玻璃基板切斷裝置、玻璃基板切斷方法及玻璃基板制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種即使供給于玻璃基板的厚度方向的力較弱，也可進行玻璃基板的切斷的玻璃基板切斷裝置。本發(fā)明的玻璃基板切斷裝置(100)具備:折斷構(gòu)件(10)，其朝具有主面(Ga)及形成有劃割線(S)的主面(Gb)的玻璃基板(G)中的主面(Ga)供力；以及拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件(20)，其朝玻璃基板(G)供給拉伸應(yīng)力。在通過拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件(20)朝所述玻璃基板(G)供給拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下，折斷構(gòu)件(10)供力于玻璃基板(G)的主面(Ga)，從而切斷玻璃基板(G)。
【專利說明】玻璃基板切斷裝置、玻璃基板切斷方法及玻璃基板制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種玻璃基板切斷裝置、玻璃基板切斷方法及玻璃基板制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃基板適合應(yīng)用于液晶面板或等離子顯示器面板等的平板顯示器。此種玻璃基板通過將較大的玻璃基板(也稱為「母玻璃基板」)切斷成規(guī)定的尺寸來制作，該較大的玻璃基板通過浮式法或溢流法所成形而成。有代表性的是，在玻璃基板上形成劃割線(分割線)后，或者一面在玻璃基板上形成劃割線一面沿劃割線供給沖擊或彎曲應(yīng)力來進行玻璃基板的切斷(例如，參照專利文獻I)。
[0003]專利文獻I揭示通過2個刀刃進行玻璃基板的分割的刀片單元。在專利文獻I的刀片單元中，為了分割玻璃基板，以將刀刃作為起點對玻璃基板的兩端進行折彎的方式供力。另外，在專利文獻I的刀片單元上設(shè)有上部管道及下部管道，通過吸引因分割所產(chǎn)生的玻璃粉末(玻璃碎屑)，抑制玻璃基板的品質(zhì)下降。
[0004]〔專利文獻〕
[0005]專利文獻1:日本特開第2011-026136號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的問題
[0007]然而，在專利文獻I所揭示的切斷(分割)方法中，為了切斷玻璃基板，需要沿玻璃基板的厚度方向供給較強的力。在此情況下，玻璃粉末(玻璃碎屑)激劇飛散，從而會有制作玻璃基板質(zhì)量下降的情況。另外，在以較強的力進行切斷的情況下，則有產(chǎn)生因玻璃基板切斷面的粗劣而造成玻璃基板質(zhì)量下降或切斷不良的情況。
[0008]本發(fā)明鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種即使供給于玻璃基板的厚度方向的力較弱，也可進行玻璃基板的切斷的玻璃基板切斷裝置、玻璃基板切斷方法及玻璃基板制作方法。
[0009]用于解決問題的手段
[0010]本發(fā)明的玻璃基板切斷裝置，具備:折斷構(gòu)件，其朝具有第I主面及形成有劃割線的第2主面的玻璃基板中的所述第I主面供力；以及拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件，其朝所述玻璃基板供給拉伸應(yīng)力；在通過所述拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件朝所述玻璃基板供給拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下，所述折斷構(gòu)件供力于所述玻璃基板的所述第I主面，從而切斷所述玻璃基板。
[0011]在某實施方式中，所述拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件包括具有第I側(cè)部及第2側(cè)部的至少一個按壓構(gòu)件，所述至少一個按壓構(gòu)件朝所述玻璃基板的所述第I主面或所述第2主面供給拉伸應(yīng)力。 [0012]在一個實施方式中，所述至少一個按壓構(gòu)件的所述第I側(cè)部及所述第2側(cè)部以銳角接觸于所述玻璃基板的所述第I主面或所述第2主面。[0013]在一個實施方式中，所述折斷構(gòu)件連結(jié)于所述至少一個按壓構(gòu)件。
[0014]在一個實施方式中，所述至少一個按壓構(gòu)件具有:第I按壓構(gòu)件，該第I按壓構(gòu)件的所述第I側(cè)部及所述第2側(cè)部以銳角接觸于所述玻璃基板的所述第I主面；以及第2按壓構(gòu)件，該第2按壓構(gòu)件的所述第I側(cè)部及所述第2側(cè)部以銳角接觸于所述玻璃基板的所述第2主面。
[0015]在一個實施方式中，在所述第2按壓構(gòu)件上安裝有吸引口。
[0016]在一個實施方式中，所述折斷構(gòu)件朝所述玻璃基板的所述第I主面中夾著與所述劃割線對應(yīng)的線的兩個區(qū)域供力。
[0017]本發(fā)明的玻璃基板切斷方法，包含:準(zhǔn)備玻璃基板的工序，其中所述玻璃基板具有第I主面及形成有劃割線的第2主面；朝所述玻璃基板供給拉伸應(yīng)力的工序；通過在朝所述玻璃基板供給所述拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下供力于所述玻璃基板的所述第I主面，從而切斷所述玻璃基板的工序。
[0018]本發(fā)明玻璃基板制作方法，是對母玻璃基板進行切斷而制作玻璃基板的方法，所述玻璃基板制作方法包含:準(zhǔn)備母玻璃基板的工序，其中所述母玻璃基板具有第I主面及形成有劃割線的第2主面；朝所述母玻璃基板供給拉伸應(yīng)力的工序；以及取出玻璃基板的工序，其中所述玻璃基板通過在朝所述母玻璃基板供給所述拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下供力于所述母玻璃基板的所述第I主面而切斷所述母玻璃基板來制作。
[0019]發(fā)明效果
[0020]根據(jù)本發(fā)明，即使供給于玻璃基板的厚度方向的力較弱，也可進行玻璃基板的切斷。因此，可抑制伴隨玻璃粉末(玻璃碎屑)飛散所引起的玻璃基板的質(zhì)量下降、切斷面的粗劣或切斷不良。
【專利附圖】

【附圖說明】
`[0021]圖1為本發(fā)明的玻璃基板切斷裝置的實施方式的示意圖；
[0022]圖2(a)~(C)為表示本發(fā)明的玻璃基板切斷方法的實施方式的示意圖；
[0023]圖3(a)及(b)分別為本實施方式的玻璃基板切斷裝置中按壓構(gòu)件的立體示意圖及剖面示意圖；
[0024]圖4(a)~(C)為用于說明具備圖3所示按壓構(gòu)件的本實施方式的玻璃基板切斷裝置中所使用的玻璃基板切斷方法的示意圖；
[0025]圖5(a)及(b)分別為本實施方式的玻璃基板切斷裝置中按壓構(gòu)件的立體示意圖及剖面示意圖；
[0026]圖6(a)~(C)為用于說明具備圖5所示的按壓構(gòu)件的本實施方式的玻璃基板切斷裝置中所使用的玻璃基板切斷方法的示意圖；
[0027]圖7(a)~(C)為用于說明本實施方式的玻璃基板切斷裝置中所使用的玻璃基板切斷方法的示意圖；
[0028]圖8(a)及(b)為本實施方式的玻璃基板切斷裝置中按壓構(gòu)件的示意圖；
[0029]圖9為本實施方式的玻璃基板切斷裝置中按壓構(gòu)件的立體示意圖；
[0030]圖10(a)及(b)為本實施方式的玻璃基板切斷裝置中按壓構(gòu)件的立體示意圖；
[0031]圖11(a)為本實施方式的玻璃基板切斷裝置中折斷構(gòu)件的示意圖，圖11(b)為具備圖11(a)的折斷構(gòu)件的玻璃基板切斷裝置的示意圖；
[0032]圖12為本實施方式的玻璃基板切斷裝置的示意圖；以及
[0033]圖13為本實施方式的玻璃基板切斷裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0034]以下，參照圖面，針對本發(fā)明的玻璃基板切斷裝置、玻璃基板切斷方法及玻璃基板制作方法的實施方式進行說明。但本發(fā)明不限于以下的實施方式。
[0035]圖1為表示本實施方式的玻璃基板切斷裝置100的示意圖。玻璃基板切斷裝置100具有折斷構(gòu)件10及拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20。玻璃基板切斷裝置100用于切斷具有主面Ga、Gb的玻璃基板G。在玻璃基板G的主面Gb形成有大致呈直線狀延伸的槽，該槽作為劃害_ S使用。在圖1中用點劃線表示劃割線S。有代表性的是，在觀察與劃割線S的延伸方向正交的剖面的情況下，劃割線S具有V字形狀或U字形狀。
[0036]另外，于圖1中，以虛線表示玻璃基板G的主面Ga之中與劃割線S對應(yīng)(相對)的線S’。此外，對劃割線S形成為槽形，而在線S’并未設(shè)置槽。在本說明書中，具有將主面Ga記載為第I主面Ga，及將主面Gb記載為第2主面Gb的情況。
[0037]折斷構(gòu)件10朝玻璃基板G的第I主面Ga供力。有代表性的是，折斷構(gòu)件10朝玻璃基板G的第I主面Ga的線S’上或其附近供力。通過折斷構(gòu)件10朝玻璃基板G的主面Ga供力，在劃割線S的附近產(chǎn)生彎曲應(yīng)力。
[0038]另外，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20供給沿面方向拉伸玻璃基板G的拉伸應(yīng)力。有代表性的是，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20將作用于與劃割線S的延伸方向正交的面方向的拉伸應(yīng)力供給于玻璃基板G。`
[0039]在本實施方式的玻璃基板切斷裝置100中，在拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20對玻璃基板G進行拉伸的狀態(tài)下，折斷構(gòu)件10供力于玻璃基板G的主面Ga。在折斷構(gòu)件10朝玻璃基板G的主面Ga供力而在劃割線S的附近產(chǎn)生彎曲應(yīng)力時，作用于面方向的拉伸應(yīng)力被供給于玻璃基板G上，因此，即使通過折斷構(gòu)件10供給于玻璃基板G的厚度方向的力較弱，仍可切斷玻璃基板G。因此，可抑制玻璃基板G切斷時所產(chǎn)生的玻璃粉末的飛散，另外，可實現(xiàn)切斷面的質(zhì)量提聞及切斷不良的抑制。
[0040]此外，在圖1中表示，對折斷構(gòu)件10配置于玻璃基板G的第I主面Ga側(cè)，而拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20配置于玻璃基板G的第2主面Gb側(cè)，但如后述，也可將拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20配置于玻璃基板G的主面Ga側(cè)，或者，將拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20配置于玻璃基板G的主面Ga、Gb的兩側(cè)。例如，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20與玻璃基板G的主面Ga、Gb的至少一個面接觸，朝與劃割線S的延伸方向正交的面方向供給拉伸應(yīng)力?；蛘?，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20也可配置于玻璃基板G側(cè)面的端部。
[0041]在此，參照圖2，針對本實施方式的玻璃基板切斷方法進行說明。
[0042]首先，如圖2 (a)所示，準(zhǔn)備玻璃基板G。玻璃基板G具有主面Ga、Gb，在主面Gb上形成有劃割線S。
[0043]接著，如圖2(b)所示，朝玻璃基板G的面方向供給拉伸應(yīng)力。此時，優(yōu)選的是，在玻璃基板G上對線S’或劃割線S或這些線的附近朝與劃割線S的延伸方向大致正交的面方向大致均等地供給拉伸應(yīng)力。[0044]接著，如圖2(c)所示，在朝玻璃基板G供給拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下，通過折斷構(gòu)件10供力于玻璃基板G的主面Ga。由此，在玻璃基板G的劃割線S附近產(chǎn)生彎曲應(yīng)力，從而切斷玻璃基板G。此外，在本實施方式中，采用玻璃基板G作為母玻璃基板，通過對母玻璃基板G進行切斷，能夠從母玻璃基板G取出比母玻璃基板G小的玻璃基板。
[0045]此外，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20也可對設(shè)于玻璃基板G上的線S’或劃割線S整體供給拉伸應(yīng)力?；蛘?，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20也可對設(shè)于玻璃基板G上的線S’或劃割線S的一部分供給拉伸應(yīng)力。但優(yōu)選的是，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20對玻璃基板G的線S’或劃割線S整體供給拉伸應(yīng)力。
[0046]參照圖3，針對使用于本實施方式的玻璃基板切斷裝置100的拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件的一例進行說明。在此，采用按壓構(gòu)件22作為拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20。圖3(a)表示按壓構(gòu)件22的立體示意圖，圖3(b)表示按壓構(gòu)件22的剖面示意圖。按壓構(gòu)件22具有沿長度方向延伸的形狀。優(yōu)選的是，按壓構(gòu)件22由彈性率較高的材料所形成。
[0047]按壓構(gòu)件22具有底部22s0、和從底部22s0連續(xù)設(shè)置的側(cè)部22sl及側(cè)部22s2。在本說明書中，具有將側(cè)部22sl記載為第I側(cè)部22sl，側(cè)部22s2記載為第2側(cè)部22s2的情況。
[0048]在觀察沿與按壓構(gòu)件22的長度方向正交的方向的剖面的情況下，底部22s0與第I側(cè)部22sl所構(gòu)成的角度Θ I為鈍角，底部22s0與第2側(cè)部22s2所構(gòu)成的角度Θ 2為鈍角。因此，按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl與側(cè)部22s2之間的距離隨著遠(yuǎn)離底部22s0而增大。
[0049]例如，圖3所示的按壓構(gòu)件22朝玻璃基板G的主面Gb供給拉伸應(yīng)力。以下，參照圖4，針對使用圖3所示的按壓構(gòu)件22的玻璃基板切斷方法進行說明。
[0050]如圖4(a)所示，折斷構(gòu)件10配置為隔著玻璃基板G而與按壓構(gòu)件22相對。折斷構(gòu)件10配置于玻璃基板G的主面Ga側(cè)，按壓構(gòu)件22配置于玻璃基板G的主面Gb側(cè)。此外，在此，折斷構(gòu)件10表示為棒狀。
[0051]如圖4(b)所示，按壓構(gòu)件22朝向玻璃基板G—直前進(移動)以與玻璃基板G的主面Gb接觸。按壓構(gòu)件22相對于玻璃基板G被配置為按壓構(gòu)件22的長度方向與劃割線S平行。按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl、22s2配置于劃割線S的兩側(cè)，按壓構(gòu)件22跨于劃割線S上。按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl以銳角Θ I與玻璃基板G的主面Gb接觸，按壓構(gòu)件22的側(cè)部22s2以銳角Θ 2與玻璃基板G的主面Gb接觸。通過朝玻璃基板G按壓按壓構(gòu)件22，使側(cè)部22sl、22s2產(chǎn)生變形而擴展，從而能夠沿面方向朝玻璃基板G供給拉伸應(yīng)力。
[0052]接著，如圖4(c)所示，在使按壓構(gòu)件22朝玻璃基板G供給拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下，折斷構(gòu)件10供力于玻璃基板G的主面Ga。由此，進行玻璃基板G的切斷。此外，在此，按壓構(gòu)件22以與玻璃基板G的主面Gb接觸的方式按壓玻璃基板G，由此，按壓構(gòu)件22供給面方向的拉伸應(yīng)力，并供給使劃割線S擴展的方向的力。
[0053]此外，在圖3及圖4所示的按壓構(gòu)件22上設(shè)有底部22s0，側(cè)部22sl、22s2由底部22s0所連結(jié)，但本實施方式不限于此。也可在按壓構(gòu)件22上不設(shè)置底部22s0，而使側(cè)部22sl、22s2直接連結(jié)。
[0054]此外，在圖3及圖4中，按壓構(gòu)件22對玻璃基板G的主面Gb進行按壓，按壓構(gòu)件22與朝玻璃基板G的主面Ga供力的折斷構(gòu)件10分別獨立設(shè)置，但本實施方式不限于此。按壓構(gòu)件22也可與折斷構(gòu)件10連結(jié)。[0055]在此，參照圖5，針對與折斷構(gòu)件10連結(jié)的按壓構(gòu)件22進行說明。圖5 (a)表示使用于本實施方式玻璃基板切斷裝置100的按壓構(gòu)件22的立體示意圖，圖5(b)表示按壓構(gòu)件22的剖面示意圖。按壓構(gòu)件22具有底部22s0、和從底部22s0連續(xù)設(shè)置的側(cè)部22sl及側(cè)部22s2。在此，按壓構(gòu)件22與折斷構(gòu)件10連結(jié)。例如，折斷構(gòu)件10安裝于按壓構(gòu)件22的底部22s0。此外，折斷構(gòu)件10及按壓構(gòu)件22也可一體形成。在此按壓構(gòu)件22中，以底部22s0為基準(zhǔn)的側(cè)部22sl及側(cè)部22s2的前端的高度，比以底部22s0為基準(zhǔn)的折斷構(gòu)件10的如端的聞度還聞。
[0056]例如，圖5所示的按壓構(gòu)件22朝玻璃基板G的主面Ga供給拉伸應(yīng)力。在此，參照圖6，針對使用圖5所示的按壓構(gòu)件22的玻璃基板切斷方法進行說明。
[0057]如圖6(a)所示，連結(jié)的折斷構(gòu)件10及按壓構(gòu)件22配置于玻璃基板G的主面Ga偵U。此外，優(yōu)選的是，對玻璃基板G的主面Gb整個面大致均等地供力。例如，在此雖未圖示，但優(yōu)選的是，玻璃基板G的主面Gb與和主面Gb大致平行擴展的大致平坦的面(壁或地板)接觸，且在該平坦的面上，對應(yīng)于劃割線S及其附近設(shè)置凹部或孔。
[0058]如圖6(b)所示，按壓構(gòu)件22朝向玻璃基板G前行(移動)以與玻璃基板G的主面Ga接觸。移動方向例如是按壓構(gòu)件22的底部22s0的主面的法線方向。按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl、22s2位于玻璃基板G的線S’的兩側(cè)，按壓構(gòu)件22跨于線S’上。按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl以銳角Θ I與玻璃基板G的主面Ga接觸，按壓構(gòu)件22的側(cè)部22s2以銳角Θ 2與玻璃基板G的主面Ga接觸。此外，此時，折斷構(gòu)件10未與玻璃基板G的主面Ga接觸。通過按壓構(gòu)件22與玻璃基板G的主面Ga接觸，朝玻璃基板G的主面Ga供給面方向的拉伸應(yīng)力。
[0059]接著，如圖6(c)所示，當(dāng)按壓構(gòu)件22進一步前行時，則按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl、22s2發(fā)生變形，伴隨此變形，與按壓構(gòu)件22連結(jié)的折斷構(gòu)件10則與玻璃基板G接觸。在通過按壓構(gòu)件22朝玻璃基板G供給面方向的拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下，折斷構(gòu)件10供力于玻璃基板G的主面Ga，從而進行玻璃基板G的切斷。
[0060]此外，圖5及圖6所示的按壓構(gòu)件22與折斷構(gòu)件10連結(jié)，但本實施方式不限于此。按壓構(gòu)件22也可與折斷構(gòu)件10分別獨立設(shè)置。例如，也可以是，在按壓構(gòu)件22的底部22s0設(shè)置孔，將折斷構(gòu)件10配置為貫穿按壓構(gòu)件22的底部22s0的孔。在此情況下，可個別地對折斷構(gòu)件10及按壓構(gòu)件22所供給于玻璃基板G的力進行控制。
[0061]另外，參照圖4及圖6所述的玻璃基板切斷裝置100中，按壓構(gòu)件22按壓玻璃基板G的主面Ga、Gb的一方,但本實施方式不限于此。按壓構(gòu)件22也可按壓玻璃基板G的主面Ga、Gb的雙方。
[0062]參照圖7，針對本實施方式的玻璃基板切斷裝置100所進行的玻璃基板分割方法進行說明。該玻璃基板切斷裝置100具有朝玻璃基板G的主面Ga供給拉伸應(yīng)力的按壓構(gòu)件22A、及朝玻璃基板G的主面Gb供給拉伸應(yīng)力的按壓構(gòu)件22B，且以這些作為拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20。另外，在此，折斷構(gòu)件10也連結(jié)于按壓構(gòu)件22A。
[0063]如圖7(a)所示，相互連結(jié)的折斷構(gòu)件10及按壓構(gòu)件22A配置為隔著玻璃基板G而與按壓構(gòu)件22B相對。折斷構(gòu)件10及按壓構(gòu)件22k配置于玻璃基板G的主面Ga側(cè)，按壓構(gòu)件22B配置于玻璃基板G的主面Gb偵U。
[0064]如圖7 (b)所示，按壓構(gòu)件22k朝向玻璃基板G前行(移動)以與玻璃基板G的主面Ga接觸，并且按壓構(gòu)件22B朝向玻璃基板G前行(移動)以與玻璃基板G的主面Gb接觸。按壓構(gòu)件22A的側(cè)部22asl、22as2位于玻璃基板G的線S’的兩側(cè)，按壓構(gòu)件22A跨于線S’上。此外，此時，折斷構(gòu)件10未與玻璃基板G的主面Ga接觸。通過按壓構(gòu)件22A與玻璃基板G的主面Ga接觸，朝玻璃基板G的主面Ga供給面方向的拉伸應(yīng)力。另外，按壓構(gòu)件22B的側(cè)部22bsl、22bs2位于玻璃基板G的劃割線S的兩側(cè)，按壓構(gòu)件22B跨于劃割線S上。通過按壓構(gòu)件22B與玻璃基板G的主面Gb接觸，朝玻璃基板G的主面Gb供給面方向的拉伸應(yīng)力。
[0065]如圖7(c)所示，當(dāng)按壓構(gòu)件22A進一步前行時，則按壓構(gòu)件22A的側(cè)部22asl、22as2發(fā)生變形，伴隨此變形，與按壓構(gòu)件22A連結(jié)的折斷構(gòu)件10則與玻璃基板G接觸。在朝玻璃基板G供給面方向的拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下，折斷構(gòu)件10供力于玻璃基板G的主面Ga，從而進行玻璃基板G的切斷。
[0066]此外，在圖7所示的玻璃基板切斷裝置100中，按壓構(gòu)件22A、22B具有相同的形狀，按壓構(gòu)件22A、22B朝玻璃基板G的主面Ga、Gb供給大致相等的拉伸應(yīng)力，但本實施方式不限于此。供給于玻璃基板的主面Ga、Gb的拉伸應(yīng)力也可不同。
[0067]此外，圖3至圖7所示的按壓構(gòu)件22由單一構(gòu)件所構(gòu)成，但按壓構(gòu)件22也可由多個構(gòu)件所構(gòu)成。
[0068]參照圖8，針對本實施方式玻璃基板切斷裝置100的按壓構(gòu)件22進行說明。圖8(a)表示按壓構(gòu)件22的剖面示意圖。按壓構(gòu)件22具有支撐構(gòu)件22t及安裝于支撐構(gòu)件22t的彈性構(gòu)件22ul、22u2。支撐構(gòu)件22t具有底部22t0、側(cè)部22tl、22t2。在側(cè)部22tl上安裝有彈性構(gòu)件22ul，在 側(cè)部22t2上安裝有彈性構(gòu)件22u2。例如，支撐構(gòu)件22t由較硬的材料所形成。
[0069]按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl由支撐構(gòu)件22t的側(cè)部22tl及彈性構(gòu)件22ul所構(gòu)成。另外，按壓構(gòu)件22的側(cè)部22s2由支撐構(gòu)件22t的側(cè)部22t2及彈性構(gòu)件22u2所構(gòu)成。如此，通過在按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl、22s2的前端配置彈性構(gòu)件22ul、22u2，能夠較自由地選擇支撐構(gòu)件22t的材料。此外，在圖8(a)表示有按壓構(gòu)件22，但如圖8(b)所示，也可在具有支撐構(gòu)件22t及彈性構(gòu)件22ul、22u2的按壓構(gòu)件22上連結(jié)折斷構(gòu)件10。
[0070]另外，也可在按壓構(gòu)件22上安裝吸引口，用于吸引切斷玻璃基板G時所產(chǎn)生的玻璃粉末。
[0071]圖9為表示本實施方式的玻璃基板切斷裝置100中使用的按壓構(gòu)件22的示意圖。例如，在按壓構(gòu)件22的底部22s0設(shè)置吸引口 22v。在此雖未圖示，但該吸引口 22v通過可撓性軟管與吸引構(gòu)件連接。如此，通過在按壓構(gòu)件22設(shè)置吸引口 22v，進行切斷玻璃基板G時所產(chǎn)生的玻璃粉末的吸引，能夠進一步抑制質(zhì)量的下降。
[0072]此外，在圖7所示的玻璃基板切斷裝置100中，也可在朝玻璃基板G的主面Ga供給拉伸應(yīng)力的按壓構(gòu)件22A及朝玻璃基板G的主面Gb供給拉伸應(yīng)力的按壓構(gòu)件22B上，分別安裝圖9所示的吸引口 22v。如此，在朝玻璃基板G的主面Ga、Gb的雙方供給拉伸應(yīng)力的情況下，在玻璃基板G的主面Gb側(cè)會特別容易產(chǎn)生玻璃粉末的飛散，所以，優(yōu)選的是，尤其是在朝玻璃基板G的主面Gb供給拉伸應(yīng)力的按壓構(gòu)件22B上安裝吸引口 22v。
[0073]此外，圖3至圖9表示，按壓構(gòu)件22的位于沿長度方向的端部的側(cè)面呈開放的狀態(tài)，但本實施方式不限于此。[0074]圖10(a)表示本實施方式的玻璃基板切斷裝置100中使用的按壓構(gòu)件22的示意圖。按壓構(gòu)件22具有底部22s0、側(cè)部22sl、22s2，且在此基礎(chǔ)上還具有位于沿按壓構(gòu)件22長度方向的端部的側(cè)部22s3、22s4。其中，按壓構(gòu)件22由分別通過底部22s0、側(cè)部22s1、22s2、22s3及22s4所規(guī)定的五個面所構(gòu)成。
[0075]在圖10(a)所示的按壓構(gòu)件22上，將側(cè)部22sl、22s2、22s3及22s4設(shè)置為包圍底部22s0。如此，按壓構(gòu)件22也可為以底部22s0為底的箱體形狀。
[0076]優(yōu)選的是，側(cè)部22s3、22s4由高彈性率的材料形成。其中，以按壓構(gòu)件22的底部22s0為基準(zhǔn)的側(cè)部22s3、22s4的高度，與側(cè)部22sl、22s2的高度大致相等。
[0077]另外，在圖10(a)所示的按壓構(gòu)件22上，且在底部22s0設(shè)有吸引口 22v。在按壓構(gòu)件22按壓玻璃基板G時，通過按壓構(gòu)件22與玻璃基板G而形成與外部隔絕的空間，從而能夠提聞吸引效率。
[0078]優(yōu)選的是，按壓構(gòu)件22的長度方向的長度比玻璃基板G的長度還長。但是，按壓構(gòu)件22的長度方向的長度也可比玻璃基板G的長度短。在此情況下，優(yōu)選的是，如圖10(b)所示，以按壓構(gòu)件22的底部22s0為基準(zhǔn)的側(cè)部22s3、22s4的高度，比側(cè)部22sl、22s2的高度低，且在按壓構(gòu)件22的側(cè)部22sl、22s2與玻璃基板G接觸時，按壓構(gòu)件2的側(cè)部22s3、22s4不與玻璃基板G接觸。此外，在圖10(a)及圖10(b)中雖只圖示按壓構(gòu)件22，但也可將折斷構(gòu)件10連結(jié)于該按壓構(gòu)件22。
[0079]如上所述，折斷構(gòu)件10朝玻璃基板G的主面Ga中的線S’及其附近供力。但折斷構(gòu)件10也可不朝玻璃基板G的主面Ga中的線S’供力，而是朝其附近供力。
[0080]圖11 (a)表示本實施方式的玻璃基板切斷裝置100所使用的折斷構(gòu)件10的示意圖。折斷構(gòu)件10具有突起部10al、10a2。
[0081]圖11 (b)表示具備圖11 (a)所示折斷構(gòu)件10的玻璃基板切斷裝置100的示意圖。圖11(b)雖未圖示，但突起部10al、10a2與線S’的延伸方向平行地延伸。在此情況下，折斷構(gòu)件10的突起部10al、10a2與玻璃基板G的主面Ga的夾著線S’的兩個區(qū)域接觸，折斷構(gòu)件10朝玻璃基板G的主面Ga的夾著線S’的兩個區(qū)域供力。如此，在折斷構(gòu)件10具有突起部10al、10a2的情況下，即使折斷構(gòu)件10與玻璃基板G的接觸點略有偏移，仍能大致均等地供給擴展劃割線S的方向的力。
[0082]玻璃基板G的切斷也可在通過保持構(gòu)件所保持的狀態(tài)下進行。例如，保持構(gòu)件可將玻璃基板G保持于水平方向，或者也可保持于鉛垂方向。以下，參照圖12及圖13，針對本實施方式的玻璃基板切斷裝置100的更具體的一例進行說明。
[0083]圖12表示本實施方式的玻璃基板切斷裝置100的示意圖。圖12所示的玻璃基板切斷裝置100具有折斷構(gòu)件10、按壓構(gòu)件22A、及按壓構(gòu)件22B。按壓構(gòu)件22A、22B配置為隔著玻璃基板G而相對，折斷構(gòu)件10與按壓構(gòu)件22A連結(jié)。 [0084]按壓構(gòu)件22A、22B分別具有箱體形狀的支撐構(gòu)件22t、及彈性構(gòu)件22u。此外，圖12中，為了避免附圖過于復(fù)雜，省略表示按壓構(gòu)件22A、22B位于沿長度方向的端部的側(cè)部。
[0085]在按壓構(gòu)件22A、22B的各側(cè)部22sl、22s2的前端安裝有彈性構(gòu)件22u。例如，作為彈性構(gòu)件22u使用硬度90度、厚度I~3mm的橡膠唇片。例如，橡膠唇片22u以螺絲固定于支撐構(gòu)件22t上。
[0086]在按壓構(gòu)件22A上，側(cè)部22sl的前端與側(cè)部22s2的前端之間的距離約為60mm~80mm。按壓構(gòu)件22k的底部22s0的寬度(與線S’或劃割線S的延伸方向正交的方向的長度)為30mm~40mm。另外，以按壓構(gòu)件22A的底部22s0作為基準(zhǔn)的按壓構(gòu)件22A的側(cè)部22sl、22s2的前端(彈性構(gòu)件22u)的高度為100mm，按壓構(gòu)件22k的側(cè)部22sl、22s2的高度比折斷構(gòu)件10的高度約大2mm。另外，在按壓構(gòu)件22A設(shè)有吸引口 22v。此外，在此，按壓構(gòu)件22A、22B具有相同的形狀。
[0087]按壓構(gòu)件22A、22B通過直行導(dǎo)引器而支撐為可沿玻璃基板G的主面Ga、Gb的法線方向移動。按壓構(gòu)件22A、22B通過移動構(gòu)件40的推進力而移動。按壓構(gòu)件22A、22B通過移動構(gòu)件40而沿直線方向移動。例如，移動構(gòu)件40也可為氣缸或電動機與滾珠螺桿的組合所構(gòu)成的驅(qū)動單元?；蛘撸苿訕?gòu)件40也可為氣缸與電動機及滾珠螺桿的驅(qū)動單元的復(fù)合方式。例如，在移動構(gòu)件40為氣缸與電動機及滾珠螺桿的驅(qū)動單元的復(fù)合方式的情況下，也可通過氣缸使按壓構(gòu)件22A、22B移動至彈性構(gòu)件22u與玻璃基板G接觸為止，然后，通過電動機進行按壓?；蛘?，反過來，也可首先通過電動機使按壓構(gòu)件22A、22B移動至彈性構(gòu)件22u與玻璃基板G接觸為止，然后，通過氣缸使按壓構(gòu)件22A、22B移動。
[0088]在圖12所示的玻璃基板切斷裝置100中，玻璃基板G保持于保持構(gòu)件30上。例如，保持構(gòu)件30夾緊玻璃基板G的上 端附近而以垂吊方式保持玻璃基板G。玻璃基板G在沿垂直(鉛垂)方向下垂的狀態(tài)下被運送。
[0089]例如，玻璃基板G的一邊超過2m。按壓構(gòu)件22A、22B的長度方向的長度比玻璃基板G長。由此，在玻璃基板G的切斷時，能夠抑制切斷面自劃割線S偏離的情況。
[0090]玻璃基板G的切斷按以下方式進行。首先，將形成有劃割線S的玻璃基板G運送至玻璃基板切斷裝置100。例如，玻璃基板G通過劃線裝置(未圖示)形成劃割線S后，在通過保持構(gòu)件30所保持的狀態(tài)下，通過運送裝置運送至玻璃基板切斷裝置100。
[0091]其次，使折斷構(gòu)件10及玻璃基板G的位置對準(zhǔn)，以與對應(yīng)于玻璃基板G的劃割線S的線S’(圖12中未圖示)匹配。然后，按壓構(gòu)件22A、22B朝向玻璃基板G前行，直到按壓構(gòu)件22A、22B的各彈性構(gòu)件22u接觸于玻璃基板G為止。在按壓構(gòu)件22A、22B的彈性構(gòu)件22u接觸于玻璃基板G時，折斷構(gòu)件10不會與玻璃基板G接觸。然后，通過按壓構(gòu)件22A、22B進一步朝向玻璃基板G前行，在與玻璃基板G的線S’及劃割線S正交的面方向產(chǎn)生拉伸應(yīng)力。在通過移動構(gòu)件40的推進力使得按壓構(gòu)件22A、22B與玻璃基板G接觸之后，彈性構(gòu)件22u產(chǎn)生變形而朝外側(cè)方向展開，從而在玻璃基板G的劃割線S的附近產(chǎn)生拉伸應(yīng)力。
[0092]然后，當(dāng)按壓構(gòu)件22A、22B移動，進一步接近玻璃基板G時，折斷構(gòu)件10在玻璃基板G的主面Ga的線S’及其附近與玻璃基板G接觸，沿線S’朝玻璃基板G的主面Ga供力。此時，通過按壓構(gòu)件22A、22B朝玻璃基板G供給拉伸應(yīng)力，從而能以較弱的力將玻璃基板G切斷。
[0093]此外，至少在切斷時，通過經(jīng)由吸引口 22v對由按壓構(gòu)件22A、22B覆蓋的空間進行吸引，從而能夠抑制切斷玻璃基板G時所產(chǎn)生的玻璃粉末的飛散。
[0094]此外，在圖12所示的玻璃基板切斷裝置100中，玻璃基板G在垂吊的狀態(tài)下被保持及運送，但本實施方式不限于此。也能以主面Ga、Gb的法線沿鉛垂方向的方式保持及運送玻璃基板G。
[0095]圖13為表示本實施方式的玻璃基板切斷裝置100的示意圖。圖13所示的玻璃基板切斷裝置100，除了玻璃基板G的朝向及與此相關(guān)的構(gòu)成以外，具有與參照圖12所述的上述玻璃基板切斷裝置100相同的構(gòu)成，為了避免繁雜化，省略重復(fù)的記載。
[0096]在圖13所示的玻璃基板切斷裝置100中，玻璃基板G的主面Ga、Gb的法線方向與鉛垂方向平行，玻璃基板G沿水平方向運送。在此，作為保持玻璃基板G的保持構(gòu)件30采用輥式傳輸帶，輥式輸送帶30可保持玻璃基板G，同時還可用于玻璃基板G的運送。
[0097]有代表性的是，在玻璃基板G運送至玻璃基板切斷裝置100之前，在劃線形成裝置(未圖示)中，在玻璃基板G的下面形成劃割線S。因此，玻璃基板G的主面Ga朝向上方，玻璃基板G的主面Gb朝向下方。
[0098]此外，在圖12及圖13所示的玻璃基板切斷裝置100中，按壓構(gòu)件22A、22B的長度比玻璃基板G的長度長，從而一次將玻璃基板G切斷，但本實施方式不限于此。玻璃基板G的切斷也可沿劃割線S (或線S’)而逐漸地進行。另外，在逐漸進行玻璃基板G的切斷的情況下，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20只要對玻璃基板G中通過折斷構(gòu)件10所供力的區(qū)域附近供給拉伸應(yīng)力即可。但在玻璃基板G較大的情況下，優(yōu)選的是，玻璃基板G的切斷不是在每個區(qū)域漸漸地進行而是一次進行。
[0099]另外，于參照圖12及圖13所記述的上述說明中，玻璃基板G在保持為能運送的狀態(tài)下被切斷，但本實施方式不限于此。玻璃基板G的切斷也可在未保持于保持構(gòu)件的狀態(tài)下進行。例如，玻璃基板G也可在配置于平坦面上的狀態(tài)下被切斷，并在切斷之后，通過另外設(shè)置的運送機構(gòu)而被運送。[0100]另外，在參照圖3至圖13所記述的上述說明中，作為拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20的一例，說明了按壓構(gòu)件22，但本實施方式不限于此。例如，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20也可通過夾緊玻璃基板G的端部進行拉伸，而供給拉伸應(yīng)力。例如，拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件20也可在玻璃基板G上，通過相對于劃割線S的延伸方向分別夾緊玻璃基板G的一側(cè)及另一側(cè)且予以拉伸，從而朝面方向供給拉伸應(yīng)力。
[0101]另外，在上述說明中，折斷構(gòu)件10表示為棒形，但本實施方式不限于此。折斷構(gòu)件10也可為輥狀。例如，也可以是，在玻璃基板G的主面Gb上，配置為跨于線S上的2個輥一面對玻璃基板G的主面Gb供力一面與線S平行移動，并且在玻璃基板G的主面Ga上，一個輥一面對玻璃基板G的主面Ga供力一面沿線S’移動。
[0102]根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制玻璃基板切斷時所產(chǎn)生的玻璃粉末的飛散。如此，通過切斷母玻璃基板而獲得的玻璃基板，適合應(yīng)用于液晶面板或等離子顯示器面板等的平板顯示器。
[0103][附圖標(biāo)記說明]
[0104]10折斷構(gòu)件
[0105]20拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件
[0106]100玻璃基板切斷裝置
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃基板切斷裝置，其特征在于，具備: 折斷構(gòu)件，其朝具有第I主面及形成有劃割線的第2主面的玻璃基板中的所述第I主面供力；以及 拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件，其朝所述玻璃基板供給拉伸應(yīng)力， 在通過所述拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件朝所述玻璃基板供給拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下，所述折斷構(gòu)件供力于所述玻璃基板的所述第I主面，從而切斷所述玻璃基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板切斷裝置，其特征在于: 所述拉伸應(yīng)力供給構(gòu)件包括具有第I側(cè)部及第2側(cè)部的至少一個按壓構(gòu)件， 所述至少一個按壓構(gòu)件朝所述玻璃基板的所述第I主面或所述第2主面供給拉伸應(yīng)力。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板切斷裝置，其特征在于: 所述至少一個按壓構(gòu)件的所述第I側(cè)部及所述第2側(cè)部以銳角接觸于所述玻璃基板的所述第I主面或所述第2主面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的玻璃基板切斷裝置，其特征在于: 所述折斷構(gòu)件連結(jié)于所述至少一個按壓構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的玻璃基板切斷裝置，其特征在于: 所述至少一個按壓構(gòu)件具有: 第I按壓構(gòu)件，該第I按壓構(gòu)件的所述第I側(cè)部及所述第2側(cè)部以銳角接觸于所述玻璃基板的所述第I主面；以及 第2按壓構(gòu)件， 該第2按壓構(gòu)件的所述第I側(cè)部及所述第2側(cè)部以銳角接觸于所述玻璃基板的所述第2主面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板切斷裝置，其特征在于: 在所述第2按壓構(gòu)件上安裝有吸引口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的玻璃基板切斷裝置，其特征在于: 所述折斷構(gòu)件朝所述玻 璃基板的所述第I主面中夾著與所述劃割線對應(yīng)的線的兩個區(qū)域供力。
8.一種玻璃基板切斷方法，其特征在于，包含以下工序: 準(zhǔn)備玻璃基板的工序，其中所述玻璃基板具有第I主面及形成有劃割線的第2主面； 朝所述玻璃基板供給拉伸應(yīng)力的工序；以及 通過在朝所述玻璃基板供給所述拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下供力于所述玻璃基板的所述第I主面，從而切斷所述玻璃基板的工序。
9.一種玻璃基板制作方法，其特征在于，該玻璃基板制作方法是對母玻璃基板進行切斷而制作玻璃基板的方法，所述玻璃基板制作方法包含以下工序: 準(zhǔn)備母玻璃基板的工序，其中所述母玻璃基板具有第I主面及形成有劃割線的第2主面； 朝所述母玻璃基板供給拉伸應(yīng)力的工序；以及 取出玻璃基板的工序，其中所述玻璃基板通過在朝所述母玻璃基板供給所述拉伸應(yīng)力的狀態(tài)下供力于所述母玻璃基板的所述第I主面而切斷所述母玻璃基板來制作。
【文檔編號】C03B33/033GK103687823SQ201280035520
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2012年10月15日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月17日
【發(fā)明者】山村幸博 申請人:日本電氣硝子株式會社