專利名稱：一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，特別涉及一種切割藍(lán)寶石用的電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，屬于藍(lán)寶石切片設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
藍(lán)寶石是加工藍(lán)光二極管的重要材料，在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有舉足輕重的地位。在形成用于制作藍(lán)寶石襯片之前，要對(duì)藍(lán)寶石進(jìn)行切片。現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)藍(lán)寶石多采用線切割工藝進(jìn)行加工，加工時(shí)，通過(guò)高速運(yùn)動(dòng)的切割線對(duì)藍(lán)寶石進(jìn)行切片。藍(lán)寶石襯片切片是藍(lán)寶石基板制造中非常重要的一項(xiàng)工藝流程，它決定了藍(lán)寶石切片后晶片的總厚度變化，翹曲度， 表面粗糙度等相關(guān)質(zhì)量，直接影響到接下來(lái)的雙面研磨，倒角，拋光等工序。傳統(tǒng)的垂直線向下切割的方式在切割過(guò)程中由于切割線接觸面積大，造成了切割緩慢，切割時(shí)間長(zhǎng)，效率低等問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目得是提供一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，以減少藍(lán)寶石襯片的切割時(shí)間，提高切割效率。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括擺動(dòng)頭、擺動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)頭與藍(lán)寶石的工作臺(tái)相連；所述擺動(dòng)裝置設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)，所述擺動(dòng)裝置包括固定設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上的弧形齒條、擺動(dòng)構(gòu)件及驅(qū)動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)裝置的下端設(shè)有齒輪，所述齒輪與所述弧形齒條相嚙合，所述擺動(dòng)構(gòu)件可活動(dòng)的設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上， 工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)擺動(dòng)構(gòu)件擺動(dòng)，通過(guò)齒輪與弧形齒條配合帶動(dòng)擺動(dòng)頭擺動(dòng)。上述一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一挺桿、第二挺桿、可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)的第一凸輪、可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)的第二凸輪、與動(dòng)力源相連的驅(qū)動(dòng)齒輪，所述第一、第二凸輪分別通過(guò)正時(shí)皮帶與驅(qū)動(dòng)齒輪相連；所述第一挺桿一端與所述擺動(dòng)構(gòu)件一側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第一凸輪上；所述第二挺桿一端與所述擺動(dòng)構(gòu)件的另一側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第二凸輪上；工作時(shí)，第一挺桿與第一凸輪的配合與第二挺桿與第二凸輪的配合相交錯(cuò)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)以下有益效果1、在切割作業(yè)時(shí)，本電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)左右擺動(dòng)，帶動(dòng)藍(lán)寶石晶棒以晶棒軸心左右傾斜，使金剛線接觸的切割面由原來(lái)的整個(gè)晶棒變?yōu)橐跃О糨S心為中心的局部切割面，使金剛線能夠快速的對(duì)藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行切割，提高切割效率。2、由于擺動(dòng)頭通過(guò)挺桿與凸輪的配合實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)，不僅實(shí)現(xiàn)了擺動(dòng)頭來(lái)回?cái)[動(dòng)的功能，而且保證了擺動(dòng)頭擺動(dòng)的角度和協(xié)調(diào)性。

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。[0010]圖2是本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明的左擺結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明的右擺結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括擺動(dòng)頭1、擺動(dòng)裝置2，所述擺動(dòng)頭1與藍(lán)寶石的工作臺(tái)3相連，工作臺(tái)3上連接有藍(lán)寶石晶棒 4 ；所述擺動(dòng)裝置2設(shè)置在所述擺動(dòng)頭1內(nèi)，所述擺動(dòng)裝置2包括通過(guò)緊固件及齒條固定座 9或其他方式固定設(shè)置在所述擺動(dòng)頭1上的弧形齒條21、擺動(dòng)構(gòu)件22及驅(qū)動(dòng)裝置23，擺動(dòng)構(gòu)件22為一條形構(gòu)件，擺動(dòng)構(gòu)件22上端通過(guò)擺動(dòng)軸5設(shè)置在擺動(dòng)頭1的上端，擺動(dòng)構(gòu)件22 的下端設(shè)有齒輪221，所述齒輪221與所述弧形齒條21相嚙合，為了保證嚙合的精準(zhǔn)性，可將齒輪221設(shè)計(jì)為圓弧形齒輪，工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置23帶動(dòng)擺動(dòng)構(gòu)件22擺動(dòng)，通過(guò)齒輪221 與弧形齒條21配合帶動(dòng)擺動(dòng)頭1左右手?jǐn)[動(dòng)。在切割作業(yè)時(shí)，擺動(dòng)裝置由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)左右擺動(dòng)，帶動(dòng)藍(lán)寶石晶棒以晶棒軸心左右傾斜，使金剛線接觸的切割面由原來(lái)的整個(gè)晶棒變?yōu)橐跃О糨S心為中心的局部切割面，使金剛線能夠快速的對(duì)藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行切割，提高切割效率。驅(qū)動(dòng)裝置23的結(jié)構(gòu)不受限制，本實(shí)施例中，為了保證擺動(dòng)頭1擺動(dòng)的精度，所述驅(qū)動(dòng)裝置23包括第一挺桿231、第二挺桿232、第一凸輪233、第二凸輪234、與動(dòng)力源6相連的驅(qū)動(dòng)齒輪235，所述第一、第二凸輪233、234分別通過(guò)正時(shí)皮帶7與驅(qū)動(dòng)齒輪235相連； 動(dòng)力源6通常為電機(jī)，電機(jī)與驅(qū)動(dòng)齒輪23以皮帶20相連，驅(qū)動(dòng)齒輪23在皮帶20的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)。第二挺桿232、第一凸輪233分別通過(guò)軸或其他方式可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在擺動(dòng)頭1內(nèi)，所述第一挺桿231 —端通過(guò)軸或銷與所述擺動(dòng)構(gòu)件22 —側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第一凸輪233上；所述第二挺桿234 —端通過(guò)軸或銷與所述擺動(dòng)構(gòu)件22的另一側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第二凸輪234上；工作時(shí)，第一挺桿231與第一凸輪233的配合與第二挺桿232 與第二凸輪234的配合相交錯(cuò)，即第一挺桿231抵在第一凸輪233底部時(shí)，第二挺桿232抵在第二凸輪234凸緣處；第一挺桿231抵在第一凸輪233凸緣處時(shí)，第二挺桿232抵在第二凸輪234底部，使擺動(dòng)構(gòu)件22可左右擺動(dòng)，由于擺動(dòng)頭通過(guò)挺桿與凸輪的配合實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)，不僅實(shí)現(xiàn)了擺動(dòng)頭來(lái)回?cái)[動(dòng)的功能，而且保證了擺動(dòng)頭擺動(dòng)的角度和協(xié)調(diào)性。用以驅(qū)動(dòng)整個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置23的動(dòng)力源6位于切割機(jī)后端下方，整個(gè)擺動(dòng)頭內(nèi)置擺動(dòng)裝置2，裝配了第一、第二凸輪233、234和擺動(dòng)構(gòu)件22，第一、第二挺桿231、232，各軸兩端的軸承，皮帶等附件。動(dòng)力源通過(guò)皮帶20帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒輪235旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)齒輪235帶動(dòng)正時(shí)皮帶12，帶動(dòng)第一、第二凸輪旋轉(zhuǎn)，第一、第二凸輪233、234驅(qū)動(dòng)第一、第二挺桿231、232，按照向左向右循環(huán)的方式實(shí)現(xiàn)擺動(dòng)構(gòu)件22的來(lái)回?cái)[動(dòng)，帶動(dòng)了擺動(dòng)構(gòu)件22的齒輪221來(lái)回?cái)[動(dòng)，齒輪221旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)了弧形齒條21來(lái)回走動(dòng)，弧形齒條21固定在擺動(dòng)頭的主體上，實(shí)現(xiàn)了擺動(dòng)頭來(lái)回?cái)[動(dòng)的功能；兩個(gè)導(dǎo)線輪7帶動(dòng)金剛線線網(wǎng)8高速的來(lái)回旋轉(zhuǎn)，擺動(dòng)頭1按照設(shè)定的進(jìn)給速度向下移動(dòng)，帶動(dòng)工作臺(tái)3，帶動(dòng)藍(lán)寶石晶棒4向下移動(dòng)，使晶棒接觸線網(wǎng)產(chǎn)生切割，擺動(dòng)裝置2按照切割線在晶棒的切割位置，設(shè)定在不同位置上的旋轉(zhuǎn)角度， 旋轉(zhuǎn)速度和頻率進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使帶有張力的切割金剛線始終作用于較小切割面上，產(chǎn)生較快的切割速度。綜上所述，本發(fā)明在切割過(guò)程中利用擺動(dòng)頭的左右擺動(dòng)進(jìn)行切割，增加了切割效率，減少了切割時(shí)間，大大節(jié)約了切割成本。這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說(shuō)明性的，并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實(shí)施例中，因此，本發(fā)明不受本實(shí)施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括擺動(dòng)頭、擺動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)頭與藍(lán)寶石的工作臺(tái)相連；所述擺動(dòng)裝置設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)，所述擺動(dòng)裝置包括固定設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上的弧形齒條、擺動(dòng)構(gòu)件及驅(qū)動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)裝置的下端設(shè)有齒輪，所述齒輪與所述弧形齒條相嚙合，所述擺動(dòng)構(gòu)件可活動(dòng)的設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上，工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)擺動(dòng)構(gòu)件擺動(dòng)，通過(guò)齒輪與弧形齒條配合帶動(dòng)擺動(dòng)頭擺動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一挺桿、第二挺桿、可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)的第一凸輪、可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)的第二凸輪、與動(dòng)力源相連的驅(qū)動(dòng)齒輪，所述第一、第二凸輪分別通過(guò)正時(shí)皮帶與驅(qū)動(dòng)齒輪相連；所述第一挺桿一端與所述擺動(dòng)構(gòu)件一側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第一凸輪上；所述第二挺桿一端與所述擺動(dòng)構(gòu)件的另一側(cè)活動(dòng)連接，另一端抵在所述第二凸輪上；工作時(shí)， 第一挺桿與第一凸輪的配合與第二挺桿與第二凸輪的配合相交錯(cuò)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種藍(lán)寶石切片電動(dòng)擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括擺動(dòng)頭、擺動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)頭與藍(lán)寶石的工作臺(tái)相連；所述擺動(dòng)裝置設(shè)置在所述擺動(dòng)頭內(nèi)，所述擺動(dòng)裝置包括固定設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上的弧形齒條、擺動(dòng)構(gòu)件及驅(qū)動(dòng)裝置，所述擺動(dòng)裝置的下端設(shè)有齒輪，所述齒輪與所述弧形齒條相嚙合，所述擺動(dòng)構(gòu)件可活動(dòng)的設(shè)置在所述擺動(dòng)頭上，工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)擺動(dòng)構(gòu)件擺動(dòng)，通過(guò)齒輪與弧形齒條配合帶動(dòng)擺動(dòng)頭擺動(dòng)，帶動(dòng)藍(lán)寶石晶棒以晶棒軸心左右傾斜，使金剛線接觸的切割面由原來(lái)的整個(gè)晶棒變?yōu)橐跃О糨S心為中心的局部切割面，使金剛線能夠快速的對(duì)藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行切割，提高切割效率。
文檔編號(hào)B28D5/04GK202293069SQ201120429438
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月2日
發(fā)明者張錦根, 徐進(jìn), 王祿寶, 蔡金榮, 趙元亞, 鄂嶺 申請(qǐng)人:江蘇吉星新材料有限公司