專利名稱：石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電極結(jié)構(gòu)，具體為石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
根據(jù)旋轉(zhuǎn)模具法生產(chǎn)石英玻璃坩堝的工藝是這樣的存放在旋轉(zhuǎn)模具內(nèi)的石英砂粉末通過電弧放電加熱和熔化，生產(chǎn)出石英玻璃坩堝，坩堝內(nèi)側(cè)為透明石英玻璃層，外側(cè)為不透明層，對(duì)于傳統(tǒng)的形成電弧放電的電極結(jié)構(gòu)，設(shè)置有三個(gè)電極，三相交流電流過所述三個(gè)電極，在電極之間形成等離子電弧放電。目前，硅單晶生產(chǎn)中對(duì)石英坩堝直徑的要求越來越大，而這種傳電極結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)暴露的也更加明顯當(dāng)電極之間的距離增加以便擴(kuò)大加熱范圍時(shí)，電弧變得不穩(wěn)定而中斷， 尤其是，對(duì)于大尺寸坩堝，由于模具轉(zhuǎn)動(dòng)在坩堝內(nèi)造成氣流的影響較大，所以傳統(tǒng)的電極結(jié)構(gòu)的電弧很容易中斷。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題在于提供石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，使其即使在電極之間距離增加的情況下也可以保持電弧的穩(wěn)定，從而解決上述背景技術(shù)中的缺點(diǎn)。本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)模具和安裝在旋轉(zhuǎn)模具上方的若干電極，與傳統(tǒng)電極結(jié)構(gòu)的顯著區(qū)別特征在于，所述電極間隔排列在以旋轉(zhuǎn)模具旋轉(zhuǎn)軸線為中心的環(huán)狀結(jié)構(gòu)上，各相鄰電極之間的間距均相等。本實(shí)用新型中，所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的圓半徑r與所述旋轉(zhuǎn)模具的開口半徑R之比為 2/5-4/5。本實(shí)用新型中，所述電極至少為四個(gè)。本實(shí)用新型，所述電極可具有二相交流電的四個(gè)電極、三相交流電的六個(gè)電極、三相交流電的九個(gè)電極或四相交流電的八個(gè)電極。有益效果本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，電極之間可以形成環(huán)狀電弧，電弧穩(wěn)定且具有很大加熱范圍，即使在生產(chǎn)大口徑坩堝、電極之間的距離較大的情況下，電弧的穩(wěn)定性同樣良好。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的示意圖。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的電極分布示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。[0015]參見圖1、圖2，石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)模具1和安裝在旋轉(zhuǎn)模具1上方的若干電極2，本實(shí)施例中電極2具有兩相交流電的四個(gè)電極，與傳統(tǒng)電極結(jié)構(gòu)的顯著區(qū)別特征在于，所述電極2間隔排列在以旋轉(zhuǎn)模具1旋轉(zhuǎn)軸線為中心的環(huán)狀結(jié)構(gòu)上，各相鄰電極2之間的間距均相等。作為一種優(yōu)選方案，本實(shí)施例中，所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的圓半徑r與所述旋轉(zhuǎn)模具的開口半徑R之比為2/3。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)模具和安裝在旋轉(zhuǎn)模具上方的若干電極，其特征在于所述電極排列在以旋轉(zhuǎn)模具旋轉(zhuǎn)軸線為中心的環(huán)狀結(jié)構(gòu)上，各相鄰電極之間的間距均相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的圓半徑與所述旋轉(zhuǎn)模具的開口半徑之比為2/5-4/5。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于所述電極至少為四個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，其特征在于所述電極可具有兩相交流電的四個(gè)電極、三相交流電的六個(gè)電極、三相交流電的九個(gè)電極或四相交流電的八個(gè)電極。
專利摘要石英玻璃坩堝的電極結(jié)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)模具和安裝在旋轉(zhuǎn)模具上方的若干電極，所述電極排列在以旋轉(zhuǎn)模具旋轉(zhuǎn)軸線為中心的環(huán)狀結(jié)構(gòu)上，各相鄰電極之間的間距均相等。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，電極之間可以形成環(huán)狀電弧，電弧穩(wěn)定且具有很大加熱范圍，即使在生產(chǎn)大口徑坩堝、電極之間的距離較大的情況下，電弧的穩(wěn)定性同樣良好。
文檔編號(hào)C03B20/00GK202116423SQ20112018455
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月2日
發(fā)明者上官春水, 余獻(xiàn)軍, 劉奏波, 林方友, 潘紹勤, 董建安, 陳官元, 陳少永, 黃萬全 申請(qǐng)人:江西安邁科技有限公司