專(zhuān)利名稱(chēng)：一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具。
技術(shù)背景 陶瓷靶材的成型方法有常壓注漿法、壓力注漿法和模壓法。模壓法由于設(shè)備的限制制備大尺寸靶材時(shí)，金屬模具和沖壓設(shè)備的投資較大，工藝流程較復(fù)雜，且制備的陶瓷素坯密度不均勻，成形的坯體也容易產(chǎn)生裂紋和彎曲。常壓注漿法在作業(yè)過(guò)程中使用的是石膏模具，模具中的水溶性鈣會(huì)滲入到成型的坯體中，影響陶瓷靶材的性能，從而影響濺射薄膜的質(zhì)量。壓力注漿法所使用的石膏模具，有以上的不足，作業(yè)復(fù)雜且使用壽命短，成型后的素坯所需干燥時(shí)間長(zhǎng)，不適合高效率、機(jī)械化的大規(guī)模生產(chǎn)，無(wú)法產(chǎn)業(yè)化推廣。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，采用該模具后能有效提高壓力注漿成型素坯密度，并且消除素坯表面龜裂紋。一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特別之處在于包括一中空模框，在該中空?？蛏祥_(kāi)有壓力注漿口，而在該中空模框上相對(duì)的兩端均開(kāi)口，在該兩個(gè)開(kāi)口處分別固定有陶瓷微孔板從而將開(kāi)口處密封，而在該兩塊陶瓷微孔板外表面上分別安裝有上模板和下模板。其中壓力注漿口為圓柱形，其直徑為3-10mm。其中中空?？?、上模板和下模板均采用不銹鋼材質(zhì)。其中在上模板和下模板上與陶瓷微孔板接觸處的表面均開(kāi)有排水凹槽，從而將由陶瓷微孔板滲出的水排出。其中排水凹槽的長(zhǎng)度與上模板或下模板的長(zhǎng)度相同，而寬度和高度均為2mm。其中中空?？?yàn)殚L(zhǎng)方體或圓柱體。其中兩塊陶瓷微孔板分別與相鄰的上模板和下模板之間用橡膠密封。其中兩塊陶瓷微孔板與中空?？蛑g用橡膠密封。本實(shí)用新型是一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，該模具是一種帶壓過(guò)濾式成型模具，具有制造成本低、制備的陶瓷靶材素坯密度高等優(yōu)點(diǎn)，尤其是可消除陶瓷靶材素坯表面的龜裂紋現(xiàn)象。該模具適用于低成本、大批量制備大尺寸陶瓷靶材的生產(chǎn)。本實(shí)用新型模具可連續(xù)注漿，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，提高了陶瓷素坯的均勻性和密度，其中注漿后的素坯表面平整、光滑無(wú)裂紋，燒結(jié)體不易出現(xiàn)碎裂、密度不均勻的現(xiàn)象，能應(yīng)用于不同尺寸的陶瓷平面靶材，尤其是大尺寸陶瓷平面靶材，工藝流程簡(jiǎn)單，適合高效率、機(jī)械化的大規(guī)模生產(chǎn)。

附圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，本實(shí)用新型是一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，包括一中空?？?，中空?？騃根據(jù)需要可以采用中空的長(zhǎng)方體或圓柱體，并且其兩端開(kāi)口呈管狀，在該中空?？騃上開(kāi)有壓力注漿口 2，而在該中空模框I上相對(duì)的兩端(即圖I中上、下端)均開(kāi)口，在該兩個(gè)開(kāi)口處分別用陶瓷微孔板3密封，即中空?？騃的上、下端的邊緣部分(均為矩形、環(huán)狀)與兩塊陶瓷微孔板3接觸處密封。而在該兩塊陶瓷微孔板3外表面上分別安裝有上模板4和下模板5，并且在上模板4和下模板5上與陶瓷微孔板3接觸處的表面均開(kāi)有排水凹槽6，從而將由陶瓷微孔板3滲出的水排出。其中壓力注漿口 2采用圓柱形通孔，直徑為3-10mm，而中空模框I、上模板4和下模板5均采用不銹鋼材質(zhì)，陶瓷微孔板3選擇能在壓力作用下將陶瓷粉漿中多余液相排出 的即可。其中兩塊陶瓷微孔板3分別與相鄰的上模板4和下模板5之間用橡膠密封，而兩塊陶瓷微孔板3與中空?？騃之間也用橡膠密封。本實(shí)用新型模具的使用方法如下如圖I所示，在壓力注漿過(guò)程中，陶瓷漿料從壓力注漿口 2進(jìn)入，注滿(mǎn)陶瓷微孔板3和中空?？騃之間形成的陶瓷粉漿的空腔，在隔膜泵的壓力作用下陶瓷漿料通過(guò)兩塊陶瓷微孔板3的過(guò)濾，將多余的液相排出，通過(guò)排水凹槽6排出模具，經(jīng)過(guò)較短時(shí)間的保壓后，中空模框I的空腔內(nèi)形成密度均勻、表面平整、無(wú)龜裂紋的陶瓷素坯，把上模板4和上方的陶瓷微孔板3移開(kāi)，將中空?？騃緩慢提取，完成陶瓷素坯脫模，取出陶瓷素坯即完成整個(gè)壓力注漿成型過(guò)程。
權(quán)利要求1.一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于包括一中空?？?1)，在該中空?？?I)上開(kāi)有壓力注漿口(2)，而在該中空?？?I)上相對(duì)的兩端均開(kāi)口，在該兩個(gè)開(kāi)口處分別固定有陶瓷微孔板(3)從而將開(kāi)口處密封，而在該兩塊陶瓷微孔板(3)外表面上分別安裝有上模板(4)和下模板(5)。
2.如權(quán)利要求I所述的一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于其中壓力注漿口(2)為圓柱形，其直徑為3-10mm。
3.如權(quán)利要求I所述的一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于其中中空?？?I)、上模板(4)和下模板(5)均采用不銹鋼材質(zhì)。
4.如權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于其中在上模板(4)和下模板(5)上與陶瓷微孔板(3)接觸處的表面均開(kāi)有排水凹槽￠)，從而將由陶瓷微孔板(3)滲出的水排出。
5.如權(quán)利要求4所述的一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于其中排水凹槽(6)的長(zhǎng)度與上模板⑷或下模板(5)的長(zhǎng)度相同，而寬度和高度均為2mm。
6.如權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于其中中空?？?I)為長(zhǎng)方體或圓柱體。
7.如權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于其中兩塊陶瓷微孔板⑶分別與相鄰的上模板⑷和下模板(5)之間用橡膠密封。
8.如權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特征在于其中兩塊陶瓷微孔板(3)與中空模框(I)之間用橡膠密封。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種大尺寸陶瓷靶材的壓力注漿成型模具，其特點(diǎn)是包括一中空?？?1)，在該中空?？?1)上開(kāi)有壓力注漿口(2)，而在該中空?？?1)上相對(duì)的兩端均開(kāi)口，在該兩個(gè)開(kāi)口處分別固定有陶瓷微孔板(3)從而將開(kāi)口處密封，而在該兩塊陶瓷微孔板(3)外表面上分別安裝有上模板(4)和下模板(5)。本實(shí)用新型模具可連續(xù)注漿，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，提高了陶瓷素坯的均勻性和密度，其中注漿后的素坯表面平整、光滑無(wú)裂紋，燒結(jié)體不易出現(xiàn)碎裂、密度不均勻的現(xiàn)象，能應(yīng)用于不同尺寸的陶瓷平面靶材，尤其是大尺寸陶瓷平面靶材，工藝流程簡(jiǎn)單，適合高效率、機(jī)械化的大規(guī)模生產(chǎn)。
文檔編號(hào)B28B7/00GK202763986SQ20122033153
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月10日
發(fā)明者白曉東, 岳坤, 鄭金鳳, 扈百直, 王東新, 郭順, 左婧懿, 趙世乾, 馬曉波, 張麗, 孫本雙, 鐘景明, 李彬 申請(qǐng)人:國(guó)家鉭鈮特種金屬材料工程技術(shù)研究中心, 西北稀有金屬材料研究院