn)算裝置計(jì)算偏移量，基于該計(jì)算通過(guò)控制裝置使第二馬達(dá)29正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)。并且，一邊使移動(dòng)體1前進(jìn)移動(dòng)，一邊通過(guò)由升降單元24下降的劃線工具25對(duì)工作臺(tái)3上的基板A劃出切割線。此外，通過(guò)相同的步驟在前面的切割線之間可以劃一次、或多次切割線，另外，與工作臺(tái)3 —起旋轉(zhuǎn)處于保持狀態(tài)的基板90°，可以劃出垂直相交的切割線。此外，眾所周知，根據(jù)基板A的厚度(板厚)決定劃線工具25的下降量即劃線深度。以此想法讀取各劃線工具25的移動(dòng)值，通過(guò)用上述方法進(jìn)行補(bǔ)償，能夠使各個(gè)劃線工具25的位置全部定位到劃線標(biāo)記B基準(zhǔn)值的位置。之后，劃線工具25再次移動(dòng)至劃線標(biāo)記B位置，在該位置上對(duì)基板A的1部分劃出劃線。此外，上述條件形成而各劃線工具25劃完第一根劃線之后，也可以確認(rèn)是否實(shí)際劃出劃線。結(jié)果，如圖7所示，能夠劃出與劃線標(biāo)記B的中心一致的劃線X。圖中S為劃線幅度。另外，在完成劃線之后，根據(jù)劃線X的中心和劃線基準(zhǔn)中心的距離計(jì)算出補(bǔ)償值， 為了下次劃線而將該補(bǔ)償值加減在劃線工具的移動(dòng)距離上，因此，大幅提高依次劃線的生產(chǎn)節(jié)拍的運(yùn)轉(zhuǎn)率，不僅顯著提高生產(chǎn)率，而且劃線精度穩(wěn)定并且提高成品率。在本實(shí)用新型的第二實(shí)施方式中，如圖8至圖11所示，在往返移動(dòng)的移動(dòng)體1上， 設(shè)有通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元2在平面上旋轉(zhuǎn)且保持所載置的大尺寸基板A的工作臺(tái)3。上述基板A、移動(dòng)體1的往返移動(dòng)、工作臺(tái)3的旋轉(zhuǎn)單元2以及載置于工作臺(tái)3的基板A的保持方式的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。另外，在橫切工作臺(tái)3正上方的水平的棒部件61上，設(shè)有通過(guò)橫向移動(dòng)單元62向左右方向滑動(dòng)的多個(gè)帶位置調(diào)節(jié)單元63的并列滑塊64。在圖示的情況下，上述橫向移動(dòng)單元62的結(jié)構(gòu)為如下在設(shè)置于棒部件61的后面全長(zhǎng)上的導(dǎo)軌65上滑動(dòng)自由地卡合著設(shè)置于水平橫向部件66前面的滑塊67，并且將軸支撐在棒部件61兩端之間的螺栓68擰入到橫向部件66的螺母69中，通過(guò)馬達(dá)70的可逆運(yùn)轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)螺栓68，以此使橫向部件66橫向移動(dòng)，另外，多個(gè)滑塊64滑動(dòng)自由地卡合于在橫向部件66的后面全長(zhǎng)上設(shè)置的導(dǎo)軌71上，再有，位置調(diào)節(jié)單元63使被各滑塊64軸支撐的小齒輪73與設(shè)置在橫向部件66的上面全長(zhǎng)上的齒條72嚙合，并且通過(guò)馬達(dá)74可逆驅(qū)動(dòng)各自的小齒輪73而使各滑塊64向左右方向滑動(dòng)，以此能夠調(diào)節(jié)位置。此外，不限定于上述結(jié)構(gòu)，也可以通過(guò)其他結(jié)構(gòu)達(dá)到目的。另外，在各滑塊64上設(shè)有通過(guò)縱向移動(dòng)單元75向工作臺(tái)3的移動(dòng)方向滑動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)76，在各移動(dòng)臺(tái)76上設(shè)有通過(guò)升降單元77進(jìn)行升降的劃線工具78。上述升降單元77以及劃線工具78與第一實(shí)施方式相同，因此省略說(shuō)明。在圖示的情況下，上述縱向移動(dòng)單元75構(gòu)成為在滑塊64的基座79的導(dǎo)軌80上滑動(dòng)自由地卡合移動(dòng)臺(tái)76的滑塊81，并且將通過(guò)安裝在基座79上的馬達(dá)91的可逆驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的螺栓82擰入到被移動(dòng)臺(tái)76支撐的螺母83中，但不限定于此，也可以通過(guò)其他結(jié)構(gòu)移動(dòng)(向前后方向)移動(dòng)臺(tái)76。還有，在移動(dòng)臺(tái)76上設(shè)有讀取基板A的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記a以及每個(gè)劃線產(chǎn)品的圖案標(biāo)記 s(每個(gè)產(chǎn)品圖案T)的攝像機(jī)84。如果如上所述地構(gòu)成，則通過(guò)兩側(cè)移動(dòng)臺(tái)76的攝像機(jī)84讀取基板A的兩角部的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記a，通過(guò)與攝像機(jī)84連接的運(yùn)算裝置計(jì)算與讀取伴隨的加工偏移量，根據(jù)其計(jì)算通過(guò)控制裝置運(yùn)轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)單元2而使工作臺(tái)3向順時(shí)針、逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)與補(bǔ)償量相對(duì)應(yīng)的角度。接著，通過(guò)各攝像機(jī)84讀取每個(gè)劃線產(chǎn)品的圖案標(biāo)記s，通過(guò)與攝像機(jī)84連接的運(yùn)算裝置計(jì)算與讀取相伴的劃線工具78和劃線產(chǎn)品T的工作臺(tái)3的移動(dòng)方向前邊緣之間的加工(劃線)偏移量，根據(jù)其計(jì)算通過(guò)縱向移動(dòng)單元75使移動(dòng)臺(tái)76向工作臺(tái)的移動(dòng)方向前方或者后方移動(dòng)(與補(bǔ)償量相對(duì)應(yīng))。之后，通過(guò)升降單元77下降劃線工具78、通過(guò)橫向移動(dòng)單元62的劃線工具78的橫向移動(dòng)、通過(guò)工作臺(tái)3的縱向移動(dòng)進(jìn)行劃線，獲得與圖案一樣的產(chǎn)品T。
權(quán)利要求1.一種基板劃線裝置，其特征在于，具備 移動(dòng)體，其設(shè)置成可往返移動(dòng)；工作臺(tái)，其設(shè)置成在該移動(dòng)體上可通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元在平面上旋轉(zhuǎn)且保持所載置的大尺寸基板；多個(gè)滑塊，其設(shè)置成可在橫切該工作臺(tái)的移動(dòng)路徑正上方的導(dǎo)軌上，可通過(guò)橫向移動(dòng)單元各自向左右方向滑動(dòng)；劃線工具，在該各滑塊上設(shè)置成可通過(guò)升降單元進(jìn)行升降；和攝像機(jī)，其搭載在上述各滑塊上，可讀取上述基板的各劃線標(biāo)記以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
2.一種基板劃線裝置，其特征在于，具備 移動(dòng)體，其設(shè)置成可往返移動(dòng)；工作臺(tái)，其設(shè)置成在該移動(dòng)體上可通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元在平面上旋轉(zhuǎn)且保持所載置的大尺寸基板；多個(gè)帶位置調(diào)節(jié)單元的滑塊，其設(shè)置成在橫切該工作臺(tái)的移動(dòng)路徑正上方的水平棒部件上，可通過(guò)橫向移動(dòng)單元向左右方向滑動(dòng)；移動(dòng)臺(tái)，其設(shè)置成在該各滑塊的基座上可通過(guò)縱向移動(dòng)單元向上述工作臺(tái)的移動(dòng)方向滑動(dòng)；劃線工具，其設(shè)置成在上述各移動(dòng)臺(tái)上可通過(guò)升降單元進(jìn)行升降；以及攝像機(jī)，其搭載在上述各移動(dòng)臺(tái)上，可讀取上述基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以及各圖案標(biāo)記。
專利摘要提供一種基板劃線裝置，保障通過(guò)切割器劃出的切割線的正確線條。其具備多個(gè)滑塊，設(shè)置成在橫切保持基板的帶旋轉(zhuǎn)單元的工作臺(tái)的移動(dòng)路徑正上方的導(dǎo)軌上，可通過(guò)橫向移動(dòng)單元各自向左右方向滑動(dòng)；劃線工具，設(shè)置成在各滑塊上通過(guò)升降單元進(jìn)行升降；以及攝像機(jī)，搭載在各滑塊上，可讀取基板的各劃線標(biāo)記以及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，根據(jù)與由攝像機(jī)讀取對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的讀取操作相伴的加工偏移量，通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，并且根據(jù)與由攝像機(jī)讀取劃線標(biāo)記和切割器所劃出的短試切線的讀取操作相伴的劃線加工偏移量，進(jìn)行聯(lián)動(dòng)以便通過(guò)橫向移動(dòng)單元將上述滑塊移動(dòng)到補(bǔ)償位置，并且通過(guò)劃線工具進(jìn)行劃線，在劃線結(jié)束時(shí)計(jì)算補(bǔ)償值，將該補(bǔ)償值加減到劃線工具的移動(dòng)距離上。
文檔編號(hào)C03B33/037GK202139163SQ20112003342
公開(kāi)日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月4日
發(fā)明者末広秀男, 生田利幸, 白井孝明, 白井明, 笠原清弘 申請(qǐng)人:白井科技股份有限公司