玻璃基板蝕刻槽的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種玻璃基板蝕刻槽。該玻璃基板蝕刻槽包括殼體，該殼體包括側(cè)壁及底部，該底部及側(cè)壁配合圍成頂部具有開(kāi)口的收容腔用以承載蝕刻液。該收容腔內(nèi)還鋪設(shè)有進(jìn)液管道，該進(jìn)液管道鄰近殼體底部鋪設(shè)，該進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)設(shè)置有第一噴口，蝕刻液經(jīng)由進(jìn)液管道的第一噴口進(jìn)入收容腔，玻璃基板由該開(kāi)口進(jìn)入收容腔，并限位在進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)以進(jìn)行蝕刻。
【專利說(shuō)明】玻璃基板蝕刻槽

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本案涉及一種玻璃基板蝕刻槽。

【背景技術(shù)】
[0002]玻璃基板是制造平板顯示器的主要材料，廣泛應(yīng)用于液晶顯示器、等離子顯示屏、觸控屏、有機(jī)發(fā)光顯示器等領(lǐng)域。隨著當(dāng)今世界高新技術(shù)產(chǎn)品飛速發(fā)展，對(duì)平板顯示器的輕薄化要求越來(lái)越高，因而玻璃基板的減薄工藝成了終端顯示產(chǎn)品能否實(shí)現(xiàn)薄型化的核心問(wèn)題之一。
[0003]所謂減薄就是用化學(xué)藥液將玻璃基板均勻蝕刻至目標(biāo)厚度。目前常見(jiàn)的減薄工藝包括有浸泡式和噴淋式。在浸泡式減薄工藝中，通常會(huì)用到承載有藥液(蝕刻液)的蝕刻槽，并把玻璃基板浸泡在蝕刻液中，以完成玻璃基板的減薄。在浸泡式減薄工藝中，蝕刻槽的設(shè)計(jì)對(duì)其內(nèi)承載的蝕刻液的流向及蝕刻液對(duì)玻璃基板的蝕刻效果起著較為重要的作用。蝕刻槽設(shè)計(jì)不當(dāng)，會(huì)導(dǎo)致玻璃基板蝕刻效果不佳。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]為解決現(xiàn)有技術(shù)中因蝕刻槽設(shè)計(jì)不當(dāng)導(dǎo)致玻璃基板蝕刻效果不佳的問(wèn)題，有必要提供一種可維持玻璃基板蝕刻效果的玻璃基板蝕刻槽。
[0005]一種玻璃基板蝕刻槽，其包括包括殼體，該殼體包括側(cè)壁及底部，該底部及側(cè)壁配合圍成頂部具有開(kāi)口的收容腔用以承載蝕刻液。該收容腔內(nèi)還鋪設(shè)有進(jìn)液管道，該進(jìn)液管道鄰近殼體底部鋪設(shè)，該進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)設(shè)置有第一噴口，蝕刻液經(jīng)由進(jìn)液管道的第一噴口進(jìn)入收容腔，玻璃基板由該開(kāi)口進(jìn)入收容腔，并限位在進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)以進(jìn)行蝕刻。
[0006]在一實(shí)施方式中，該收容腔內(nèi)還鋪設(shè)有曝氣管道，該曝氣管道鋪設(shè)在該進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)，該曝氣管道面向該開(kāi)口的一側(cè)設(shè)置有第二噴口，玻璃基板蝕刻槽通過(guò)曝氣管道的第二噴口向收容腔內(nèi)通入氣體，玻璃基板限位在曝氣管道面向開(kāi)口的一側(cè)以進(jìn)行蝕刻。
[0007]在一實(shí)施方式中，玻璃基板夾持限位在一玻璃基板承載裝置內(nèi)，并通過(guò)該玻璃基板承載裝置的夾持限位并豎立在曝氣管道面向開(kāi)口的一側(cè)。
[0008]在一實(shí)施方式中，該玻璃基板承載裝置包括相對(duì)設(shè)置的二第一側(cè)板及二相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)板，該第二側(cè)板與第一側(cè)板垂直相連圍成一收容空間，該玻璃基板限位并豎立在該收容空間內(nèi)，該進(jìn)液管道和曝氣管道對(duì)應(yīng)該收容空間鋪設(shè)并向該玻璃基板承載裝置的收容空間噴入蝕刻液和氣體。
[0009]在一實(shí)施方式中，該殼體的收容腔內(nèi)還設(shè)置有一底板封板，該底板封板架設(shè)固定在殼體的底板并位于該進(jìn)液管道面向殼體底板的一側(cè)，且位于該進(jìn)液管道和曝氣管道下方的底板封板對(duì)應(yīng)該玻璃基板承載裝置的收容空間設(shè)置。
[0010]在一實(shí)施方式中，該進(jìn)液管道和曝氣管道的延伸方向互相垂直。
[0011]在一實(shí)施方式中，該殼體側(cè)壁鄰近該開(kāi)口一側(cè)設(shè)置有溢流口，用以使得過(guò)多之蝕刻液可由該溢流口排出。
[0012]在一實(shí)施方式中，該殼體的底部設(shè)置有排液口，用以使得在蝕刻完成后可由該排液口抽出蝕刻液。
[0013]在一實(shí)施方式中，該殼體的底部為倒椎體狀，該排液口設(shè)置在底部之椎體的尖端處。
[0014]由于本案的玻璃基板蝕刻槽的進(jìn)液管道鄰近殼體底部鋪設(shè)，曝氣管道鋪設(shè)在該進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)，因此，其可合理實(shí)現(xiàn)蝕刻液的流向控制，使得蝕刻液的向玻璃基板一側(cè)流動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)更好的蝕刻效果。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本案浸泡式減薄工藝中采用的玻璃基板蝕刻槽及承載著玻璃基板的玻璃基板承載裝置的一較佳實(shí)施方式的立體示意圖。
[0016]圖2是圖1所示的玻璃基板蝕刻槽省略一部分側(cè)壁的立體示意圖。
[0017]圖3是圖2 所示的玻璃基板蝕刻槽與玻璃基板承載裝置的分解示意圖。
[0018]圖4是圖2所示的玻璃基板承載裝置的示意圖。
[0019]圖5是圖4所示的玻璃基板承載裝置省略一部分側(cè)板的示意圖。
[0020]圖6是圖2所示的玻璃基板蝕刻槽的示意圖。
[0021]圖7是圖5所示的玻璃基板蝕刻槽VI部分的放大示意圖。
[0022]主要元件符號(hào)說(shuō)明
[0023]玻璃基板蝕刻槽 10
[0024]殼體12
[0025]收容腔120
[0026]開(kāi)口122
[0027]排液口128
[0028]溢出口127
[0029]側(cè)壁13
[0030]底部15
[0031]進(jìn)液管道16
[0032]第一噴口162
[0033]進(jìn)液口164
[0034]曝氣管道17
[0035]第二噴口172
[0036]進(jìn)氣口174
[0037]底部封板18
[0038]玻璃基板承載裝置 20
[0039]收容空間210
[0040]第一側(cè)板212
[0041]第二側(cè)板213
[0042]第二限位槽219
[0043]壓桿23
[0044]支撐桿25
[0045]限位臂26
[0046]玻璃基板30
[0047]如下【具體實(shí)施方式】將結(jié)合上述附圖進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型。

【具體實(shí)施方式】
[0048]請(qǐng)參閱圖1-3，圖1是本實(shí)用新型浸泡式減薄工藝中采用的玻璃基板蝕刻槽10及承載著玻璃基板30的玻璃基板承載裝置20的一較佳實(shí)施方式的立體示意圖，圖2是省略圖1所示的玻璃基板蝕刻槽10的一部分側(cè)壁的立體示意圖，圖3是圖2所示的玻璃基板蝕刻槽10與玻璃基板承載裝置20的分解示意圖。在玻璃基板30的減薄工藝中，該玻璃基板蝕刻槽10用以承載蝕刻液，該玻璃基板承載裝置20用以?shī)A持玻璃基板30，夾持著玻璃基板30的玻璃基板承載裝置20置入玻璃基板蝕刻槽10內(nèi)以對(duì)玻璃基板30進(jìn)行蝕刻。
[0049]請(qǐng)一并參閱圖4-5，該玻璃基板承載裝置20包括二第一側(cè)板212以及相對(duì)設(shè)置的二第二側(cè)板213。該二第二側(cè)板213設(shè)置在該第一側(cè)板212之間并與該第一側(cè)板212垂直相連。該二第一側(cè)板212以及二第二側(cè)板213配合形成的收容空間210用于收容玻璃基板30。多個(gè)支撐桿25位于該收容空間210的底部，每一支撐桿25的兩端分別與該二第一側(cè)板212相連,優(yōu)選地,每一支撐桿25與二第一側(cè)板212垂直相連。二壓桿23位于該收容空間210的頂部，該二壓桿23的兩端以可拆卸的方式安裝在二第一側(cè)板212頂部，且該二壓桿的兩端與該二第一側(cè)板212滑動(dòng)連接以使得該二壓桿23相對(duì)該二第一側(cè)板212滑動(dòng)，優(yōu)選地，該二壓桿23與該二第一側(cè)板212垂直。多個(gè)限位臂26位于該二第一側(cè)板212之間，分別固定在該二第二側(cè)板213上，優(yōu)選地，該多個(gè)限位臂26與該二第一側(cè)板212垂直。該支撐桿25、壓桿23及限位臂26上均設(shè)置有限位槽219，該限位槽219的開(kāi)口面向玻璃基板30的邊緣，該玻璃基板30的邊緣插入該支撐桿25、壓桿23及限位臂26的限位槽219內(nèi)，限位在該支撐桿25、壓桿23及限位臂26之間，從而將玻璃基板30豎立在玻璃基板承載裝置20的收容空間210內(nèi)。該限位槽219個(gè)數(shù)可根據(jù)需要變更設(shè)計(jì)，數(shù)量為一個(gè)或一個(gè)以上。其開(kāi)設(shè)的數(shù)量決定了一個(gè)玻璃基板承載裝置20在一次減薄工藝時(shí)所能承載夾持的玻璃基板30的數(shù)量。
[0050]請(qǐng)一并參閱圖6-7，該玻璃基板蝕刻槽10包括殼體12，該殼體12包括側(cè)壁13及底部15。該底部15及側(cè)壁13配合圍成頂部具有開(kāi)口 122的收容腔120用以承載蝕刻液。收容腔120經(jīng)由該開(kāi)口 122與玻璃基板蝕刻槽10的外部相連通。該殼體12的側(cè)壁13鄰近該開(kāi)口 122 —側(cè)設(shè)置有貫通該側(cè)壁13的溢流口 127，用以使得輸入的過(guò)多的蝕刻液可由該溢流口 127排出至蝕刻液回收桶內(nèi)以便于蝕刻液的回收利用。該殼體12的底部15設(shè)置有排液口 128，用以使得在蝕刻步驟完成后可經(jīng)由該排液口 128將蝕刻液抽出。優(yōu)選地，該殼體12的底部15可設(shè)計(jì)為倒錐體狀，該排液口 128設(shè)置在底部15的錐體的尖端處。
[0051]該殼體12的收容腔120內(nèi)還設(shè)置有一底板封板18,該底板封板18架設(shè)固定在殼體12的底部15，優(yōu)選地，該底板封板18架設(shè)在該倒錐體狀的錐面上。
[0052]該收容腔120內(nèi)還鋪設(shè)有進(jìn)液管道16和曝氣管道17。該進(jìn)液管道16鄰近殼體12的底部15鋪設(shè),位于該底板封板18上方，即位于該底板封板18面向該開(kāi)口 122的一側(cè)。該進(jìn)液管道16面向開(kāi)口 122的一側(cè)設(shè)置有第一噴口 162, —進(jìn)液口 164位于該進(jìn)液管道16的一端，并伸出該殼體12外,用于向收容腔120輸入蝕刻液。輸入進(jìn)液管道16的蝕刻液經(jīng)由第一噴口 162噴入玻璃基板蝕刻槽10的收容腔120。優(yōu)選地，該進(jìn)液管道16由多個(gè)首尾相連通的U型管排列而成，首端的U型管的一直管部分延伸出該殼體12外作為該進(jìn)液口164,優(yōu)選地，自該底部15上的一開(kāi)口(未標(biāo)不)伸出該殼體12外。
[0053]該曝氣管道17鋪設(shè)在該進(jìn)液管道16上方，即鋪設(shè)在該進(jìn)液管道16面向開(kāi)口 122的一側(cè)，該曝氣管道17面向該開(kāi)口 122的一側(cè)設(shè)置有第二噴口 172。玻璃基板蝕刻槽10通過(guò)曝氣管道17的第二噴口 172向收容腔120內(nèi)通入氣體。一進(jìn)氣口 174位于該曝氣管道17的一端,并伸出該殼體12外,用于向收容腔120輸入氣體。優(yōu)選地,該進(jìn)液管道16和曝氣管道17的延伸方向互相垂直。優(yōu)選地，該曝氣管道17由多個(gè)首尾相連通的U型管排列而成，首端的U型管的一直管部延伸出該殼體12外以作為該進(jìn)氣口 174，優(yōu)選地，自該底部15上的一開(kāi)口(未標(biāo)不)伸出該殼體12外。
[0054]請(qǐng)?jiān)俅螀㈤唸D2，采用本案的玻璃基板蝕刻槽10對(duì)玻璃基板進(jìn)行蝕刻時(shí)，可將承載有玻璃基板30的玻璃基板承載裝置20由該開(kāi)口 122置入該玻璃基板蝕刻槽10的收容腔120內(nèi)。并將承載有玻璃基板30的玻璃基板承載裝置20架設(shè)在該曝氣管道17上方，即將其架設(shè)在曝氣管道17面向開(kāi)口 122的一側(cè)，將該玻璃基板豎立在曝氣管道17的上方。且該底板封板18、進(jìn)液管道16及曝氣管道17是對(duì)應(yīng)該玻璃基板承載裝置20的收容空間210設(shè)置的。
[0055]蝕刻液經(jīng)由進(jìn)液管道16的第一噴口 162通入該玻璃基板蝕刻槽10的收容腔120內(nèi)。并通過(guò)曝氣管道17的第二噴口 172向玻璃基板蝕刻槽10的收容腔120內(nèi)通入氣體。
[0056]由于本案的玻璃基板蝕刻槽10的進(jìn)液管道16鄰近殼體12底部15鋪設(shè)，且進(jìn)液管道16的第一噴口 162面向開(kāi)口 122，從而控制蝕刻液噴出方向，使得蝕刻液由玻璃基板下側(cè)向玻璃基板的上側(cè)流動(dòng)，同時(shí)，由于曝氣管道17的第二噴口 172亦面向開(kāi)口 122設(shè)置，因此，由第二噴口 172噴出的氣體可進(jìn)一步控制蝕刻液的流向，使得蝕刻液由玻璃基板下側(cè)向玻璃基板的上側(cè)流動(dòng)，從而使得本案的玻璃基板蝕刻槽10合理實(shí)現(xiàn)蝕刻液的流向控制，以實(shí)現(xiàn)更好的蝕刻效果。
[0057]進(jìn)一步地，由于底板封板18、進(jìn)液管道16及曝氣管道17是對(duì)應(yīng)該玻璃基板承載裝置20的收容空間210設(shè)置的，因此，在通入蝕刻液的時(shí)候，蝕刻液會(huì)先流入玻璃基板承載裝置20的收容空間210，并由該收容空間210慢慢向玻璃基板蝕刻槽10的收容腔120的其他部位蔓延。蝕刻液由第一噴口 162輸入時(shí)，蝕刻液噴至曝氣管道17后可受到曝氣管道17的作用分流，且底板封板18對(duì)應(yīng)玻璃基板承載裝置20的收容空間210設(shè)置，則底板封板18和玻璃基板承載裝置20的第一、第二側(cè)板對(duì)蝕刻液起到匯聚的作用，從而進(jìn)一步控制蝕刻液的流向，即蝕刻液噴入玻璃基板承載裝置20的收容空間210，并有該收容空間向玻璃基板蝕刻槽10的其他部位蔓延。從而更好地，更為合理地實(shí)現(xiàn)蝕刻液的流向控制，使得蝕刻液的向玻璃基板承載裝置20的玻璃基板30 —側(cè)流動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)更好的蝕刻效果。
[0058]本案采用蝕刻液的匯聚引導(dǎo)和分流設(shè)計(jì)，在玻璃基板蝕刻槽10的收容腔120的底部15進(jìn)行蝕刻液的供應(yīng)和補(bǔ)充新的蝕刻液，并且在蝕刻液補(bǔ)充后將多余的蝕刻液由收容腔120頂部溢流口 127排除至回收桶內(nèi)回收利用，避免浪費(fèi)。
[0059]本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本案各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。例如，第二側(cè)板也可省略，在第二側(cè)板省略的情況下，該限位臂的兩端與第一側(cè)板相連即可。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃基板蝕刻槽，其包括殼體，該殼體包括側(cè)壁及底部，該底部及側(cè)壁配合圍成頂部具有開(kāi)口的收容腔用以承載蝕刻液，其特征在于:該收容腔內(nèi)還鋪設(shè)有進(jìn)液管道，該進(jìn)液管道鄰近殼體底部鋪設(shè)，該進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)設(shè)置有第一噴口，蝕刻液經(jīng)由進(jìn)液管道的第一噴口進(jìn)入收容腔，玻璃基板由該開(kāi)口進(jìn)入收容腔，并限位在進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)以進(jìn)行蝕刻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:該收容腔內(nèi)還鋪設(shè)有曝氣管道，該曝氣管道鋪設(shè)在該進(jìn)液管道面向開(kāi)口的一側(cè)，該曝氣管道面向該開(kāi)口的一側(cè)設(shè)置有第二噴口，玻璃基板蝕刻槽通過(guò)曝氣管道的第二噴口向收容腔內(nèi)通入氣體，玻璃基板限位在曝氣管道面向開(kāi)口的一側(cè)以進(jìn)行蝕刻。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:玻璃基板夾持限位在一玻璃基板承載裝置內(nèi)，并通過(guò)該玻璃基板承載裝置的夾持限位并豎立在曝氣管道面向開(kāi)口的一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:該玻璃基板承載裝置包括相對(duì)設(shè)置的二第一側(cè)板及二相對(duì)設(shè)置的第二側(cè)板，該第二側(cè)板與第一側(cè)板垂直相連圍成一收容空間，該玻璃基板限位并豎立在該收容空間內(nèi)，該進(jìn)液管道和曝氣管道對(duì)應(yīng)該收容空間鋪設(shè)并向該玻璃基板承載裝置的收容空間噴入蝕刻液和氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:該殼體的收容腔內(nèi)還設(shè)置有一底板封板，該底板封板架設(shè)固定在殼體的底板并位于該進(jìn)液管道面向殼體底板的一側(cè)，且位于該進(jìn)液管道和曝氣管道下方的底板封板對(duì)應(yīng)該玻璃基板承載裝置的收容空間設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:該進(jìn)液管道和曝氣管道的延伸方向互相垂直。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:該殼體側(cè)壁鄰近該開(kāi)口一側(cè)設(shè)置有溢流口，用以使得過(guò)多之蝕刻液可由該溢流口排出。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:該殼體的底部設(shè)置有排液口，用以使得在蝕刻完成后可由該排液口抽出蝕刻液。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃基板蝕刻槽，其特征在于:該殼體的底部為倒椎體狀,該排液口設(shè)置在底部之椎體的尖端處。
【文檔編號(hào)】C03C15/00GK203960050SQ201320721166
【公開(kāi)日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】林瑞欽, 黃兆暢, 陳泓邑, 李沅達(dá), 張欣華, 葉容凱, 黃慧清, 張世群, 羅中育, 陳欽典, 簡(jiǎn)文鴻 申請(qǐng)人:睿志達(dá)光電(深圳)有限公司, 正達(dá)國(guó)際光電股份有限公司