專利名稱：一種多線切割的機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種多線切割的機技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，具體地說是涉及一種多線切割機。
技術(shù)背景[0002]切割半導(dǎo)體晶塊是在多線切割機上進行的，現(xiàn)有技術(shù)中的切割機是這樣的它具 有機架，機架上具有固定框，固定框用以固定半導(dǎo)體晶棒，機架上具有線輪，線輪纏繞切割 線，現(xiàn)有技術(shù)中固定框是不動的，線輪是移動的，這樣的切割機具有設(shè)備復(fù)雜的缺點。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種使用方便、生產(chǎn)效率高、結(jié)構(gòu)簡單 的多線切割機。[0004]本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的一種多線切割機，包括機架，機架上具有線 輪和固定框，其特征是所述的線輪固定在機架上，機架的一側(cè)還具有橫向伺服電機連接的 橫向連桿，機架的另一側(cè)還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接 固定框。[0005]進一步的講，所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置。[0006]本實用新型的有益效果是這樣的多線切割機具有使用方便、生產(chǎn)效率高、結(jié)構(gòu)簡 單的的優(yōu)點。


[0007]圖1是本實用新型正面的結(jié)構(gòu)示意圖。[0008]其中1、機架 2、線輪 3、固定框 4、橫向伺服電機 5、橫向連桿。
具體實施方式
[0009]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。[0010]如圖1所示，一種多線切割機，包括機架1，機架I上具有線輪2和固定框3，其特 征是所述的線輪2固定在機架I上，機架的一側(cè)還具有橫向伺服電機4連接的橫向連桿5， 機架的另一側(cè)還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接固定框3。[0011]進一步的講，所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置。[0012]本實用新型是利用固定框相對運動，切割線固定不動，對晶棒進行切割。具有本實 用新型的優(yōu)點。
權(quán)利要求1.一種多線切割機，包括機架，機架上具有線輪和固定框，其特征是所述的線輪固定在機架上，機架的一側(cè)還具有橫向伺服電機連接的橫向連桿，機架的另一側(cè)還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接固定框。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機，其特征是所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置。
專利摘要本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，是一種多線切割機，包括機架，機架上具有線輪和固定框，所述的線輪固定在機架上，機架的一側(cè)還具有橫向伺服電機連接的橫向連桿，機架的另一側(cè)還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接固定框，所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置，這樣的多線切割機具有使用方便、生產(chǎn)效率高、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號B28D5/04GK202826100SQ20122040657
公開日2013年3月27日 申請日期2012年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月16日
發(fā)明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司