專利名稱：切割機(jī)自補(bǔ)償轉(zhuǎn)角裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種切割機(jī)的轉(zhuǎn)角傳動(dòng)裝置，特別是一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、工作性能可靠的切割機(jī)用剖分蝸輪轉(zhuǎn)角裝置。它適用于切割機(jī)平臺(tái)切割轉(zhuǎn)角裝置的補(bǔ)償，也可用于其它同類設(shè)備的轉(zhuǎn)角裝置的自補(bǔ)償。
背景技術(shù)：
砂輪切割機(jī)是加工各種半導(dǎo)體等圓晶基片及其他類似基片的專用切割設(shè)備，它是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中一個(gè)重要的裝備，主要用于半導(dǎo)體芯片、熱敏電阻、B超換能頭、太陽能電池等產(chǎn)品的加工。砂輪切割機(jī)是利用微細(xì)顆粒金剛石粉末制成的厚度最小為O. 02mm的薄片砂輪刀，在O. I 400m/s的切割線速度下，使砂輪刀片沿被切件的分割線切進(jìn)。有的只切進(jìn)硅片厚度的一半，然后再采用人工掰斷的方法分開，也有采用切透整個(gè)硅片厚度的方法分開。在工控機(jī)控制下的X、Y、Ζ、Θ四個(gè)方向微電機(jī)的精密驅(qū)動(dòng)下，通過X、Y、Z向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)以及Θ向360°的轉(zhuǎn)動(dòng)，按照預(yù)設(shè)的尺寸將大晶圓分割，從而得到單個(gè)的小管芯。Θ 向的轉(zhuǎn)動(dòng)精確與否決定所切工件形狀的準(zhǔn)確與否。切割機(jī)工作時(shí)，Θ向的轉(zhuǎn)動(dòng)精確，是一個(gè)很重要的定位指標(biāo)。如果這個(gè)指標(biāo)的誤差過大，就會(huì)影響切割的加工尺寸，還會(huì)增加制造成本和操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。
目前切割機(jī)上采用普通蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)角裝置，通常是蝸輪齒槽的一個(gè)側(cè)面與蝸桿齒槽的一個(gè)相應(yīng)側(cè)面嚙合，這樣就造成運(yùn)行一段時(shí)間以后齒槽側(cè)面發(fā)生磨損，當(dāng)蝸桿帶動(dòng)蝸輪反轉(zhuǎn)時(shí)就會(huì)產(chǎn)生一定的空程量，當(dāng)空程量隨齒槽磨損程度逐漸增大，轉(zhuǎn)角就會(huì)出現(xiàn)誤差，而且工作臺(tái)在工作中會(huì)產(chǎn)生抖動(dòng)，致使加工精度降低，加工質(zhì)量下降，結(jié)果是產(chǎn)品合格率下降，生產(chǎn)成本增加。為解決類似問題，專利公告號(hào)為CN2823688Y的“軋輥磨床用剖分蝸輪”提出利用剖分蝸輪進(jìn)行自補(bǔ)償，但其在結(jié)構(gòu)上存在以下缺陷首先，上蝸輪與下蝸輪的周面共同為蝸輪齒面，但從該專利公開附圖中可以看到上述的蝸輪齒面360°范圍內(nèi)并不全是上蝸輪與下蝸輪的周面組合，即該蝸輪在其連接結(jié)構(gòu)處只有下蝸輪的周面與蝸桿接觸，故該蝸輪不能在旋轉(zhuǎn)360°范圍內(nèi)均可達(dá)到自補(bǔ)償目的，只能做小角度調(diào)整。一旦該蝸輪旋轉(zhuǎn)到其連接結(jié)構(gòu)處，就只有下蝸輪齒與蝸桿接觸，剖分蝸輪就起不到補(bǔ)償作用；第二，其連接結(jié)構(gòu)實(shí)質(zhì)上為壓縮彈簧，該壓縮彈簧一端壓裝于上蝸輪周面卡口，另一端壓裝在與下蝸輪連接的銷柱上，在壓縮彈簧壓力的作用下，機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)到連接結(jié)構(gòu)處時(shí)，上下蝸輪齒極易錯(cuò)開，機(jī)構(gòu)無法轉(zhuǎn)回到正確的嚙合位置；另外，該剖分蝸輪的自補(bǔ)償是通過三組壓縮彈簧頂緊來實(shí)現(xiàn)的。壓縮彈簧易失穩(wěn)，工作中任意一組壓縮彈簧彎曲失穩(wěn)，都會(huì)造成機(jī)構(gòu)抖動(dòng)，影響轉(zhuǎn)角精度及加工精度，故其穩(wěn)定性不好，仍需進(jìn)一步改進(jìn)。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、工作性能可靠的切割機(jī)用自補(bǔ)償蝸輪轉(zhuǎn)角裝置，從根本上解決現(xiàn)有切割上使用的蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)存在的易磨損、震動(dòng)大、致使切割機(jī)轉(zhuǎn)角精度及加工精度低等問題，使蝸桿與蝸輪嚙合時(shí)不會(huì)出現(xiàn)空程量，使切割機(jī)的轉(zhuǎn)角長期保持聞精度，提聞機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性，從而提聞了廣品的合格率，降低了生廣成本。
本發(fā)明的技術(shù)方案是該切割機(jī)用自補(bǔ)償蝸輪轉(zhuǎn)角裝置包括組裝在中心軸上的剖分蝸輪及與剖分蝸輪相互嚙合的蝸桿，其技術(shù)要點(diǎn)是剖分蝸輪的下蝸輪的凸臺(tái)上套裝有上蝸輪，所述上、下蝸輪的周面完整且分別構(gòu)成所述剖分蝸輪的上、下齒面，分別與所述蝸桿同一齒槽的左右齒面緊密接觸，所述剖分蝸輪內(nèi)部嵌裝有拉伸彈簧，所述拉伸彈簧兩端分別與上、下蝸輪連接，所述上、下蝸輪端面壓靠在一起并利用螺釘限制其相對(duì)周向位移。
所述剖分蝸輪與所述中心軸之間設(shè)置深溝球軸承，所述剖分蝸輪上、下端面處分別設(shè)置小、大推力軸承，所述小推力軸承上端面設(shè)有鎖緊螺母。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和所產(chǎn)生的積極的技術(shù)效果是本發(fā)明利用拉伸彈簧拉緊帶動(dòng)上、 下蝸輪的齒面分別與蝸桿齒槽的左、右齒面靠緊，這樣就保證了蝸桿與蝸輪嚙合的零間隙， 消除間隙也就消除了蝸輪反轉(zhuǎn)時(shí)的空程量，它結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，性能安全可靠，從根本上解決了現(xiàn)有切割上使用的蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)存在的易磨損、震動(dòng)大、致使切割機(jī)轉(zhuǎn)角精度及加工精度低等問題，對(duì)切割機(jī)的切割質(zhì)量提供了可靠的作業(yè)保障，而且降低了維修成本，明顯延長切割機(jī)的使用壽命，顯著提高工作效率和減少維護(hù)人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。采用拉伸彈簧來實(shí)現(xiàn)剖分蝸輪的自補(bǔ)償?shù)墓δ埽牙鞆椈设偳对谄史治佪喌膬?nèi)部，這樣就可以360°任意旋轉(zhuǎn)，蝸輪不會(huì)出現(xiàn)補(bǔ)償失效的問題。在安裝時(shí)，上、下蝸輪利用螺釘來限位，保證上、下蝸輪之間不會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)齒，保證了轉(zhuǎn)角機(jī)構(gòu)的可靠性、穩(wěn)定性。其合理的設(shè)計(jì)提高了產(chǎn)品的合格率,降低了生產(chǎn)成本。
以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
圖I是本發(fā)明裝于中心軸上的軸向剖視圖。
圖2是本發(fā)明裝于中心軸上的俯視圖。
圖中序號(hào)說明1上蝸輪、2下蝸輪、3軸承壓蓋、4鎖緊螺母、5中心軸、6小推力軸承、7深溝球軸承、8墊片、9螺釘、10大推力軸承、11蝸桿、12拉伸彈簧。
具體實(shí)施方式
根據(jù)

圖1-2詳細(xì)描述本發(fā)明。本發(fā)明包括組裝在中心軸5上的剖分蝸輪及與剖分蝸輪相互嚙合的蝸桿11、軸承、鎖緊螺母4等。其中剖分蝸輪由上蝸輪I和下蝸輪2兩部分組成，下蝸輪2的凸臺(tái)上套裝上蝸輪1，上、下蝸輪1、2的周面完整且分別構(gòu)成剖分蝸輪的上、下齒面，其上、下齒面分別與蝸桿11同一齒槽的左右齒面緊密接觸，為保證剖分蝸輪的自補(bǔ)償，消除蝸輪反轉(zhuǎn)時(shí)的空程量，特別在剖分蝸輪內(nèi)部嵌裝有拉伸彈簧12，如圖2所示， 拉伸彈簧12兩端分別與上、下蝸輪1、2連接。安裝時(shí)，將上、下蝸輪1、2端面壓靠在一起并利用螺釘9限制其相對(duì)周向位移。組裝好后，將剖分蝸輪套裝在中心軸5上，且在剖分蝸輪與中心軸5之間設(shè)置深溝球軸承7，保證旋轉(zhuǎn)順暢在剖分蝸輪上、下端面處分別設(shè)置小、大推力軸承6、10，小推力軸承6上端面設(shè)有鎖緊螺母4。如圖I所示，在小推力軸承6與深溝球軸承7和下蝸輪2之間設(shè)置軸承壓蓋3，在大推力軸承10與下蝸輪2之間設(shè)置墊片8。
權(quán)利要求
1.一種切割機(jī)用自補(bǔ)償轉(zhuǎn)角裝置，包括組裝在中心軸上的組裝式蝸輪及與組裝式蝸輪相互咬合的蝸桿，其特征在于所述組裝式蝸輪的下蝸輪的凸臺(tái)上套裝有上蝸輪，所述上、下蝸輪的周面完整且分別構(gòu)成組裝式蝸輪的上、下齒面，分別與蝸桿同一齒槽的左右齒面緊密接觸，所述組裝式剖分蝸輪內(nèi)部嵌裝有拉伸彈簧，拉伸彈簧兩端分別與上、下蝸輪連接，所述上、下蝸輪端面壓靠在一起并利用螺釘限制其相對(duì)周向位移。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的切割機(jī)用自補(bǔ)償轉(zhuǎn)角裝置，其特征還在于，所述組裝式蝸輪與所述中心軸之間設(shè)置深溝球軸承，所述組裝式蝸輪上、下端面分別設(shè)置大、小推力軸承，所述小推力軸承上端面設(shè)有鎖緊螺母。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種切割機(jī)自補(bǔ)償轉(zhuǎn)角裝置，解決現(xiàn)有切割機(jī)上使用蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)存在的易磨損、震動(dòng)大致使切割機(jī)轉(zhuǎn)角精度及加工精度低的問題，它包括組裝在中心軸上的組裝式蝸輪及與組裝式蝸輪相互咬合的蝸桿，其技術(shù)要點(diǎn)是組裝式蝸輪的下蝸輪的凸臺(tái)上套裝有上蝸輪，上、下蝸輪的周面完整且分別構(gòu)成組裝式蝸輪的上、下齒面，分別與蝸桿同一齒槽的左右齒面緊密接觸，剖分蝸輪內(nèi)部嵌裝有拉伸彈簧，拉伸彈簧兩端分別與上、下蝸輪連接，上、下蝸輪端面壓靠在一起并利用螺釘限制其相對(duì)周向位移；其對(duì)切割機(jī)的切割質(zhì)量提供了可靠的作業(yè)保障，同時(shí)提高了產(chǎn)品的合格率，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B28D5/02GK102975105SQ20121048728
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月26日
發(fā)明者孟博 申請(qǐng)人:天津工業(yè)大學(xué)