專利名稱：具有限位裝置的多線切割機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的設(shè)備，具體地說是涉及一種多線切割機(jī)。
背景技術(shù)：
切割半導(dǎo)體晶塊是在多線切割機(jī)上進(jìn)行的，固定晶棒的是晶棒定位框，定位框用以晶棒的定位和加持，定位框移動(dòng)可以對(duì)晶棒進(jìn)行切割，現(xiàn)有技術(shù)中，定位框往往會(huì)移動(dòng)過位，使切割線切割在固定框上，這樣損壞定位框、損壞切割絲，造成損失。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種有利用保護(hù)定位框和切割絲、減少損失的具有限位裝置的多線切割機(jī)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的具有限位裝置的多線切割機(jī)，包括切割機(jī)本體，切割機(jī)本體上具有定位框，其特征是所述的定位框后面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭，光電感應(yīng)頭連接控制裝置。進(jìn)一步的講，所述的定位框前面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭，光電感應(yīng)頭連接控制裝置。本實(shí)用新型的有益效果是這樣的多線切割機(jī)具有利于保護(hù)定位框和切割絲、減少損失、提高生產(chǎn)效率的優(yōu)點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型具有限位裝置的多線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、切割機(jī)本體 2、定位框 3、光電感應(yīng)頭 4、控制裝置。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。如圖1所示，具有限位裝置的多線切割機(jī)，包括切割機(jī)本體1，切割機(jī)本體I上具有定位框2，其特征是所述的定位框2后面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭3，光電感應(yīng)頭3連接控制裝置4。進(jìn)一步的講，所述的定位框前面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭，光電感應(yīng)頭連接控制裝置。這樣在定位框的前面和后面都進(jìn)行定位，防止定位框移動(dòng)超過位置，有利用保護(hù)定位框，減少切割絲的損失，提高生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1.具有限位裝置的多線切割機(jī)，包括切割機(jī)本體，切割機(jī)本體上具有定位框，其特征是所述的定位框后面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭，光電感應(yīng)頭連接控制裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機(jī)，其特征是所述的定位框前面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭，光電感應(yīng)頭連接控制裝置。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的設(shè)備，是具有限位裝置的多線切割機(jī)，包括切割機(jī)本體，切割機(jī)本體上具有定位框，其特征是所述的定位框后面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭，光電感應(yīng)頭連接控制裝置，所述的定位框前面的機(jī)架上設(shè)置有光電感應(yīng)頭，光電感應(yīng)頭連接控制裝置，這樣的多線切割機(jī)具有利于保護(hù)定位框和切割絲、減少損失、提高生產(chǎn)效率的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202826105SQ20122040993
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月19日
發(fā)明者劉寶成 申請(qǐng)人:河南恒昌電子有限公司