多線切割機及工作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種多線切割機，包括切割室和設在切割室兩側的砂漿噴管，該砂漿噴管設有三個，一個設在切割室的出線側，兩個設在切割室的入線側。本發(fā)明在傳統(tǒng)設備上增設入線側的砂漿噴管，就能降低因雜質等進入噴管堵塞噴嘴出現(xiàn)砂漿斷流的幾率；提高鋼線帶砂的物理效應；符合工藝改進提升效率的要求。本發(fā)明工藝結合砂漿噴管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。
【專利說明】多線切割機及工作方法

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及晶片切割【技術領域】，尤其是一種多線切割機及工作方法。

【背景技術】
[0002]多線切割機主要以機械結構為主，主要由切割室、收放線室、基臺、砂漿缸、配電室、氣壓倉等部分組成；如圖1所示，拉線張力控制采用磁粉離合器，張力調節(jié)使用帶減速的交流電機，還配有龐大的齒輪減速箱和鏈條齒輪傳輸機結構，工作臺驅動依靠砝碼配重，電控只要是繼電器和時間繼電器。
[0003]多線切割機切割晶片的優(yōu)點有:彎曲度(bow)小，翹曲度(Warp)小，平行度(Tarp)好，總厚度公差(TTV)小，片間切割損耗少，成品晶片表面損傷層淺，粗糙度小，切片加工出片率高，生產效率高等一系列優(yōu)點。因此，應用多線切割機是發(fā)展規(guī)?；a和提高生產效率的必然選擇。


【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明針對現(xiàn)有技術的不足，提出一種多線切割機，效率高，結構巧妙。
[0005]為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供以下技術方案:一種多線切割機，包括切割室和設在切割室兩側的砂漿噴管，該砂漿噴管設有三個，一個設在切割室的出線側，兩個設在切割室的入線側。
[0006]進一步地，入線側的兩個所述砂漿噴管為并排設置。
[0007]進一步地，入線側的兩個所述砂漿噴管為沿線運動方向前后并排設置。
[0008]進一步地，所述砂漿噴管均為傾斜向下設置。
[0009]進一步地，所述砂漿噴管均朝向切割室。
[0010]一種如上所述多線切割機的工作方法，包括以下過程:根據(jù)鋼線和碳化硅與懸浮液的綜合技術參數(shù)，核算出其切削指數(shù)；提升工作臺速，結合砂漿流量與線速，利用線性方程和微積分方程算出最佳匹配參數(shù)。
[0011]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點:在傳統(tǒng)設備上增設入線側的砂漿噴管，就能降低因雜質等進入噴管堵塞噴嘴出現(xiàn)砂漿斷流的幾率；提高鋼線帶砂的物理效應；符合工藝改進提升效率的要求。本發(fā)明工藝結合砂漿噴管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為現(xiàn)有多線切割機的結構不意圖；
圖2為本發(fā)明多線切割機的結構示意圖。

【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖對本發(fā)明進行詳細描述，本部分的描述僅是示范性和解釋性，不應對本發(fā)明的保護范圍有任何的限制作用。
[0014]如圖2所示的一種多線切割機，包括切割室I和設在切割室I兩側的砂漿噴管，該砂漿噴管設有三個，一個砂漿噴管3設在切割室的出線側，兩個砂漿噴管2設在切割室的入線側。
[0015]入線側的兩個砂漿噴管2為并排設置，較優(yōu)的設置方式是將這兩個砂漿噴管2是沿線的運動方向前后并排設置，如圖2所示；這樣確保入線端砂漿量非常充足，相應在切割時效率會更高。
[0016]切割室I兩側的砂漿噴管都為傾斜向下設置，并且均朝向切割室1，使得噴漿效果好。
[0017]本發(fā)明的原理為:太陽能硅片的線切割機機理就是機器導輪在高速運轉中帶動鋼線，從而由鋼線將聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂漿送到切割區(qū)，在鋼線的高速運轉中與壓在線網(wǎng)上的工件連續(xù)發(fā)生摩擦完成切割的過程。
[0018]圖2中所示的為PV800多線切割機，原有砂漿流噴管如圖1所示，砂漿由切割室I上方砂漿系統(tǒng)管道，流入兩側砂漿噴管，然后經(jīng)噴管的窄噴嘴流到線網(wǎng)上，從而被鋼線帶入工件內發(fā)生摩擦進行切割。其中噴管的作用就是:控制砂漿流量與方向并將砂漿均勻的流向線網(wǎng)。其改造前，砂漿噴管如圖1。改造后的砂漿噴管如圖2所示。二者相比較，在工件的入線端測，添加一只噴管，即:入線測為雙噴管結構，出線端為單噴管結構。
[0019]采用本發(fā)明多線切割機，在工藝上，根據(jù)鋼線和SiC與懸浮液的綜合技術參數(shù)，核算出其切削指數(shù)。然后據(jù)此，提升工作臺速，結合砂漿流量與線速等，利用線性方程、微積分方程等算出幾種量的最佳匹配參數(shù)。從而實際試切找到現(xiàn)場不良控制點。做一定微調即可實現(xiàn)。
[0020]如PV800多線切割機，其控制系統(tǒng)采用西門子高端元器件，其控制系統(tǒng)相對較精細，其軟件部分也相應更加優(yōu)化，張力系統(tǒng)上明顯優(yōu)于其他大多種類的線切機。在輔料各項技術參數(shù)不變的條件下，通過改造砂漿噴管與工藝進一步改進，從而達到提升切割效率的目的。
[0021]相對于圖1所示切割機的工藝，本發(fā)明工藝結合砂漿噴管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。
[0022]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種多線切割機，包括切割室和設在切割室兩側的砂漿噴管，其特征在于:該砂漿噴管設有三個，一個設在切割室的出線側，兩個設在切割室的入線側。
2.如權利要求1所述多線切割機，其特征在于:入線側的兩個所述砂漿噴管為并排設置。
3.如權利要求2所述多線切割機，其特征在于:入線側的兩個所述砂漿噴管為沿線運動方向前后并排設置。
4.如權利要求1所述多線切割機，其特征在于:所述砂漿噴管均為傾斜向下設置。
5.如權利要求4所述多線切割機，其特征在于:所述砂漿噴管均朝向切割室。
6.一種如權利要求1所述多線切割機的工作方法，包括以下過程:根據(jù)鋼線和碳化硅與懸浮液的綜合技術參數(shù)，核算出其切削指數(shù)；提升工作臺速，結合砂漿流量與線速，利用線性方程和微積分方程算出最佳匹配參數(shù)。
【文檔編號】B28D7/00GK104441280SQ201410608482
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年11月4日 優(yōu)先權日:2014年11月4日
【發(fā)明者】劉耀峰 申請人:無錫榮能半導體材料有限公司