線鋸機的斷線接續(xù)治具的制作方法
【專利摘要】一種線鋸機的斷線接續(xù)治具，線鋸機包括有：一線軸室、一切割室及一切割線，線軸室具有一新線軸及一收線軸，切割室具有一入線導(dǎo)引輪及一收線導(dǎo)引輪，切割線繞行于新線軸、入線導(dǎo)引輪、收線導(dǎo)引輪及收線軸以形成一切割線網(wǎng)。而斷線接續(xù)治具用以在切割線于切割一工件發(fā)生斷線時重新建立切割線網(wǎng)，包括有：一第一輔助導(dǎo)引輪裝置、一第二輔助導(dǎo)引輪裝置及一第三輔助導(dǎo)引輪裝置，其分別依序接續(xù)導(dǎo)引切割線，俾能在切割線網(wǎng)中間斷線的情況下，斷線處經(jīng)焊接后，接續(xù)并導(dǎo)引二分隔的切割線網(wǎng)，以節(jié)省成本同時達到維持產(chǎn)能的效用。
【專利說明】線鋸機的斷線接續(xù)治具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型是關(guān)于一種線鋸機的斷線接續(xù)治具，尤其指一種適用于半導(dǎo)體材料切割技術(shù)的線鋸機的斷線接續(xù)治具。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片切割工藝始于由單晶硅或多晶硅材料制成的實心硅錠。常利用線鋸將硅錠裁成方塊，然后再切割成很薄的硅片。這些晶體硅片就被用作制造光伏電池的襯底。如今的線鋸切割大多數(shù)是通過多線切割技術(shù)實現(xiàn)的。
[0003]如圖1所示，為公知線鋸機的立體圖，線鋸機I主要以直徑為110μπι-140μπι的單根切割線11纏繞在四導(dǎo)輪12上，這種導(dǎo)輪12開槽精細且槽距均勻，形成平行切割線的水平網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)或切割線網(wǎng)13。而在切割線11起始及結(jié)束部分設(shè)有一入線軸14及一收線軸15，用以提供足夠的張力及驅(qū)動力。強大的驅(qū)動力使整張網(wǎng)在約為每秒10米到20米的相對高速下運行。線鋸機I所采用的漿料，一種由耐磨粒子加冷卻液制成的切削液，例如:將碳化硅粉末加入石蠟油中，通過二漿料噴嘴16輸送到運動中的切割線11上。切割線11將漿料傳送到切割區(qū)。
[0004]此切割區(qū)的設(shè)計包含上下二層工作臺17、171，可同時進行切割動作，以增進工作效率。接著如圖2所示，為公知線鋸機切割半導(dǎo)體材料的立體圖。將待切割的四硅錠18固定在上下工作臺17、171上并且與切割線逆向作垂直運動。此一動作將硅錠18推過切割線網(wǎng)13,同時產(chǎn)生大量的娃塊或娃片。
[0005]接著，請參閱圖3，為公知線鋸機繞線配置的示意圖。其線鋸機2主要結(jié)構(gòu)包括有:一線軸室21、一切割室22、一切割線23，線軸室21具有一新線軸211、一收線軸212、二張力控制裝置241、242及六導(dǎo)引輪251、252、253、254、255、256，切割室22具有一入線導(dǎo)引輪221及一收線導(dǎo)引輪222，切割線23繞行于新線軸211、第一導(dǎo)引輪251、第二導(dǎo)引輪252、第三導(dǎo)引輪253、入線導(dǎo)引輪221、收線導(dǎo)引輪222、第四導(dǎo)引輪254、第五導(dǎo)引輪255、第六導(dǎo)引輪256、及收線軸212以形成切割線網(wǎng)231。
[0006]在多線鋸切割系統(tǒng)中，切割運動基本上是一種快速的三體磨損過程，其特點在于使用了一種基于滾動及壓入的切割機制。然而，在高速切割的過程中，勢必會發(fā)生切割線網(wǎng)231中間斷線的情況，這時基于成本與繞線時間上的考慮，一般來說并不會將整個線鋸機2的切割線23重繞，而是藉由調(diào)整收線導(dǎo)引輪222至斷線處并舍棄斷線處一側(cè)的切割線網(wǎng)231，因而減損了切割面積，造成了硅錠產(chǎn)能的損失。
實用新型內(nèi)容
[0007]本實用新型的目的在于提供一種線鋸機的斷線接續(xù)治具，以能在切割線網(wǎng)中間斷線的情況下，斷線處經(jīng)焊接后，接續(xù)并導(dǎo)引二分隔的切割線網(wǎng)，以節(jié)省成本同時達到維持產(chǎn)能的效用。
[0008]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的線鋸機的斷線接續(xù)治具，線鋸機包括有:一線軸室、一切割室及一切割線，該線軸室具有一新線軸及一收線軸，該切割室具有一入線導(dǎo)引輪及一收線導(dǎo)引輪，該切割線繞行于該新線軸、該入線導(dǎo)引輪、該收線導(dǎo)引輪及該收線軸以形成一切割線網(wǎng)，該斷線接續(xù)治具用以在該切割線于切割一工件發(fā)生斷線時重新建立該切割線網(wǎng)，包括有:一第一輔助導(dǎo)引輪裝置、一第二輔助導(dǎo)引輪裝置及一第三輔助導(dǎo)引輪裝置，依前述輔助導(dǎo)引輪裝置的次序?qū)б撉懈罹€，使該切割線繞行于該新線軸、該入線導(dǎo)引輪、該收線導(dǎo)引輪及該收線軸以形成該切割線網(wǎng)。
[0009]上述每一導(dǎo)引輪裝置可包括有:一固定座、一滑軌、一導(dǎo)引輪、一定位件及一張力調(diào)整件，滑軌固設(shè)于固定座，導(dǎo)引輪滑設(shè)于滑軌上，定位件用以定位導(dǎo)引輪于滑軌上，張力調(diào)整件固設(shè)于滑軌上并抵頂導(dǎo)引輪。藉由調(diào)整導(dǎo)引輪的定位及張力調(diào)整件的松緊程度，以改變切割網(wǎng)線的張力強度并導(dǎo)引切割線的移動路線。
[0010]第一導(dǎo)引輪裝置與該第三導(dǎo)引輪裝置可固設(shè)于切割室。而第二導(dǎo)引輪裝置可固設(shè)于線軸室。由此配置方式，能方便切割線的移動。
[0011]新線軸與入線導(dǎo)引輪之間可固設(shè)有一張力控制裝置，而收線導(dǎo)引輪與收線軸之間亦可設(shè)有一張力控制裝置，切割線可繞經(jīng)二張力控制裝置，用以控制該切割線于切割過程中維持一定的張力。另外，上述的工件，可為半導(dǎo)體材料或硅錠等其他不同材料。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為公知線鋸機的立體圖。
[0013]圖2為公知線鋸機切割半導(dǎo)體材料的立體圖。
[0014]圖3為公知線鋸機繞線配置的示意圖。
[0015]圖4為本實用新型線鋸機的斷線接續(xù)治具一較佳實施例的示意圖。
[0016]圖5為本實用新型線鋸機的斷線接續(xù)治具一較佳實施例的導(dǎo)引輪裝置的立體圖。
[0017]附圖中主要組件符號說明:
[0018]I線鋸機，11切割線，12導(dǎo)輪，13切割線網(wǎng)，14新線軸，15收線軸，16漿料噴嘴，17上層工作臺，171下層工作臺，18硅錠；
[0019]2線鋸機，21線軸室，211入線軸，212收線軸，22切割室，221入線導(dǎo)引輪，222收線導(dǎo)引輪，23切割線，231切割線網(wǎng)，241張力控制裝置，242張力控制裝置，251第一導(dǎo)引輪，252第二導(dǎo)引輪,253第三導(dǎo)引輪,254第四導(dǎo)引輪,255第五導(dǎo)引輪,256第六導(dǎo)引輪；
[0020]3線鋸機，31線軸室，311新線軸，312收線軸，32切割室，321入線導(dǎo)引輪，322收線導(dǎo)引輪，33切割線，331切割線網(wǎng)，341張力控制裝置，342張力控制裝置，351第一導(dǎo)引輪，352第二導(dǎo)引輪,353第三導(dǎo)引輪,354第四導(dǎo)引輪,355第五導(dǎo)引輪,356第六導(dǎo)引輪；
[0021]41第一輔助導(dǎo)引輪裝置，42第二輔助導(dǎo)引輪裝置，43第三輔助導(dǎo)引輪裝置；
[0022]51固定座，52滑軌，53導(dǎo)引輪，54定位件，55張力調(diào)整件。
【具體實施方式】
[0023]請參閱圖4及圖5，是本實用新型線鋸機的斷線接續(xù)治具一較佳實施例的示意圖、導(dǎo)引輪裝置的立體圖。
[0024]如圖4所示，本實施例的線鋸機3其主要結(jié)構(gòu)包括有:一線軸室31、一切割室32及一切割線33。[0025]線軸室31具有一新線軸311、一收線軸312、一第一導(dǎo)引輪351、一第二導(dǎo)引輪352、一第三導(dǎo)引輪353、一第四導(dǎo)引輪354、一第五導(dǎo)引輪355、及一第六導(dǎo)引輪356,用以導(dǎo)引切割線33能順利入線進入切割室32及收線回到線軸室31，另外線軸室31具有二張力控制裝置341、342，控制整臺線鋸機3的切割線33的一切張力。
[0026]切割室32具有一入線導(dǎo)引輪321及一收線導(dǎo)引輪322及一切割線網(wǎng)331，切割線網(wǎng)331在高速運行下，與待切割的工件做逆向垂直運動，提供多線鋸切割的效果。
[0027]本實施例的斷線接續(xù)治具，包括有:一第一輔助導(dǎo)引輪裝置41、一第二輔助導(dǎo)引輪裝置42及一第三輔助導(dǎo)引輪裝置43。其中，第二輔助導(dǎo)引輪裝置42固設(shè)于線軸室31，而第一輔助導(dǎo)引輪裝置41與第三輔助導(dǎo)引輪裝置43固設(shè)于切割室32。此斷線接續(xù)治具331用以在切割線33于切割一硅錠或一半導(dǎo)體材料發(fā)生斷線時重新建立該切割線網(wǎng)331。
[0028]本實施例的線鋸機及其斷線接續(xù)治具的繞線配置方式如圖4中箭頭所示。首先，切割線33由位于線軸室31的新線軸311起始繞線，依序繞經(jīng)第一導(dǎo)引輪351、第二導(dǎo)引輪352、及第三導(dǎo)引輪353后，朝箭頭方向繞經(jīng)入線導(dǎo)引輪321而進入切割室32，接著將切割線33纏繞于四根導(dǎo)輪形成左側(cè)切割線網(wǎng)331后，在切割線33斷開的部分沿著箭頭方向依序繞經(jīng)第一輔助導(dǎo)引輪裝置41、第二輔助導(dǎo)引輪裝置42、及第三輔助導(dǎo)引輪裝置43，接著，繼續(xù)纏繞于四根導(dǎo)輪形成右側(cè)切割線網(wǎng)331，繞經(jīng)收線導(dǎo)引輪322后回到線軸室31，此時順著箭頭方向依序繞經(jīng)第四導(dǎo)引輪354、第五導(dǎo)引輪355、及第六導(dǎo)引輪356回到收線軸312。
[0029]此外，第三線軸導(dǎo)引輪353固設(shè)有張力控制裝置341，當(dāng)切割線33繞經(jīng)第三導(dǎo)引輪353時，張力控制裝置341可控制切割線33于切割過程中維持一定的張力。同樣的，第四導(dǎo)引輪354固設(shè)有張力控制裝置342，當(dāng)切割線33繞經(jīng)第四導(dǎo)引輪354時，張力控制裝置342可控制切割線33于切割過程中維持一定的張力。
[0030]如圖5所示，本實施例的每一輔助導(dǎo)引輪裝置41、42、43包括有:一固定座51、一滑軌52、一導(dǎo)引輪53、一定位件54及一張力調(diào)整件55，滑軌52固設(shè)于固定座51，導(dǎo)引輪53滑設(shè)于滑軌52，定位件54用以定位導(dǎo)引輪53于滑軌52上，張力調(diào)整件55固設(shè)于滑軌52上并抵頂導(dǎo)引輪53。由配置每一導(dǎo)引輪裝置41、42、43的位置，用以導(dǎo)引切割線33移動路線。
[0031]上述實施例僅為了方便說明而舉例而已，本實用新型所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請的權(quán)利要求范圍所述為準，而非僅限于上述實施例。
【權(quán)利要求】
1.一種線鋸機的斷線接續(xù)治具，其特征是，該線鋸機包括有: 一線軸室、一切割室及一切割線，該線軸室具有一新線軸及一收線軸，該切割室具有一入線導(dǎo)引輪及一收線導(dǎo)引輪，該切割線繞行于該新線軸、該入線導(dǎo)引輪、該收線導(dǎo)引輪及該收線軸以形成一切割線網(wǎng)，該斷線接續(xù)治具用以在該切割線于切割一工件發(fā)生斷線時重新建立該切割線網(wǎng)，包括有:一第一輔助導(dǎo)引輪裝置、一第二輔助導(dǎo)引輪裝置及一第三輔助導(dǎo)引輪裝置，依前述輔助導(dǎo)引輪裝置的次序?qū)б撉懈罹€，使該切割線繞行于該新線軸、該入線導(dǎo)引輪、該收線導(dǎo)引輪及該收線軸以形成該切割線網(wǎng)。
2.如權(quán)利要求1所述線鋸機的斷線接續(xù)治具，其特征是，每一輔助導(dǎo)引輪裝置包括有:一固定座、一滑軌、一導(dǎo)引輪及一定位件，該滑軌固設(shè)于該固定座，該導(dǎo)引輪滑設(shè)于該滑軌，該定位件用以定位該導(dǎo)引輪于該滑軌上。
3.如權(quán)利要求2所述線鋸機的斷線接續(xù)治具，其特征是，每一輔助導(dǎo)引輪裝置包括有一張力調(diào)整件，固設(shè)于該滑軌上并抵頂該導(dǎo)引輪
4.如權(quán)利要求1所述線鋸機的斷線接續(xù)治具，其特征是，該第一輔助導(dǎo)引輪裝置與該第三輔助導(dǎo)引輪裝置固設(shè)于該切割室。
5.如權(quán)利要求1所述線鋸機的斷線接續(xù)治具，其特征是，該第二輔助導(dǎo)引輪裝置固設(shè)于該線軸室。
6.如權(quán)利要求1所述線鋸機的斷線接續(xù)治具，其特征是，該入線軸與該入線導(dǎo)引輪之間固設(shè)有一張力控制裝置，該切割線并繞經(jīng)該張力控制裝置，用以控制該切割線于切割過程中維持一定的張力。
7.如權(quán)利要求1所述線鋸機的斷線接續(xù)治具，其特征是，該收線導(dǎo)引輪與該收線軸之間固設(shè)有一張力控制裝置，該切割線并繞經(jīng)該張力控制裝置，用以控制該切割線于切割過程中維持一定的張力。
【文檔編號】B28D7/00GK203471977SQ201320382866
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月27日
【發(fā)明者】蘇俊僑, 徐敏偉 申請人:綠能科技股份有限公司