專利名稱：多線切割機(jī)砂漿分布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
多線切割機(jī)砂漿分布裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料的切割加工裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種多線切割機(jī)砂漿分布裝置。
背景技術(shù)：
[0002]目前多晶硅和單晶硅大都采用多線切割機(jī)床進(jìn)行硅片切割，多線切割機(jī)床實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料切割加工，多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。圖1圖2所示，現(xiàn)有的多線切割機(jī)的砂漿分布裝置包括一個(gè)長度比多線輥略長的布液管，布液管的中部設(shè)有向布液管中輸入砂漿的供漿管，所述布液管大致為方形管，其中一個(gè)角上開設(shè)一條出漿縫，安裝時(shí)將具有出漿縫的角朝下，漿液就通過出漿縫流到切割線上，通過切割線的帶動(dòng)砂漿進(jìn)行研磨切割。這種布液管具有結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)，但也具有較大不足，如砂漿分布不均，中間量大，兩端量少，導(dǎo)致兩端的切割線上的砂漿量不足，影響切割效果，甚至硅片表面質(zhì)量降低等問題。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供一種多線切割機(jī)砂漿分布裝置，增設(shè)開有通漿孔的隔板，通過隔板將砂漿更均勻的分布到布液管，使整條出漿縫上均勻出漿，有助于提高硅片切割質(zhì)量，提高產(chǎn)品性能。[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種多線切割機(jī)砂漿分布裝置，包括布液管和設(shè)置在布液管中部的供漿管，所述的布液管上開設(shè)有一條出漿縫，出漿縫朝下設(shè)置，所述的布液管中穿設(shè)有一個(gè)隔板，所述的隔板上設(shè)有多個(gè)通漿孔。[0005]進(jìn)一步地優(yōu)化，所述的隔板上的通漿孔從中間向兩端孔徑逐漸增大。[0006]進(jìn)一步地提高均勻度，所述的隔板為“V”形板，“V”形板的棱角朝下設(shè)置。砂漿在 “V”形板的槽內(nèi)積聚，然后通過通漿孔溢出，這樣效果更好，均勻度更好。[0007]本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型的多線切割機(jī)砂漿分布裝置，增設(shè)開有通漿孔的隔板，通過隔板將砂漿更均勻的分布到布液管，使整條出漿縫上均勻出漿，有助于提高硅片切割質(zhì)量，提高產(chǎn)品性能；從中間向兩端孔徑逐漸增大的通漿孔有利于砂漿向兩端流動(dòng)；“V”形板使砂漿在槽內(nèi)積聚，更有利于砂漿能更均勻更符合生產(chǎn)要求的分布在所需位，線痕不良片的比例得到有效控制，提高了生產(chǎn)成品率。


[0008]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。[0009]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的的結(jié)構(gòu)示意圖；[0010]圖2是現(xiàn)有技術(shù)的側(cè)向剖視圖。[0011]圖3是本實(shí)用新型的多線切割機(jī)砂漿分布裝置的第一個(gè)實(shí)施例的側(cè)向剖視圖；[0012]圖4是所述隔板的結(jié)構(gòu)示意圖；[0013]圖5是本實(shí)用新型的多線切割機(jī)砂漿分布裝置的第二個(gè)實(shí)施例的側(cè)向剖視圖；[0014]圖6是所述“V”形板的結(jié)構(gòu)示意圖。[0015]圖中1.布液管，11.出漿縫，2.供漿管，3.隔板，31.通漿孔。
具體實(shí)施方式
[0016]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。[0017]圖3圖4是本實(shí)用新型的多線切割機(jī)砂漿分布裝置第一個(gè)實(shí)施例，包括布液管1 和設(shè)置在布液管1中部的供漿管2，布液管1上開設(shè)有一條出漿縫11，出漿縫11朝下設(shè)置， 布液管1中穿設(shè)有一個(gè)隔板3，隔板3上設(shè)有多個(gè)通漿孔31，隔板3上的通漿孔31從中間向兩端孔徑逐漸增大。[0018]圖5圖6是本實(shí)用新型的多線切割機(jī)砂漿分布裝置第二個(gè)實(shí)施例，包括布液管1 和設(shè)置在布液管1中部的供漿管2，布液管1上開設(shè)有一條出漿縫11，出漿縫11朝下設(shè)置， 布液管1中穿設(shè)有一個(gè)隔板3，隔板3為“V”形板，“V”形板的棱角朝下設(shè)置，隔板3上設(shè)有多個(gè)通漿孔31，隔板3上的通漿孔31從中間向兩端孔徑逐漸增大。[0019]第二個(gè)實(shí)施例為最佳實(shí)施例，效果最好。[0020]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1.一種多線切割機(jī)砂漿分布裝置，包括布液管(1)和設(shè)置在布液管(1)中部的供漿管 O)，所述的布液管(1)上開設(shè)有一條出漿縫(11)，出漿縫(11)朝下設(shè)置，其特征在于所述的布液管⑴中穿設(shè)有一個(gè)隔板(3)，所述的隔板(3)上設(shè)有多個(gè)通漿孔(31)。
2.如權(quán)利要求1所述的多線切割機(jī)砂漿分布裝置，其特征是所述的隔板(3)上的通漿孔(31)從中間向兩端孔徑逐漸增大。
3.如權(quán)利要求1或2所述的多線切割機(jī)砂漿分布裝置，其特征是所述的隔板(3)為 “V”形板，“V”形板的棱角朝下設(shè)置。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多線切割機(jī)砂漿分布裝置，包括布液管和設(shè)置在布液管中部的供漿管，所述的布液管上開設(shè)有一條出漿縫，出漿縫朝下設(shè)置，所述的布液管中穿設(shè)有一個(gè)隔板，所述的隔板上設(shè)有多個(gè)通漿孔。本實(shí)用新型增設(shè)開有通漿孔的隔板，通過隔板將砂漿更均勻的分布到布液管，使整條出漿縫上均勻出漿，有助于提高硅片切割質(zhì)量，提高產(chǎn)品性能。
文檔編號B28D7/00GK202293072SQ20112044244
公開日2012年7月4日 申請日期2011年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月10日
發(fā)明者王煜輝 申請人:常州華盛恒能光電有限公司