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一種硅片往復(fù)切割工藝的制作方法

文檔序號:1910164閱讀:191來源:國知局
一種硅片往復(fù)切割工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種硅片往復(fù)切割工藝,屬于硅片切割【技術(shù)領(lǐng)域】。其通過切割線的往復(fù)運(yùn)動,對切割系統(tǒng)提供更大的行程和線速,達(dá)到提高生產(chǎn)效率的目的。本發(fā)明通過連續(xù)的供線系統(tǒng)和舊線回收系統(tǒng),能有效減少線的破損,還可促使線的張緊以保證切割線的剛性,有利于提高切片精度,同時,最大限度的利用切割線從而降低消耗。
【專利說明】—種硅片往復(fù)切割工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅片往復(fù)切割工藝,具體涉及一種節(jié)能降耗,同時能夠改善硅片表面質(zhì)量的工藝,屬于硅片切割【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]目前單向切割是市場的發(fā)展需求,但單向切割成本較高。單向切割工藝產(chǎn)生的線痕會對電池柵線造成影響,首先線痕片深度及寬度超差會使硅片外觀質(zhì)量降級,其次導(dǎo)致電池柵線粗細(xì)不均:傳統(tǒng)的往復(fù)切割工藝能夠降低1/2的鋼線用量,單片加工成本可降低約0.14元/片。雖然這種工藝可以大大降低切割成本,但是這種切割工藝對硅片表面質(zhì)量的影響非常大,尤其是線痕特別突出。為了將線痕控制在合理的范圍,研究硅片的往復(fù)切割工藝參數(shù)是必要的趨勢。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種切割精度高,線痕比例率低的硅棒切片工藝。其通過切割線的往復(fù)運(yùn)動,對切割系統(tǒng)提供更大的行程和線速,達(dá)到提聞生廣效率的目的。
[0004]按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,一種硅片往復(fù)切割工藝,步驟為:
(O固化:選取長度為250-300mm的硅棒,利用固化劑把硅棒粘接在工件板上進(jìn)行固化,固化時間為6h以上,室溫為23-28°C左右;
(2)配置砂漿:即碳化硅的懸浮液,砂漿調(diào)試比例按碳化硅:懸浮液水質(zhì)量比為0.9-0.95:1之間,單刀用砂漿量為225kg ;
(3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動鋼線,鋼線直徑0.11-0.115mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)lmin,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時間9-12h,鋼線使用量為200-240km ;操作過程放線與回線的比率在3.5-4.5: 1、工作臺速度0.25-0.35mm/min,線速度 630_680m/min ;
(4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用60-65°C的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠;
(5)后處理:脫膠后的硅片進(jìn)行清洗、甩干,即可。
[0005]所述娃棒的規(guī)格為156*156mm。所述碳化娃目數(shù)為1500-2000。所述固化劑為AB膠,其中AB膠的比例為1:1。
[0006]尺寸要求:和普通切片規(guī)格一樣(156*156)。
[0007]放線量與收線量:在鋼線與硅錠摩擦?xí)r,放線量是使用新鋼線在進(jìn)行摩擦,在摩擦過程中,鋼線的橢圓度,直徑會變細(xì),韌度也隨之發(fā)生變化。而收線量是把鋼線與硅錠摩擦過的鋼線反向在進(jìn)行摩擦。利用鋼線的韌度變化做出2次利用。
[0008]砂漿流量:砂漿流量的大小取決鋼線帶砂漿的能力;二次切割的鋼線帶砂能力較差,所以砂漿的變化取決于2次利用的鋼線量。
[0009]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,切割效果良好,合格率大幅度提高,極大地提高了機(jī)器的工作效率;導(dǎo)輪往復(fù)帶動鋼線,即使切割中鋼線帶砂不足,也能保證硅片線痕控制在公差之內(nèi);采用連續(xù)的供線系統(tǒng)和舊線回收系統(tǒng)相比,有效減少線的破損,還可促使線的張緊以保證切割線的剛性,有利于提高切片精度,同時,最大限度的利用切割線從而降低消耗。

【具體實(shí)施方式】
[0010]以下實(shí)施例中所述切割機(jī)為日本NTC機(jī)型。
[0011]對比實(shí)施例1單向切割
(I)選取長度為250-300mm之間,規(guī)格為156X156的硅棒,利用AB膠(比例為1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化時間6h以上,室溫為23-28°C左右。
[0012](2)砂漿調(diào)試比例:0.90 (碳化硅):I (懸浮液),單刀用砂漿量250kg。
[0013](3)每分鐘鋼線使用量為500m,切割時間為10小時30分鐘,共用鋼線315km。
[0014](4)硅棒切割結(jié)束后使用60_65°C的溫水浸泡8_10分鐘后脫膠;脫膠后的硅片插入花籃進(jìn)行清洗,甩干,送去檢驗(yàn)。
[0015]檢驗(yàn)結(jié)果確認(rèn)硅片表片線痕占比例1.5%_2%。
[0016]實(shí)施例1往復(fù)切割
Cl)固化:選取長度為250-300mm之間,規(guī)格為156X156的硅棒,利用AB膠(比例為1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化時間6h,溫度為25°C。
[0017](2)配置砂漿:砂漿調(diào)試比例在0.90 (碳化硅):I (懸浮液),單刀用砂漿量減少10%。
[0018](3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動鋼線,鋼線直徑0.11mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)lmin,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時間9-12h,鋼線使用量為200-240km ;操作過程放線與回線的比率3.5:1、工作臺速度0.25mm/min,線速度630m/min ;
(4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用60°C的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠;
(5)脫膠后的硅片進(jìn)行清洗、甩干,即可。
[0019]本實(shí)施例中鋼線利用率增加35%。
[0020]實(shí)施例2往復(fù)切割
Cl)固化:選取長度為250-300mm之間,規(guī)格為156X156的硅棒,利用AB膠(比例為1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化時間6h以上,溫度為28°C。
[0021](2)配置砂漿:砂漿調(diào)試比例為0.925 (碳化硅):1 (懸浮液),單刀用砂漿量為225kg ;
(3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動鋼線,鋼線直徑0.115mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)lmin,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時間10.5h,鋼線使用量為205km ;操作過程放線與回線的比率在4.5: 1、工作臺速度0.35mm/min,線速度680m/min。
[0022](4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用65°C的溫水浸泡8分鐘后脫膠。
[0023](5)脫膠后的硅片插入花籃進(jìn)行清洗,甩干,送去檢驗(yàn)。
[0024]檢驗(yàn)結(jié)果確認(rèn)硅片表片線痕占比例0.5%_1%。
[0025]本發(fā)明具體的優(yōu)勢如下:1、越細(xì)的鋼線在往復(fù)切割工藝中越占優(yōu)勢,現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)普遍應(yīng)用的0.120mm和
0.115mm直徑的鋼線,切出來的硅片線痕深度為13 μ m、寬度為132 μ m。本實(shí)施例將采用
0.1lOmm直徑的鋼線,切出來的硅片線痕深度及寬度能降低為12.8 μ m和115 μ m,從而能夠從根本上改善電池印刷工序造成的柵線不均情況,并且不會影響組件的表面外觀。
[0026]2、通過回線率、工作臺速度以及加速度的改進(jìn),可以減輕硅片表面產(chǎn)生的線痕深度及覽度。
[0027]3、綜合成本節(jié)約:較傳統(tǒng)工藝降低綜合成本約22%,每年可節(jié)約600萬成本。
[0028]4、節(jié)能環(huán)保:大幅度減少了廢鋼線,原先鋼線用量為2刀/卷,采用往復(fù)式切割工藝后預(yù)計(jì)鋼線用量約為3刀/卷。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片往復(fù)切割工藝,其特征是步驟為: (O固化:選取長度為250-300mm的硅棒,利用固化劑把硅棒粘接在工件板上進(jìn)行固化,固化時間為6h以上,室溫為23-28°C左右; (2)配置砂漿:即碳化硅的懸浮液,砂漿調(diào)試比例按碳化硅:懸浮液水質(zhì)量比為0.9-0.95:1之間,單刀用砂漿量為225kg ; (3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動鋼線,鋼線直徑0.11-0.115mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)lmin,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時間9-12h,鋼線使用量為200-240km ;操作過程放線與回線的比率在3.5-4.5: 1、工作臺速度0.25-0.35mm/min,線速度 630_680m/min ; (4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用60-65°C的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠; (5)后處理:脫膠后的硅片進(jìn)行清洗、甩干,即可。
2.如權(quán)利要求1所述硅片往復(fù)切割工藝,其特征是:所述硅棒的規(guī)格為156*156mm。
3.如權(quán)利要求1所述硅片往復(fù)切割工藝,其特征是:所述碳化硅為1500-2000目。
4.如權(quán)利要求1所述硅片往復(fù)切割工藝,其特征是:所述固化劑為AB膠,其中AB膠的比例為1:1。
【文檔編號】B28D5/04GK104191533SQ201410447955
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年9月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月4日
【發(fā)明者】杜正興, 李靖, 華冰 申請人:無錫尚品太陽能電力科技有限公司
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