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一種多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層制備方法

文檔序號:1987482閱讀:352來源:國知局
專利名稱:一種多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于太陽能多晶硅鑄錠領(lǐng)域,涉及ー種多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層制備方法。
背景技術(shù)
根據(jù)2011年8月份Solarbuzz報告,55%的終端用戶裝機總?cè)萘渴腔诙嗑Ч杵?,說明多晶硅太陽能電池已經(jīng)占據(jù)了光伏市場大半壁江山。與單晶硅片相比,盡管多晶硅片的電池轉(zhuǎn)換效率比較低,但其生產(chǎn)成本遠(yuǎn)低于單晶硅片,考慮到成本和效益,目前大部分終端用戶均會選擇成本較低的多晶硅太陽能電池。多晶硅片制造過程中很重要的一個環(huán)節(jié)就是多晶硅鑄錠。多晶硅鑄錠過程是將外觀不規(guī)則的多晶硅原料盛放于坩堝中,在多晶硅鑄錠爐中實現(xiàn)加熱、熔化、長晶、退火、冷卻 等步驟,最終生長成形狀規(guī)則、晶粒較大的多晶硅錠。多晶硅鑄錠使用的坩堝是高純ニ氧化硅陶瓷坩堝,而多晶硅鑄錠是在高溫下完成的,為防止在高溫下ニ氧化硅與多晶硅料發(fā)生反應(yīng),引起多晶硅錠脫模困難、硅錠裂錠、氧含量増加等現(xiàn)象,人們一般在坩堝內(nèi)部涂覆ー層氮化硅涂層。氮化硅在高溫下(1900°C )性能穩(wěn)定、不與ニ氧化硅、硅發(fā)生反應(yīng),從而有效隔離了熔融硅與陶瓷坩堝,提高多晶硅錠的脫模能力,防止ニ氧化硅中的氧通過反應(yīng)、擴散到多晶硅錠中,避免坩堝對硅錠的污染。當(dāng)前,多晶硅鑄錠用坩堝涂層一般采用噴涂方式制備,即氮化硅與水按照一定的比例配置成懸浮液,用噴槍將懸浮液噴涂到方形陶瓷坩堝內(nèi)壁上,然后將噴涂好的坩堝放入烘箱中進行長時間高溫?zé)Y(jié)。這種方法制備簡單,成本低。因此,被廣泛采用。該エ藝過程中長時間高溫?zé)Y(jié)是ー個必須的過程,未經(jīng)高溫?zé)Y(jié)的涂層,涂層容易脫落、起泡,從而使多晶硅錠出現(xiàn)粘堝、開裂現(xiàn)象。長時間高溫?zé)Y(jié),一方面需要増加高溫?zé)Y(jié)設(shè)備;另一方面需要耗費大量的電能;再一方面還需要増加人工操作過程。從而使多晶硅鑄錠廠家的鑄錠成本大大增加。同時,即使經(jīng)過燒結(jié)的涂層粘附カ也較差,容易脫落、起泡,較容易造成硅錠粘堝、開裂現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題,提供一種多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層制備方法,使用該方法形成的氮化硅涂層與坩堝內(nèi)壁粘附力強,脫落、起泡的幾率低,提聞了多晶娃鑄淀的成品率,降低了鑄淀成本,提聞了生廣效率。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術(shù)解決方案是ー種多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層制備方法,其包括以下步驟
(I)懸濁液的配制
懸濁液是由以下材料制成的,按照重量百分比計算,15%_25%的氮化硅,70%-80%的去離子水和1%_5%的聚こ烯吡咯烷酮PVP ;將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌15-20分鐘使懸濁液均勻備用;
(2)涂層的制備
將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂,噴涂時,坩堝溫度控制在50 90°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在25-30cm之間,噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài);將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在70— 100°C的溫度下保溫O. 5-2小時。有益效果
由于本發(fā)明的涂層增添了聚こ烯吡咯烷酮PVP粘結(jié)劑,從而增強了氮化硅涂層的附著力,噴涂過程中粉塵明顯減少,増加了氮化硅的有效利用率,實現(xiàn)了坩堝涂層的免燒結(jié),從 而大大降低了生產(chǎn)及設(shè)備成本;涂層脫落、起泡的幾率明顯降低,提高了多晶硅鑄錠的成品率,提高了生產(chǎn)效率。從我們所做的多次實驗表明,使用本發(fā)明制備的坩堝涂層在制備過程中不易脫落、爆皮、起泡,卸錠時方便坩堝的脫落。本發(fā)明涂層的制備原材料和制備方法是根據(jù)涂層性能要求,經(jīng)過查閱大量文獻和做了大量的對比試驗得出的。在選擇添加材料上,必須遵守兩個原則1、與氮化硅溶液混合后,能夠提高氮化硅噴涂涂層的粘附能力;2、能夠在高溫分解,從而不影響硅錠的純度。 根據(jù)大量文獻的查閱比較,選用了聚こ烯醇PVA、聚こ烯醇縮丁醛PVB、聚こ烯吡咯烷酮PVP三種材料做實驗性能對比。經(jīng)實驗表明,PVA在室溫下不溶于水,在60-90°C的條件下,邊加熱邊攪拌,可與水完全溶解,水溫越高則溶解度越大,但幾乎不溶于有機溶劑;PVA加熱到100°C左右時,外觀逐漸發(fā)生變化,部分醇解的PVA在190°C左右開始熔化,200°C時發(fā)生分解;由于在室溫下,PVA不能夠與水很好配合,故不適合作為添加材料使用。PVB可以與ー些熱固型樹脂產(chǎn)生架橋反應(yīng)以提升耐化學(xué)藥品性及涂膜硬度等性能,并具有優(yōu)異的涂膜性、透明性、弾性、韌性、耐強堿、耐油性、可撓性與低溫耐沖擊性等性能,可配成多種粘合劑;·ΡνΒ不溶于水,與酒精可以在室溫下完全溶解,PVB、純凈水與酒精混合后,溶液變成乳白色并有大量的PVB重新析出,燒杯器壁上形成ー層薄膜;由于PVB與水互溶性很差,故不能作為添加材料使用。PVP是ー種具有粘度高、無毒環(huán)保等特點的固體膠;多組實驗證實攪拌前PVB漂浮在純凈水表面,攪拌后PVB與水完全溶解,高溫下,能夠分解為氣體,在鑄錠過程中被機械泵抽走,避免了對硅錠的污染,很適合作為添加材料使用。進ー步對其性能進行實驗
使用本發(fā)明的方法對坩堝涂覆涂層與使用傳統(tǒng)方法對坩堝涂覆涂層的性能和成本對比實驗
圖I是使用本發(fā)明方法噴涂后的掩膜板,圖2是使用傳統(tǒng)方法噴涂后的掩膜板,可以看出使用本發(fā)明方法形成的涂層,氮化硅幾乎沒有脫落,附著力明顯增強。表I是使用本發(fā)明方法形成涂層的坩堝II和使用傳統(tǒng)方法形成涂層的坩堝I的成本情況對照表,從表I可以看出使用本發(fā)明方法形成涂層的每個坩堝約節(jié)電330°左右。表I
I噴涂時長(min) I烘烤溫度CC) I烘烤時長(h) I所用設(shè)備I電能消耗
坩堝I 50-60_2°95_32_120kw電烘箱、旋轉(zhuǎn)加熱器330°
Jt禍 II |θ-60[70-10010.5-2ijg轉(zhuǎn)加熱器を-18。


圖I是使用本發(fā)明方法噴涂后的掩膜板;
圖2是使用傳統(tǒng)方法噴涂后的掩膜板。
具體實施例方式下面結(jié)合具體實施例對本明做進ー步的描述。實施例1,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免·燒結(jié)涂層的制備
(O懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,15%的氮化硅,80%的去離子水和5%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌20分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在50°C,以免涂層脫落或起泡,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在25cm之間,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài),如有水分未干區(qū)域,不可噴涂,可以稍等幾秒鐘,然后再操作;如果溫度過高,可停止加熱,待溫度降下后再噴。當(dāng)發(fā)現(xiàn)有較多粉末沉積到坩堝腳部時,可用氣槍小心吹出。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在70°C的溫度下保溫I小時。涂層附著力牢固,無氣泡、爆皮現(xiàn)象,卸錠時方便坩堝的脫落,免去了坩堝燒結(jié)過程,節(jié)約了鑄錠成本。實施例2,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層的制備
(I)懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,18%的氮化硅,79. 5%的去離子水和2. 5%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌15分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在60°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在30cm之間,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài)。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在80°C的溫度下保溫I. 5小時。實施例3,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層的制備
(I)懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,20%的氮化硅,78%的去離子水和2%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌16分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在70°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在28cm,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài)。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在90°C的溫度下保溫1. 3小時。實施例4,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層的制備
(I)懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,23%的氮化硅,75. 3%的去離子水和I. 7%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌 器內(nèi)進行攪拌,攪拌18分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在80°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在29cm,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài)。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在100°C的溫度下保溫O. 5小吋。實施例5,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層的制備
(I)懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,25%的氮化硅,74%的去離子水和1%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌17分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在90°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在27cm,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài)。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在75°C的溫度下保溫1. 2小時。實施例6,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層的制備
(I)懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,25%的氮化硅,70%的去離子水和5%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌19分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在75°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在26cm,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài)。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在85°C的溫度下保溫2小時。實施例7,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層的制備
(I)懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,24%的氮化硅,72%的去離子水和4%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌20分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在65°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在26. 5cm,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài)。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在95°c的溫度下保溫O. 8小時。實施例8,多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層的制備
(I)懸濁液的配制其由以下材料制成,按照重量百分比計算,22%的氮化硅,75%的去離子水和3%的聚こ烯吡咯烷酮PVP。將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚こ烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌16分鐘使懸濁液均勻備用。(2)涂層的制備將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂。噴涂時,坩堝溫度控制在85°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在27. 5cm,噴涂過程中盡力保持噴槍與噴涂面垂直,以Z字型走向或單向進行噴涂。噴涂過程中 隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài)。將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在88°C的溫度下保溫I. 8小時。
權(quán)利要求
1.一種多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層制備方法,其特征在于其包括以下步驟 (1)懸濁液的配制 懸濁液是由以下材料制成的,按照重量百分比計算,15%-25%的氮化硅,70%-80%的去離子水和1%_5%的聚乙烯吡咯烷酮PVP ;將所述量的去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將所述量的氮化硅緩緩加入去離子水中,快速攪拌15分鐘后再慢速攪拌15分鐘,然后將所述量的聚乙烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌15-20分鐘使懸濁液均勻備用; (2)涂層的制備 將坩堝放在旋轉(zhuǎn)加熱器上進行加熱,坩堝干燥后用上述所述懸濁液噴涂,噴涂時,坩堝溫度控制在50 90°C,噴槍與坩堝內(nèi)壁的噴涂距離控制在25-30cm之間,噴涂過程中隨時用點溫計測量坩堝內(nèi)涂層狀態(tài);將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在70— 100°C的溫度下保溫O. 5-2小時。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多晶硅鑄錠用陶瓷坩堝免燒結(jié)涂層制備方法,(1)懸濁液的配制懸濁液是由15%-25%的氮化硅,70%-80%的去離子水和1%-5%的聚乙烯吡咯烷酮PVP制成的;將去離子水倒入攪拌器內(nèi),再將氮化硅緩緩加入去離子水中,攪拌后,再將聚乙烯吡咯烷酮PVP置于攪拌器內(nèi)進行攪拌,攪拌15-20分鐘使懸濁液均勻。(2)涂層的制備將攪拌好的懸濁液噴涂到坩堝內(nèi)壁上,將噴涂完成后的坩堝常溫下晾干或者在旋轉(zhuǎn)加熱器上在70—100℃的溫度下保溫0.5-2小時。使用該方法形成的氮化硅涂層與坩堝內(nèi)壁粘附力強,脫落、起泡的幾率低,提高了多晶硅鑄錠的成品率,降低了鑄錠成本,提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號C04B41/85GK102850086SQ201210350069
公開日2013年1月2日 申請日期2012年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月20日
發(fā)明者劉曉兵, 吳紅霞, 賈嬌嬌, 金浩 申請人:光為綠色新能源股份有限公司
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