一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，包括支架和設(shè)在支架上的中轉(zhuǎn)桶；中轉(zhuǎn)桶的開口上方設(shè)有砂漿過濾器，中轉(zhuǎn)桶中設(shè)有深度測量尺，中轉(zhuǎn)桶的底部設(shè)有砂漿排出管。本實用新型能夠精確控制砂漿量，砂漿通過砂漿過濾器過濾后，流入中轉(zhuǎn)桶中，通過深度測量尺可以精確測量中轉(zhuǎn)桶中的液位高度，確定砂漿在中轉(zhuǎn)桶中的體積，以精確控制砂漿在多線切割過程中的使用量；本實用新型降低了成本，并提高了多線切割的質(zhì)量。
【專利說明】一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅片多線切割【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，現(xiàn)代信息技術(shù)和現(xiàn)代電子技術(shù)的基礎(chǔ)是半導(dǎo)體技術(shù)，而半導(dǎo)體硅材料是最重要的半導(dǎo)體材料。多線切割機以極高的生產(chǎn)效率和出片率，廣泛應(yīng)用于大直徑超薄硅片的切割領(lǐng)域，多線切割機用鋼線切割時，所用切削液是碳化硅跟晶硅切削液的懸浮混合體，俗稱砂漿。多線切割機生產(chǎn)過程中的更換砂漿量的控制是生產(chǎn)成本中的重要環(huán)節(jié)，但是，目前在更換砂漿時，在線砂漿回收機更換的砂漿量不能精確控制，用量多時會增加成本，用量少時會影響多線切割的質(zhì)量。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠精確控制更換砂漿量的中轉(zhuǎn)過濾
>J-U ρ?α裝直。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是:一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，包括支架和設(shè)在支架上的中轉(zhuǎn)桶；中轉(zhuǎn)桶的開口上方設(shè)有砂漿過濾器，中轉(zhuǎn)桶中設(shè)有深度測量尺，中轉(zhuǎn)桶的底部設(shè)有砂漿排出管。
·[0005]其中，所述砂漿排出管上設(shè)有砂漿泵。
[0006]其中，所述中轉(zhuǎn)桶的桶口設(shè)有導(dǎo)軌，砂漿過濾器裝設(shè)在導(dǎo)軌上。
[0007]其中，所述中轉(zhuǎn)桶的桶壁上與深度測量尺刻度對應(yīng)的位置設(shè)有透明窗。
[0008]其中，所述支架的底部設(shè)有輪子。
[0009]其中，所述中轉(zhuǎn)桶的橫截面為圓形或方形。
[0010]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0011]本實用新型能夠精確控制砂漿量，降低成本，并提高了多線切割的質(zhì)量。中轉(zhuǎn)桶中設(shè)有深度測量尺，可以測量砂漿液位高度，進(jìn)而計算砂漿體積；當(dāng)需要從中轉(zhuǎn)桶放出砂漿時，打開砂漿泵，砂漿流出；中轉(zhuǎn)桶上方的砂漿過濾器，用于過濾從在線砂漿回收機中流出的砂漿，保證中轉(zhuǎn)桶中砂漿的質(zhì)量。并且正常使用時，砂漿過濾器可以在導(dǎo)軌上自由移動；砂漿通過砂漿過濾器過濾后，流入中轉(zhuǎn)桶中，通過深度測量尺可以精確測量中轉(zhuǎn)桶中的液位高度，確定砂漿在中轉(zhuǎn)桶中的體積，以精確控制砂漿在多線切割過程中的使用量；當(dāng)需要不同量的砂漿時，只需要在中轉(zhuǎn)桶中放入適量的砂漿，使用深度測量尺測量砂漿的液位。支架的底部設(shè)有輪子，可以自由旋轉(zhuǎn)，保證中轉(zhuǎn)桶的移動。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是圖1的俯視圖；[0014]圖中:1、支架，2、中轉(zhuǎn)桶，3、砂漿過濾器，4、砂漿泵，5、深度測量尺，6、橫架，7、砂漿
排出管，8、輪子。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0016]如圖1、2所示，本實用新型為一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，包括支架I和設(shè)在支架I上的中轉(zhuǎn)桶2 ;支架I的底部設(shè)有輪子8，中轉(zhuǎn)桶2的橫截面為圓形或方形，易于測量盛放的砂漿的體積；中轉(zhuǎn)桶2的開口上方設(shè)有砂漿過濾器3，中轉(zhuǎn)桶2的桶口設(shè)有導(dǎo)軌6，砂漿過濾器3裝設(shè)在導(dǎo)軌6上；中轉(zhuǎn)桶2中設(shè)有深度測量尺5，中轉(zhuǎn)桶2的桶壁上與深度測量尺5刻度對應(yīng)的位置設(shè)有透明窗；中轉(zhuǎn)桶2的底部設(shè)有砂漿排出管7，砂漿排出管7上設(shè)有砂漿泵4。
[0017]支架I的底部設(shè)有輪子8，可以自由旋轉(zhuǎn)，保證中轉(zhuǎn)桶2的移動。中轉(zhuǎn)桶2中設(shè)有深度測量尺5，可以測量砂漿液位高度，進(jìn)而計算砂漿體積。當(dāng)需要從中轉(zhuǎn)桶2放出砂漿時，打開砂漿泵4，砂漿流出。中轉(zhuǎn)桶2上方的砂漿過濾器3，用于過濾從在線砂漿回收機中流出的砂漿，保證中轉(zhuǎn)桶2中砂漿的質(zhì)量。并且正常使用時，砂漿過濾器3可以在導(dǎo)軌6上自
由移動。
[0018]砂漿通過砂漿過濾器3過濾后，流入中轉(zhuǎn)桶2中，通過深度測量尺5精確測量中轉(zhuǎn)桶2中的液位高度，確定砂漿在中轉(zhuǎn)桶2中的體積，以精確控制砂漿在多線切割過程中的使用量。當(dāng)需要不同量的砂漿時，只需要在中轉(zhuǎn)桶2中放入適量的砂漿，使用深度測量尺5測量砂漿的液位。
【權(quán)利要求】
1.一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，其特征在于:包括支架(I)和設(shè)在支架(I)上的中轉(zhuǎn)桶(2);中轉(zhuǎn)桶(2)的開口上方設(shè)有砂漿過濾器(3)，中轉(zhuǎn)桶(2)中設(shè)有深度測量尺(5)，中轉(zhuǎn)桶(2)的底部設(shè)有砂漿排出管(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，其特征在于:所述砂漿排出管(7)上設(shè)有砂漿泵(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，其特征在于:所述中轉(zhuǎn)桶(2)的桶口設(shè)有導(dǎo)軌(6 )，砂漿過濾器(3 )裝設(shè)在導(dǎo)軌(6 )上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，其特征在于:所述中轉(zhuǎn)桶(2)的桶壁上與深度測量尺(5)刻度對應(yīng)的位置設(shè)有透明窗。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，其特征在于:所述支架(I)的底部設(shè)有輪子(8)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種線切機砂漿中轉(zhuǎn)過濾裝置，其特征在于:所述中轉(zhuǎn)桶(2)的橫截面為圓形或方形。
【文檔編號】B28D5/04GK203409905SQ201320478949
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年8月7日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月7日
【發(fā)明者】李佩劍, 劉巍, 周為貞, 范靖, 柳恒偉, 曹紹文 申請人:晶偉電子材料有限公司