褪膜劑及使用該褪膜劑的ito玻璃的褪膜方法
【專利摘要】一種褪膜劑，按照質(zhì)量百分含量計(jì)包括如下組分：42%～45%的有機(jī)酸，33%～38%的非離子表面活性劑，0.8%～1.2%的金屬緩沖劑及15.8%～24.2%的水。上述褪膜劑可除去ITO玻璃的ITO層且可避免玻璃基板破碎。本發(fā)明還提供一種使用上述褪膜劑的ITO玻璃的褪膜方法。
【專利說明】褪膜劑及使用該褪膜劑的ITO玻璃的褪膜方法
【技術(shù)領(lǐng)域】[0001]本發(fā)明涉及一種褪膜劑及使用該褪膜劑的ITO玻璃的褪膜方法。
【背景技術(shù)】
[0002]ITO玻璃具有良好透明導(dǎo)電性能，具有禁帶寬、可見光區(qū)域光透射率高和電阻率低等優(yōu)點(diǎn)，從而廣泛的應(yīng)用于平板顯示器件、太陽能電池及其他光電器件中。ITO玻璃是在玻璃基板表面通過磁控濺射等方法沉積一層氧化銦錫(ITO)層制成。當(dāng)ITO層達(dá)不到要求或者出現(xiàn)瑕疵的時(shí)候，就要將ITO玻璃的ITO層除去。
[0003]目前，一般都采用拋光的方法除去ITO層，通過打磨除去ITO層。然而，通過拋光打磨除去ITO層時(shí)，容易導(dǎo)致ITO玻璃的玻璃基板破碎。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要提供一種可除去ITO玻璃的ITO層且可避免玻璃基板破碎的褪膜劑及使用該褪膜劑的ITO玻璃的褪膜方法。
[0005]一種褪膜劑，按照質(zhì)量百分含量計(jì)包括如下組分:
[0006]42%~45%的有機(jī)酸，33%~38%的非離子表面活性劑，0.8%~1.2%的金屬緩沖劑及15.8%~24.2%的水。
[0007]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述有機(jī)酸為有機(jī)羧酸。
[0008]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述非離子表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚。
[0009]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述金屬緩沖劑為苯駢三氮唑。
[0010]一種ITO玻璃的褪膜方法，包括以下步驟:
[0011]使用上述的褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層得到玻璃基板；
[0012]干燥所述玻璃基板；
[0013]清洗所述玻璃基板；及
[0014]風(fēng)干所述玻璃基板。
[0015]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述ITO玻璃在使用所述褪膜劑除去ITO層之前還包括步驟:
[0016]清洗所述ITO玻璃以除去所述ITO玻璃表面的污垢；及
[0017]干燥所述ITO玻璃。
[0018]在優(yōu)選的實(shí)施例中，清洗所述ITO玻璃時(shí)先使用水噴淋所述ITO玻璃，再使用滾刷清洗所述ITO玻璃。
[0019]在優(yōu)選的實(shí)施例中，使用所述褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層時(shí)，依次使用滾刷及盤刷清理所述ITO玻璃以除去ITO層。
[0020]在優(yōu)選的實(shí)施例中，清洗所述玻璃基板時(shí)依次包括以下步驟:
[0021]使用水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；
[0022]使用水及滾刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；[0023]使用水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋；
[0024]使用水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋；
[0025]使用超純水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋；及
[0026]使用超純水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行超純水洗滌。
[0027]在優(yōu)選的實(shí)施例中， 風(fēng)干所述玻璃基板時(shí)依次使用熱風(fēng)刀及冷風(fēng)刀風(fēng)干。
[0028]上述褪膜劑是弱酸，對(duì)ITO層有蝕刻作用，可以除去ITO玻璃的ITO膜層；使用該褪膜劑可以除去ITO玻璃的ITO層，同時(shí)不會(huì)造成ITO玻璃的玻璃基板破碎。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為了便于理解本發(fā)明，下面將對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開內(nèi)容的理解更加透徹全面。
[0030]一實(shí)施方式的褪膜劑，按照質(zhì)量百分含量計(jì)包括如下組分:
[0031 ] 42%~45%的有機(jī)酸，33%~38%的非離子表面活性劑，0.8%~1.2%的金屬緩沖劑及15.8%~24.2%的水。
[0032]優(yōu)選的，有機(jī)酸為有機(jī)羧酸。具體的，有機(jī)羧酸為硫代乙酸。
[0033]優(yōu)選的，非離子表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚。具體的，烷基酚聚氧乙烯醚為辛基酚聚氧乙烯醚。
[0034]優(yōu)選的，金屬緩沖劑為苯駢三氮唑(C6H5N3X
[0035]上述褪膜劑配制時(shí)，將有機(jī)酸、非離子表面活性劑、金屬緩沖劑及水按照比例混合即可。
[0036]上述褪膜劑是弱酸，對(duì)ITO層有蝕刻作用，可以除去ITO玻璃的ITO膜層。
[0037]一實(shí)施方式的ITO玻璃的褪膜方法，包括以下步驟:
[0038]步驟S110、清洗ITO玻璃以除去ITO玻璃表面的污垢。
[0039]ITO玻璃包括玻璃基板及形成于玻璃基板表面的ITO層。
[0040]具體在本實(shí)施方式中，清洗ITO玻璃之前先對(duì)ITO玻璃進(jìn)行電阻測試。使用方塊電阻儀對(duì)ITO玻璃表面進(jìn)行9點(diǎn)測試法測試ITO玻璃的方塊電阻。優(yōu)選的，待褪膜的ITO 玻璃的方塊電阻為200歐姆~5000歐姆。電阻越低，ITO膜層越厚，越厚的膜層蝕刻較慢， 時(shí)間較長。
[0041]具體在本實(shí)施方式中，清洗ITO玻璃時(shí)，先使用水噴淋ITO玻璃，再使用滾刷清洗 ITO玻璃。優(yōu)選的，噴淋的水壓為1.2MPa~1.5MPa。優(yōu)選的，將ITO玻璃自噴淋處傳送至滾刷清洗處，傳送的速度為0.5m/min~lm/min。本實(shí)施方式中，清洗ITO玻璃時(shí)使用2#水箱中儲(chǔ)存的水，并將清洗后的廢水存入1#水箱。1#水箱的水進(jìn)入廢水處理站進(jìn)行后續(xù)處理。
[0042]步驟S120、干燥ITO玻璃。
[0043]清洗ITO玻璃后，ITO玻璃表面會(huì)有水，該步驟中干燥ITO玻璃可避免將ITO玻璃表面的水帶入下一個(gè)處理流程。
[0044]具體在本實(shí)施方式中，干燥ITO玻璃的方式為烘干、風(fēng)干或晾干。
[0045]步驟S130、使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層得到玻璃基板。[0046]褪膜劑，按照質(zhì)量百分含量計(jì)包括如下組分:
[0047]42%~45%的有機(jī)酸，33%~38%的非離子表面活性劑，0.8%~1.2%的金屬緩沖劑及15.8%~24.2%的水。[0048]優(yōu)選的，有機(jī)酸為有機(jī)羧酸。具體的，有機(jī)羧酸為硫代乙酸。
[0049]優(yōu)選的，非離子表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚。具體的，烷基酚聚氧乙烯醚為辛基酚聚氧乙烯醚。
[0050]優(yōu)選的，金屬緩沖劑為苯駢三氮唑(C6H5N3)15
[0051]具體在本實(shí)施方式中，使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層時(shí)，依次使用滾刷及盤刷清理所述ITO玻璃以除去ITO層。滾刷與盤刷配合褪膜劑的蝕刻性能可以將ITO玻璃的ITO層除去。
[0052]步驟S140、干燥玻璃基板。
[0053]使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層后，得到的玻璃基板表面會(huì)殘留褪膜劑，該步驟中干燥玻璃基板可避免將玻璃基板表面的脫模劑帶入下一個(gè)處理流程。
[0054]具體在本實(shí)施方式中，干燥玻璃基板的方式為烘干、風(fēng)干或晾干。
[0055]步驟S150、清洗玻璃基板。
[0056]具體在本實(shí)施方式中，使用水清洗玻璃基板。當(dāng)然，也可以使用其他清洗劑清洗，比如乙醇，丙酮等。
[0057]具體的，清洗玻璃基板包括以下步驟:
[0058]使用水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；
[0059]使用水及滾刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；
[0060]使用水對(duì)玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋；
[0061]使用水對(duì)玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋；
[0062]使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋；及
[0063]使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水洗滌。
[0064]具體在本實(shí)施方式中，使用3#水箱的水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，使用3#水箱的水及滾刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，清洗后的廢水排入2#水箱。
[0065]具體在本實(shí)施方式中，使用4#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋，噴淋后的廢水排入3#水箱。
[0066]具體在本實(shí)施方式中，使用5#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋(BJ噴淋)，噴淋后的廢水排入4#水箱。
[0067]具體在本實(shí)施方式中，使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋及超純水洗滌，超純水噴淋及超純水洗滌后的廢水排入6#水箱。進(jìn)一步的,對(duì)超純水噴淋及超純水洗滌后的廢水進(jìn)行PH值檢測，如果pH值小于7，表示清洗不合格。具體在本實(shí)施方式中，在6#水箱中設(shè)置PH值電子感應(yīng)器，當(dāng)pH值電子感應(yīng)器感應(yīng)到6#水箱中的廢水的pH值小于7時(shí)，就會(huì)報(bào)警，說明對(duì)玻璃基板清洗不合格，玻璃上殘留有褪膜劑，因?yàn)橥誓樗嵝裕瑢?duì)再次鍍ITO膜層有危害。
[0068]具體在本實(shí)施方式中，將玻璃基板自動(dòng)傳送依次進(jìn)行上述清洗步驟，傳送的速度為 3m/min ~4.5m/min。
[0069]步驟S160、風(fēng)干玻璃基板。[0070]具體在本實(shí)施方式中，依次使用熱風(fēng)刀及冷風(fēng)刀風(fēng)干玻璃基板。優(yōu)選的，熱風(fēng)刀的溫度為35°C~45°C，冷風(fēng)刀的溫度為20°C~25°C，冷風(fēng)刀及熱風(fēng)刀的風(fēng)壓為7.5MPa~8MPa。[0071]上述ITO玻璃的褪膜方法，使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層，無需進(jìn)行打磨，會(huì)造成ITO玻璃的玻璃基板破碎。[0072]以下結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)褪膜劑及ITO玻璃的褪膜方法進(jìn)行詳細(xì)說明。[0073]實(shí)施例1[0074]1.1、清洗ITO玻璃以除去ITO玻璃表面的污垢。[0075]ITO玻璃包括玻璃基板及形成于玻璃基板表面的ITO層。ITO玻璃的方塊電阻為200 歐。 [0076]清洗ITO玻璃時(shí)，先使用水噴 淋ITO玻璃，再使用滾刷清洗ITO玻璃。噴淋的水壓為 1.2MPa。[0077]將ITO玻璃自噴淋處傳送至滾刷清洗處，傳送的速度為0.5m/min。[0078]清洗ITO玻璃時(shí)使用2#水箱中儲(chǔ)存的水，并將清洗后的廢水存入1#水箱。1#水箱的水進(jìn)入廢水處理站進(jìn)行后續(xù)處理。[0079]1.2、干燥ITO玻璃。[0080]清洗ITO玻璃后，ITO玻璃表面會(huì)有水，該步驟中干燥ITO玻璃可避免將ITO玻璃表面的水帶入下一個(gè)處理流程。干燥ITO玻璃的方式為風(fēng)干。[0081]1.3、使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層得到玻璃基板。[0082]褪膜劑，按照質(zhì)量百分含量計(jì)包括如下組分:[0083]42%的硫代乙酸，33%的辛基酚聚氧乙烯醚，0.8%的苯駢三氮唑及24.2%的水。[0084]依次使用滾刷及盤刷清理所述ITO玻璃以除去ITO層。滾刷與盤刷配合褪膜劑的蝕刻性能可以將ITO玻璃的ITO層除去。[0085]步驟1.4、干燥玻璃基板。[0086]使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層后，得到的玻璃基板表面會(huì)殘留褪膜劑，該步驟中干燥玻璃基板可避免將玻璃基板表面的脫模劑帶入下一個(gè)處理流程。[0087]干燥玻璃基板的方式為風(fēng)干。[0088]步驟1.5、清洗玻璃基板。[0089]具體的，清洗玻璃基板包括以下步驟:[0090]使用3#水箱的水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；[0091]使用3#水箱的水及滾刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；[0092]使用4#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋；[0093]使用5#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋；[0094]使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋；及[0095]使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水洗滌。[0096]使用3#水箱的水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，使用3#水箱的水及滾刷對(duì)玻璃基
板進(jìn)行清洗，清洗后的廢水排入2#水箱。使用4#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋，噴淋后的廢水排入3#水箱。使用5#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋(BJ噴淋)，噴淋后的廢水排入4#水箱。使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋及超純水洗滌,超純水噴淋及超純水洗滌后的廢水排入6#水箱。[0097]具體的，將玻璃基板自動(dòng)傳送依次進(jìn)行上述清洗步驟，傳送的速度為3.5m/min。
[0098]6#水箱中設(shè)置的pH值電子感應(yīng)器檢測到6#水箱中水的pH值為7.1。
[0099]步驟1.6、依次使用熱風(fēng)刀及冷風(fēng)刀風(fēng)干玻璃基板。
[0100]熱風(fēng)刀的溫度為45°C，冷風(fēng)刀的溫度為25°C，冷風(fēng)刀及熱風(fēng)刀的風(fēng)壓為7.5MPa。
[0101]使用方塊電阻儀器對(duì)玻璃基板表面電阻檢測，電阻值為無限大。
[0102]使用射燈對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行檢測，顯示無劃痕。
[0103]實(shí)施例2
[0104]2.1、清洗ITO玻璃以除去ITO玻璃表面的污垢。
[0105]ITO玻璃包括玻璃基板及形成于玻璃基板表面的ITO層。ITO玻璃的方塊電阻為1000 歐。
[0106]清洗ITO玻璃時(shí)，先使用水噴淋ITO玻璃，再使用滾刷清洗ITO玻璃。噴淋的水壓為1.5MPa。優(yōu)選的，將ITO玻璃自噴淋處傳送至滾刷清洗處，傳送的速度為lm/min。清洗ITO玻璃時(shí)使用2#水箱中儲(chǔ)存的水，并將清洗后的廢水存入1#水箱。1#水箱的水進(jìn)入廢水處理站進(jìn)行后續(xù)處理。
[0107]2.2、干燥 ITO 玻璃。
[0108]清洗ITO玻璃后，ITO玻璃表面會(huì)有水，該步驟中干燥ITO玻璃可避免將ITO玻璃表面的水帶入下一個(gè)處理流程。干燥ITO玻璃的方式為風(fēng)干。
[0109]2.3、使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層得到玻璃基板。
[0110]褪膜劑，按照質(zhì)量百分含量計(jì)包括如下組分:
[0111]45%的硫代乙酸，38%的辛基酚聚氧乙烯醚，1.2%的苯駢三氮唑及15.8%的水。
[0112]依次使用滾刷及盤刷清理所述ITO玻璃以除去ITO層。滾刷與盤刷配合褪膜劑的蝕刻性能可以將ITO玻璃的ITO層除去。
[0113]步驟2.4、干燥玻璃基板。
[0114]使用褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層后，得到的玻璃基板表面會(huì)殘留褪膜劑，該步驟中干燥玻璃基板可避免將玻璃基板表面的脫模劑帶入下一個(gè)處理流程。
[0115]干燥玻璃基板的方式為風(fēng)干。
[0116]步驟2.5、清洗玻璃基板。
[0117]具體的，清洗玻璃基板包括以下步驟:
[0118]使用3#水箱的水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；
[0119]使用3#水箱的水及滾刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；
[0120]使用4#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋；
[0121 ] 使用5#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋；
[0122]使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋；及
[0123]使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水洗滌。
[0124]使用3#水箱的水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，使用3#水箱的水及滾刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，清洗后的廢水排入2#水箱。使用4#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋，噴淋后的廢水排入3#水箱。使用5#水箱的水對(duì)玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋(BJ噴淋)，噴淋后的廢水排入4#水箱。使用超純水對(duì)玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋及超純水洗滌,超純水噴淋及超純水洗滌后的廢水排入6#水箱。[0125]具體的,將玻璃基板自動(dòng)傳送依次進(jìn)行上述清洗步驟,傳送的速度為4.5m/min。
[0126]6#水箱中設(shè)置的pH值電子感應(yīng)器檢測到6#水箱中水的pH值為7.3。
[0127]步驟2.6、依次使用熱風(fēng)刀及冷風(fēng)刀風(fēng)干玻璃基板。
[0128]熱風(fēng)刀的溫度為35°C，冷風(fēng)刀的溫度為20°C，冷風(fēng)刀及熱風(fēng)刀的風(fēng)壓為8MPa。
[0129]使用方塊電阻儀器對(duì)玻璃基板表面電阻檢測，電阻值為無限大。
[0130]使用射燈對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行檢測，顯示無劃痕。
[0131]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的一種或幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種褪膜劑，其特征在于，按照質(zhì)量百分含量計(jì)包括如下組分:42%~45%的有機(jī)酸，33%~38%的非離子表面活性劑，0.8%~1.2%的金屬緩沖劑及 15.8% ~24.2% 的水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的褪膜劑，其特征在于，所述有機(jī)酸為有機(jī)羧酸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的褪膜劑，其特征在于，所述非離子表面活性劑為烷基酚聚氧乙烯醚。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的褪膜劑，其特征在于，所述金屬緩沖劑為苯駢三氮唑。
5.一種ITO玻璃的褪膜方法，其特征在于，包括以下步驟:使用權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的褪膜劑除去ITO玻璃的ITO層得到玻璃基板；干燥所述玻璃基板；清洗所述玻璃基板 '及風(fēng)干所述玻璃基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的ITO玻璃的褪膜方法，其特征在于，所述ITO玻璃在使用所述褪膜劑除去ITO層之前還包括步驟:清洗所述ITO玻璃以除去所述ITO玻璃表面的污垢；及干燥所述ITO玻璃。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的ITO玻璃的褪膜方法，其特征在于，清洗所述ITO玻璃時(shí)先使用水噴淋所述ITO玻璃，再使用滾刷清洗所述ITO玻璃。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的ITO玻璃的褪膜方法，其特征在于，使用所述褪膜劑除去ITO 玻璃的ITO層時(shí)，依次使用滾刷及盤刷清理所述ITO玻璃以除去ITO層。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的ITO玻璃的褪膜方法，其特征在于，清洗所述玻璃基板時(shí)依次包括以下步驟:使用水及盤刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；使用水及滾刷對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗；使用水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行高壓噴淋；使用水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行二流體噴淋；使用超純水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行超純水噴淋；及使用超純水對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行超純水洗滌。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的ITO玻璃的褪膜方法，其特征在于，風(fēng)干所述玻璃基板時(shí)依次使用熱風(fēng)刀及冷風(fēng)刀風(fēng)干。
【文檔編號(hào)】C03C23/00GK103524054SQ201310425425
【公開日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年9月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月17日
【發(fā)明者】張迅, 張伯倫, 易偉華 申請(qǐng)人:江西沃格光電科技有限公司