注漿成型靶材模具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種注漿成型靶材模具,包括兩端開放的筒狀的模具本體、多孔底板以及外罩,所述多孔底板設(shè)置在所述外罩內(nèi),所述模具本體豎直設(shè)置在所述多孔底板上,所述多孔底板與所述外罩底面之間形成有間隔空間,所述外罩上設(shè)有用于與抽取裝置連接的抽氣口,所述抽氣口連通所述間隔空間。本實(shí)用新型的注漿成型靶材模具,通過在底部設(shè)置多孔底板與外罩配合,通過連接抽取裝置可將模具內(nèi)水分抽出,從而加快模具內(nèi)漿液固化速度,不影響注件的品質(zhì)并提高了良品率,減少工作周期,進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】注漿成型靶材模具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種靶材模具,尤其涉及一種注漿成型靶材模具。
【背景技術(shù)】
[0002]在磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶材中,包括圓柱形管靶,其主要采用注漿成型、抽真空脫水成型等步驟,其中注漿成型通常是將預(yù)先制備的漿料澆注到筒狀石膏模具中。由于對應(yīng)管靶,石膏模具也具有較大的深度,從而漿料固化時(shí)間相對比較長,這樣對產(chǎn)品的品質(zhì)也有一定程度影響。此外,石膏模具在經(jīng)三次或以上澆注漿料后會(huì)吸附水份,呈現(xiàn)飽和狀態(tài),嚴(yán)重影響澆注過程中吸漿速度及產(chǎn)品品質(zhì)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于,提供一種改進(jìn)的注漿成型靶材模具。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:提供一種注漿成型靶材模具,包括兩端開放的筒狀的模具本體、多孔底板以及外罩,所述多孔底板設(shè)置在所述外罩內(nèi),所述模具本體豎直設(shè)置在所述多孔底板上,所述多孔底板與所述外罩底面之間形成有間隔空間,所述外罩上設(shè)有用于與抽取裝置連接的抽氣口,所述抽氣口連通所述間隔空間。
[0005]優(yōu)選地,所述外罩包括蓋板、以及自所述蓋板周緣向上延伸的側(cè)板,所述多孔底板于所述外罩內(nèi)位于所述蓋板上方,所述側(cè)板配合在所述多孔底板的側(cè)面以及所述模具本體的底部外周側(cè)面上;所述抽氣口設(shè)置在所述蓋板上。
[0006]優(yōu)選地,該注漿成型靶材模具還包括支撐網(wǎng),所述支撐網(wǎng)于所述多孔底板和蓋板之間貼覆在所述多孔底板上。
[0007]優(yōu)選地,所述支撐網(wǎng)為不銹鋼網(wǎng)。
[0008]優(yōu)選地,所述多孔底板為具有高氣孔率的氧化鋁板。
[0009]優(yōu)選地,所述外罩為不銹鋼罩。
[0010]優(yōu)選地,所述模具本體包括筒狀的石膏模、以及設(shè)置在所述石膏模中心位置的芯棒。
[0011]優(yōu)選地,所述石膏模呈圓筒狀,所述芯棒為圓柱體。
[0012]本實(shí)用新型的注漿成型靶材模具,通過在底部設(shè)置多孔底板與外罩配合,通過連接抽取裝置可將模具內(nèi)水分抽出,從而加快模具內(nèi)漿液固化速度,不影響注件的品質(zhì)并提尚了良品率,減少工作周期,進(jìn)而提尚生廣效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明,附圖中:
[0014]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的注漿成型靶材模具的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為了對本實(shí)用新型的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解,現(xiàn)對照附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】。
[0016]如圖1所示,本實(shí)用新型一實(shí)施例的注漿成型靶材模具,包括模具本體10、多孔底板20以及外罩30。多孔底板20設(shè)置在外罩30內(nèi),模具本體10豎直設(shè)置在多孔底板20上,多孔底板20與外罩30底面之間形成有間隔空間100,外罩30上設(shè)有連通間隔空間100的抽氣口 31,用于與抽取裝置連接,從而通過抽氣口 31、多孔底板20抽取模具本體10內(nèi)的水分。
[0017]模具本體10為兩端開放的筒狀結(jié)構(gòu)。模具本體10包括筒狀的石膏模11、以及設(shè)置在石膏模11中心位置的芯棒12。通常,石膏模11呈圓筒狀,芯棒12為圓柱體。芯棒12和石膏模11內(nèi)壁之間的環(huán)狀空間為漿液容置空間,漿液在該空間內(nèi)固化,成形為筒狀柱體。模具本體10上端開口形成進(jìn)液口,漿液從該進(jìn)液口進(jìn)入漿液容置空間。模具本體10垂直設(shè)置在多孔底板20上方。
[0018]其中,外罩30主要用于將多孔底板20和模具本體10底部之間包圍起來,形成一個(gè)密閉空間以進(jìn)行抽取。多孔底板20為具有高氣孔率的氧化鋁板,質(zhì)輕、不腐蝕、不與漿料發(fā)生反應(yīng)。抽取時(shí),澆注在模具本體10內(nèi)的漿液的水分能通過該多孔底板20上的氣孔至抽氣口 31被吸出。
[0019]本實(shí)施例中,外罩30包括蓋板32、以及自蓋板32周緣向上延伸的側(cè)板33,多孔底板20于外罩30內(nèi)位于蓋板32上方,側(cè)板33配合在多孔底板20的側(cè)面以及模具本體10的底部外周側(cè)面上。優(yōu)選地,蓋板32朝向多孔底板20的一面內(nèi)凹設(shè)置,以使得多孔底板20和蓋板31之間形成有間隔空間100 ;抽氣口 31設(shè)置在蓋板32并連通該間隔空間100上。優(yōu)選地,外罩30為不銹鋼罩,具有耐用、耐腐蝕的優(yōu)點(diǎn)。
[0020]另外,該注漿成型靶材模具還包括支撐網(wǎng)40,支撐網(wǎng)40于多孔底板20和蓋板32之間貼覆在多孔底板20上,用于支撐多孔底板20。支撐網(wǎng)40優(yōu)選為不銹鋼網(wǎng),耐用耐腐蝕。
[0021]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例,并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍,凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的【技術(shù)領(lǐng)域】,均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種注漿成型靶材模具,其特征在于,包括兩端開放的筒狀的模具本體(10)、多孔底板(20)以及外罩(30),所述多孔底板(20)設(shè)置在所述外罩(30)內(nèi),所述模具本體(10)豎直設(shè)置在所述多孔底板(20)上,所述多孔底板(20)與所述外罩(30)底面之間形成有間隔空間(100),所述外罩(30)上設(shè)有用于與抽取裝置連接的抽氣口(31),所述抽氣口(31)連通所述間隔空間(100)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的注漿成型靶材模具,其特征在于,所述外罩(30)包括蓋板(32)、以及自所述蓋板(32)周緣向上延伸的側(cè)板(33),所述多孔底板(20)于所述外罩(30)內(nèi)位于所述蓋板(32)上方,所述側(cè)板(33)配合在所述多孔底板(20)的側(cè)面以及所述模具本體(10)的底部外周側(cè)面上;所述抽氣口(31)設(shè)置在所述蓋板(32)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的注漿成型靶材模具,其特征在于,該注漿成型靶材模具還包括支撐網(wǎng)(40),所述支撐網(wǎng)(40)于所述多孔底板(20)和蓋板(32)之間貼覆在所述多孔底板(20 )上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的注漿成型靶材模具,其特征在于,所述支撐網(wǎng)(40)為不銹鋼網(wǎng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的注漿成型靶材模具,其特征在于,所述多孔底板(20)為具有尚氣孔率的氧化銷板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的注漿成型靶材模具,其特征在于,所述外罩(30)為不銹鋼罩。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的注漿成型靶材模具,其特征在于,所述模具本體(10)包括筒狀的石膏模(11)、以及設(shè)置在所述石膏模(11)中心位置的芯棒(12)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的注漿成型靶材模具,其特征在于,所述石膏模(11)呈圓筒狀,所述芯棒(12)為圓柱體。
【文檔編號】B28B7/46GK204221934SQ201420674055
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月12日
【發(fā)明者】黃勇彪, 林文寶 申請人:深圳市眾誠達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司