專利名稱:粘棒工裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及晶體加工領(lǐng)域,尤其是一種粘棒工裝。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石是襯底材料,目前能用于生產(chǎn)的襯底有藍(lán)寶石Al2O3襯底、碳化硅SiC襯底以及Si襯底。隨著以藍(lán)寶石為襯底的高亮度LED的應(yīng)用范圍越來越廣,白光LED進(jìn)入家庭將逐步取代傳統(tǒng)照明。LED發(fā)光材料GaN的外延生長(zhǎng)對(duì)襯底的要求具有極強(qiáng)的方向性,不同方向的襯底外延生長(zhǎng)的GaN薄膜結(jié)晶質(zhì)量差異性較大,發(fā)光效率也各不相同,所以在LED襯底加工切割時(shí),必須選擇合適的方向進(jìn)行切割,尤其當(dāng)幾根晶棒同時(shí)切割時(shí),必須設(shè)計(jì)合適的工裝將晶向存在偏差的晶棒調(diào)整到晶向一致進(jìn)行切割,而目前的切割多是單根晶棒切割來保證晶向,設(shè)備利用率差,產(chǎn)能低下。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:提供一種粘棒工裝。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種粘棒工裝,包括包括基座、擋板、定位螺絲和導(dǎo)軌,所述的定位螺絲垂直安裝在所述的擋板上,定位螺絲平行于所述的基座。進(jìn)一步的說,本實(shí)用新型所述的擋板為形變小的鑄鐵或不銹鋼。所述的基座為形變小的金屬材質(zhì)的長(zhǎng)方體平臺(tái),所述的金屬材質(zhì)基座平臺(tái)為鑄鐵或者不銹鋼。再進(jìn)一步的說,本實(shí)用新型所述的定位螺絲數(shù)量不少于4個(gè),定位螺絲處于相同高度,所述的定位螺絲帶有刻度,最小刻度為I微米。本實(shí)用新型的有益效果是,解決了背景技術(shù)中存在的缺陷,定位螺絲平行于基座,能夠保證多根晶體在切割時(shí)保證晶向的一致性。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
圖1是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖中:1、連接桿;2、滑塊;3、導(dǎo)軌;4、千分表;5、基座;6、擋板;7、定位螺絲。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖,僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。如
圖1所不的一種晶棒的一種粘棒工裝,包括基座5、擋板6、定位螺絲7、導(dǎo)軌3、連接桿1、千分表4和滑塊2,兩塊擋板固定在基座上,基座為800mmX 300mmX 20mm的鑄鐵,擋板為800mmX 150mmX20mm的不銹鋼,兩根處于基座同一平面且固定在基座上的導(dǎo)軌間距250mm,通過連接桿將千分表連接在導(dǎo)軌的滑塊上。8顆定位螺絲垂直安裝在擋板上,定位螺絲平行于基座。定位螺絲處于相同高度,帶有刻度,最小刻度為I微米,為螺旋測(cè)微器制備。以上說明書中描述的只是本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
,各種舉例說明不對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容構(gòu)成限制,所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在閱讀了說明書后可以對(duì)以前所述的具體實(shí)施方式
做修改或變形,而不背離實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和范圍。
權(quán)利要求1.一種粘棒工裝,包括基座、擋板、定位螺絲和導(dǎo)軌,其特征在于:所述的定位螺絲垂直安裝在所述的擋板上,定位螺絲平行于所述的基座。
2.如權(quán)利要求1所述的粘棒工裝,其特征在于:所述的定位螺絲數(shù)量不少于4個(gè),定位螺絲處于相同高度,所述的定位螺絲帶有刻度,最小刻度為I微米。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種粘棒工裝,包括基座、擋板、定位螺絲和導(dǎo)軌,所述的定位螺絲垂直安裝在所述的擋板上,定位螺絲平行于所述的基座。采用本實(shí)用新型能夠保證多根晶體在切割時(shí)保證晶向的一致性。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202936516SQ20122013877
公開日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2012年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月1日
發(fā)明者儲(chǔ)耀卿, 石劍舫, 王善建, 石曉鑫, 朱文超 申請(qǐng)人:江蘇鑫和泰光電科技有限公司