專利名稱：硅產(chǎn)品加工治具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型硅材料產(chǎn)品的制造領(lǐng)域，尤其是適用于涉及一種硅產(chǎn)品加工治具。
背景技術(shù)：
硅產(chǎn)品是半導(dǎo)體設(shè)備中的重要部件，精度要求較高，生產(chǎn)成本較高，目前主要應(yīng)用于高端半導(dǎo)體生產(chǎn)中，國際上只有3家工廠加工，加工難度很高?，F(xiàn)有技術(shù)中，由于硅產(chǎn)品容易產(chǎn)生劃傷等不良問題，通用加工方法是將硅產(chǎn)品用石蠟粘結(jié)在工作平臺上，這樣角度容易出現(xiàn)不良，硅產(chǎn)品較薄、較長，粘蠟時容易產(chǎn)生劃傷和斷裂，加工過程中也容易斷裂，角度不準(zhǔn)確等問題，國際上加工廠商都采用粘蠟的方法加工，質(zhì)量不穩(wěn)定，出現(xiàn)劃傷、缺口和尺寸不良現(xiàn)象較多。由于硅產(chǎn)品無法返工，出現(xiàn)這些不良現(xiàn)象而報(bào)廢，損失比較大。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有硅產(chǎn)品加工過程中容易出現(xiàn)劃傷、尺寸不良和缺口的問題，本實(shí)用新型提供一種質(zhì)量穩(wěn)定可靠、操作難度低，產(chǎn)品合格率高的硅產(chǎn)品加工治具。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是硅產(chǎn)品加工治具，其特征在于包括壓板機(jī)構(gòu)、產(chǎn)品支撐墊板、角度調(diào)整棒、角度調(diào)整支撐棒、產(chǎn)品支撐棒、治具主體、鋁板和定位檔塊，所述治具主體固定在所述鋁板上，所述治具主體的兩端邊緣分別設(shè)有所述定位擋塊，所述壓板機(jī)構(gòu)一端與所述鋁板連接，另一端通過螺釘固定在所述治具主體上；所述壓板機(jī)構(gòu)包括壓板和防護(hù)墊片，所述防護(hù)墊片粘貼在所述壓板下方；所述治具主體內(nèi)部設(shè)有所述產(chǎn)品支撐棒、角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒，所述的產(chǎn)品支撐板設(shè)在所述角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒上方。進(jìn)一步，所述壓板機(jī)構(gòu)設(shè)有多個。進(jìn)一步，所述治具主體內(nèi)部分別對應(yīng)設(shè)有放置所述產(chǎn)品支撐棒、角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒的槽。進(jìn)一步，所述治具主體上設(shè)有用于固定連接所述壓板機(jī)構(gòu)對應(yīng)的螺紋孔。進(jìn)一步，所述鋁板設(shè)有與所述壓板機(jī)構(gòu)一端對應(yīng)連接的插口。本實(shí)用新型所述的治具主體，根據(jù)不同的產(chǎn)品，用角度調(diào)整棒，使產(chǎn)品調(diào)整不同的角度，使所加工產(chǎn)品的加工部位調(diào)整水平狀態(tài)，加工難度大大降低，也能保證產(chǎn)品加工尺寸。本實(shí)用新所述的定位擋板，控制產(chǎn)品放置位置，并作為加工基準(zhǔn)。本實(shí)用新型所述的壓板和防護(hù)墊片能使產(chǎn)品很好的固定，并防止硅產(chǎn)品劃傷。本實(shí)用新型考慮到硅產(chǎn)品與別的材料接觸污染和變形等問題，所述的治具主體、產(chǎn)品支撐墊板和定位擋塊為整個治具的核心部分，起到硅產(chǎn)品定位和加工角度作用，均采用石墨材料制成。所述防護(hù)墊片考慮到產(chǎn)品劃傷等問題常用工程塑料制成。本實(shí)用新型使用時，將需要加工的硅產(chǎn)品放置在組裝好的治具上，將硅產(chǎn)品與定位擋塊安裝好，并使產(chǎn)品與治具主體對應(yīng)的產(chǎn)品支撐棒、角度調(diào)整支撐棒與角度調(diào)整棒的槽精密結(jié)合，用壓板和防護(hù)墊片將硅產(chǎn)品固定在治具主體上，對整個治具的位置度進(jìn)行調(diào)整，使其達(dá)到要求的位置即可。本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在I、通過采用加工治具操作，解決了硅產(chǎn)品加工時降低了加工難度，并提高了加工精度；2、通過采用加工治具產(chǎn)品加工，解決了加工難度的問題；3、通過采用加工治具，解決了產(chǎn)品加工過程中粘蠟和脫蠟時造成的劃傷和斷裂的問題；4、本實(shí)用新型具有硅產(chǎn)品加工尺寸一次性合格，大大提高產(chǎn)品合格率，降低生產(chǎn)成本，可廣泛用于硅產(chǎn)品加工的生產(chǎn)線上。

圖I是本實(shí)用新型硅產(chǎn)品加工治具的截面圖。圖2是本實(shí)用新型硅產(chǎn)品加工治具的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型治具主體的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參照圖I至圖3，硅產(chǎn)品加工治具，其特征在于包括壓板機(jī)構(gòu)、產(chǎn)品支撐墊板3、角度調(diào)整棒5、角度調(diào)整支撐棒6、產(chǎn)品支撐棒7、治具主體8、鋁板9和定位檔塊10，所述治具主體8固定在所述鋁板9上，所述治具主體8的兩端邊緣分別設(shè)有所述定位擋塊10，所述壓板機(jī)構(gòu)一端與所述鋁板9連接，另一端通過螺釘固定在所述治具主體8上；所述壓板機(jī)構(gòu)包括壓板4和防護(hù)墊片2，所述防護(hù)墊片2粘貼在所述壓板4下方；所述治具主體8內(nèi)部設(shè)有所述產(chǎn)品支撐棒7、角度調(diào)整棒5和角度調(diào)整支撐棒6，所述的產(chǎn)品支撐板3設(shè)在所述角度調(diào)整棒5和角度調(diào)整支撐棒6上方。進(jìn)一步，所述壓板機(jī)構(gòu)設(shè)有多個。進(jìn)一步，所述治具主體8內(nèi)部分別對應(yīng)設(shè)有放置所述產(chǎn)品支撐棒7、角度調(diào)整棒5和角度調(diào)整支撐棒6的槽。進(jìn)一步，所述治具主體8上設(shè)有用于固定連接所述壓板機(jī)構(gòu)對應(yīng)的螺紋孔11。進(jìn)一步，所述鋁板9設(shè)有與所述壓板機(jī)構(gòu)一端對應(yīng)連接的插口。本實(shí)用新型所述的治具主體8，根據(jù)不同的產(chǎn)品，用角度調(diào)整棒5，使產(chǎn)品調(diào)整不同的角度，使所加工產(chǎn)品的加工部位調(diào)整水平狀態(tài)，加工難度大大降低，也能保證產(chǎn)品加工尺寸。本實(shí)用新所述的定位擋板10，控制產(chǎn)品放置位置，并作為加工基準(zhǔn)。本實(shí)用新型所述的壓板4和防護(hù)墊片2能使產(chǎn)品很好的固定，并防止硅產(chǎn)品劃傷。本實(shí)用新型考慮到硅產(chǎn)品與別的材料接觸污染和變形等問題，所述的治具主體8、產(chǎn)品支撐墊板3和定位擋塊10為整個治具的核心部分，起到硅產(chǎn)品定位和加工角度作用，均采用石墨材料制成。所述防護(hù)墊片2考慮到產(chǎn)品劃傷等問題常用工程塑料制成。本實(shí)用新型使用時，將需要加工的硅產(chǎn)品I放置在組裝好的治具上，將硅產(chǎn)品I與定位擋塊10安裝好，并使產(chǎn)品與治具主體8對應(yīng)的產(chǎn)品支撐棒7、角度調(diào)整支撐棒6與角度調(diào)整棒5的槽精密結(jié)合，用壓板4和防護(hù)墊片2將硅產(chǎn)品I固定在治具主體8上，對整個治具的位置度進(jìn)行調(diào)整，使其達(dá)到要求的位置即可。本說明書實(shí)施例所述的內(nèi)容僅僅是對發(fā)明構(gòu)思的實(shí)現(xiàn)形式的列舉，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不應(yīng)當(dāng)被視為僅限于實(shí)施例所陳述的具體形式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍也及于本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思所能夠想到的等同技術(shù)手段。
權(quán)利要求1.硅產(chǎn)品加工治具，其特征在于包括壓板機(jī)構(gòu)、產(chǎn)品支撐墊板、角度調(diào)整棒、角度調(diào)整支撐棒、產(chǎn)品支撐棒、治具主體、鋁板和定位檔塊，所述治具主體固定在所述鋁板上，所述治具主體的兩端邊緣分別設(shè)有所述定位擋塊，所述壓板機(jī)構(gòu)一端與所述鋁板連接，另一端通過螺釘固定在所述治具主體上；所述壓板機(jī)構(gòu)包括壓板和防護(hù)墊片，所述防護(hù)墊片粘貼在所述壓板下方；所述治具主體內(nèi)部設(shè)有所述產(chǎn)品支撐棒、角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒，所述的產(chǎn)品支撐板設(shè)在所述角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒上方。
2.如權(quán)利要求I所述的硅產(chǎn)品加工治具，其特征在于所述壓板機(jī)構(gòu)設(shè)有多個。
3.如權(quán)利要求I所述的硅產(chǎn)品加工治具，其特征在于所述治具主體內(nèi)部分別對應(yīng)設(shè)有放置所述產(chǎn)品支撐棒、角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒的槽。
4.如權(quán)利要求I或2所述的硅產(chǎn)品加工治具，其特征在于所述治具主體上設(shè)有用于固定連接所述壓板機(jī)構(gòu)對應(yīng)的螺紋孔。
5.如權(quán)利要求I所述的硅產(chǎn)品加工治具，其特征在于所述鋁板設(shè)有與所述壓板機(jī)構(gòu)一端對應(yīng)連接的插口。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅產(chǎn)品加工治具，包括壓板機(jī)構(gòu)、產(chǎn)品支撐墊板、角度調(diào)整棒、角度調(diào)整支撐棒、產(chǎn)品支撐棒、治具主體、鋁板和定位檔塊，所述治具主體固定在所述鋁板上，所述治具主體的兩端邊緣分別設(shè)有所述定位擋塊，所述壓板機(jī)構(gòu)一端與所述鋁板連接，另一端通過螺釘固定在所述治具主體上；所述壓板機(jī)構(gòu)包括壓板和防護(hù)墊片，所述防護(hù)墊片粘貼在所述壓板下方；所述治具主體內(nèi)部設(shè)有所述產(chǎn)品支撐棒、角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒，所述的產(chǎn)品支撐板設(shè)在所述角度調(diào)整棒和角度調(diào)整支撐棒上方。本實(shí)用新型解決了硅產(chǎn)品加工難度，并提高加工精度。
文檔編號B28D7/04GK202742554SQ201220322290
公開日2013年2月20日 申請日期2012年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月2日
發(fā)明者楊軍, 劉傳振, 姚渭明, 顧永明 申請人:杭州大和熱磁電子有限公司