專利名稱：一種單晶硅切斷用的裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種單晶硅切斷用的裝置。
背景技術：
隨著單晶硅片價格的急劇下降，單晶硅片加工的利潤空間也在不斷下降，所以需要考慮在單晶硅加工的每個環(huán)節(jié)上降低成本。在硅棒切斷工序，常規(guī)的工藝是按照后道加工長度規(guī)格先用油性筆劃線，再用帶鋸截斷，僅靠手工劃線和肉眼確定帶鋸位置，切斷后的娃棒長度偏差較大，一般為±3mm,到切片工序后由于娃棒長度的偏差,金剛石線在切割時會出現(xiàn)拉空現(xiàn)象，造成成本浪費，不利于降低加工成本。為了降低成本，提高硅棒長度精度尤其重要。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種單晶硅切斷用的裝置，簡單實用，操作簡單，精度·高，降低了單晶硅加工成本。實現(xiàn)本實用新型的技術方案是一種單晶硅切斷用的裝置，其特征由一邊固定于切割機頭內(nèi)側(cè)面的直角尺和一個滑動直尺組成，滑動直尺垂直套在直角尺帶刻度邊上，通過螺釘固定，其中直角尺帶刻度一邊要求高于硅棒上邊沿，所述裝置通過螺釘固定在帶鋸切表I]機頭內(nèi)側(cè)面。本實用新型簡單實用，可以有效保障切斷后單晶硅棒的長度精度，將偏差縮小至±0. 2_，大大減少了切片時金剛石線拉空的幾率，降低了加工成本。

圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖I所示，本裝置類似一個游標卡尺，包括一個直角尺1，直角尺一邊通過兩枚螺釘固定于帶鋸4切割機3內(nèi)側(cè)，直角尺I帶刻度一邊上套有一個垂直于此邊且可以滑動的直尺2，通過螺釘來固定位置。當裝置好硅棒6準備切割時，調(diào)節(jié)好滑動直尺2的位置，此位置刻度=直角尺固定邊到帶鋸的距離一規(guī)格要求長度，然后用螺釘固定好位置；每次放置硅棒時，硅棒斷面直接接觸到直尺面即可用夾緊裝置5固定，這樣就能很好地保證規(guī)格要求的長度精度。
權利要求1.一種單晶硅切斷用的裝置，其特征是由一邊固定于帶鋸(4)切割機頭(3)內(nèi)側(cè)面的直角尺(I)和一個滑動直尺(2)組成，滑動直尺(2)垂直套在直角尺(I)帶刻度邊上，通過螺釘固定，其中直角尺(I)帶刻度邊高于硅棒(6)上邊沿，所述裝置通過螺釘固定在帶鋸切割機頭內(nèi)側(cè)面。
專利摘要本實用新型提供一種單晶硅切斷用的裝置，所述裝置通過螺釘固定在帶鋸切割機頭內(nèi)側(cè)面，它由一邊固定于切割機頭內(nèi)側(cè)面的直角尺和一個可以滑動的直尺組成，直尺垂直套在直角尺帶刻度邊上，通過螺釘固定。本實用新型可以有效保障切斷后單晶硅棒的長度精度，可以將偏差縮小至±0.2mm，大大減少了切片時金剛石線拉空的幾率，降低了加工成本。
文檔編號B28D5/04GK202592558SQ20122023458
公開日2012年12月12日 申請日期2012年5月23日 優(yōu)先權日2012年5月23日
發(fā)明者郭櫻花, 張素敏, 劉秦, 吳凱 申請人:陜西西京電子科技有限公司