專利名稱：氣動平臺的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型為一種用于裝載物品進行加工的平臺，尤指一種利用氣體做為潤滑介質(zhì)的氣動平臺。
背景技術(shù)：
一般在切割晶圓或是LED等高科技半導體材料時，皆需經(jīng)由切割等手續(xù)才會形成可利用的產(chǎn)品。在切割進行時，利用一平臺來帶動這些半導體材料進行前后左右的移動，而可配合刀具落下的位置來完成切割工序。其中，平臺位移精確度將直接影響晶圓被切割后的狀況，若有任何偏斜，將導致切割后的成品無法使用，形成損失。為使平臺能夠移動順暢，常會于相對活動的組件之間設置潤滑油或是軸承等物， 使得平臺能夠平穩(wěn)地滑動至指定的位置。然而，潤滑油會有消耗或漏出等問題，在經(jīng)過一段時間后，由于已無法提供潤滑效果，故將使組件彼此摩擦，而發(fā)生抖動或是位移不精確等問題，而軸承亦為機械式的輔助傳動，仍然會有消耗毀損的問題，進而導致晶圓的毀損。再者，科技產(chǎn)品的體積愈來愈小，功能越來越多，倘若晶圓在切割過程中，稍有閃失，將會造成龐大的損失，因此，只要平臺無法平穩(wěn)精確地位移，即無法適應精度要求逐漸提升的切割。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種氣動平臺，其利用氣體阻隔需相對移動的組件，避免摩擦的產(chǎn)生，可增進平臺移動的精確度。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是一種氣動平臺，包括一第一固定座、一第一活動座、一第二固定座、一第二活動座與至少一驅(qū)動裝置，該第一活動座置于該第一固定座上方，且該第一活動座內(nèi)設有一第一管道，該第一管道設有至少一第一進氣孔與數(shù)個第一出氣孔，該些第一出氣孔朝向該第一固定座；該第二固定座設置于該第一活動座上；該第二活動座置于該第二固定座上方，該第二活動座內(nèi)設有一第二管道，該第二管道設有至少一第二進氣孔與數(shù)個第二出氣孔，該些第二出氣孔朝向該第二固定座；該驅(qū)動裝置連接于該第一活動座與該第二活動座，用以提供該第一活動座與該第二活動座移動的動力；當氣體自該第一進氣孔與該第二進氣孔進入后，將由該第一出氣孔與該第二出氣孔排出，使得該第一固定座與該第一活動座之間產(chǎn)生一第一間隙，該第二固定座與該第二活動座之間產(chǎn)生一第二間隙。當該第一間隙與該第二間隙內(nèi)具有所充入的氣體時，將可使該第一固定座與該第一活動座有間隔分離，該第二固定座與該第二活動座有間隔分離。該第一活動座與該第二活動座相互垂直。該第一固定座包括一第一軌道，該第一活動座插入該第一軌道，且部分該些第一出氣孔面向于該第一軌道的內(nèi)側(cè)。該第二活動座包括一第二軌道，且該第二活動座藉由該第一軌道插入該第二固定座；又，該第二管道延伸至該第二軌道內(nèi)，且部分第二出氣孔設置于該第二軌道內(nèi)側(cè)。由于本實用新型利用氣體做為組件之間的介質(zhì)，使得各相對移動的組件在移動時，不會直接接觸而產(chǎn)生擦痕等問題。并且，氣體阻力極小，對于系統(tǒng)在控制位移距離上更加精確，故可因應更高精度的需求。又，本實用新型可進一步使該第一活動座與該第二活動座相互垂直，而具有不同方向的移動。又，本實用新型利用一第一軌道與一第二軌道的設計，使得該第一活動座與該第二活動座的移動更加穩(wěn)定。以下茲舉一實施例，配合圖式、圖號，將本實用新型的構(gòu)成內(nèi)容及其所達成的功效詳細說明如后。

[0015]圖1為本實用新型實施例的立體圖；[0016]圖2為本實用新型實施例的另--視角的立體圖；[0017]圖3為本實用新型實施例的第--活動座的透視圖；[0018]圖4為本實用新型實施例的第--固定座與第一活動座的剖面示意圖；[0019]圖5為本實用新型實施例的第二二活動座結(jié)合于第一固定座的立體透視圖[0020]標號說明[0021]10..'.…第—』固定座；[0022]11..'.…第—-軌道；[0023]20..'.…第—』活動座；[0024]21..'.…第—-管道；[0025]211.…..第-一進氣孔；[0026]212.…..第-一出氣孔；[0027]30..'.…第二固定座；[0028]40..'.…第二活動座；[0029]41..'.…第二管道；[0030]411.…..第:二進氣孔；[0031]412.…..第:二出氣孔；[0032]42..'.…第二軌道。
具體實施方式
請參閱圖1至圖2所示，本實施例包括一第一固定座10、一第一活動座20、一第二固定座30與一第二活動座40，其中，該第一活動座20置于該第一固定座10的上方，且該第一活動座20可相對于該第一固定座10移動，該第二固定座30置于該第一活動座20的上方，與該第一活動座20同時移動，該第二活動座40置于該第二固定座30的上方，使該第二活動座40可相對于該第二固定座30移動。其中，如圖3所示，該第一活動座20包括至少一第一管道21，該第一管道21設于該第一活動座20內(nèi)，并于該第一管道21設有至少一第一進氣孔211與數(shù)個第一出氣孔212，且該些第一出氣孔212朝向該第一固定座10，因此，當氣體自該第一進氣孔211灌入后，將會由該些第一出氣孔212排出，而使該第一活動座20與該第一固定座10之間產(chǎn)生一第一間隙，不會直接接觸，藉由該氣體做為該第一活動座20與該第一固定座10之間的介質(zhì)，故當該第一活動座20相對于該第一固定座10移動時，將不會在彼此之間發(fā)生摩擦毀損。如圖5所示，該第二活動座40內(nèi)設有一第二管道41，該第二管道41包括至少一第二進氣孔411與數(shù)個第二出氣孔412，且該些第二出氣孔412朝向該第二固定座30，同理， 當氣體自該第二進氣孔411進入之后，會由該第些第二出氣孔412排出，使得該第二活動座 40與該第二固定座30之間產(chǎn)生一第二間隙，由于該間隙內(nèi)充斥著氣體，故當該第二活動座 40相對于該第二固定座30移動時，該第二固定座30與該第二活動座40之間，將不會接觸摩擦。至少一驅(qū)動裝置(圖未示)，連接于該第一活動座20與該第二活動座40，用以提供該第一活動座20與該第二活動座40移動的動力，由于驅(qū)動裝置與該第一活動座20及該第二活動座40連接的方式，為已知技術(shù)，故于此不再加以贅述，若采用兩組以上的驅(qū)動裝置來分別推拉此二活動座，仍為目前已知技術(shù)的簡易置換，仍屬本實用新型所界定的范圍， 于此合先敘明。由于該第一活動座20與該第一固定座10之間利用氣體來進行阻隔，而氣體與此二組件的摩擦力非常小，因此，不會對該二組件產(chǎn)生磨損，使得移動時維持平穩(wěn)，并且可提升控制位移的精密度。該第二固定座30與該第二活動座40之間亦利用氣體作為阻隔，因此，該第二活動座40進行移動時，亦可維持平穩(wěn)，并提升位移的精密度。進者，該第一活動座20與該第二活動座40可相互垂直排列，而可具有XY軸雙向移動的功能。又，請參閱圖2與圖3所示，該第一固定座10包括一第一軌道11，該第一活動座 20可插入該第一軌道11，且部分第一出氣孔211亦面向于該第一軌道11內(nèi)側(cè)，藉此，可提升該第一活動座20移動時的平穩(wěn)。再者，如圖4與圖5所示，其中該第二活動座40進一步包括一第二軌道42，且部分第二管道41延伸至該第二軌道42內(nèi)，并使部分第二出氣孔422設于該第二軌道42，當該第二固定座30插入該第二軌道42時，該第二活動座40及該第二軌道42內(nèi)的第二出氣孔 422皆面對于該第二固定座30，藉此，可增進該第二活動座40移動時的平穩(wěn)。 綜上所述，本實用新型可增進移動時的穩(wěn)定性及提升位移控制的精密度，再者，因不會產(chǎn)生磨損，故減少零件更換維修的次數(shù)，降低維護成本。
權(quán)利要求1.一種氣動平臺，包括一第一固定座、一第一活動座、一第二固定座、一第二活動座與至少一驅(qū)動裝置，其特征在于，該第一活動座置于該第一固定座上方，且該第一活動座內(nèi)設有一第一管道，該第一管道設有至少一第一進氣孔與數(shù)個第一出氣孔，該些第一出氣孔朝向該第一固定座；該第二固定座設置于該第一活動座上；該第二活動座置于該第二固定座上方，該第二活動座內(nèi)設有一第二管道，該第二管道設有至少一第二進氣孔與數(shù)個第二出氣孔，該些第二出氣孔朝向該第二固定座；該驅(qū)動裝置連接于該第一活動座與該第二活動座，用以提供該第一活動座與該第二活動座移動的動力；當氣體自該第一進氣孔與該第二進氣孔進入后，將由該第一出氣孔與該第二出氣孔排出，使得該第一固定座與該第一活動座之間產(chǎn)生一第一間隙，該第二固定座與該第二活動座之間產(chǎn)生一第二間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動平臺，其特征在于，該第一活動座與該第二活動座相互垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣動平臺，其特征在于，該第一固定座包括一第一軌道，該第一活動座插入該第一軌道，且部分該些第一出氣孔面向于該第一軌道的內(nèi)側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣動平臺，其特征在于，該第二活動座包括一第二軌道，且該第二活動座藉由該第一軌道插入該第二固定座；又，該第二管道延伸至該第二軌道內(nèi)，且部分第二出氣孔設置于該第二軌道內(nèi)側(cè)。
專利摘要本實用新型公開了一種氣動平臺，包括第一固定座、第一活動座、第二固定座、第二活動座與至少一驅(qū)動裝置，該第一活動座與該第二活動座內(nèi)分別設置一管道，該些管道上分別具有一進氣口及多個出氣口，并使該些管道的出氣口面對于對應的固定座，當氣體自管道的進氣口灌入后，將會自出氣口排出，使得該第一固定座與該第一活動座之間產(chǎn)生間隙，該第二固定座與該第二活動座之間亦產(chǎn)生間隙，藉此各相對應的座體在移動時，將不會產(chǎn)生磨損擦痕，并且，氣體阻力極小，對于系統(tǒng)在控制位移距離上更加精確，可因應更高精度的需求。
文檔編號B28D7/00GK202079688SQ20112014476
公開日2011年12月21日 申請日期2011年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月10日
發(fā)明者陳盛淇 申請人:陳盛淇