切片座上晶棒的定位架的制作方法
【專(zhuān)利摘要】切片座上晶棒的定位架，由底座和安裝在底座后端的支架組成，在晶棒的下側(cè)粘接有防止切片時(shí)晶片散落的固定條，在底座的中部加工有滑動(dòng)定位槽，切片座的下底面的卡邊放置在滑動(dòng)定位槽內(nèi)，在底座的一側(cè)安裝有射線(xiàn)管，另一側(cè)安裝有射線(xiàn)接收器，在底座一側(cè)的擺動(dòng)調(diào)節(jié)架上安裝有前后晶棒擺動(dòng)的兩顆調(diào)節(jié)螺釘，在支架的升降絲桿下端的升降梁的中部，安裝有一根前伸的支撐臂，支撐臂的前端安裝有上固定釘，在支架下端的下橫梁上安裝有晶棒的端面定位釘。采用本技術(shù)，通過(guò)觀(guān)察射線(xiàn)接收器上的數(shù)據(jù)變化，調(diào)節(jié)擺動(dòng)調(diào)節(jié)架上的兩顆調(diào)節(jié)螺釘，使晶棒的光學(xué)軸線(xiàn)最大限度地與切片座的中心線(xiàn)相平行，經(jīng)過(guò)固定粘接后，加工出來(lái)的晶片軸線(xiàn)歪曲量較小，晶片的質(zhì)量較高。
【專(zhuān)利說(shuō)明】切片座上晶棒的定位架

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于晶棒加工設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種切片座上晶棒的定位架。

【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶片在生產(chǎn)加工過(guò)程中，晶棒在打磨成型后要進(jìn)行切片處理，在切片前，晶棒要粘接固定在一條玻璃材質(zhì)的固定條上，以防止晶片在切片過(guò)程中散落損壞，粘接在固定條上的晶棒還要定位粘接在一個(gè)切片座上才能拿到切片機(jī)上進(jìn)行切片?，F(xiàn)有技術(shù)中，將帶固定條的晶棒粘接在切片座上時(shí)，首先要將其放置在切片座的中線(xiàn)上，再測(cè)量并調(diào)整固定條的邊沿與切片座邊沿，使之相互平行，再用膠將固定條粘牢在切片座上。由于在晶棒的加工、粘接定位過(guò)程中，晶棒的光學(xué)軸線(xiàn)與晶棒的幾何軸線(xiàn)會(huì)出現(xiàn)微小誤差，用邊沿平行的方法對(duì)位粘接，只能保證晶棒的幾何軸線(xiàn)與切片座中心線(xiàn)的平行，不能保證晶棒的光學(xué)軸線(xiàn)與切片座的中心線(xiàn)平行，切片座在安裝到切片機(jī)上進(jìn)行切片時(shí)，切出晶片的軸線(xiàn)會(huì)出現(xiàn)微量的歪曲，影響晶片的質(zhì)量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，晶棒在切片座上采用邊沿平行的對(duì)位方法，存在晶棒的光學(xué)軸線(xiàn)與切片座的中心線(xiàn)無(wú)法準(zhǔn)確重合，影響晶片加工質(zhì)量的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種切片座上晶棒的定位架，由底座和安裝在底座后端的支架組成，切片座的上平面為晶棒的粘接固定面，在晶棒的上側(cè)加工有一個(gè)晶棒的定位平面，在晶棒的下側(cè)粘接有防止切片時(shí)晶片散落的固定條，固定條放置在切片座的上平面上，在底座的中部加工滑動(dòng)定位槽，切片座的下底面兩側(cè)加工有卡邊，卡邊放置在滑動(dòng)定位槽內(nèi)，在底座的一側(cè)安裝有射線(xiàn)管，另一側(cè)安裝有射線(xiàn)接收器，在底座的一側(cè)還安裝有晶棒的擺動(dòng)調(diào)節(jié)架，調(diào)節(jié)架上安裝有前后兩顆調(diào)節(jié)螺釘，在支架上端的橫梁中部安裝有升降絲桿，升降絲桿下端固定在升降梁的中部，升降梁的兩端活動(dòng)安裝在支架側(cè)立柱上的定位凸邊上，升降梁的中部安裝有一根前伸的支撐臂，支撐臂的前端安裝有上固定釘，在支架的下端安裝有下橫梁，下橫梁上安裝有晶棒的端面定位釘。
[0004]采用本技術(shù)方案，將帶固定條的晶棒放置到切片座的中心線(xiàn)位置，晶棒的前端圓心點(diǎn)頂在端面定位釘上，用支撐臂前端的上固定釘壓在晶棒上側(cè)的定位平面上，打開(kāi)射線(xiàn)管和射線(xiàn)接收器，調(diào)節(jié)擺動(dòng)調(diào)節(jié)架上的兩顆調(diào)節(jié)螺釘，使晶棒小量地左右擺動(dòng)，觀(guān)察射線(xiàn)接收器上的數(shù)據(jù)變化，當(dāng)數(shù)據(jù)達(dá)到最佳值時(shí)，說(shuō)明晶棒的光學(xué)軸線(xiàn)已經(jīng)最大限度地與切片座的中心線(xiàn)相平行，此時(shí)將固定條粘接固定在切片座上，固定后的晶棒送到切片機(jī)上進(jìn)行切片加工，加工出來(lái)的晶片軸線(xiàn)歪曲量較小，晶片的質(zhì)量較高。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0005]圖1為本實(shí)用新型主視方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0006]圖2為本實(shí)用新型側(cè)視方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0007]實(shí)施例:如圖1和圖2所示，一種切片座上晶棒的定位架，由底座I和安裝在底座后端的支架6組成，切片座2的上平面為晶棒的粘接固定面，在晶棒13的上側(cè)加工有一個(gè)晶棒的定位平面，在晶棒13的下側(cè)粘接有防止切片時(shí)晶片散落的固定條16，固定條16放置在切片座2的上平面上，在底座I的中部加工滑動(dòng)定位槽18，切片座2的下底面兩側(cè)加工有卡邊17，卡邊17放置在滑動(dòng)定位槽18內(nèi)，在底座I的一側(cè)安裝有射線(xiàn)管14，另一側(cè)安裝有射線(xiàn)接收器4，在底座I的一側(cè)還安裝有晶棒13的擺動(dòng)調(diào)節(jié)架5，調(diào)節(jié)架5上安裝有前后兩顆調(diào)節(jié)螺釘3，在支架6上端的橫梁中部安裝有升降絲桿8，升降絲桿8下端固定在升降梁9的中部，升降梁9的兩端活動(dòng)安裝在支架6側(cè)立柱上的定位凸邊7上，升降梁9的中部安裝有一根前伸的支撐臂10，支撐臂10的前端安裝有上固定釘11，在支架6的下端安裝有下橫梁15，下橫梁15上安裝有晶棒的端面定位釘12。
【權(quán)利要求】
1.切片座上晶棒的定位架，由底座(I)和安裝在底座后端的支架(6)組成，切片座(2)的上平面為晶棒的粘接固定面，在晶棒(13)的上側(cè)加工有一個(gè)晶棒的定位平面，在晶棒(13)的下側(cè)粘接有防止切片時(shí)晶片散落的固定條(16)，固定條(16)放置在切片座(2)的上平面上，其特征在于:在底座(I)的中部加工滑動(dòng)定位槽(18)，切片座(2)的下底面兩側(cè)加工有卡邊(17)，卡邊(17)放置在滑動(dòng)定位槽(18)內(nèi)，在底座(I)的一側(cè)安裝有射線(xiàn)管(14)，另一側(cè)安裝有射線(xiàn)接收器(4)，在底座(I)的一側(cè)還安裝有晶棒(13)的擺動(dòng)調(diào)節(jié)架(5)，調(diào)節(jié)架(5)上安裝有前后兩顆調(diào)節(jié)螺釘(3)，在支架(6)上端的橫梁中部安裝有升降絲桿(8)，升降絲桿(8)下端固定在升降梁(9)的中部，升降梁(9)的兩端活動(dòng)安裝在支架(6)側(cè)立柱上的定位凸邊(7 )上，升降梁(9 )的中部安裝有一根前伸的支撐臂(1 )，支撐臂(1 )的前端安裝有上固定釘(11)，在支架(6)的下端安裝有下橫梁(15)，下橫梁(15)上安裝有晶棒的端面定位釘(12)。
【文檔編號(hào)】B28D7/04GK204196019SQ201420299146
【公開(kāi)日】2015年3月11日 申請(qǐng)日期:2014年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月6日
【發(fā)明者】吳康, 吳龍駒, 王紹鴻, 黃國(guó)洪 申請(qǐng)人:云南藍(lán)晶科技股份有限公司