專利名稱：具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅片加工領域，具體是一種具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機。
背景技術：
多線切割技術是目前比較先進的硅片加工技術，被世界范圍內絕大多數(shù)硅片生產廠家所采用。其原理是將一根極細的鋼線相互平行的纏繞在兩個或多個導線輪上形成一個水平的切割線網(鋼線間的距離由導線輪槽距決定)，切割時導線輪帶動線網做高速運動，噴砂嘴持續(xù)不斷地向線網噴射含有磨料的研磨漿液(通常為PEG及SiC的混合液)，同時工件臺以工藝要求的速度以垂直于線網的方向朝著線網運動，線網將磨料帶入待加工工件區(qū)域對工件進行磨銷，將硅塊等硬脆材料切割成數(shù)以千計的薄片。在整個切割過程中，線網的帶砂能力及平整度對硅片的質量及成品率起著重要的作用。在實際切割過程中，隨著切割的進行，會產生導向條殘渣，碎硅屑，金屬顆粒等雜質，這些雜質如果附著在鋼線上將影響鋼線的帶砂能力，鋼線進入硅塊后，由于帶砂不足及雜質的影響容易使硅片產生線痕等不良品，同時若雜質混同砂漿團聚在硅片表面也不利于硅片表面的清潔；若雜質附著在導線輪上，極易引起鋼線的跳線，嚴重的甚至斷線，影響硅片切割質量及成品率。

實用新型內容本實用新型提供了具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，解決了以往的兩導輪多線切割機在進行切割時，鋼線上常常附著雜質，影響鋼線的帶砂能力，進而可能導致硅片產生線痕，同時還可能引起鋼線的跳線，嚴重的甚至斷線，影響硅片切割質量及成品率的問題。
本實用新型為解決技術問題主要通過以下技術方案實現(xiàn):具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，包括輸入機構、切割機構、若干砂漿噴管以及若干第一噴吹管，所述砂漿噴管和第一噴吹管上設有若干噴孔，所述輸入機構位于切割機構的上方，所述輸入機構包括依次固定連接的工作臺、工件架以及工件板，所述切割機構包括兩個導輪和若干鋼線，兩個導輪的中心軸線相互平行，導輪上設有若干相互平行的線槽，鋼線通過線槽相互平行地纏繞在兩個導輪上，所述砂漿噴管和第一噴吹管位于導輪的上方。工件板用于固定待切割的硅片，工作臺帶動硅片向下運動進行切割；導輪與鋼線組成一個高速運行的切割帶，同時砂漿噴管將研磨漿液噴在鋼線上，當硅片進入切割帶后，被高速運行的切割帶切割成數(shù)以千計的薄片；第一噴吹管可采用壓縮空氣噴吹的方式，對鋼線上的殘渣進行噴吹清潔，確保鋼線的帶砂能力。進一步地，作為優(yōu)選方案，本實用新型還包括收集槽，所述收集槽位于兩個導輪之間，且收集槽位于輸入機構的正下方。在切割的過程中，會產生碎硅片等殘渣，用收集槽收集該殘渣后，能夠避免其過多地附著在鋼線上。[0007]進一步地，所述兩個導輪的內外側分別設有內擋板和外擋板。內擋板和外擋板能夠阻擋一部分碎屑，防止其飛濺。更進一步地，所述外擋板與導輪之間設有至少一根第二噴吹管。第二噴吹管能夠將鋼線上的碎硅屑吹掉，減少鋼線上附著的殘渣。所述第二噴吹管的中心軸線與導輪的中心軸線相互平行。作為優(yōu)選方案，本實用新型還包括至少一根第三噴吹管，所述第三噴吹管位于兩個導輪之間，且位于導輪的中心軸線以下。第三噴吹管是為了進一步減小鋼線上的殘渣附著，提升鋼線的帶砂能力。所述第三噴吹管的中心軸線與導輪的中心軸線相互平行。所述砂漿噴管垂直于鋼線，且砂漿噴管的長度等于或大于導輪的寬度。所述第一噴吹管與砂漿噴管平行。本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有以下優(yōu)點和有益效果:( I)本實用新型通過設置第一噴吹管，實時地將鋼線上的碎硅屑等殘渣吹掉，避免殘渣影響鋼線的帶砂能力，進而保證了硅片切割的質量，同時通過增設第二噴吹管、第三噴吹管，進一步提高清潔能力，確保鋼線上的殘渣被徹底吹干凈。(2)本實用新型通過設置收集槽，將硅片切割過程中產生的碎屑進行收集，防止碎屑散落或附著在鋼線上，進而減小殘渣對硅片切割的影響。(3)本實用新 型的第一噴水管、第二噴吹管及第三噴吹管還能對鋼線起到一定的冷卻降溫作用，保證切割質量。

圖1為本實用新型的實施例1的結構示意圖；圖2為本實用新型的實施例2的結構示意圖；圖3為本實用新型的實施例3的結構示意圖；圖4為本實用新型的實施例4的結構示意圖；圖5為本實用新型的實施例5的立體圖；圖6為本實用新型的實施例5的主視圖。
具體實施方式
下面結合實施例對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實施方式不限于此。實施例1:如圖1所示，本實施例包括輸入機構、切割機構、若干砂漿噴管5以及若干第一噴吹管8,砂衆(zhòng)噴管5和第一噴吹管8上設有若干噴孔,輸入機構位于切割機構的上方，輸入機構包括依次固定連接的工作臺1、工件架2以及工件板3，切割機構包括兩個導輪9和若干鋼線11，兩個導輪9的中心軸線相互平行，導輪9上設有若干相互平行的線槽，鋼線11通過線槽相互平行地纏繞在兩個導輪9上，砂漿噴管5和第一噴吹管8位于導輪9的上方。作為優(yōu)選，本實施例的砂漿噴管5垂直于鋼線11，且砂漿噴管5的長度等于或大于導輪9的寬度。[0028]另外，作為優(yōu)選，本實施例的第一噴吹管8與砂漿噴管5平行。本實施例的工作原理:導輪9帶動鋼線11高速運行，形成切割網，工作臺I帶動待切割的硅片4向下運動并逐漸與切割網接觸，切割網將硅片4切割成數(shù)以千計的薄片，在切割過程中，砂漿噴管5不斷地將漿液噴在鋼線11上，而第一噴吹管8不斷地將鋼線上可能攜帶的碎屑等殘渣吹掉，保證鋼線11的帶砂能力。實施例2:如圖2所示，本實施例與實施例1基本相同，不同的地方是，本實施例在兩個導輪9之間增設收集槽10，且使收集槽10位于輸入機構的正下方，硅片切割產生的碎屑就直接進入到收集槽10內。實施例3:如圖3所示，為了防止硅片碎屑飛濺，本實施例在實施例2的基礎上，在兩個導輪9的內外側分別設置內擋板6和外擋板7。實施例4:如圖4所示，為了獲得更好的清潔效果，本實施例在實施例3的基礎上，在外擋板7與導輪9之間設置至少一根第二噴吹管12，而作為優(yōu)選，本實施例在外擋板7與導輪9之間設置一根第二噴吹管12即可；另外，為使噴吹效果更好，使第二噴吹管12的中心軸線與導輪9的中心軸線相互平行。實施例5:如圖5及圖6所示，本實施例還包括至少一根第三噴吹管13，作為優(yōu)選， 本實施例在兩個導輪9之間設置兩根第三噴吹管13，且位于導輪9的中心軸線以下。作為優(yōu)選，本實施例的第三噴吹管13的中心軸線與導輪9的中心軸線相互平行。以上實施例中提到的噴液管的數(shù)量以及位置關系可根據需要而定，以能夠符合生產要求為準；同時，以上所述的噴吹管的數(shù)量也以能夠符合生產要求為準，而具體位置關系，比如是在鋼線內側還是外側、距導輪或鋼線的距離是多少，這些可根據需要而定，只要能實現(xiàn)本發(fā)明的目的即可。
權利要求1.具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:包括輸入機構、切割機構、若干砂漿噴管(5)以及若干第一噴吹管(8)，所述砂漿噴管(5)和第一噴吹管(8)上設有若干噴孔，所述輸入機構位于切割機構的上方，所述輸入機構包括依次固定連接的工作臺(I)、工件架(2 )以及工件板(3 )，所述切割機構包括兩個導輪(9 )和若干鋼線(11)，兩個導輪(9 )的中心軸線相互平行，導輪(9)上設有若干相互平行的線槽，鋼線(11)通過線槽相互平行地纏繞在兩個導輪(9)上，所述砂漿噴管(5)和第一噴吹管(8)位于導輪(9)的上方。
2.根據權利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:還包括收集槽(10)，所述收集槽(10)位于兩個導輪(9)之間，且收集槽(10)位于輸入機構的正下方。
3.根據權利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:所述兩個導輪(9)的內外側分別設有內擋板(6)和外擋板(7)。
4.根據權利要求3所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:所述外擋板(7)與導輪(9)之間設有至少一根第二噴吹管(12)。
5.根據權利要求4所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:所述第二噴吹管(12)的中心軸線與導輪(9)的中心軸線相互平行。
6.根據權利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:還包括至少一根第三噴吹管(13)，所述第三噴吹管(13)位于兩個導輪(9)之間，且位于導輪(9)的中心軸線以下。
7.根據權利要求6所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:所述第三噴吹管(13)的中心軸線與導輪(9)的中心軸線相互平行。
8.根據權利要求1所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:所述砂漿噴管(5)垂直于鋼線(11)，且砂漿噴管(5)的長度等于或大于導輪(9)的寬度。
9.根據權利要求8所述的具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，其特征在于:所述第一噴吹管(8)與砂漿噴管(5)平行。
專利摘要本實用新型公開了具有實時清洗功能的兩導輪多線切割機，包括輸入機構、切割機構、若干砂漿噴管以及若干第一噴吹管，砂漿噴管和第一噴吹管上設有若干噴孔，輸入機構位于切割機構的上方，輸入機構包括依次固定連接的工作臺、工件架以及工件板，切割機構包括兩個導輪和若干鋼線，兩個導輪的中心軸線相互平行，導輪上設有若干相互平行的線槽，鋼線通過線槽相互平行地纏繞在兩個導輪上，砂漿噴管和第一噴吹管位于導輪的上方。本實用新型采用上述結構，能保證鋼線的帶砂能力，防止引起鋼線的跳線甚至斷線，避免影響硅片切割質量及成品率。
文檔編號B28D7/02GK203092804SQ201320149718
公開日2013年7月31日 申請日期2013年3月29日 優(yōu)先權日2013年3月29日
發(fā)明者劉興翀, 張凱, 陳博, 孟奔, 林洪峰, 張鳳鳴 申請人:天威新能源控股有限公司