專利名稱:晶面定向檢測粘接臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型屬于晶棒加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種晶面定向檢測粘接臺。
背景技術(shù):
晶棒在加工呈標準尺寸的圓柱體后,需要在圓柱的側(cè)面加工一道與晶棒結(jié)晶體的結(jié)晶面平行的晶面,在加工晶面前需要在晶棒的側(cè)面進行晶面的準確定位,并將晶棒粘牢在V形基座上,最后將V形基座送到磨面機上,在晶棒的定位點處加工出晶面。由于缺少專用的晶面檢測和粘結(jié)設(shè)備,晶棒的結(jié)晶面尋找和固定工作較困難。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中晶棒的結(jié)晶面難于尋找和固定的問題,提供一種晶面定向檢測粘接臺,其技術(shù)方案是一種晶面定向檢測粘接臺,主要由工作臺,工作臺周邊安裝的圍板組成,該工作臺安裝有電源、檢測粘接裝置和信號顯示屏,檢測粘接裝置安裝在工作臺臺面的一端,信號顯示屏安裝在工作臺臺面的另一端,檢測粘接裝置由檢測裝置和粘接裝置兩部分組成,粘接裝置包括支架、固定條、固定座和V形基座,支架固定在工作臺臺面上,支架上端面中部安裝固定座,固定座的兩端用固定條固定,V形基座安裝在固定座上,兩端用固定條固定,晶棒安裝在V形基座的V形槽內(nèi),檢測裝置安裝在支架后端的固定板上,由X射線管、定位針和射線信號接收器組成,定位針安裝在固定板的中部,定位針下方正對晶棒側(cè)面上方,固定板的一端安裝X射線管,X射線管發(fā)出的射線指向定位針正下方晶棒的側(cè)面,射線信號接收器安裝在固定板的另一端、X射線被晶棒反射的反射線上,射線信號接收器與信號顯示屏連接,電源分別與X射線管、射線信號接收器和信號顯示屏連接。采用上述技術(shù)方案檢測和固定晶棒的晶面時,先將晶棒放置在V形基座上,將V形基座放置在定位針下固定,定位針正對晶棒側(cè)面上點,打開X射線管、射線信號接收器和信號顯示屏,轉(zhuǎn)動晶棒,使晶棒的反射信號達到最大值,此時定位針所指的點下方的平面即為晶棒的晶面,此時在晶棒與V形基座的接觸面上涂膠,將晶棒固定在膠面上,微微轉(zhuǎn)動晶棒保持晶面垂直定位針,將晶棒粘緊在V形基座上,晶面的檢測和粘接工作即完成。本技術(shù)方案具有簡便、快速和準確的優(yōu)點。
圖I為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
實施例一種晶面定向檢測粘接臺,主要由工作臺1,工作臺I周邊安裝的圍板3組成,該工作臺I上安裝有電源6、檢測粘接裝置和信號顯示屏7,檢測粘接裝置安裝在工作臺I臺面的一端,信號顯示屏7安裝在工作臺臺面的另一端,檢測粘接裝置由檢測裝置和粘接裝置兩部分組成,粘接裝置包括支架2、固定條11、固定座13和V形基座12,支架2固定在工作臺I臺面上,支架上端面中部安裝固定座13,固定座13的兩端用固定條11固定,V形基座12安裝在固定座13上,兩端用固定條11固定,晶棒10安裝在V形基座12的V形槽內(nèi),檢測裝置安裝在支架2后端的固定板4上,由X射線管5、定位針9和射線信號接收器8組成,定位針9安裝在固定板4的中部,定位針下方正對晶棒10側(cè)面上方,固定板4的一端安裝X射線管5,X射線管發(fā)出的射線指向定位針下方晶棒的側(cè)面,射線信號接收器8安 裝在固定板4的另一端、X射線被晶棒反射的反射線上,射線信號接收器8與信號顯示屏7連接,電源6分別與X射線管5、射線信號接收器8和信號顯示屏7連接。
權(quán)利要求1.晶面定向檢測粘接臺,主要由工作臺(1),工作臺周邊安裝的圍板(3)組成,其特征在干該工作臺還包括有工作臺上安裝有電源(6)、檢測粘接裝置和信號顯示屏(7),檢測粘接裝置安裝在工作臺(I)臺面的一端,信號顯示屏(7)安裝在工作臺臺面的另一端,檢測粘接裝置由檢測裝置和粘接裝置兩部分組成,粘接裝置包括支架(2)、固定條(11)、固定座(13)和V形基座(12),支架(2)固定在工作臺(I)臺面上支架上端面中部安裝固定座(13),固定座的兩端用固定條(11)固定,V形基座(12)安裝在固定座(13)上,兩端用固定條(11)固定,晶棒(10)安裝在V形基座(12)的V形槽內(nèi),檢測裝置安裝在支架(2)后端的固定板(4)上,由X射線管(5)、定位針(9)和射線信號接收器(8)組成,定位針(9)安 裝固定板(4)的中部,定位針下方正對晶棒(10)側(cè)面上方,固定板(4)的一端安裝X射線管(5),X射線管發(fā)出的射線指向定位針下方晶棒的側(cè)面,射線信號接收器(8)安裝在固定板(4)的另一端、X射線被晶棒反射的反射線上,射線信號接收器(8)與信號顯示屏(7)連接,電源(6)分別與X射線管(5)、射線信號接收器(8)和信號顯示屏(7)連接。
專利摘要晶面定向檢測粘接臺,主要由工作臺,工作臺周邊安裝的圍板,工作臺上安裝有電源、檢測粘接裝置和信號顯示屏組成,檢測粘接裝置由檢測裝置和粘接裝置兩部分組成,粘接裝置包括支架、固定條、固定座和V形基座,檢測裝置安裝在支架后端的固定板上,由X射線管、定位針和射線信號接收器組成,射線信號接收器安裝在固定板的另一端、X射線被晶棒反射的反射線上。使用時,先將晶棒放置在V形基座上,將V形基座定位在固定座上,定位針正對晶棒側(cè)面上點,打開X射線管,轉(zhuǎn)動晶棒,使晶棒的反射信號達到最大值,此時在晶棒與V形基座的接觸面上涂膠,將晶棒壓緊在膠面上,晶面的檢測和粘接工作即完成。
文檔編號B28D5/00GK202607854SQ20122021476
公開日2012年12月19日 申請日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月14日
發(fā)明者吳康, 王紹鴻, 白連偉 申請人:云南藍晶科技股份有限公司