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一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)的制作方法

文檔序號:1874065閱讀:283來源:國知局
一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),包括固定架組焊、軸,固定架組焊與電機安裝座組焊固連,電機安裝座組焊與減速機固連,減速機輸入端固連有電機,輸出端固連有主動輪,軸固連于安裝座上,安裝座一端固連有蓋板,另一端固連有從動輪,軸的兩端用軸承支撐于所述固定架組焊與活動塊上,并用壓蓋進行軸向定位,壓蓋與固定架組焊及活動塊固連,活動塊與固定架組焊固連,安裝座下方設(shè)有工件安裝臺,工件安裝臺下方固連有粘料板,粘料板下方粘有工件。本發(fā)明的多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),保證了工件加工的高精度和穩(wěn)定性,有效降低成本,提升切割效率,改善切片質(zhì)量,且拆裝方便,維護成本低。
【專利說明】一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)
[0001]
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明屬于多線切割機領(lǐng)域,具體的涉及一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)。
[0003]【背景技術(shù)】
[0004]目前,多線切割技術(shù)是世界上比較先進的硅片加工技術(shù),其原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對半導(dǎo)體等硬脆材料進行摩擦,從而達到切割效果。在整個過程中,鋼線通過幾個導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過工作臺的上升下降實現(xiàn)工件的進給,可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割成數(shù)百片,多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比有效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點。隨之,多線切割技術(shù)已逐漸取代了傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割,成為目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。
[0005]作為多線切割機,采用擺動式工作臺切割可有效降低成本,提升切割效率,改善切片質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明旨在提供一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)。該多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)采用伺服驅(qū)動,伺服電機直連減速機,通過齒輪傳動,實現(xiàn)工作臺的搖擺。采用兩端成對安裝的圓錐滾子軸承支撐定位,有效的保證了工作臺的支撐剛度及搖擺精度,采用接近傳感器控制最大擺動角度。為實現(xiàn)上述技術(shù)目的,達到上述技術(shù)效果,本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):` 一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),包括固定架組焊、軸,固定架組焊與電機安裝座組焊固連,電機安裝座組焊與減速機固連,減速機輸入端固連有電機,輸出端固連有主動輪,軸固連于安裝座上,安裝座一端固連有蓋板,另一端固連有從動輪,軸的兩端用軸承支撐于所述固定架組焊與活動塊上,并用壓蓋進行軸向定位,壓蓋與固定架組焊及活動塊固連,活動塊與固定架組焊固連,安裝座下方設(shè)有工件安裝臺,工件安裝臺下方固連有粘料板,粘料板下方粘有工件。
[0007]進一步的,工件安裝臺兩側(cè)都設(shè)有定位邊條,定位邊條固連于安裝座上,工件安裝臺的一側(cè)與安裝座之間設(shè)有頂塊,頂塊通過固連與安裝座上的螺釘將工件安裝臺頂緊。
[0008]進一步的,安裝座兩側(cè)都固連有擋邊,固定架組焊外部固連有護罩,護罩及擋邊共同起防護作用。
[0009]進一步的,從動輪與主動輪相嚙合,實現(xiàn)了工件的搖擺切割功能。
[0010]進一步的,固定架組焊上固連有兩個傳感器固定架,兩個傳感器固定架上分別裝有接近傳感器,從動輪上固連有傳感器檢測架,接近傳感器通過感應(yīng)搖擺的傳感器檢測架,實現(xiàn)工作臺搖擺角度的限定。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:
本發(fā)明的多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),結(jié)構(gòu)簡單,采用軸承支撐定位,滿足了搖擺切割對工作臺剛度和精度的要求,且拆裝方便,維護成本低,并可有效降低成本,提升切割效率,改善切片質(zhì)量。
[0012]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段,并可依照說明書的內(nèi)容予以實施,以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本發(fā)明的【具體實施方式】由以下實施例及其附圖詳細給出。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解,構(gòu)成本申請的一部分,本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明,并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當限定。在附圖中:
圖1為多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)的主體結(jié)構(gòu)軸向剖視示意圖;
圖2為多線切割機工作臺搖擺機構(gòu)的主體結(jié)構(gòu)徑向剖視示意圖。
[0014]圖中標號說明:1、固定架組焊;2、電機安裝座組焊;3、減速機;4、電機;5、主動輪;
6、安裝座;7、從動輪;8、軸;9、壓蓋;10、軸承;11、工件安裝臺;12、蓋板;13、粘料板;14、定位邊條;15、護罩;16、活動塊;17、擋邊;18、頂塊;19、傳感器固定架;20、接近傳感器;21、傳感器檢測架。
【具體實施方式】
[0015]下面將參考附圖并結(jié)合實施例,來詳細說明本發(fā)明。
[0016]參見圖1所示,一種多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),包括固定架組焊1、軸8,固定架組焊I與電機安裝座組焊2固連,電機安裝座組焊2與減速機3固連,減速機3輸入端固連有電機4,輸出端固連有主動輪5,軸8固連于安裝座6上,安裝座6 —端固連有蓋板12,另一端固連有從動輪7,軸8的兩端用軸承10支撐于固定架組焊I與活動塊16上,并用壓蓋9進行軸向定位,壓蓋9與固定架組焊I及活動塊16固連,活動塊16與固定架組焊I固連,安裝座6下方設(shè)有工件安裝臺11,工件安裝臺11下方固連有粘料板13,粘料板13下方粘有工件。
[0017]并且,工件安裝臺11兩側(cè)都設(shè)有定位邊條14,定位邊條14固連于安裝座6上,工件安裝臺11的一側(cè)與安裝座6之間設(shè)有頂塊18,頂塊18通過固連于安裝座6上的螺釘將工件安裝臺11頂緊。
[0018]此外,安裝座6兩側(cè)都固連有擋邊17,固定架組焊I外部固連有護罩15,護罩15及擋邊17共同起防護作用。
[0019]再者,從動輪7與主動輪5相嚙合,實現(xiàn)了工件的搖擺切割功能。
[0020]作為上述技術(shù)方案更進一步地優(yōu)化,固定架組焊I上固連有兩個傳感器固定架19,傳感器固定架19上分別裝有接近傳感器20,從動輪7上固連有傳感器檢測架21,接近傳感器20通過感應(yīng)搖擺的傳感器檢測架21,實現(xiàn)工作臺搖擺角度的限定。
[0021]綜上所述,本發(fā)明的多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),結(jié)構(gòu)簡單,采用軸承支撐定位,滿足了搖擺切割對工作臺剛度和精度的要求,且拆裝方便,維護成本低,并可有效降低成本,提升切割效率,改善切片質(zhì)量。
[0022]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已,并不用于限制本發(fā)明,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種多線切割機工作臺搖構(gòu)擺機,其特征在于:包括固定架組焊(I)、軸(8),所述固定架組焊(I)與電機安裝座組焊(2 )固連,所述電機安裝座組焊(2 )與減速機(3 )固連,所述減速機(3)輸入端固連有電機(4),輸出端固連有主動輪(5),所述軸(8)固連于安裝座(6)上,所述安裝座(6) —端固連有蓋板(12),另一端固連有從動輪(7),所述軸(8)的兩端用軸承(10)支撐于所述固定架組焊(I)與活動塊(16)上,并用壓蓋(9)進行軸向定位,所述壓蓋(9)與所述固定架組焊(I)及所述活動塊(16)固連,所述活動塊(16)與所述固定架組焊(I)固連,所述安裝座(6 )下方設(shè)有工件安裝臺(11 ),所述工件安裝臺(11)下方固連有粘料板(13),所述粘料板(13)下方粘有工件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),其特征在于:所述的工件安裝臺(11)兩側(cè)都設(shè)有定位邊條(14),所述定位邊條(14)固連于所述安裝座(6)上,所述工件安裝臺(11)的一側(cè)與所述安裝座(6)之間設(shè)有頂塊(18),所述頂塊(18)通過固連于所述安裝座(6 )上的螺釘將所述工件安裝臺(11)頂緊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),其特征在于:所述的安裝座(6)兩側(cè)都固連有擋邊(17),所述固定架組焊(I)外部固連有護罩(15),所述護罩(15)及所述擋邊(17)共同起防護作用。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),其特征在于:所述從動輪(7)與所述主動輪(5)相嚙合,實現(xiàn)了工件的搖擺切割功能。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機工作臺搖擺機構(gòu),其特征在于:所述固定架組焊(I)上固連有兩個傳感器固定架(19),兩個所述傳感器固定架(19)上分別裝有接近傳感器(20),所述從動輪(7)上固連有傳感器檢測架(21),所述接近傳感器(20)通過感應(yīng)搖擺的傳感器檢測架(21),實現(xiàn)工作臺搖擺角度的限定。
【文檔編號】B28D7/00GK103481386SQ201210189529
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2012年6月11日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月11日
【發(fā)明者】金萬斌, 李方俊, 李智, 周軍, 趙洋, 趙鵬 申請人:蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司
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