一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置制造方法
【專利摘要】一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，涉及多晶硅設(shè)備領(lǐng)域，由支撐機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)組成，通過在底板（4）的兩端設(shè)置擋板（3），并在兩塊擋板（3）之間設(shè)置輥子（2），以此來達到調(diào)節(jié)硅棒晶向的目的；本實用新型實用性強，安裝和維護均比較方便，操作起來也比較方便，有效解決了多線切割機無法調(diào)節(jié)硅棒（1）晶向的問題，極大方便了后續(xù)的加工和使用，滿足了客戶的要求。
【專利說明】—種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置
[0001]【【技術(shù)領(lǐng)域】】
[0002]本實用新型涉及多晶硅設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置。
[0003]【【背景技術(shù)】】
[0004]公知的，在半導(dǎo)體硅片的切割中，要對硅棒本身的晶向進行控制調(diào)整，使切出的硅片晶向能夠滿足客戶對硅片晶向的要求，但是現(xiàn)有的多線切割機在硅片切割中雖然出片率比內(nèi)圓切割機的出片率要高得多，但是多線切割機也有自身的不足之處，就是沒有調(diào)節(jié)硅棒晶向的功能，只能在粘棒的時候?qū)蜻M行調(diào)整，但是娃棒與粘接板在粘接的時候，娃棒在粘接板上只能做水平方向的擺動，而垂直方向由于受粘接板的限制不能擺動，因此就導(dǎo)致了多線切割硅片無法實現(xiàn)硅棒晶向的調(diào)節(jié)，從而無法滿足客戶的需求。
[0005]【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0006]為了克服【背景技術(shù)】中的不足，本實用新型公開了一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，本實用新型通過在底板的兩端設(shè)置擋板，并在兩塊擋板之間設(shè)置輥子，以此來達到調(diào)節(jié)硅棒晶向的目的。
[0007]為了實現(xiàn)所述實用新型目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0008]一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，包括支撐機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，支撐機構(gòu)由擋板和底板構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)由輥子構(gòu)成，在底板的兩端分別設(shè)有一塊擋板，兩塊擋板呈對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置在底板兩端，在兩塊擋板之間設(shè)有輥子。
[0009]所述擋板的底端與底板的底面平齊，擋板與底板固定連接在一起。
[0010]所述輥子為兩根 ，兩根輥子平行設(shè)置在兩塊擋板之間，且兩根輥子平行于底板。
[0011]由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有如下有益效果:
[0012]本實用新型所述的一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，包括支撐機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過在底板的兩端設(shè)置擋板，并在兩塊擋板之間設(shè)置輥子，以此來達到調(diào)節(jié)硅棒晶向的目的；本實用新型實用性強，安裝和維護均比較方便，操作起來也比較方便，有效解決了多線切割機無法調(diào)節(jié)硅棒晶向的問題，極大方便了后續(xù)的加工和使用，滿足了客戶的要求。
[0013]【【專利附圖】

【附圖說明】】
[0014]圖1是本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖中:1、硅棒；2、輥子；3、擋板；4、底板。
[0016]【【具體實施方式】】
[0017]通過下面的實施例可以詳細的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內(nèi)的一切技術(shù)改進。
[0018]結(jié)合附圖1所述的一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，包括支撐機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，支撐機構(gòu)由擋板3和底板4構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)由輥子2構(gòu)成，在底板4的兩端分別設(shè)有一塊擋板3，兩塊擋板3呈對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置在底板4兩端，在兩塊擋板3之間設(shè)有輥子2 ;所述擋板3的底端與底板4的底面平齊，擋板3與底板4固定連接在一起；所述輥子2為兩根，兩根輥子2平行設(shè)置在兩塊擋板3之間，且兩根輥子2平行于底板4。
[0019]實施本實用新型所述的一種新型調(diào)整鍵，在使用時先將硅棒I放置在兩根輥子2上，然后由兩根輥子2所構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)找到硅棒I的粘接面，找到粘接面之后再通過支撐機構(gòu)將硅棒I進行水平方向的擺動，再測量硅棒I晶向在水平方向擺動的度數(shù)，從而方便控制硅棒I粘貼時的晶向。
[0020]本實用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。
【權(quán)利要求】
1.一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，包括支撐機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，支撐機構(gòu)由擋板(3)和底板(4)構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)由輥子(2)構(gòu)成，其特征是:在底板(4)的兩端分別設(shè)有一塊擋板(3)，兩塊擋板(3)呈對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置在底板(4)兩端，在兩塊擋板(3)之間設(shè)有輥子(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，其特征是:所述擋板(3)的底端與底板(4)的底面平齊，擋板(3)與底板(4)固定連接在一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種調(diào)整硅棒晶向偏離度的裝置，其特征是:所述輥子(2)為兩根，兩根輥子(2 )平行設(shè)置在兩塊擋板(3 )之間，且兩根輥子(2 )平行于底板(4 )。
【文檔編號】B28D5/04GK203510499SQ201320610618
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】裴保齊, 王振國, 蔣建國 申請人:洛陽鴻泰半導(dǎo)體有限公司