專利名稱：石墨件腐蝕清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種石墨件腐蝕清洗機(jī)。
背景技術(shù)：
多晶硅是制備半導(dǎo)體器件和太陽(yáng)能電池的原材料，是全球電子工業(yè)及光伏產(chǎn)業(yè)的基石。多晶硅按照純度和用途可分為太陽(yáng)能級(jí)多晶硅和電子級(jí)多晶硅。在運(yùn)行還原爐生產(chǎn)多晶硅之前，首先要將石墨件(由石墨底座和石墨卡瓣組成，是在還原爐中裝載硅芯的載體)安裝在還原爐的底盤上，然后將硅芯固定在石墨件上。所以說(shuō)石墨件是生產(chǎn)多晶硅的必需品。在生產(chǎn)出完整的多晶硅之后，安裝在還原爐上的石墨件會(huì)被硅包裹住以至于無(wú)法再次利用，要想重復(fù)使用石墨件，需要對(duì)石墨件進(jìn)行腐蝕清洗，以去除表面雜質(zhì)。目前，去除石墨件表面雜質(zhì)所用方法，是將石墨件首先放置在王水(是鹽酸和硝酸以體積比3 1混合而成的酸，具有較強(qiáng)的腐蝕性)中腐蝕，再用高純水清洗并烘干后， 放入煅燒爐中煅燒，這樣石墨件就可以達(dá)到被重復(fù)利用的目的。現(xiàn)在傳統(tǒng)的石墨件腐蝕清洗機(jī)在操作過(guò)程中，操作人員必須穿戴上防酸堿手套從王水中拿出或放入石墨件，由于王水具有較強(qiáng)的腐蝕性，所以操作者有被酸腐蝕的危險(xiǎn)，而且如果人工的將花籃(用于承載石墨件的載體)取出或放入，由于石墨件本身質(zhì)量較大，所以會(huì)一定程度的增大了勞動(dòng)強(qiáng)度，生產(chǎn)效率較低。因此，如何降低操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度大，提高生產(chǎn)效率，并且防止操作人員被強(qiáng)酸腐蝕情況的發(fā)生，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種石墨件腐蝕清洗機(jī)，以降低操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度大，提高生產(chǎn)效率，并且防止操作人員被強(qiáng)酸腐蝕情況的發(fā)生。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種石墨件腐蝕清洗機(jī)，包括腐蝕室和清洗室，所述腐蝕室和清洗室分別設(shè)有腐蝕槽和清洗槽，腐蝕槽和清洗槽內(nèi)均設(shè)有升降裝置。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽的底部，另一端與所述撐板相連。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，所述腐蝕槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；絲杠機(jī)構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機(jī)相連并可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，所述腐蝕槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽的底部，另一端與所述撐板相連。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置具體包括撐板；絲杠機(jī)構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機(jī)相連并可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在所述腐蝕槽內(nèi)。優(yōu)選的，在上述石墨件腐蝕清洗機(jī)中，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型提供的石墨件腐蝕清洗機(jī)，通過(guò)在其腐蝕槽和清洗槽內(nèi)設(shè)置升降裝置，可將腐蝕槽和清洗槽內(nèi)的花籃完成升降操作。通過(guò)將腐蝕槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃降下，可用于去除石墨件表面雜質(zhì)，通過(guò)將腐蝕槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃升起，可以將經(jīng)過(guò)去除雜質(zhì)工序的石墨件取出；通過(guò)將清洗槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃降下，可用于將表面的酸液去除，通過(guò)將清洗槽內(nèi)的升降裝置及設(shè)置在升降裝置上的花籃升起，可以將經(jīng)過(guò)去除酸液工序的石墨件取出。本實(shí)用新型提供的石墨件腐蝕清洗機(jī)采用在花籃和槽體(腐蝕槽和清洗槽)之間添加了一種升降裝置從而優(yōu)化了設(shè)計(jì)，使操作更簡(jiǎn)便，使操作者遠(yuǎn)離了王水的腐蝕，勞動(dòng)強(qiáng)度相應(yīng)的減少，且提高了生產(chǎn)效率。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石墨件腐蝕清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的花籃的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開了一種石墨件腐蝕清洗機(jī)，以降低操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度大，提高生產(chǎn)效率低，并且防止操作人員被強(qiáng)酸腐蝕情況的發(fā)生。[0032]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1-圖3，圖1本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石墨件腐蝕清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的花籃的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型提供的石墨件腐蝕清洗機(jī)，包括腐蝕室1和清洗室2，腐蝕室1和清洗室2分別設(shè)有腐蝕槽11和清洗槽21。腐蝕槽11內(nèi)設(shè)有王水，清洗槽21內(nèi)設(shè)有高純水。將石墨件首先放置在王水中腐蝕，再用高純水清洗并烘干后，放入煅燒爐中煅燒，這樣石墨件就可以達(dá)到被重復(fù)利用的目的。其中，腐蝕槽11和清洗槽21內(nèi)均設(shè)有升降裝置4，將用于盛放石墨件的花籃3放置在升降裝置4上，花籃3上設(shè)有多個(gè)孔，可將腐蝕槽11內(nèi)的王水以及清洗槽21內(nèi)的高純水漏入花籃3內(nèi)與其內(nèi)部的石墨件接觸。本實(shí)用新型通過(guò)將腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃3降下，可用于去除石墨件表面雜質(zhì)，通過(guò)將腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃升起，可以將經(jīng)過(guò)去除雜質(zhì)工序的石墨件取出；通過(guò)將清洗槽21內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃降下，可用于將表面的酸液去除，通過(guò)將清洗槽21內(nèi)的升降裝置4及設(shè)置在升降裝置4上的花籃升起，可以將經(jīng)過(guò)去除酸液工序的石墨件取出。本實(shí)用新型提供的石墨件腐蝕清洗機(jī)采用在花籃和槽體(腐蝕槽和清洗槽)之間添加了一種升降裝置從而優(yōu)化了設(shè)計(jì)，使操作更簡(jiǎn)便，使操作者遠(yuǎn)離了王水的腐蝕，勞動(dòng)強(qiáng)度相應(yīng)的減少，且提高了生產(chǎn)效率。設(shè)置在腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4可以為汽缸升降方式，其可具體包括撐板41和氣缸42，氣缸42可為兩個(gè)，汽缸的一端固定在腐蝕槽11的底部，另一端與撐板41相連。腐蝕槽11的側(cè)壁上還可設(shè)有滑槽，撐板上設(shè)有與滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。通過(guò)氣缸42的伸出桿的伸出，可將撐板41抬起，花籃3放置在撐板41上，從而可將花籃3抬起。由于撐板41 上設(shè)有與腐蝕槽11側(cè)壁上的滑槽滑動(dòng)配合的滑軌，可保持撐板41上升的平穩(wěn)性。設(shè)置在腐蝕槽11內(nèi)的升降裝置4還可為絲杠升降方式，其可包括撐板和絲杠機(jī)構(gòu)，絲杠機(jī)構(gòu)的絲母固定在撐板上，其絲桿與電機(jī)相連并可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在腐蝕槽11內(nèi)。腐蝕槽11的側(cè)壁上可設(shè)有滑槽，撐板上可設(shè)有與滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。通過(guò)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)，可控制絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)絲母沿絲桿軸向移動(dòng)，從而使得與絲母連接的撐板向上或向下移動(dòng)，通過(guò)改變電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，以改變撐板的移動(dòng)方向。本實(shí)用新型還可包括與電機(jī)連鎖的外置手柄和控制柜，操作人員通過(guò)控制手柄給控制柜信號(hào)，控制柜來(lái)啟動(dòng)電機(jī)，腐蝕槽11 與花籃3之間的升降裝置通過(guò)電機(jī)啟動(dòng)。操作人員在將需要處理的石墨件放入腐蝕清洗機(jī)之前，通過(guò)外置的控制手柄使花籃升起脫離王水，然后將需處理的石墨件放入花籃中，隨后用手柄將花籃降下使石墨件完全侵入到王水中即可。通過(guò)這種升降裝置的設(shè)計(jì)，操作人員可以最大程度的避免被強(qiáng)酸王水腐蝕的危險(xiǎn)，并且大大的降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)率。設(shè)置在清洗槽21內(nèi)的升降裝置4可以為汽缸升降方式，其可具體包括撐板41和氣缸42，氣缸42可為兩個(gè)，汽缸的一端固定在清洗槽21的底部，另一端與撐板41相連。清洗槽21的側(cè)壁上還可設(shè)有滑槽，撐板上設(shè)有與滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。通過(guò)氣缸42的伸出桿的伸出，可將撐板41抬起，花籃3放置在撐板41上，從而可將花籃3抬起。由于撐板41 上設(shè)有與清洗槽21側(cè)壁上的滑槽滑動(dòng)配合的滑軌，可保持撐板41上升的平穩(wěn)性。設(shè)置在清洗槽21內(nèi)的升降裝置4還可為絲杠升降方式，其可包括撐板和絲杠機(jī)構(gòu)，絲杠機(jī)構(gòu)的絲母固定在撐板上，其絲桿與電機(jī)相連并可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在清洗槽21內(nèi)。清洗槽21的側(cè)壁上可設(shè)有滑槽，撐板上可設(shè)有與滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。通過(guò)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)，可控制絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)絲母沿絲桿軸向移動(dòng)，從而使得與絲母連接的撐板向上或向下移動(dòng)，通過(guò)改變電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，以改變撐板的移動(dòng)方向。本實(shí)用新型還可包括與電機(jī)連鎖的外置手柄和控制柜，操作人員通過(guò)控制手柄給控制柜信號(hào)，控制柜來(lái)啟動(dòng)電機(jī)，清洗槽21 與花籃3之間的升降裝置通過(guò)電機(jī)啟動(dòng)。用手柄將花籃降下使石墨件完全侵入到高純水中即可。通過(guò)這種升降裝置的設(shè)計(jì)，操作人員可以最大程度的避免被強(qiáng)酸王水腐蝕的危險(xiǎn)，并且大大的降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)率。本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種石墨件腐蝕清洗機(jī)，包括腐蝕室⑴和清洗室O)，所述腐蝕室⑴和清洗室 (2)分別設(shè)有腐蝕槽(11)和清洗槽(21)，其特征在于，腐蝕槽(11)和清洗槽內(nèi)均設(shè)有升降裝置G)。
2.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽(11)的底部，另一端與所述撐板相連。
3.如權(quán)利要求2所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，所述腐蝕槽(11)的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。
4.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；絲杠機(jī)構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機(jī)相連并可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，所述腐蝕槽(11)的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。
6.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；汽缸，其一端固定在所述腐蝕槽(11)的底部，另一端與所述撐板相連。
7.如權(quán)利要求6所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。
8.如權(quán)利要求1所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，設(shè)置在所述清洗槽內(nèi)的升降裝置⑷具體包括撐板；絲杠機(jī)構(gòu)，其絲母固定在所述撐板上，其絲桿與電機(jī)相連并可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在所述腐蝕槽(11)內(nèi)。
9.如權(quán)利要求8所述的石墨件腐蝕清洗機(jī)，其特征在于，所述清洗槽的側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述撐板上設(shè)有與所述滑槽滑動(dòng)配合的滑軌。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種石墨件腐蝕清洗機(jī)，包括腐蝕室(1)和清洗室(2)，所述腐蝕室(1)和清洗室(2)分別設(shè)有腐蝕槽(11)和清洗槽(21)，腐蝕槽(11)和清洗槽(21)內(nèi)均設(shè)有升降裝置(4)。本實(shí)用新型提供的石墨件腐蝕清洗機(jī)采用在花籃和槽體(腐蝕槽和清洗槽)之間添加了一種升降裝置從而優(yōu)化了設(shè)計(jì)，使操作更簡(jiǎn)便，使操作者遠(yuǎn)離了王水的腐蝕，勞動(dòng)強(qiáng)度相應(yīng)的減少，且提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C04B41/53GK202038992SQ20112013077
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月28日
發(fā)明者侯俊峰, 張濱泉, 武在軍, 王耀挺, 胡永 申請(qǐng)人:國(guó)電寧夏太陽(yáng)能有限公司