專利名稱：半導(dǎo)體晶棒成型缸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，涉及晶棒成型機(jī)部件，具體地說是涉及半導(dǎo)體晶棒成型缸。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，由于晶棒的成型是原料放置在玻璃管中，在搖擺加熱爐中搖擺成型的，這樣的晶棒具有晶粒產(chǎn)率低，材料浪費(fèi)嚴(yán)重的缺點(diǎn)、還增加了生產(chǎn)成本、具有使用不便 的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對上述缺點(diǎn)，提供一種部件——半導(dǎo)體晶棒成型缸，這種部件安裝在成型機(jī)上具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費(fèi)、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的半導(dǎo)體晶棒成型缸，其特征是包括成型缸本體，所述的成型缸本體是側(cè)邊連通有抽真空管、外面設(shè)置有加熱管，所述的成型缸本體是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步的講，所述的成型缸本體是陶瓷制成的。進(jìn)一步的講，所述的腔體截面是方形結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果是這樣的半導(dǎo)體晶棒成型缸可以安裝在成型機(jī)上，使這樣的成型機(jī)具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費(fèi)、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點(diǎn)。

圖I是本實(shí)用新型半導(dǎo)體晶棒成型缸的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、成型缸本體2、抽真空管3、腔體結(jié)構(gòu)4、加熱管。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。如圖I所示，半導(dǎo)體晶棒成型缸，其特征是包括成型缸本體1，所述的成型缸本體I是側(cè)邊連通有抽真空管2、外面設(shè)置有加熱管4，所述的成型缸本體I是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體結(jié)構(gòu)3。進(jìn)一步的講，所述的成型缸本體是陶瓷制成的。進(jìn)一步的講，所述的腔體截面是方形結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求1.半導(dǎo)體晶棒成型缸，其特征是包括成型缸本體，所述的成型缸本體是側(cè)邊連通有抽真空管、外面設(shè)置有加熱管，所述的成型缸本體是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體的結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體晶棒成型缸，其特征是所述的成型缸本體是陶瓷制成的。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的半導(dǎo)體晶棒成型缸，其特征是所述的腔體截面是方形結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，涉及晶棒成型機(jī)部件，是半導(dǎo)體晶棒成型缸，它包括成型缸本體，所述的成型缸本體是側(cè)邊連通有抽真空管、外面設(shè)置有加熱管，所述的成型缸本體是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體的結(jié)構(gòu)，所述的成型缸本體是陶瓷制成的，所述的腔體截面是方形結(jié)構(gòu)，這樣的半導(dǎo)體晶棒成型缸可以安裝在成型機(jī)上，使這樣的成型機(jī)具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費(fèi)、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B28B3/00GK202685051SQ201220315579
公開日2013年1月23日 申請日期2012年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月15日
發(fā)明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司