專利名稱：一種表面堅(jiān)硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種鍍膜玻璃，主要涉及一種十一層膜結(jié)構(gòu)的表面堅(jiān)硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃。
背景技術(shù)：
低輻射鍍膜玻璃是指在玻璃表面沉積一層高紅外線反射材料(金屬銀)，使玻璃吸收太陽(yáng)光光譜中的紅外線和其它物體發(fā)出的紅外線非常少，玻璃自身又不存儲(chǔ)能量，因此鍍膜玻璃向外輻射的紅外線也非常少，稱為低輻射鍍膜玻璃。該玻璃用于窗戶上，可有效地阻擋太陽(yáng)光中的紅外線進(jìn)入室內(nèi)，降低夏天室內(nèi)溫度，節(jié)約空調(diào)制冷費(fèi)用，冬天可以阻擋室內(nèi)物體發(fā)出的紅外線被玻璃吸收，散發(fā)到室外，提高室內(nèi)溫度，節(jié)約取暖費(fèi)用?，F(xiàn)在市場(chǎng)上已經(jīng)有很多種雙銀低輻射鍍膜玻璃產(chǎn)品，第一層膜有用氧化錫的，也有用氧化鋅的，第二層膜都是銀膜，也有前面加一層鎳鉻膜的結(jié)構(gòu)，第三層都用鎳鉻層，第四層主要為間隔層，第五層膜是銀膜，第六層為鎳鉻層，第七層為氧化錫或者氮化硅膜，這些產(chǎn)品抗劃傷的能力都不強(qiáng)，即表面不夠堅(jiān)硬。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的是提供一種十一層膜結(jié)構(gòu)的表面堅(jiān)硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃，使其具有輻射率低，耐磨、耐劃傷、耐腐蝕性能好的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的目的可采用如下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)其具有玻璃基片，在玻璃基片表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層、鎳鉻膜層、氧化錫膜層、銀膜層、鎳鉻膜層、氧化錫膜層、銀膜層、鎳鉻膜層、氮化硅膜層、氧化硅膜層、氮化硅膜層，從而構(gòu)成十一層膜結(jié)構(gòu)的雙銀低輻射鍍膜玻璃。該產(chǎn)品具有輻射率低，耐磨、耐劃傷性能和耐氧化、耐腐蝕性能好的優(yōu)點(diǎn)。
附圖1為本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、玻璃基片，2、氧化錫膜層，3、鎳鉻膜層，4、氧化錫膜層，5、銀膜層，6、鎳鉻膜層，7、氧化錫膜層，8、銀膜層，9、鎳鉻膜層，10、氮化硅膜層，11、氧化硅膜層，12、氮化硅膜層。
具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖，說(shuō)明本實(shí)用新型的具體實(shí)施例。如附圖1所示其具有玻璃基片1，在玻璃基片表面從底層向上依次鍍有氧化錫膜層2、鎳鉻膜層3、氧化錫膜層4、銀膜層5、鎳鉻膜層6、氧化錫膜層7、銀膜層8、鎳鉻膜層9、 氮化硅膜層10、氧化硅膜層11、氮化硅膜層12，從而構(gòu)成十一層膜結(jié)構(gòu)的雙銀低輻射鍍膜玻璃。[0011]本實(shí)用新型是在真空環(huán)境下，通過(guò)磁控濺射在玻璃表面沉積十一層膜的方法，生產(chǎn)一種紅外線輻射率很低的，包含有兩個(gè)銀層的低輻射鍍膜玻璃。所述的表面堅(jiān)硬的低輻射鍍膜玻璃是在鍍膜室抽真空至1. lX10-4Pa以下，充入工藝氣體(氧氣或氮?dú)饣驓鍤?，使鍍膜室壓力穩(wěn)定在0. 3 左右，將濺射源送電，靶材開始濺射，送入玻璃將靶材原子或其化合物沉積到玻璃表面。第一個(gè)鍍膜室充入氧氣，靶材為錫靶，將氧化錫膜沉積到玻璃表面為第一層膜，厚度10至60納米，第二個(gè)鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在氧化錫上面沉積第二層鎳鉻膜，厚度1至10納米；第三個(gè)鍍膜室充入氧氣， 靶材為錫靶，在鎳鉻膜上沉積第三層氧化錫膜，厚度10至60納米；第四個(gè)鍍膜室充入氬氣， 靶材為銀靶，在氧化錫上面沉積第四層銀膜，厚度1至10納米；第五個(gè)鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在銀膜上沉積第五層鎳鉻膜，厚度1至10納米；第六個(gè)鍍膜室充入氧氣，靶材為錫靶，在鎳鉻膜上沉積第六層氧化錫膜，厚度15至60納米；第七個(gè)鍍膜室充入氬氣，靶材為銀靶，在氧化錫上面沉積第七層銀膜，厚度1至10納米；第八個(gè)鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在銀膜上沉積第八層鎳鉻膜，厚度1至10納米；第九個(gè)鍍膜室充入氮?dú)猓胁臑楣璋?，在鎳鉻膜上沉積第九層氮化硅膜，厚度10至40納米；第十個(gè)鍍膜室充入氧氣，靶材為硅靶，在氮化硅膜上沉積第十層氧化硅膜，厚度5至40納米；第十一個(gè)鍍膜室充入氮?dú)?，靶材為硅靶，在氧化硅膜上沉積第十一層氮化硅膜，厚度10 60納米。第四層和第七層的銀膜起到降低鍍膜玻璃輻射率的作用，兩層不相鄰的銀膜，可以產(chǎn)生比一層銀膜性能好很多，即輻射率低很多的優(yōu)點(diǎn)。第一層、第三層氧化錫膜和第九層、第十一層氮化硅膜都起保護(hù)銀膜和鎳鉻膜的作用，第十層氧化硅膜，將較厚的氮化硅膜分割成兩層膜，有效地提高了膜層的耐磨、耐劃傷性能和耐氧化、耐腐蝕性能。
權(quán)利要求1. 一種表面堅(jiān)硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特征是在玻璃基片 (1)表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層O)、鎳鉻膜層(3)，氧化錫膜層0)，銀膜層 (5)，鎳鉻膜層(6)，氧化錫膜層(7)，銀膜層(8)，鎳鉻膜層(9)，氮化硅膜層(10)，氧化硅膜層(11)，氮化硅膜層(12)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種表面堅(jiān)硬的雙銀低輻射鍍膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特征是在玻璃基片(1)表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層(2)、鎳鉻膜層(3)，氧化錫膜層(4)，銀膜層(5)，鎳鉻膜層(6)，氧化錫膜層(7)，銀膜層(8)，鎳鉻膜層(9)，氮化硅膜層(10)，氧化硅膜層(11)，氮化硅膜層(12)。該產(chǎn)品具有輻射率低，耐磨、耐劃傷性能和耐氧化、耐腐蝕性能好的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C03C17/36GK202181261SQ20112028878
公開日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2011年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月4日
發(fā)明者張珮珮, 王紅兵, 郭明 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)新晶潤(rùn)工程玻璃有限公司